JPH047502A - 光学素子及びホログラム露光方法 - Google Patents

光学素子及びホログラム露光方法

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JPH047502A
JPH047502A JP10920190A JP10920190A JPH047502A JP H047502 A JPH047502 A JP H047502A JP 10920190 A JP10920190 A JP 10920190A JP 10920190 A JP10920190 A JP 10920190A JP H047502 A JPH047502 A JP H047502A
Authority
JP
Japan
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light
pinhole
beam splitter
lens
hologram
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Pending
Application number
JP10920190A
Other languages
English (en)
Inventor
Hidefumi Sakata
秀文 坂田
Osamu Yokoyama
修 横山
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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  • Holo Graphy (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は光学素子、及びホログラムレンズの露光方法に
関する。
［従来の技術］ 従来のホログラムレンズの露光方法としては、電子通信
学会技術研究報告ＥＤ８０−７０のように補助ホログラ
ム等の回折素子を利用して、参照光を物体光の光軸と平
行に導き、参照光と物体光の干渉縞を乾板上に記録する
ものがあった。
［発明が解決しようとする課題］ しかし、従来の補助ホログラムを用いた露光方法には、
第２図に示すように、対物レンズ４によって物体光１３
が収束する点と参照光１４が重なっているため、空間フ
ィルターを使用することが困難であるという問題点があ
った。そこで本発明はこうした問題点を解決するための
もので、その目的とするところは、ピンホールと一体に
なったビームスプリッタを採用することによって、雑音
の少ないホログラムレンズの露光方法を提供することに
ある。
［課題を解決するための手段］ 本発明の光学素子は、ピンホールとビームスプリッタが
一体化されたことを特徴とする。また、本発明のホログ
ラム露光方法は、干渉露光によってホログラムを記録す
る光学系において、前記光学素子を含むことを特徴とす
る。
［作用］ 本発明の上記の構成によれば、レーザー光源を出た光を
二つに分割し、一方の光を対物レンズで収束し、ピンホ
ールを通過させ、そこから発散する光を物体光として用
いる。
もう一方の光は物体光の光軸上に挿入したビームスプリ
ッタへ光軸と垂直方向から入射させ、上の物体光と干渉
させる。本発明ではビームスプリッタと一体になったピ
ンホールを用いている。このため、参照光を遮らないよ
うに、物体光が収束する位置にピンホールを置くことが
出来る。ピンホールを置くことによって、レーザー光束
中の高次モードや、レンズのごみなどによる回折波を遮
断することができ、雑音の少ない干渉露光が可能となる
。
以下、実施例により本発明の詳細を示す。
［実施例１］ 第１図は本発明の実施例の構成を示している。
ピンホール５は厚さ１３ｍｍのステンレス製の板に５μ
ｍの穴をあけたもので、ビームスプリッタ６の入射面の
一つに張り合わせて作られており、ピンホール５を通過
する際、レーザ光中の高次モードの光や、レンズについ
たごみによる回折光等の不必要な成分を落とすことがで
きる。ビームスプリッタとピンホールを一体化する方法
として、直接ビームスプリッタにＡ１を蒸着することも
出来る。
［実施例２］ ４４１．６ｎｍの発振波長を持ツＨｅ　−Ｃｄレーザー
１を出た光は、ハーフミラ−２で二つに分割される。一
方の光は、対物レンズ４によってピンホール５上で収束
する。ピンホール５を通過した光は発散光となる。発散
光はピンホール５と一体になったビームスプリッタ６に
入射して反射光と透過光に分かれる。このうち透過して
乾板に入射する光を物体光９として用いる。ハーフミラ
−２で分割されたもう一方の光は側方からビームスプリ
ッタ６に入射する。ビームスプリッタ６で反射光と透過
光に分かれるが、ここでは、反射光のみを参照光１０と
して用いる。物体光９と参照光１０の干渉縞を、感光材
料７を塗布したガラス基板８を用いて記録する。参照光
１０はビームスプリッタ６を用いて物体光９の光軸に導
かれており、インライン型のホログラムレンズの作製が
可能である。°また、参照光１０の経路に対物レンズを
挿入して、収束光をビームスプリッタ６に入射させるこ
とによって発散光を収束光に変換するレンズを作製する
こともできる。
［発明の効果］ 以上述べたように本発明によれば、゛　ピンホール、ビ
ームスプリッタを一体としたことで、光学系を構成する
素子の数を減らすことが出来、また光軸合わせが簡単に
なるという効果を有する。
また、本発明によればピンホール一体型のビームスプリ
ッタを用いることにより雑音の少ないホログラムレンズ
の露光が可能であるという効果を有する。
図である。
１　　　・ ２　　　・ ３　　　・ ４　　　・ ５　　　・ ６　　　・ ７　　　・ ８　　　・ ９　　　・ １０　・ １１　・ １２　・ １３　・ １４　・ レーザー ハーフミラ− フルミラー 対物レンズ ピンホール ビームスプリッタ 感光材料 ガラス基板 物体光 参照光 補助ホログラム 乾板 物体光 参照光
【図面の簡単な説明】

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）ピンホールとビームスプリッタが一体化されたこ
    とを特徴とする光学素子。
  2. （２）干渉露光によってホログラムを記録する光学系に
    おいて、前記光学素子を含むことを特徴とするホログラ
    ム露光方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103336369A (zh) * 2013-07-15 2013-10-02 上海宏盾防伪材料有限公司 一种拍摄同轴全息透镜的光路系统及其方法
CN107894208A (zh) * 2016-10-04 2018-04-10 普莱斯泰克光电子有限公司 光谱共焦距离传感器

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