JPH0475063A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JPH0475063A JPH0475063A JP2187900A JP18790090A JPH0475063A JP H0475063 A JPH0475063 A JP H0475063A JP 2187900 A JP2187900 A JP 2187900A JP 18790090 A JP18790090 A JP 18790090A JP H0475063 A JPH0475063 A JP H0475063A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reticle
- cassette
- stage
- alignment
- reticle cassette
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Library & Information Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、露光装置に関し、例えばウェハステッパ装置
の内部においてレチクルに対するゴミの付着を最小にす
ることが可能なレチクル搬送系を備えた露光装置に関す
るものである ［従来の技術］ 従来、例えばクエハステッパにおけるレチクル搬送系で
は、まずレチクルストッカ内部のレチクルカセットから
レチクルを取り出し、この後このレチクルに表示されて
いるレチクルナンバの読み出しあるいはレチクルのプリ
アライメントを実施し、この後搬入ハントなどによりレ
チクルをレチクルステージ上に移動させるようになって
いた。
の内部においてレチクルに対するゴミの付着を最小にす
ることが可能なレチクル搬送系を備えた露光装置に関す
るものである ［従来の技術］ 従来、例えばクエハステッパにおけるレチクル搬送系で
は、まずレチクルストッカ内部のレチクルカセットから
レチクルを取り出し、この後このレチクルに表示されて
いるレチクルナンバの読み出しあるいはレチクルのプリ
アライメントを実施し、この後搬入ハントなどによりレ
チクルをレチクルステージ上に移動させるようになって
いた。
［発明が解決しようとする課題］
このため、従来のウニハスチッパてはレチクルをレチク
ルカセットから取り出し、レチクルステージ上に移動さ
せる間に、レチクルにゴミか付着する可能性が少なから
ずあった。
ルカセットから取り出し、レチクルステージ上に移動さ
せる間に、レチクルにゴミか付着する可能性が少なから
ずあった。
本発明は、上述の従来例における問題点に鑑み、露光装
置内部におけるレチクルへのゴミの付着を最小限に抑え
ることのできる露光装置を提供することを目的とする。
置内部におけるレチクルへのゴミの付着を最小限に抑え
ることのできる露光装置を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段および作用］上記の目的を
達成するため、本発明に係る露光装置は、露光装置例え
はウェハステッパ内部におけるレチクル搬送は、すべて
レチクルカセットごと行ない、レチクルをレチクルカセ
ットから取り出すのはレチクルステージ上もしくはレチ
クルステージ直前または近傍の位置とすることを特徴と
する。
達成するため、本発明に係る露光装置は、露光装置例え
はウェハステッパ内部におけるレチクル搬送は、すべて
レチクルカセットごと行ない、レチクルをレチクルカセ
ットから取り出すのはレチクルステージ上もしくはレチ
クルステージ直前または近傍の位置とすることを特徴と
する。
また、ウニハスチッパ内部におけるレチクルナンバの読
み出しやプリアライメントなどの処理は、レチクルをレ
チクルカセットに保持したまま、その外部より行なうよ
うにしている。
み出しやプリアライメントなどの処理は、レチクルをレ
チクルカセットに保持したまま、その外部より行なうよ
うにしている。
以上のような構成により、レチクル搬送経路の殆とにお
いて、レチクルはレチクルカセットに収納されているの
で、レチクルにゴミが付着することが最小限に抑えられ
る。
いて、レチクルはレチクルカセットに収納されているの
で、レチクルにゴミが付着することが最小限に抑えられ
る。
［実施例コ
