JPH0475767B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0475767B2 JPH0475767B2 JP11867186A JP11867186A JPH0475767B2 JP H0475767 B2 JPH0475767 B2 JP H0475767B2 JP 11867186 A JP11867186 A JP 11867186A JP 11867186 A JP11867186 A JP 11867186A JP H0475767 B2 JPH0475767 B2 JP H0475767B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- piston
- gasket
- cylinder
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/06—Processes using ultra-high pressure, e.g. for the formation of diamonds; Apparatus therefor, e.g. moulds or dies
- B01J3/065—Presses for the formation of diamonds or boronitrides
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B30—PRESSES
- B30B—PRESSES IN GENERAL
- B30B11/00—Presses specially adapted for forming shaped articles from material in particulate or plastic state, e.g. briquetting presses, tabletting presses
- B30B11/004—Presses specially adapted for forming shaped articles from material in particulate or plastic state, e.g. briquetting presses, tabletting presses involving the use of very high pressures
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
Description
（産業上の利用分野）
本発明はシリンダと複数枚のスペーサで構成さ
れる多段ピストン及び複合多層ガスケツトとから
なる高温高圧装置に関するものである。 （従来の技術及びその問題点） 近年無機材料の製造及び開発に高圧合成法が盛
んに用いられており、特に高圧合成によつてのみ
製造されるダイヤモンドや立方晶窒化硼素はその
すぐれた特性である高硬度、高熱伝導率を利用し
た産業上の用途が拡大している。これらの材料の
合成や焼結には40Kbor以上、1400℃以上の高温
高圧を必要とするので、高温高圧の発生が容易で
耐用回数の多い高温高圧装置は極めて重要となつ
ている。 従来の高温高圧装置はブリツジマンタイプ、コ
ニカルタイプ、多面体アンビルタイプの３型式に
大別できる。ブリツジマンタイプは装置は単純で
あるが高圧を発生できる容積が小さい欠点を有
す。多面体アンビルタイプは静水圧的な高圧は得
られ易いが、装置が大型かつ複雑となり、１回の
高温高圧処理に要するコストが高くなるので実用
に適さない。これらの装置に対してコニカルタイ
プは発生する高圧の限界が他のタイプより低いと
いう欠点を有しているが、ダイヤモンドや立方晶
窒化硼素の合成、焼結に必要とする高圧は十分発
生でき、装置も比較的単純で高圧発生の容積も大
きくできるので実用されている。しかし、コニカ
ルタイプの装置においても安定して高圧を発生で
きること、高圧部の容積を大きくし１回の操作に
よる処理量を多くすること、さらに装置の耐用回
数を増すことなどが合成物のコストダウンに直接
関係するので、今までに装置に関する種々の改良
開発が行なわれている。 本発明の発明者は、既に反応室の容積が大き
く、高圧高温保持中における圧力降下の全くない
高圧高温装置を特公昭54−12261号公報において
