JPH0475862A - マルチワイヤ式切断装置 - Google Patents
マルチワイヤ式切断装置Info
- Publication number
- JPH0475862A JPH0475862A JP18975790A JP18975790A JPH0475862A JP H0475862 A JPH0475862 A JP H0475862A JP 18975790 A JP18975790 A JP 18975790A JP 18975790 A JP18975790 A JP 18975790A JP H0475862 A JPH0475862 A JP H0475862A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- bobbin
- winding
- tension
- pulley
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- Pending
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Tension Adjustment In Filamentary Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［産業上の利用分前］
本発明は゛１″、導体材旧その他の硬脆性または維削性
の材料を薄板状に切断するためのマルチワイヤ式切断装
置、詳１．＜はワイヤに発生ずる瞬間的な高張力を緩和
し、τ断線を防１トする機能な共λでいる切断装置も一
関するものである。 ［従来の技術１ 例えば半導体材料から集積回路用のウェハな切出すため
、−・本のワイヤを平行に多重配列して同一方向へ往復
走行させることし−よって多数枚の薄板に同時切断する
装置が用いられている。 この装置は例えば実公昭５５
−ｆｉ２８０号、特公昭５６−１．９９号、特開平２−
４８１６３号公報に見られるＪ２うに、ワイヤの繰出ボ
ビンと巻取ボビンとの間に切断部を挾んで定張力機構を
設置１−１切断部におい゛〔二個の多溝滑車の間で等間
隔且つ平行に多重配列させたワイヤを一定張力に保持し
て同一方向へ往復走行させることによって材料を切断す
るものである。 ワイヤは往復走行しながら全体として少しずつ繰出ボビ
ンから巻取ボビンへと移動し、従って二つのボビンはワ
イヤの巻取りと繰出しとを繰返す。この場合、ワイヤは
ボビンに均一に巻取られるのが好ましく、そのために各
ボビンと定張力機構との間にトラバーサを設置している
が、トラバーサの移動速度その他の要因によって均一に
巻取られないことがある。従って、定回転速度で回転し
ているボビンにトラバーサを経てワイヤが巻取られてい
るとき、巻き径の小さい部分から大きい部分へワイヤが
移行すると周速度が大きいために引張り速度が上昇し、
そのために張力が瞬間的に高くなる。繰出ボビンにおい
ては復行時に巻取ったワイヤは次の往行時に完全に繰出
されるので巻取り不均一は加算されないが、巻取ボビン
においては往行時に巻取ったワイヤが復行時に繰出され
るワイヤよりも多いので巻取り不均一が加算され瞬間的
な高張力を発生しやすくなる。 また、ボビン自身も回転中心が偏心していると一回転毎
にワイヤの張力を変動させるので、巻取り不均一と同調
して更に高張力を発生させることがある。 一方、定張力機構はワイヤの張力変動を検知してサーボ
モータにより変動を吸収する方向へ動作させられるもの
であり、瞬間的に発生消滅する高張力に対応することが
できない。 ［発明が解決しようとする課題］ 本発明が解決しようとする課題は、マルチワイヤ式切断
装置において繰出ボビンや巻取ボビン殊に巻取ボビンに
基因してワイヤに発生する瞬間的な高張力を緩和するこ
とができない、という点である。 即ち、本発明はボビンに巻取り不均一や偏心があっても
ワイヤの瞬間的な高張力を緩和できるマルチワイヤ式切
断装置を提供しようとするものである。
の材料を薄板状に切断するためのマルチワイヤ式切断装
置、詳１．＜はワイヤに発生ずる瞬間的な高張力を緩和
し、τ断線を防１トする機能な共λでいる切断装置も一