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係る露光装置であるウニ
ハスチッパのレチクル搬送系を示す斜視図である。同図
において、１はレチクル、２はレチクル１を収納するレ
チクルカセットである。レチクルカセット２は、内部に
収納するレチクル１上のレチクルナンバおよびプリアラ
イメントマークが外部から観察可能なように、透明材質
により構成されている。
ハスチッパのレチクル搬送系を示す斜視図である。同図
において、１はレチクル、２はレチクル１を収納するレ
チクルカセットである。レチクルカセット２は、内部に
収納するレチクル１上のレチクルナンバおよびプリアラ
イメントマークが外部から観察可能なように、透明材質
により構成されている。
３はウェハステッパ内においてレチクル１を保持するた
めのレチクルステージ、４はレチクル１をレチクルカセ
ット２から引き出してレチクルステージ３に移動させる
ためのレチクルハンド、５はレチクルカセット２の屏を
開くためのレチクルカセット屏開閉ハンドである。また
、６はレチクルカセットストッカ８からレチクルカセッ
ト２を引き出して顕微鏡対物レンズ７の下まで移動させ
かつレチクルカセット２のレチクルステージ３に対する
位置出しまで実行するＸＹＺθ方向に移動可能なレチク
ルカセットハンド、７はレチクル１上のレチクルナンバ
およびプリアライメントマークを観察するための顕微鏡
対物レンズ、８はレチクルカセット２を複数個収納可能
なレチクルカセットストッカである。
めのレチクルステージ、４はレチクル１をレチクルカセ
ット２から引き出してレチクルステージ３に移動させる
ためのレチクルハンド、５はレチクルカセット２の屏を
開くためのレチクルカセット屏開閉ハンドである。また
、６はレチクルカセットストッカ８からレチクルカセッ
ト２を引き出して顕微鏡対物レンズ７の下まで移動させ
かつレチクルカセット２のレチクルステージ３に対する
位置出しまで実行するＸＹＺθ方向に移動可能なレチク
ルカセットハンド、７はレチクル１上のレチクルナンバ
およびプリアライメントマークを観察するための顕微鏡
対物レンズ、８はレチクルカセット２を複数個収納可能
なレチクルカセットストッカである。
第２図は、本実施例のウェハステッパのレチクル搬送系
周辺の構成を示すブロック図である。
周辺の構成を示すブロック図である。
同図において、１１はウェハステッパ全体をコントロー
ルするＣＰＵ （中央処理装置）、１２はウェハステッ
パを動作させるプログラムなどを記憶しであるメモリで
ある。また、１３はオペレーションパネルに対してデー
タの人出力を行なうオペレーションパネルインターフェ
イス、１４はレチクルカセットハント６をＸＹＺθ方向
に動かすためにパルスモータドライバ２０に対して駆動
指令を出すレチクルカセットハンドインターフェイス、
１５はレチクルカセット屏を開閉させるためにパルスモ
ータドライバ２１に対して駆動指令を出すレチクルカセ
ット扉開閉ハントインターフェイスである。
ルするＣＰＵ （中央処理装置）、１２はウェハステッ
パを動作させるプログラムなどを記憶しであるメモリで
ある。また、１３はオペレーションパネルに対してデー
タの人出力を行なうオペレーションパネルインターフェ
イス、１４はレチクルカセットハント６をＸＹＺθ方向
に動かすためにパルスモータドライバ２０に対して駆動
指令を出すレチクルカセットハンドインターフェイス、
１５はレチクルカセット屏を開閉させるためにパルスモ
ータドライバ２１に対して駆動指令を出すレチクルカセ
ット扉開閉ハントインターフェイスである。
１６はレチクルハンド４をＸＺ方向に動かすためにパル
スモータトライバ２２に対して駆動指令を出すレチクル
ハンドインターフェイス、１７はレチクルステージ３を
ＸＹθ方向に移動させるためにパルスモータトライバ２
３に対して駆動指令を出すレチクルステージインターフ
ェイスである。１８は顕微鏡９の対物レンズにより観察
される画像をＣＣＤカメラ３０または３１を通して入力
し、かつ入力された画像から各種の認識および位置計測
などを行なう画像処理装置である。
スモータトライバ２２に対して駆動指令を出すレチクル
ハンドインターフェイス、１７はレチクルステージ３を
ＸＹθ方向に移動させるためにパルスモータトライバ２
３に対して駆動指令を出すレチクルステージインターフ
