JPH0475875B2 - - Google Patents
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- JPH0475875B2 JPH0475875B2 JP17051887A JP17051887A JPH0475875B2 JP H0475875 B2 JPH0475875 B2 JP H0475875B2 JP 17051887 A JP17051887 A JP 17051887A JP 17051887 A JP17051887 A JP 17051887A JP H0475875 B2 JPH0475875 B2 JP H0475875B2
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- Japan
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- carbon
- hard carbon
- gas
- cemented carbide
- carbide
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は超硬工具用材料に関し、さらに詳し
く言うと、たとえばチツプ、テープカツター、引
き抜きダイス、ドリル、パンチ等の各種超硬工具
に広く利用することができる超硬工具用材料に関
する。 ［従来の技術およびその問題点］ 従来、超硬工具用材料としては、炭化タングス
テン−コバルト系合金（WC−Co）が主に用いら
れている。 しかしながら、この炭化タングステン−コバル
ト系合金は、コバルトを含有していることから、
耐熱性が低く、磁気特性を有するという問題を有
しており、たとえば、スーパーアロイ切削用チツ
プやテープカツターなどには、必ずしも好適な材
料ではない。 この問題を解決するものとしてセラミツクス製
の超硬工具材料の研究が進められているが、一般
にセラミツクスは靭性に劣るという欠点を有して
いる。 一方、炭化タングステン−コバルト系合金のよ
うな超硬合金の硬度および耐摩耗性の向上を図つ
たものとして、超硬合金の表面に硬質炭素、すな
わちダイヤモンドまたはダイヤモンド状炭素の被
膜を形成してなる超硬工具用材料も知られてい
る。 しかしながら、超硬合金に硬質炭素膜を被覆し
てなる超硬工具用材料においては、超硬合金と硬
質炭素膜との密着性が十分とは言い難く、硬質炭
素膜が剥離し易いという問題を有している。 ［発明の目的］ この発明の目的は、前記問題を解消し、従来の
超硬工具材料のような、融点や磁気特性の問題が
なく、しかも高い破壊靭性値を示すとともに基体
と硬質炭素膜との密着性に優れた超硬工具材料を
提供することである。 ［前記目的を達成するための手段］ 前記目的を達成するために、この発明者が鋭意
検討を重ねた結果、特定のセラミツクスからなる
基体に硬質炭素膜を被覆してなる材料は、融点や
磁気特性の問題がなく、高い破壊靭性値を示すと
ともに基体と硬質炭素膜とを密着性に優れ、超硬
工具材料として好適に利用することができること
を見い出してこの発明に到達した。 すなわち、この発明の概要は、繊維強化フアイ
ンセラミツクスからなる基体に、硬質炭素被膜を
形成してなる超硬工具用材料である。 前記繊維強化フアインセラミツクス（以下、
「FRC」と言うことがある。）は、フアインセラ
ミツクスをマトリクスとし、このマトリクス中に
無機繊維を配合してなる。前記フアインセラミツ
クスとしては、酸化アルミニウム（Al2O3）、ジ
ルコニア（ZrO2）、酸化イツトリウム（Y2O3）、
酸化マグネシウム（MgO）、酸化カルシウム
（CaO）、酸化セリウム（CeO2）、酸化チタン
（TiO2）、酸化クロム（Cr2O3）、二酸化ケイ素
（SiO2）、ムライト、アパタイト、フエライト、
スピネルなどの酸化物系フアインセラミツクス、
および、炭化ケイ素、窒化ケイ素（Si3N4）、窒
化ホウ素（BN）、炭化ホウ素（B4C）、窒化アル
ミニウム（AlN）、窒化クロム、（CrN）、サイア
ロンなどの非酸化物系フアインセラミツクスが挙
げられる。前記フアインセラミツクスの中でも、
酸化物系フアインセラミツクスが好ましく、特
に、アルミナ、およびアルミナとイツトリア含有
ジルコニアとの組合せが好ましい。 前記無機繊維としては、長繊維状、短繊維状あ
るいはウイスカー状の無機物質であれば特に制限
がなく、たとえば、前記フアインセラミツクスの
ウイスカー、具体的には炭化ケイ素ウイスカー、
窒化ケイ素ウイスカー、あるいは、ガラス繊維、
炭素繊維、カーボンウイスカーなどを挙げること
