JPH04737U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH04737U JPH04737U JP4007490U JP4007490U JPH04737U JP H04737 U JPH04737 U JP H04737U JP 4007490 U JP4007490 U JP 4007490U JP 4007490 U JP4007490 U JP 4007490U JP H04737 U JPH04737 U JP H04737U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- sample mounting
- electrode
- sample
- rotation shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は、実施例の概略構成図、第２図は、試
料装着電極の動作説明図、第３図は、垂直エツチ
ングの説明図である。 １……ドライエツチング装置、１１……試料装
着電極、１２……回動軸、１３……試料装着部。
料装着電極の動作説明図、第３図は、垂直エツチ
ングの説明図である。 １……ドライエツチング装置、１１……試料装
着電極、１２……回動軸、１３……試料装着部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 エツチング雰囲気を隔離するためのエツチング
室の内部に試料装着電極を設けたもので、前記試
料装着電極に装着した試料をエツチングするため
のドライエツチング装置において、 前記試料装着電極を、 前記エツチング室に対して回動自在に設けた回
動軸と、 前記回動軸に対して傾動自在に設けた試料装着
部とにより構成したことを特徴とするドライエツ
チング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4007490U JPH04737U (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4007490U JPH04737U (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04737U true JPH04737U (ja) | 1992-01-07 |
Family
ID=31549547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4007490U Pending JPH04737U (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04737U (ja) |
-
1990
- 1990-04-13 JP JP4007490U patent/JPH04737U/ja active Pending