提案している。本発明者はさらにその装置につい
て詳細な研究を行なつた結果、１段目のスペーサ
及びガスケツトの寸法を最適化することにより、
前記装置よりもさらに大型の高温高圧装置を開発
することが可能となることを見出した。すなわ
ち、複数のスペーサのうち１段目スペーサのピス
トン押圧面に対する面積率を70〜90％としたスペ
ーサ、および好ましくは金属ガスケツトの肉厚を
全ガスケツトの肉厚に対して15〜25％とした複合
ガスケツトを用いることにより、高圧発生の容積
が大で、Biの高圧転移点である7.7GPaを安定し
て発生でき、数百回に及ぶ高圧合成処理を可能と
する高温高圧装置を完成した。 （問題点を解決するための手段） 本発明の高温高圧装置は、シリンダとピスト
ン、シリンダとピストンの間隙に使用するガスケ
ツトおよびピストンからの圧力を伝達する複数の
円板状スペーサからなる高温高圧装置において、
ピストンに接する１段目スペーサのピストン押圧
面に対する面積率を70％〜90％とすることを特徴
とするものである。 （作用） 本発明の高温高圧装置の一実施例の断面は、第
１図に示すようにシリンダ１、ピストン２、ガス
ケツト３、スペーサ４、ホルダ５、ヒータ６、試
料７から構成される。シリンダ１は圧入または焼
ばめで補強された多層構造からなり、45゜のテー
パーを有する部分はWC−Co合金よりなる。ピス
トン２は質量支持の原理に基づく90゜の円錐角を
持つ截頭円錐台のWC−Co合金よりなる。ガスケ
ツト３は逐次加圧の原理に基づく圧縮性と発生圧
力の封止を兼ね備えるためテフロン、セラミツ
ク、金属、セラミツク、テフロンの５層よりなる
複合材である。スペーサ４−１〜４−３はピスト
ンの圧力を試料７に伝達すると共に試料に圧力を
集中させるもので、WC−Co合金や工具鋼からな
る。ホルダ５は圧力媒体として圧力の伝達及び均
一化に役立つと共に、試料７の加熱の場合にシリ
ンダの断熱と絶縁に必要であり、パイロフイライ
トタルクなどのセラミツク質あるいは塩化物、ハ
ライトなどの塩類からなる。ヒータ６は電流を通
じることにより発熱して試料７を高温とするため
のもので黒鉛質炭素あるいは金属抵抗体からな
る。 本発明は大型の高温高圧装置においてそのスペ
ーサ及びガスケツトの最適寸法を提供するもの
で、その限定理由は以下の通りである。まずスペ
ーサはピストンの圧力を試料に伝達すると共に集
中して高圧を発生させるものであり、シリンダの
内径が小さい場合（φ16mm以下）、本発明者が既
に提案している幾何学的に限定されたスペーサを
用いることにより十分高圧を発生させることがで
きた。しかしシリンダがφ24mm程度の大型となる
と幾何学的な限定だけでは不十分で１段目のスペ
ーサのピストン押圧面積に対する比がある値以上
でないと高圧の限界が高くならないことが明らか
となつた。 すなわち１段目のスペーサの面積がピストン押
圧面積の70％より小さくなると、プレス荷重を高
くしても7.7GPaの高圧を発生させることができ
ず、敢えて発生させようとするとシリンダやピス
トンの破壊を招くことが明らかとなつた。一方、
１段目のスペーサーの面積がピストン押圧面積の
90％よりも大きくなると、シリンダに加わる円周
方向の引張応力が増大してシリンダの破壊が生じ
た。以上の結果より１段目のスペーサのピストン
押圧面に対する面積率は70〜90％が最適であつ
た。 さらに、高圧を安定して発生できる装置の耐用
回数を延ばすにはスペーサの面積率だけでなく、
ガスケツトの構造が重要であることがわかつた。
プレスの荷重がピストンに加わり、上下のピスト
ンが変位してシリンダとの間隙が小さくなり、ス
ペーサを介して試料及びホルダが圧縮されて高圧
を発生する。ガスケツトがない場合にはピストン
とシリンダとの間隙よりホルダが流出して高圧が
発生できず、ホルダの流出を防止するためピスト
ンとシリンダを接触させてプレスの荷重を加える
と、シリンダあるいはピストンが破壊する。その
ためガスケツトの役割の１つは発生圧力を封止す
ることにありガスケツト材は剪断力の大きい材料
でなければならない。 一方、ピストンの変位により高圧を発生するた
めにはガスケツト材は圧縮変形し易い材料である
ことが必要である。第２図に示すようにピストン
の変位量と発生圧力とは直線的な関係があり、ピ