ができる。これらの中でも好ましいのは、炭化ケ
イ素ウイスカーである。炭化ケイ素ウイスカー
は、基体の機械的強度の向上および基体表面に対
する硬質炭素被膜の密着性の向上に、特に著しい
効果を奏するからである。 さらに、好ましいマトリクスと無機繊維との組
合せを示すとすれば、アルミナ（マトリクス）と
炭化ケイ素ウイスカー（無機繊維）である。 前記FRCを得るにあたつて、マトリクス成分
は、その平均粒径が、通常、3.0μｍ以下である。
無機繊維については、フイラメント径0.1〜1.0μ
ｍφ、長さ5.0〜100μｍ、アスペクト比20〜200の
ものを好適に使用することができる。 前記FRCは、これらの各成分を、たとえばボ
ールミル、バンバリーミキサーなどの混練機を使
用して十分に混練して得られる混合物を、所定の
型内に充填した後、温度1200〜2000℃の条件下に
焼結して得ることができる。 この混合物における各成分の配合割合は、マト
リクス成分100重量部に対して、無機繊維５〜40
重量部である。具体的な例として、アルミナ100
重量部に対して、炭化ケイ素ウイスカーが５〜40
重量部、ジルコニアが５〜40重量部である。 この発明においては、前記FRCを基体とし、
この基体の表面に硬質炭素被膜、すなわちダイヤ
モンド被膜またはダイヤモンド状炭素被膜を形成
する。 前記硬質炭素被膜は、たとえば炭素源ガスを励
起して得られるガスを、前記基体に接触させるこ
とにより形成することができる。 前記炭素源ガスとしては、たとえば、メタン、
エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン
などのアルカン類、エチレン、プロピレン、ブテ
ン、ペンテン、ブタジエンなどのアルケン類、ア
セチレンなどのアルキン類、ベンゼン、トルエ
ン、キシレン、インデン、ナフタリン、フエナン
トレンなどの芳香族炭化水素類、シクロプロパ
ン、シクロヘキサンなどのシクロパラフイン類、
シクロペンテン、シクロヘキセンなどのシクロオ
レフイン類などが挙げられる。 また、炭素源ガスとして、一酸化炭素、二酸化
炭素、メチルアルコール、エチルアルコール、ア
セトン、ベンゾフエノンなどの含酸素炭素化合
物、トリメチルアミン、メチルアミン、エチルア
ミン、アニリンなどの含窒素炭素化合物なども使
用することができる。 これらは、１種単独で用いることもできるし、
２種以上を併用することもできる。 これらの中でも、好ましいのは、メタン、エタ
ン、プロパン等のパラフイン系炭化水素、アセト
ン、ベンゾフエノン等のケトン類および一酸化炭
素、メチルアルコール等の含酸素炭素化合物であ
る。 前記硬質炭素被膜の形成にあたつては、前記炭
素源ガスとともに希釈用ガスを用いることもでき
る。この希釈用ガスとしては、水素ガス；ヘリウ
ムガス、アルゴンガス、ネオンガス、キセノンガ
ス、窒素ガスなどの不活性ガスが挙げられる。 これらは、１種単独で用いてもよいし、２種以
上を組合わせて用いてもよい。 これらの中でも、水素ガスを用いた場合には、
プラズマCVD法においては高周波またはマイク
ロ波の照射によつてプラズマを形成し、CVD法
においては熱または放電により原子状水素を形成
する。 この原子状水素は、ダイヤモンドまたはダイヤ
モンド状炭素の析出と同時に析出する黒鉛構造の
炭素を除去する作用を有する。 前記不活性ガスは、特に、スパツタリング法、
イオン化蒸着法、イオンビーム蒸着法を採用する
場合に前記パラフイン系炭化水素化合物、前記含
酸素有機化合物および／または含窒素有機化合物
からなる炭素源ガスと混合して用いるものであ
り、アーク放電空間中でイオン化することにより
炭素原子をたたき出して炭素をイオン化する作用
を有する。 前記希釈用ガスを使用する場合、前記炭素源ガ
スとの混合比は、炭素源ガス／希釈用ガスのモル
比で、通常、0.1／100以上である。この混合比が
0.1／100未満の場合には、硬質炭素の析出速度が
遅くなつたり、硬質炭素が析出しなくなつたりす
る。 前記炭素源ガスを励起する手段としては、たと
えば高周波プラズマCVD法、直流プラズマCVD
法、マイクロ波プラズマCVD法、熱フイラメン
ト法、化学輸送法、イオンビーム法などの従来よ
り公知の方法を用いることができる。 前記硬質炭素被膜の形成において、前記基体の
表面の温度は、前記炭素源ガスの励起手段によつ
て異なるので、一概に決定することはできない
が、たとえばマイクロ法プラズマCVD法を用い
る場合には、通常、常温〜1000℃、好ましくは常
温〜950℃である。基体表面の温度が1000℃を超
えると、非ダイヤモンド状炭素であるグラフアイ
トの発生量が多くなる。 前記硬質炭素被膜の形成における反応圧力は、