関するものである。 ［従来の技術１ 例えば半導体材料から集積回路用のウェハな切出すため
、−・本のワイヤを平行に多重配列して同一方向へ往復
走行させることし−よって多数枚の薄板に同時切断する
装置が用いられている。 この装置は例えば実公昭５５
−ｆｉ２８０号、特公昭５６−１．９９号、特開平２−
４８１６３号公報に見られるＪ２うに、ワイヤの繰出ボ
ビンと巻取ボビンとの間に切断部を挾んで定張力機構を
設置１−１切断部におい゛〔二個の多溝滑車の間で等間
隔且つ平行に多重配列させたワイヤを一定張力に保持し
て同一方向へ往復走行させることによって材料を切断す
るものである。 ワイヤは往復走行しながら全体として少しずつ繰出ボビ
ンから巻取ボビンへと移動し、従って二つのボビンはワ
イヤの巻取りと繰出しとを繰返す。この場合、ワイヤは
ボビンに均一に巻取られるのが好ましく、そのために各
ボビンと定張力機構との間にトラバーサを設置している
が、トラバーサの移動速度その他の要因によって均一に
巻取られないことがある。従って、定回転速度で回転し
ているボビンにトラバーサを経てワイヤが巻取られてい
るとき、巻き径の小さい部分から大きい部分へワイヤが
移行すると周速度が大きいために引張り速度が上昇し、
そのために張力が瞬間的に高くなる。繰出ボビンにおい
ては復行時に巻取ったワイヤは次の往行時に完全に繰出
されるので巻取り不均一は加算されないが、巻取ボビン
においては往行時に巻取ったワイヤが復行時に繰出され
るワイヤよりも多いので巻取り不均一が加算され瞬間的
な高張力を発生しやすくなる。 また、ボビン自身も回転中心が偏心していると一回転毎
にワイヤの張力を変動させるので、巻取り不均一と同調
して更に高張力を発生させることがある。 一方、定張力機構はワイヤの張力変動を検知してサーボ
モータにより変動を吸収する方向へ動作させられるもの
であり、瞬間的に発生消滅する高張力に対応することが
できない。 ［発明が解決しようとする課題］ 本発明が解決しようとする課題は、マルチワイヤ式切断
装置において繰出ボビンや巻取ボビン殊に巻取ボビンに
基因してワイヤに発生する瞬間的な高張力を緩和するこ
とができない、という点である。 即ち、本発明はボビンに巻取り不均一や偏心があっても
ワイヤの瞬間的な高張力を緩和できるマルチワイヤ式切
断装置を提供しようとするものである。
二個の多溝滑車に一本のワイヤを平行に多重配列した切
断部と、その前後に配置した定張力機構と、更にそれら
の前後に設置したワイヤの繰出ボビンおよび巻取ボビン
とを具えているマルチワイヤ式切断装置がもっている前
記課題を解決するための手段として、繰出ボビンと前方
の定張力機構との間および後方の定張力機構と巻取ボビ
ンとの間の少なくとも後者の間の部分に弾性材料によっ
て直径方向へ移動自由とされた張力吸収用の滑車を設置
した。 ［作 用 １ 定張力機構から巻取ボビンまたは繰出ボビンへ向かって
ワイヤが走行してこれらに巻取られているとき、ワイヤ
は定張力機構によって一定張力となっているが、ボビン
の巻き径の大きい部分或いは偏心による大径部分に導入
されるとき周速度が大きいため高速度で引張られ、その
ために張力が瞬間的に高くなる。このとき、ワイヤは弾
性材料の弾性力にうち勝って滑車を弓張り移動させ、滑
車とボビンとの間のワイヤ長さを短かくして高速度の引
張りによる巻取り量の増加に対応させることによって高
張力を緩和する。 ［実施例］ 図面を参照して本発明の詳細な説明する。 互いに平行な二個の多溝滑車２．３を水平面
断部と、その前後に配置した定張力機構と、更にそれら
の前後に設置したワイヤの繰出ボビンおよび巻取ボビン
とを具えているマルチワイヤ式切断装置がもっている前
記課題を解決するための手段として、繰出ボビンと前方
の定張力機構との間および後方の定張力機構と巻取ボビ
ンとの間の少なくとも後者の間の部分に弾性材料によっ
て直径方向へ移動自由とされた張力吸収用の滑車を設置
した。 ［作 用 １ 定張力機構から巻取ボビンまたは繰出ボビンへ向かって
ワイヤが走行してこれらに巻取られているとき、ワイヤ
は定張力機構によって一定張力となっているが、ボビン
の巻き径の大きい部分或いは偏心による大径部分に導入