ストンの変位量が増す程最高発生圧力が高くな
る。圧力封止には剪断力が大きい方がよく、高圧
力の発生には圧縮変形し易い方がよいという相反
する特性がガスケツトに要求されるので、ガスケ
ツト材料は単一物質よりも複合多層材が適してお
り、例えばテフロン、パイロフイライト、鋼、焼
成パイロフイライト、テフロンの５層からなるガ
スケツトが知られている。この５層ガスケツトに
おいて、テフロンには圧力封止の効果はないがガ
スケツト全体の圧縮変形を均一化しており、パイ
ロフイライトは圧縮変形の量を支配し、鋼ガスケ
ツトは加圧初期におけるパイロフイライトの大き
な圧縮変形をおさえて高圧発生までの圧縮変形を
維持するものである。 しかし、ガスケツトの圧縮変形にはパイロフイ
ライトだけでなく鋼ガスケツトも同時に変形する
ので、鋼ガスケツトが薄い場合には変形によつて
破壊し、ガスケツトの変形が不均一となるためシ
リンダ及びピストンの補強力に偏りが生じて高温
高圧装置の耐用回数を短くしていた。そこで鋼ガ
スケツトの肉厚について研究した結果、全ガスケ
ツトに対する鋼ガスケツトの肉厚を15％より小さ
くすると、高圧時に破壊が激しくて装置の損傷を
生じ易く、25％より大きくなるとガスケツトの剪
断力が増して圧縮性が低下し、鋼ガスケツトの全
ガスケツトに対する肉厚は５〜15％が大型高温高
圧装置では適正であることがわかつた。 （実施例） 以下、実際の例について説明する。 実施例 １ WC−Co合金製の内径φ24mmのシリンダと、同
質の押圧面の直径がφ20mmのピストンと、１段目
のスペーサをφ17mm×５mm（72％）、φ18×５mm
（81％）、φ19×５mm（90％）の３種類の１段目用
スペーサと、比較してφ16×５mm（64％）の１段
目用スペーサとさらに第２段目用としてのスペー
サをφ14×３mm、第３段目用としてのスペーサを
φ12×２mmを用意して、第１図に記載した構造に
高温高圧装置を構成した。なお上記（ ）中の値
は、１段目スペーサのピストン押圧面に対する面
積率である。また、ガスケツトは0.2mm厚のテフ
ロン２枚、１mm厚のパイロフイライト、１mm厚の
焼成パイロフイライト、0.6mm厚の鋼の５枚をシ
リンダ側よりテフロン、パイロフイライト、はが
ね焼成パイロフイライト、テフロンの順に５層重
ねて用いた。 ピストンを加圧したときの発生圧力は、 AgClブロツク中にBi、Tl、Baの線材を挿入
し、Bi−（2.56GPa）、Tl−
（3.67GPa）、Ba−（5.5GPa）、Bi−
（7.7GPa）の相転移にともなう電気抵抗変化から
求めた。相転移圧とプレス荷重の関係を第１表に
示す。
れる多段ピストン及び複合多層ガスケツトとから
なる高温高圧装置に関するものである。 （従来の技術及びその問題点） 近年無機材料の製造及び開発に高圧合成法が盛
んに用いられており、特に高圧合成によつてのみ
製造されるダイヤモンドや立方晶窒化硼素はその
すぐれた特性である高硬度、高熱伝導率を利用し
た産業上の用途が拡大している。これらの材料の
合成や焼結には40Kbor以上、1400℃以上の高温
高圧を必要とするので、高温高圧の発生が容易で
耐用回数の多い高温高圧装置は極めて重要となつ
ている。 従来の高温高圧装置はブリツジマンタイプ、コ
ニカルタイプ、多面体アンビルタイプの３型式に
大別できる。ブリツジマンタイプは装置は単純で
あるが高圧を発生できる容積が小さい欠点を有
す。多面体アンビルタイプは静水圧的な高圧は得
られ易いが、装置が大型かつ複雑となり、１回の
高温高圧処理に要するコストが高くなるので実用
に適さない。これらの装置に対してコニカルタイ
プは発生する高圧の限界が他のタイプより低いと
いう欠点を有しているが、ダイヤモンドや立方晶
窒化硼素の合成、焼結に必要とする高圧は十分発
生でき、装置も比較的単純で高圧発生の容積も大
きくできるので実用されている。しかし、コニカ
ルタイプの装置においても安定して高圧を発生で
きること、高圧部の容積を大きくし１回の操作に
よる処理量を多くすること、さらに装置の耐用回
数を増すことなどが合成物のコストダウンに直接
関係するので、今までに装置に関する種々の改良
開発が行なわれている。 本発明の発明者は、既に反応室の容積が大き
く、高圧高温保持中における圧力降下の全くない
高圧高温装置を特公昭54−12261号公報において