ェイスである。１８は顕微鏡９の対物レンズにより観察
される画像をＣＣＤカメラ３０または３１を通して入力
し、かつ入力された画像から各種の認識および位置計測
などを行なう画像処理装置である。
また、２０〜２３は各パルスモータＰＭのドライバであ
り、２６はオペレータか本実施例のウニハスチッパに対
して各種の動作指示を行なうオペレーションパネルであ
る。
り、２６はオペレータか本実施例のウニハスチッパに対
して各種の動作指示を行なうオペレーションパネルであ
る。
以上のようなウェハステッパにおいて、まずオペレータ
は、オペレーションパネル２６から特定レチクルの設定
指示を出す。これに応じて、ＣＰＵ１１はレチクルカセ
ットハンドインターフェイス１４に指令を出し、レチク
ルカセットハンド６をそのレチクルが収納されているレ
チクルカセットストッカ８の位置に移動させる。そして
、レチクルカセットハンド６を、指示されたレチクル１
が入っているレチクルカセット２の高さまで、２方向に
移動させる。この後、このレチクルカセット２を矢印Ａ
のように引き抜かせる。
は、オペレーションパネル２６から特定レチクルの設定
指示を出す。これに応じて、ＣＰＵ１１はレチクルカセ
ットハンドインターフェイス１４に指令を出し、レチク
ルカセットハンド６をそのレチクルが収納されているレ
チクルカセットストッカ８の位置に移動させる。そして
、レチクルカセットハンド６を、指示されたレチクル１
が入っているレチクルカセット２の高さまで、２方向に
移動させる。この後、このレチクルカセット２を矢印Ａ
のように引き抜かせる。
次に、引き抜いたレチクルカセット２を、顕微鏡対物レ
ンズ７の下にまで、矢印Ｂのように移動させる。顕微鏡
対物レンズ７は、レチクルステージ３と所定の位置関係
にある顕微鏡９に取り付けられている。顕微鏡対物レン
ズ７は、レチクル１に付されているレチクルナンバおよ
びプリアライメントマーク（図示せず）の像をＣＣＤカ
メラ３０．３１の撮像面に映し出す。ＣＣＤカメラ３０
．３１により入力したこの画像は、画像処理装置１８に
人力する。
ンズ７の下にまで、矢印Ｂのように移動させる。顕微鏡
対物レンズ７は、レチクルステージ３と所定の位置関係
にある顕微鏡９に取り付けられている。顕微鏡対物レン
ズ７は、レチクル１に付されているレチクルナンバおよ
びプリアライメントマーク（図示せず）の像をＣＣＤカ
メラ３０．３１の撮像面に映し出す。ＣＣＤカメラ３０
．３１により入力したこの画像は、画像処理装置１８に
人力する。
この位置において、ＣＰＵＩＩは、まずレチクル１上の
プリアライメントマークが顕微鏡対物レンズ７の下に来
るようレチクルカセットハントインターフェイス１４に
指令を比す。
プリアライメントマークが顕微鏡対物レンズ７の下に来
るようレチクルカセットハントインターフェイス１４に
指令を比す。
すなわち、まずレチクルカセット２を顕微鏡対物レンズ
７の下まで移動させた後、ＣＰＵＩＩは画像処理装置１
８に２つのＣＣＤカメラ３０１３１からの画像人力およ
びプリアライメントマークの位置計測指令を出す。この
指令に応じて画像処理装置１８は、プリアライメントマ
ークの位置計測を実行し、位置計測結果を出力する。も
し、この位置計測結果が、目標位置に対して許容トレラ
ンス量以上であった場合には、レチクルカセットハンド
インターフェイス１４にＸＹθ方向の補正駆動指令を出
す。以上の処理を繰り返し、レチクルカセット２内のレ
チクル１の位置が、許容トレランス以内になるようにさ
せる。
７の下まで移動させた後、ＣＰＵＩＩは画像処理装置１
８に２つのＣＣＤカメラ３０１３１からの画像人力およ
びプリアライメントマークの位置計測指令を出す。この
指令に応じて画像処理装置１８は、プリアライメントマ
ークの位置計測を実行し、位置計測結果を出力する。も
し、この位置計測結果が、目標位置に対して許容トレラ
ンス量以上であった場合には、レチクルカセットハンド
インターフェイス１４にＸＹθ方向の補正駆動指令を出
す。以上の処理を繰り返し、レチクルカセット２内のレ
チクル１の位置が、許容トレランス以内になるようにさ
せる。
この後、ＣＰＵＩＩはレチクル１上のレチクルナンバが
顕微鏡対物レンズ７の下にくるように、レチクルカセッ
トハンドインターフェイス１４に指令を出す。この指令