されるとき周速度が大きいため高速度で引張られ、その
ために張力が瞬間的に高くなる。このとき、ワイヤは弾
性材料の弾性力にうち勝って滑車を弓張り移動させ、滑
車とボビンとの間のワイヤ長さを短かくして高速度の引
張りによる巻取り量の増加に対応させることによって高
張力を緩和する。 ［実施例］ 図面を参照して本発明の詳細な説明する。 互いに平行な二個の多溝滑車２．３を水平面
【・に置い
てそれらの間の部分を切断部５とするとともに、その上
方部分゛に別の多溝滑車４を置いて原動機６により往復
回転駆動するよう各−し、月つこれらの多溝滑車２．３
．４を巻掛伝動機構７により同一方向へ同一速度で回転
させるようになっている。 切断部すの前後には繰出ボビン８と巻取ボビン１０とが
設置され、それぞれ原動４ｊ！９．１１によって往復回
転駆動されるとともに、繰出ボビン８と第一・の多溝滑
車２との間にトラバーづ１２、定置ローラ１３とダンサ
口・−ラ１４とを有する定張力機構１５、力向象゛換用
の滑車１７が順に配置されていて、繰出ボビン８から繰
出されたワイヤ１が前記の順に巻掛けられた後にと観の
多溝滑車２．３．４に多重に巻掛けられ、殊に切断部５
を形成する多溝滑車２．３の間で等間際且つ平行に配列
されている。また、第二の多溝滑車３と巻取ボビン１０
との間には方向変換用の滑車１８、定置ローラＸ９とダ
ンザローラ２０とを有する定張力機構２１、トラバーサ
２３が順に配置Ｊ３れていて、ワイヤ】は更に前記の順
に巻掛りられｊ二接に巻取ボビン１０に巻取られる。 各原動Ｒ６，９，１１は同調して正逆転し、ワイヤ１を
往復走行させながら全体として少しずつ繰出ボビン８か
ら巻取ボビン】０へ移動さぜ、切断部すで同一方向へ同
一速度で往復する多重配列のワイヤ１により材料を多数
枚の薄片に同時切断する。 このどき、繰出ボビン８と巻取ボビン１０とにはワイヤ
１が復行時および往行時にそれぞれ巻取られるが、これ
らの中心軸線と平行な方向へ往復移動するトラバー（ｊ
”］２．２３によって均一に巻取られるように１．でい
る。しかしながら、実際にｌｉ ｌ−ラパーザ１２．２
３の移動速度、繰出ボビン８ベフ巻取ボビン１０の加減
速度の大きさなとの要因によって均一に巻取られないこ
とがあり、ボビン中央部に多く巻かれたりボビン両端部
に多く巻かれたりする。繰出ボビン８においては復行時
に巻取ったワイヤ１の全部を次の往行時に繰出すので巻
取り不均一・は加算されず熟視できるが、巻取ボビン】
０においては往行時に巻取っｊニワイヤの一部が次の復
行時に残って次第に蓄積されるので巻取り不均一が加算
される。また、繰出ボビン８および巻取ボビン１０の回
転中心が偏心ｌ−でいるとワイヤ１の導入接触点の周速
度が−・回転鋸に変動する。 そして、巻取り不均一によって生じた巻き径の大きい部
分、或いは回転中心の偏心によって生じた大径部分にワ
イヤ１が導入されるとき、周速度が大きいｊ：めに高速
度で引張られ張力が瞬間的に高くなる。 一方、定張力機構１５．２１のダンザローラ１４．２０
はそれぞれ原動機１６ａ、 ２２ａによって往復回転す
るドラムＩＢｂ、２２ｂに巻かれたワイヤ１．６ｅ、２
２ｅに吊下げられており、ワイヤ】が走行方向を反転す
る度に入れ替わる弛緩側と緊張側との張力変動を吸収１
〜、切断部５の前後で一定張力を紛持するように−１−
下動させられる。従って、機能的に瞬間的な高張力を吸
収し緩和させることができない。 本実施例によると、切断部５の前方のトラバーサ１２と
定張力機構１５との間の部分、および後方の定張力機構
２１とトラバーサ２３との間の部分にそれぞれ張力吸収
用の滑車２４．２９が配置されており、トラバーサ１２
を出たワイヤ１は固定滑車２５、滑車２４、固定滑車２
６に順に巻掛けられて定張力機構１５に達し、定張力機
構２１を出たワイヤは固定滑車３０、滑車２９、固定滑
車３１の順に巻掛けられてトラバーサ２３に達している
。滑車２４．２９はそれぞれを回転自由に支持した支持
枠２７．３２を引張コイルばねからなる弾性部拐２８．
３３で吊下げることによって直径方向即ち上下方向へ移
動自由とされている。 これらの滑車２４．２９は自重および下方へ延びるワイ