提案している。本発明者はさらにその装置につい
て詳細な研究を行なつた結果、１段目のスペーサ
及びガスケツトの寸法を最適化することにより、
前記装置よりもさらに大型の高温高圧装置を開発
することが可能となることを見出した。すなわ
ち、複数のスペーサのうち１段目スペーサのピス
トン押圧面に対する面積率を70〜90％としたスペ
ーサ、および好ましくは金属ガスケツトの肉厚を
全ガスケツトの肉厚に対して15〜25％とした複合
ガスケツトを用いることにより、高圧発生の容積
が大で、Biの高圧転移点である7.7GPaを安定し
て発生でき、数百回に及ぶ高圧合成処理を可能と
する高温高圧装置を完成した。 （問題点を解決するための手段） 本発明の高温高圧装置は、シリンダとピスト
ン、シリンダとピストンの間隙に使用するガスケ
ツトおよびピストンからの圧力を伝達する複数の
円板状スペーサからなる高温高圧装置において、
ピストンに接する１段目スペーサのピストン押圧
面に対する面積率を70％〜90％とすることを特徴
とするものである。 （作用） 本発明の高温高圧装置の一実施例の断面は、第
１図に示すようにシリンダ１、ピストン２、ガス
ケツト３、スペーサ４、ホルダ５、ヒータ６、試
料７から構成される。シリンダ１は圧入または焼
ばめで補強された多層構造からなり、45゜のテー
パーを有する部分はWC−Co合金よりなる。ピス
トン２は質量支持の原理に基づく90゜の円錐角を
持つ截頭円錐台のWC−Co合金よりなる。ガスケ
ツト３は逐次加圧の原理に基づく圧縮性と発生圧
力の封止を兼ね備えるためテフロン、セラミツ
ク、金属、セラミツク、テフロンの５層よりなる
複合材である。スペーサ４−１〜４−３はピスト
ンの圧力を試料７に伝達すると共に試料に圧力を
集中させるもので、WC−Co合金や工具鋼からな
る。ホルダ５は圧力媒体として圧力の伝達及び均
一化に役立つと共に、試料７の加熱の場合にシリ
ンダの断熱と絶縁に必要であり、パイロフイライ
トタルクなどのセラミツク質あるいは塩化物、ハ
ライトなどの塩類からなる。ヒータ６は電流を通
じることにより発熱して試料７を高温とするため
のもので黒鉛質炭素あるいは金属抵抗体からな
る。 本発明は大型の高温高圧装置においてそのスペ
ーサ及びガスケツトの最適寸法を提供するもの
で、その限定理由は以下の通りである。まずスペ
ーサはピストンの圧力を試料に伝達すると共に集
中して高圧を発生させるものであり、シリンダの
内径が小さい場合（φ16mm以下）、本発明者が既
に提案している幾何学的に限定されたスペーサを
用いることにより十分高圧を発生させることがで
きた。しかしシリンダがφ24mm程度の大型となる
と幾何学的な限定だけでは不十分で１段目のスペ
ーサのピストン押圧面積に対する比がある値以上
でないと高圧の限界が高くならないことが明らか
となつた。 すなわち１段目のスペーサの面積がピストン押
圧面積の70％より小さくなると、プレス荷重を高
くしても7.7GPaの高圧を発生させることができ
ず、敢えて発生させようとするとシリンダやピス
トンの破壊を招くことが明らかとなつた。一方、
１段目のスペーサーの面積がピストン押圧面積の
90％よりも大きくなると、シリンダに加わる円周
方向の引張応力が増大してシリンダの破壊が生じ
た。以上の結果より１段目のスペーサのピストン
押圧面に対する面積率は70〜90％が最適であつ
た。 さらに、高圧を安定して発生できる装置の耐用
回数を延ばすにはスペーサの面積率だけでなく、
ガスケツトの構造が重要であることがわかつた。
プレスの荷重がピストンに加わり、上下のピスト
ンが変位してシリンダとの間隙が小さくなり、ス
ペーサを介して試料及びホルダが圧縮されて高圧
を発生する。ガスケツトがない場合にはピストン
とシリンダとの間隙よりホルダが流出して高圧が
発生できず、ホルダの流出を防止するためピスト
ンとシリンダを接触させてプレスの荷重を加える
と、シリンダあるいはピストンが破壊する。その
ためガスケツトの役割の１つは発生圧力を封止す
ることにありガスケツト材は剪断力の大きい材料
でなければならない。 一方、ピストンの変位により高圧を発生するた
めにはガスケツト材は圧縮変形し易い材料である
ことが必要である。第２図に示すようにピストン
の変位量と発生圧力とは直線的な関係があり、ピ
ストンの変位量が増す程最高発生圧力が高くな
