JPH0474785U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0474785U JPH0474785U JP11546190U JP11546190U JPH0474785U JP H0474785 U JPH0474785 U JP H0474785U JP 11546190 U JP11546190 U JP 11546190U JP 11546190 U JP11546190 U JP 11546190U JP H0474785 U JPH0474785 U JP H0474785U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve seat
- opening
- substrate
- gasket
- connecting rods
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Check Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
第１図は本考案の一例による真空圧力調節弁を
示す断面図、第２図は本考案で用いられるガスケ
ツトの一例を示す断面図、第３図は本考案による
真空圧力調節弁が備えられたスパツタリング装置
を示す断面図、そして第４図および第５図はそれ
ぞれ従来の真空圧力調節弁を示す断面図である。 図中、１……基板、２……開口部、１１……バ
ルブシート、１２……ガスケツト、１５……連接
棒、１６……アーム、１７……駆動ユニツト。
示す断面図、第２図は本考案で用いられるガスケ
ツトの一例を示す断面図、第３図は本考案による
真空圧力調節弁が備えられたスパツタリング装置
を示す断面図、そして第４図および第５図はそれ
ぞれ従来の真空圧力調節弁を示す断面図である。 図中、１……基板、２……開口部、１１……バ
ルブシート、１２……ガスケツト、１５……連接
棒、１６……アーム、１７……駆動ユニツト。
Claims (1)
- 真空処理室と排気装置との間を仕切る基板に形
成された開口部を、ガスケツトを介して該開口部
周辺の該基板の面に当接して閉止し得るように可
動に備えられたバルブシートと、前記基板におけ
る前記開口部周辺に形成された孔を密封状に貫通
して前記バルブシートに連結された複数の連接棒
と、前記連接棒を介して前記バルブシートを動作
する駆動ユニツトを含み、前記バルブシートによ
り前記開口部を閉じた際に僅かな隙間が生じるよ
うに前記ガスケツトには複数の溝が形成されてい
ることを特徴とする真空圧力調節弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11546190U JPH0474785U (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11546190U JPH0474785U (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0474785U true JPH0474785U (ja) | 1992-06-30 |
Family
ID=31863235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11546190U Pending JPH0474785U (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0474785U (ja) |
-
1990
- 1990-11-02 JP JP11546190U patent/JPH0474785U/ja active Pending