ヤ１の張力と弾性部材２８．３３の弾性力とが平衡した
位置に置かれて定張力機構１５．２１で一定張力に調整
したワイヤ１を繰出ボビン８、巻取ボビン１０に巻取ら
せている。このとき、前記の原因によって繰出ボビン８
側または巻取ボビン１０側で瞬間的な高張力を発生する
と、ワイヤ１は弾性部材２８．３３の弾性力にうち勝っ
て滑車２４．２９を引張り下方へ移動させ、それらと繰
出ボビン８または巻取ボビン１０との間のワイヤ長さを
短かくして高速度の引張りによる巻取り景の増加に対応
させる。周速度が低下すると張力も低下するので滑車２
４．２９は最初の位置に戻る。 尚、装置全体の配置によっては滑車２４．２９を傾斜ま
たは水平に配置して適宜の案内に沿って支持枠２７．３
２を移動させるようにしてもよく、また弾性部材２８．
３３はばねの代りに空気圧シリンダなどで構成すること
ができる。更に、繰出ボビン８側の滑車２４を省略して
も実用上の支障はないが、設置する方が断線防止に対す
る信頼性が高い。
てそれらの間の部分を切断部５とするとともに、その上
方部分゛に別の多溝滑車４を置いて原動機６により往復
回転駆動するよう各−し、月つこれらの多溝滑車２．３
．４を巻掛伝動機構７により同一方向へ同一速度で回転
させるようになっている。 切断部すの前後には繰出ボビン８と巻取ボビン１０とが
設置され、それぞれ原動４ｊ！９．１１によって往復回
転駆動されるとともに、繰出ボビン８と第一・の多溝滑
車２との間にトラバーづ１２、定置ローラ１３とダンサ
口・−ラ１４とを有する定張力機構１５、力向象゛換用
の滑車１７が順に配置されていて、繰出ボビン８から繰
出されたワイヤ１が前記の順に巻掛けられた後にと観の
多溝滑車２．３．４に多重に巻掛けられ、殊に切断部５
を形成する多溝滑車２．３の間で等間際且つ平行に配列
されている。また、第二の多溝滑車３と巻取ボビン１０
との間には方向変換用の滑車１８、定置ローラＸ９とダ
ンザローラ２０とを有する定張力機構２１、トラバーサ
２３が順に配置Ｊ３れていて、ワイヤ】は更に前記の順
に巻掛りられｊ二接に巻取ボビン１０に巻取られる。 各原動Ｒ６，９，１１は同調して正逆転し、ワイヤ１を
往復走行させながら全体として少しずつ繰出ボビン８か
ら巻取ボビン】０へ移動さぜ、切断部すで同一方向へ同
一速度で往復する多重配列のワイヤ１により材料を多数
枚の薄片に同時切断する。 このどき、繰出ボビン８と巻取ボビン１０とにはワイヤ
１が復行時および往行時にそれぞれ巻取られるが、これ
らの中心軸線と平行な方向へ往復移動するトラバー（ｊ
”］２．２３によって均一に巻取られるように１．でい
る。しかしながら、実際にｌｉ ｌ−ラパーザ１２．２
３の移動速度、繰出ボビン８ベフ巻取ボビン１０の加減
速度の大きさなとの要因によって均一に巻取られないこ
とがあり、ボビン中央部に多く巻かれたりボビン両端部
に多く巻かれたりする。繰出ボビン８においては復行時
に巻取ったワイヤ１の全部を次の往行時に繰出すので巻
取り不均一・は加算されず熟視できるが、巻取ボビン】
０においては往行時に巻取っｊニワイヤの一部が次の復
行時に残って次第に蓄積されるので巻取り不均一が加算
される。また、繰出ボビン８および巻取ボビン１０の回
転中心が偏心ｌ−でいるとワイヤ１の導入接触点の周速
度が−・回転鋸に変動する。 そして、巻取り不均一によって生じた巻き径の大きい部
分、或いは回転中心の偏心によって生じた大径部分にワ
イヤ１が導入されるとき、周速度が大きいｊ：めに高速
度で引張られ張力が瞬間的に高くなる。 一方、定張力機構１５．２１のダンザローラ１４．２０
はそれぞれ原動機１６ａ、 ２２ａによって往復回転す
るドラムＩＢｂ、２２ｂに巻かれたワイヤ１．６ｅ、２
２ｅに吊下げられており、ワイヤ】が走行方向を反転す
る度に入れ替わる弛緩側と緊張側との張力変動を吸収１
〜、切断部５の前後で一定張力を紛持するように−１−
下動させられる。従って、機能的に瞬間的な高張力を吸
収し緩和させることができない。 本実施例によると、切断部５の前方のトラバーサ１２と
定張力機構１５との間の部分、および後方の定張力機構
２１とトラバーサ２３との間の部分にそれぞれ張力吸収
用の滑車２４．２９が配置されており、トラバーサ１２