る。圧力封止には剪断力が大きい方がよく、高圧
力の発生には圧縮変形し易い方がよいという相反
する特性がガスケツトに要求されるので、ガスケ
ツト材料は単一物質よりも複合多層材が適してお
り、例えばテフロン、パイロフイライト、鋼、焼
成パイロフイライト、テフロンの５層からなるガ
スケツトが知られている。この５層ガスケツトに
おいて、テフロンには圧力封止の効果はないがガ
スケツト全体の圧縮変形を均一化しており、パイ
ロフイライトは圧縮変形の量を支配し、鋼ガスケ
ツトは加圧初期におけるパイロフイライトの大き
な圧縮変形をおさえて高圧発生までの圧縮変形を
維持するものである。 しかし、ガスケツトの圧縮変形にはパイロフイ
ライトだけでなく鋼ガスケツトも同時に変形する
ので、鋼ガスケツトが薄い場合には変形によつて
破壊し、ガスケツトの変形が不均一となるためシ
リンダ及びピストンの補強力に偏りが生じて高温
高圧装置の耐用回数を短くしていた。そこで鋼ガ
スケツトの肉厚について研究した結果、全ガスケ
ツトに対する鋼ガスケツトの肉厚を15％より小さ
くすると、高圧時に破壊が激しくて装置の損傷を
生じ易く、25％より大きくなるとガスケツトの剪
断力が増して圧縮性が低下し、鋼ガスケツトの全
ガスケツトに対する肉厚は５〜15％が大型高温高
圧装置では適正であることがわかつた。 （実施例） 以下、実際の例について説明する。 実施例 １ WC−Co合金製の内径φ24mmのシリンダと、同
質の押圧面の直径がφ20mmのピストンと、１段目
のスペーサをφ17mm×５mm（72％）、φ18×５mm
（81％）、φ19×５mm（90％）の３種類の１段目用
スペーサと、比較してφ16×５mm（64％）の１段
目用スペーサとさらに第２段目用としてのスペー
サをφ14×３mm、第３段目用としてのスペーサを
φ12×２mmを用意して、第１図に記載した構造に
高温高圧装置を構成した。なお上記（ ）中の値
は、１段目スペーサのピストン押圧面に対する面
積率である。また、ガスケツトは0.2mm厚のテフ
ロン２枚、１mm厚のパイロフイライト、１mm厚の
焼成パイロフイライト、0.6mm厚の鋼の５枚をシ
リンダ側よりテフロン、パイロフイライト、はが
ね焼成パイロフイライト、テフロンの順に５層重
ねて用いた。 ピストンを加圧したときの発生圧力は、 AgClブロツク中にBi、Tl、Baの線材を挿入
し、Bi−（2.56GPa）、Tl−
（3.67GPa）、Ba−（5.5GPa）、Bi−
（7.7GPa）の相転移にともなう電気抵抗変化から
求めた。相転移圧とプレス荷重の関係を第１表に
示す。
【表】
第１表の結果から明らかなように7.7GPaの高
圧は第１段目のスペーサの径が大きくなる程プレ
ス荷重は低くても発生でき、比較に用いたφ16mm
のスペーサでは5.5GPaの高圧も発生困難であつ
た。 実施例 ２ 実施例１におけるシリンダとピストンを用い
て、0.2mm厚のテフロン、１mm厚のパイロフイラ
イト、１mm厚の焼成パイロフイライトと、0.6mm、
0.8mmの厚さの鋼、比較として0.4mm、1.0mm厚さの
鋼のガスケツトを用意し、シリンダ側よりテフロ
ン、パイロフイライト、鋼、焼成パイロフイライ
ト、テフロンの５層にしてシリンダとピストンの
間隙に装填し、ピストンに荷重を加え、ピストン
の変位量と鋼ガスケツトが破壊した荷重を測定し
た。その結果は第２表に示すように、0.4mm厚さ
の鋼ガスケツトは25tonの荷重で破壊し、一方１
mm厚さの鋼ガスケツトは破壊荷重は高かつたがピ
ストンの変位量が小さく、高圧の発生が困難とな
つた。
圧は第１段目のスペーサの径が大きくなる程プレ
ス荷重は低くても発生でき、比較に用いたφ16mm
のスペーサでは5.5GPaの高圧も発生困難であつ
た。 実施例 ２ 実施例１におけるシリンダとピストンを用い
て、0.2mm厚のテフロン、１mm厚のパイロフイラ
イト、１mm厚の焼成パイロフイライトと、0.6mm、
0.8mmの厚さの鋼、比較として0.4mm、1.0mm厚さの
鋼のガスケツトを用意し、シリンダ側よりテフロ
ン、パイロフイライト、鋼、焼成パイロフイライ
ト、テフロンの５層にしてシリンダとピストンの
間隙に装填し、ピストンに荷重を加え、ピストン
の変位量と鋼ガスケツトが破壊した荷重を測定し
た。その結果は第２表に示すように、0.4mm厚さ