に応じて、レチクルカセットハンド６が駆動し、レチク
ル１上のレチクルナンバが顕微鏡対物レンズ７の下に位
置する。
顕微鏡対物レンズ７の下にくるように、レチクルカセッ
トハンドインターフェイス１４に指令を出す。この指令
に応じて、レチクルカセットハンド６が駆動し、レチク
ル１上のレチクルナンバが顕微鏡対物レンズ７の下に位
置する。
この移動後、ＣＰＵＩＩは画像処理装置１８にＣＣＤカ
メラ３０．３１からレチクルナンバの画像人力およびレ
チクルナンバの認識の指令を出す。画像処理装置１８は
、この指令に応じて、レチクルナンバを認識し出力する
。もし、この認識されたレチクルナンバがオペレータに
より指示されたレチクルナンバと一致しない場合には、
動作の中断を行なうと同時に、オペレータに対して警報
を発生する。
メラ３０．３１からレチクルナンバの画像人力およびレ
チクルナンバの認識の指令を出す。画像処理装置１８は
、この指令に応じて、レチクルナンバを認識し出力する
。もし、この認識されたレチクルナンバがオペレータに
より指示されたレチクルナンバと一致しない場合には、
動作の中断を行なうと同時に、オペレータに対して警報
を発生する。
レチクルナンバがオペレータにより指示されたレチクル
ナンバと一致していた場合には、ＣＰＵ１１はこのレチ
クル１で露光を行なう際に必要な色々なパラメータを算
出する。次に、レチクルカセットハンドインターフェイ
ス１４にレチクル１をレチクルステージ３に搬入するの
に必要な所定位置への移動指令を出す。この移動指令に
応じて、レチクルカセットハンド６は、レチクル１をレ
チクルステージ３に搬入するのに必要な所定位置まで移
動する。
ナンバと一致していた場合には、ＣＰＵ１１はこのレチ
クル１で露光を行なう際に必要な色々なパラメータを算
出する。次に、レチクルカセットハンドインターフェイ
ス１４にレチクル１をレチクルステージ３に搬入するの
に必要な所定位置への移動指令を出す。この移動指令に
応じて、レチクルカセットハンド６は、レチクル１をレ
チクルステージ３に搬入するのに必要な所定位置まで移
動する。
レチクルカセットハンド６の移動後、ＣＰＵ１１はレチ
クルカセット扉開閉ハンドインターフェイス１５にレチ
クルカセット２の左側面の扉を開くように指令を出す。
クルカセット扉開閉ハンドインターフェイス１５にレチ
クルカセット２の左側面の扉を開くように指令を出す。
この指令に応じて、レチクルカセット屏開閉ハンドが動
作し、レチクルカセット２の左側面の扉を開く。
作し、レチクルカセット２の左側面の扉を開く。
この動作完了後、ｃｐｕｉｉはレチクルハントインター
フェイス１６にレチクルカセット２内のレチクル１をレ
チクルステージ３上に搬入させる指令を出す。この指令
に応じて、レチクルハンドインターフェイス１６はパル
スモータトライバ２２に駆動指令を出す。
フェイス１６にレチクルカセット２内のレチクル１をレ
チクルステージ３上に搬入させる指令を出す。この指令
に応じて、レチクルハンドインターフェイス１６はパル
スモータトライバ２２に駆動指令を出す。
この駆動指令に応して、レチクルハント４のパルスモー
タが動作し、レチクルハント４はレチクルカセット２の
内部にその先端部を挿入する。この後、レチクルハンド
４は僅かに上昇する。これにより、レチクル１を持ち上
げ、この後矢印Ｃのようにレチクルステージ３側に戻り
下降する。このようにして、レチクルカセット２の内部
にあるレチクル１をレチクルステージ３に搬入する。
タが動作し、レチクルハント４はレチクルカセット２の
内部にその先端部を挿入する。この後、レチクルハンド
４は僅かに上昇する。これにより、レチクル１を持ち上
げ、この後矢印Ｃのようにレチクルステージ３側に戻り
下降する。このようにして、レチクルカセット２の内部
にあるレチクル１をレチクルステージ３に搬入する。
以上のようにして、レチクル１はレチクルステージ３に
搬入される直前までレチクルカセット２内部に保持され
る。したがって、装置内部においてのゴミの付着を最小
にすることが可能となる。
搬入される直前までレチクルカセット２内部に保持され
る。したがって、装置内部においてのゴミの付着を最小
にすることが可能となる。
［他の実施例］
第１図のレチクルカセット２を上下分離タイプとしても
よい。この場合、レチクルステージ３の直前でレチクル