を出たワイヤ１は固定滑車２５、滑車２４、固定滑車２
６に順に巻掛けられて定張力機構１５に達し、定張力機
構２１を出たワイヤは固定滑車３０、滑車２９、固定滑
車３１の順に巻掛けられてトラバーサ２３に達している
。滑車２４．２９はそれぞれを回転自由に支持した支持
枠２７．３２を引張コイルばねからなる弾性部拐２８．
３３で吊下げることによって直径方向即ち上下方向へ移
動自由とされている。 これらの滑車２４．２９は自重および下方へ延びるワイ
ヤ１の張力と弾性部材２８．３３の弾性力とが平衡した
位置に置かれて定張力機構１５．２１で一定張力に調整
したワイヤ１を繰出ボビン８、巻取ボビン１０に巻取ら
せている。このとき、前記の原因によって繰出ボビン８
側または巻取ボビン１０側で瞬間的な高張力を発生する
と、ワイヤ１は弾性部材２８．３３の弾性力にうち勝っ
て滑車２４．２９を引張り下方へ移動させ、それらと繰
出ボビン８または巻取ボビン１０との間のワイヤ長さを
短かくして高速度の引張りによる巻取り景の増加に対応
させる。周速度が低下すると張力も低下するので滑車２
４．２９は最初の位置に戻る。 尚、装置全体の配置によっては滑車２４．２９を傾斜ま
たは水平に配置して適宜の案内に沿って支持枠２７．３
２を移動させるようにしてもよく、また弾性部材２８．
３３はばねの代りに空気圧シリンダなどで構成すること
ができる。更に、繰出ボビン８側の滑車２４を省略して
も実用上の支障はないが、設置する方が断線防止に対す
る信頼性が高い。
本発明によると、弾性部材で移動自由とした滑車を増設
するという簡単な手段で巻取ボビン更には繰出ボビンに
基因するワイヤの瞬間的な高張力を適切に緩和して断線
を防止できるものである。
するという簡単な手段で巻取ボビン更には繰出ボビンに
基因するワイヤの瞬間的な高張力を適切に緩和して断線
を防止できるものである。
第１図は本発明の実施例を示す配置図である。
部、８・・・繰出ボビン、１０・・・巻取ボビン、１５
．２１・・・定張力機構、２４．２９・・・滑車、２８
．３３・・・弾性部材、
．２１・・・定張力機構、２４．２９・・・滑車、２８
．３３・・・弾性部材、
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 二個の多溝滑車に一本のワイヤを平行に多重配列した切
断部と、その前後に配置した定張力機構と、更にそれら
の前後に設置したワイヤの繰出ボビンおよび巻取ボビン
とを具えているマルチワイヤ式切断装置において； 前記繰出ボビンと前方の定張力機構との間および後方の
定張力機構と巻取ボビンとの間の少なくとも後者の間の
部分に弾性部材によって直径方向へ移動自由とされた張
力吸収用の滑車を設置した； ことを特徴とするマルチワイヤ式切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18975790A JPH0475862A (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | マルチワイヤ式切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18975790A JPH0475862A (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | マルチワイヤ式切断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0475862A true JPH0475862A (ja) | 1992-03-10 |
Family
ID=16246672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18975790A Pending JPH0475862A (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | マルチワイヤ式切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0475862A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011096018A1 (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-11 | トーヨーエイテック株式会社 | ワイヤソーによるワークの切断方法及びワイヤソー |