の鋼ガスケツトは25tonの荷重で破壊し、一方１
mm厚さの鋼ガスケツトは破壊荷重は高かつたがピ
ストンの変位量が小さく、高圧の発生が困難とな
つた。
【表】
（発明の効果）
以上詳細に説明したところから明らかなよう
に、本発明の高温高圧装置によれば、φ24mm以上
のシリンダ径を有する高温高圧装置において、
Biの高圧転移圧力である7.7GPa以上の高圧を安
定して発生できる。また、１回の高圧高温操作に
おいて多量の合成品を得ることができる大容量の
高温高圧装置が開発できるとともに、その耐用回
数を増すことができるため、高価なダイヤモン
ド、立方晶窒化硼素の合成あるいは焼成品のコス
トダウンをはかることができる。
に、本発明の高温高圧装置によれば、φ24mm以上
のシリンダ径を有する高温高圧装置において、
Biの高圧転移圧力である7.7GPa以上の高圧を安
定して発生できる。また、１回の高圧高温操作に
おいて多量の合成品を得ることができる大容量の
高温高圧装置が開発できるとともに、その耐用回
数を増すことができるため、高価なダイヤモン
ド、立方晶窒化硼素の合成あるいは焼成品のコス
トダウンをはかることができる。
第１図は本発明のコニカルタイプの高温高圧装
置の縦断面図、第２図はアンビル変位と発生圧力
の関係を測定した結果を示すグラフである。 １……シリンダ、２……ピストン、３……ガス
ケツト、４−１〜４−３……スペーサ、５……ホ
ルダ、６……ヒータ、７……試料。
置の縦断面図、第２図はアンビル変位と発生圧力
の関係を測定した結果を示すグラフである。 １……シリンダ、２……ピストン、３……ガス
ケツト、４−１〜４−３……スペーサ、５……ホ
ルダ、６……ヒータ、７……試料。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ シリンダとピストン、シリンダとピストンの
間隙に使用するガスケツトおよびピストンからの
圧力を伝達する複数の円板状スペーサからなる高
温高圧装置において、ピストンに接する１段目ス
ペーサのピストン押圧面に対する面積率を70％〜
90％とすることを特徴とする高温高圧装置。 ２ 前記ガスケツトをテフロン、セラミツク、金
属からなる複合多層ガスケツトとすると共に、金
属ガスケツトの肉厚を全ガスケツトの肉厚に対し
て15〜25％とする特許請求の範囲第１項記載の高
温高圧装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11867186A JPS62277143A (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 | 高温高圧装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11867186A JPS62277143A (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 | 高温高圧装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62277143A JPS62277143A (ja) | 1987-12-02 |
| JPH0475767B2 true JPH0475767B2 (ja) | 1992-12-01 |
Family
ID=14742329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11867186A Granted JPS62277143A (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 | 高温高圧装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62277143A (ja) |
-
1986
- 1986-05-23 JP JP11867186A patent/JPS62277143A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62277143A (ja) | 1987-12-02 |
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