カセット２の下カバーのみ分離し、レチクル１をレチク
ルカセット２の上カバーごとレチクルステージ上に搬入
すればよい。このようにすれば、レチクルステージ３の
直前位置からレチクルステージ３上にレチクル１を移動
させる間における上方からのゴミの落下を妨げるという
利点がある。
よい。この場合、レチクルステージ３の直前でレチクル
カセット２の下カバーのみ分離し、レチクル１をレチク
ルカセット２の上カバーごとレチクルステージ上に搬入
すればよい。このようにすれば、レチクルステージ３の
直前位置からレチクルステージ３上にレチクル１を移動
させる間における上方からのゴミの落下を妨げるという
利点がある。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、レチクルナンバ
の読み出しやプリアライメントなどの処理をレチクルを
レチクルカセットに保持したままで実施し、かつレチク
ルをレチクルカセットごとレチクルステージ上またはレ
チクルステージ直前または近傍の位置まで移動させるよ
うにしているので、レチクルに対する露光装置内部での
ゴミの付着を最小限に抑えることか可能となる。
の読み出しやプリアライメントなどの処理をレチクルを
レチクルカセットに保持したままで実施し、かつレチク
ルをレチクルカセットごとレチクルステージ上またはレ
チクルステージ直前または近傍の位置まで移動させるよ
うにしているので、レチクルに対する露光装置内部での
ゴミの付着を最小限に抑えることか可能となる。
このことは、近年増々微細化要求のためにより小さな（
０，４μｍ程度）ゴミを検出することを要求されている
大型高価なゴミ検査装置を、各々の露光装置に持たせる
必要性をかなり軽減させるものであり、露光装置の小型
化、低コスト化に大きな効果がある。
０，４μｍ程度）ゴミを検出することを要求されている
大型高価なゴミ検査装置を、各々の露光装置に持たせる
必要性をかなり軽減させるものであり、露光装置の小型
化、低コスト化に大きな効果がある。
第１図は、本発明の一実施例に係るウェハステッパのレ
チクル搬送系を示す斜視図、 第２図は、上記実施例のウェハステッパのレチクル搬送
系周辺の構成を示すブロック図である。 １ニレチクル、 ２、レチクルカセット、 ３ニレチクルステージ、 ４ニレチクルハント、 ５ニレチクルカセツト扉開閉ハンド、 ６・レチクルカセットハンド、 ７：顕微鏡対物レンズ、 ８ニレチクルカセツトストツカ、 ９：顕微鏡、 １１：ＣＰＵ。 １２：メモリ、 １３〜１７：各ユニットのインターフェイス、１８：画
像処理装置、 ２０〜２３：パルスモータドライバ、 ２６：オペレーションパネル。
チクル搬送系を示す斜視図、 第２図は、上記実施例のウェハステッパのレチクル搬送
系周辺の構成を示すブロック図である。 １ニレチクル、 ２、レチクルカセット、 ３ニレチクルステージ、 ４ニレチクルハント、 ５ニレチクルカセツト扉開閉ハンド、 ６・レチクルカセットハンド、 ７：顕微鏡対物レンズ、 ８ニレチクルカセツトストツカ、 ９：顕微鏡、 １１：ＣＰＵ。 １２：メモリ、 １３〜１７：各ユニットのインターフェイス、１８：画
像処理装置、 ２０〜２３：パルスモータドライバ、 ２６：オペレーションパネル。
Claims (3)
- （１）レチクルカセットにレチクルを保持したまま、ま
たはレチクルカセットの上側カバーでレチクルを覆った
まま、レチクルステージ直前または近傍位置まで搬入す
る手段と、該レチクルカセットの外部から、内部のレチ
クルのプリアライメントマークを検出して、プリアライ
メントを実行する手段と、 プリアライメント実行後、該レチクルカセット内のレチ
クルを取出し、レチクルステージに搬入する手段と を備えたことを特徴とする露光装置。 - （２）レチクルカセットにレチクルを保持したまま、ま
たはレチクルカセットの上側カバーでレチクルを覆った
まま、レチクルステージ上に搬入する手段と、 該レチクルカセットの外部から、内部のレチクルのプリ
アライメントマークを検出して、プリアライメントを実
行する手段と、 プリアライメント実行後、該レチクルカセット内のレチ
クルを取出し、レチクルステージに載置する手段と を備えたことを特徴とする露光装置。 - （３）さらに、前記レチクルカセット外部より内部のレ
チクルのレチクルナンバを読み取り、レチクルナンバの