| WO2011096019A1 (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-11 | トーヨーエイテック株式会社 | ワイヤソー |
| JP2013220490A (ja) * | 2012-04-13 | 2013-10-28 | Komatsu Ntc Ltd | ワイヤソー |
| TWI488725B (zh) * | 2010-02-11 | 2015-06-21 | Toyo Advanced Tech Co | Cutting method and wire sawing by wire saw |
| TWI488710B (zh) * | 2010-02-11 | 2015-06-21 | Toyo Advanced Tech Co | Wire saws |
| JP2019073384A (ja) * | 2017-10-19 | 2019-05-16 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバの巻取り装置 |
-
1990
- 1990-07-18 JP JP18975790A patent/JPH0475862A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011096018A1 (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-11 | トーヨーエイテック株式会社 | ワイヤソーによるワークの切断方法及びワイヤソー |
| WO2011096019A1 (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-11 | トーヨーエイテック株式会社 | ワイヤソー |
| US20120298091A1 (en) * | 2010-02-08 | 2012-11-29 | Toyo Advanced Technologies Co., Ltd. | Wire saw |
| US8881716B2 (en) | 2010-02-08 | 2014-11-11 | Toyo Advanced Technologies Co., Ltd. | Wire saw with tension detecting means and guide roller speed control |
| US8991381B2 (en) | 2010-02-08 | 2015-03-31 | Toyo Advanced Technologies Co., Ltd. | Method of cutting workpiece with wire saw, and wire saw |
| TWI488725B (zh) * | 2010-02-11 | 2015-06-21 | Toyo Advanced Tech Co | Cutting method and wire sawing by wire saw |
| TWI488710B (zh) * | 2010-02-11 | 2015-06-21 | Toyo Advanced Tech Co | Wire saws |
| JP2013220490A (ja) * | 2012-04-13 | 2013-10-28 | Komatsu Ntc Ltd | ワイヤソー |
| JP2019073384A (ja) * | 2017-10-19 | 2019-05-16 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバの巻取り装置 |
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