確認および／またはレチクルナンバによって決定される
種々のパラメータの設定を自動的に行なう手段を備えた
請求項１または２に記載の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2187900A JPH0475063A (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2187900A JPH0475063A (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | 露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0475063A true JPH0475063A (ja) | 1992-03-10 |
Family
ID=16214164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2187900A Pending JPH0475063A (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0475063A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999003139A1 (en) * | 1997-07-07 | 1999-01-21 | Nikon Corporation | Accommodation case and aligner |
| JP2006146840A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-08 | Canon Inc | 画像データ記録装置 |
| JP2009134348A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-18 | Toshiba Corp | 情報記録装置、情報処理装置、およびアクセス制御方法 |
| US7839489B2 (en) | 2003-10-27 | 2010-11-23 | Asml Netherlands B.V. | Assembly of a reticle holder and a reticle |
| JP2011124591A (ja) * | 2004-10-29 | 2011-06-23 | Nikon Corp | レチクル保護装置及び露光装置 |
| CN103863821A (zh) * | 2012-12-07 | 2014-06-18 | 上海微电子装备有限公司 | 掩膜版传输装置和方法 |
| CN103984208A (zh) * | 2013-02-07 | 2014-08-13 | 上海微电子装备有限公司 | 掩模版传输系统 |
-
1990
- 1990-07-18 JP JP2187900A patent/JPH0475063A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999003139A1 (en) * | 1997-07-07 | 1999-01-21 | Nikon Corporation | Accommodation case and aligner |
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| JP2006146840A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-08 | Canon Inc | 画像データ記録装置 |
| JP2009134348A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-18 | Toshiba Corp | 情報記録装置、情報処理装置、およびアクセス制御方法 |
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| CN103984208A (zh) * | 2013-02-07 | 2014-08-13 | 上海微电子装备有限公司 | 掩模版传输系统 |
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