通常、10-8〜103torr、好ましくは10-6〜800torr
である。反応圧力が10-8torrよりも低い場合に
は、硬質炭素の析出速度が遅くなつたり、硬質炭
素が析出しなくなつたりする。一方、103torrよ
り高い場合にはグラフアイトの発生量が多くな
る。 この発明の超硬工具用材料は、たとえばチツ
プ、テープカツター、引き抜きダイス、ドリル、
パンチ等の各種超硬工具に好適に利用することが
できる。 ［発明の効果］ この発明によると、 (1) それ自体が高い破壊靭性値を示す繊維強化セ
ラミツクスからなる基体に、硬質炭素を被覆し
てなるので、耐熱性、耐摩耗性および破壊靭性
に優れるとともに磁気特性の問題がなく、 (2) しかも、基体と硬質炭素被膜との密着性が良
好であるので、初期の特性が急激に変化するこ
とがなく安定した特性を示す、 等の効果を奏する超硬工具材料を提供することが
できる。 ［実施例］ 次いで、この発明の実施例および比較例を示
し、この発明についてさらに具体的に説明する。 実施例 １ アルミナ粉末（平均粒径0.5μｍ）100ｇ、炭化
ケイ素ウイスカー（フイラメント径0.1〜1.0μｍ
φ、長さ20〜100μｍ、アスペクト比50〜200）25
ｇを、ボールミルを使用して48時間混練し、混合
物とした。 得られた混合物を、チツプ成形型内に充填した
後、ホツトプレス法により温度1500℃の条件下に
焼結させて、FRCを得た。 次いで、このFRCを基体として、基体温度900
℃、圧力40torrの条件下に周波数2.45GHzのマイ
クロ波電源の出力を600wに設定した。 続いて、この反応室内に一酸化炭素を流量
10sccm、水素ガスを流量90sccmで導入して、マ
イクロ波プラズマCVD法によりダイヤモンドの
合成を0.5時間行つて、厚み3μｍの被覆を有する
超硬工具材料を得た。 ここで、得られた被膜について、ラマン分光分
析を行なつたところ、ラマン散乱スペクトルの
1333cm-1付近にダイヤモンドに起因するピークが
見られ、不純物のないダイヤモンドであることを
確認した。 この超硬工具材料からなるチツプについて、次
の条件下に連続切削試験を行なつて、被削材の表
面粗さ（Rnax）および切刃の逃げ面摩耗幅につ
いて評価した。 被削材；アルミニウム（A2017BE−T4） 切削速度；500ｍ／分 切り込み量；ｔ＝0.15mm 送り量；ｆ＝0.15mm／回転 切削時間；50分間 結果を第１表に示す。 実施例 ２ 前記実施例１において、アルミナ粉末および炭
化ケイ素ウイスカーに加えて、イツトリア含有ジ
ルコニア粉末（平均粒径0.01μｍ）10ｇを用いた
ほかは、前記実施例１と同様にして実施した。 結果を第１表に示す。 比較例 １ 前記実施例１において、基体に硬質炭素被膜を
形成しなかつたほかは、前記実施例１と同様にし
て超硬工具材料を調製し、得られた超硬工具材料
からなるチツプについて前記実施例１と同様の条
件下に連続切削試験を行なつた。 結果を第１表に示す。 第１表から明らかなように、この比較例のチツ
プは、被削材の表面粗さおよび切刃の逃げ面摩耗
幅のいずれもが前記実施例１に比較して劣つてい
た。 比較例 ２ WC−Co（Co量５％）からなるチツプについて
前記実施例１と同様の条件下に連続切削試験を行
なつた。 結果を第１表に示す。 第１表から明らかなように、この比較例のチツ
プは、被削材の表面粗さおよび切刃の逃げ面摩耗
幅のいずれもが前記実施例１に比較して劣つてい
た。 【表】
く言うと、たとえばチツプ、テープカツター、引
き抜きダイス、ドリル、パンチ等の各種超硬工具
に広く利用することができる超硬工具用材料に関
する。 ［従来の技術およびその問題点］ 従来、超硬工具用材料としては、炭化タングス
テン−コバルト系合金（WC−Co）が主に用いら
れている。 しかしながら、この炭化タングステン−コバル
ト系合金は、コバルトを含有していることから、
耐熱性が低く、磁気特性を有するという問題を有
しており、たとえば、スーパーアロイ切削用チツ
プやテープカツターなどには、必ずしも好適な材
料ではない。 この問題を解決するものとしてセラミツクス製
の超硬工具材料の研究が進められているが、一般
にセラミツクスは靭性に劣るという欠点を有して
いる。 一方、炭化タングステン−コバルト系合金のよ
うな超硬合金の硬度および耐摩耗性の向上を図つ
たものとして、超硬合金の表面に硬質炭素、すな
わちダイヤモンドまたはダイヤモンド状炭素の被
膜を形成してなる超硬工具用材料も知られてい
る。 しかしながら、超硬合金に硬質炭素膜を被覆し
てなる超硬工具用材料においては、超硬合金と硬
質炭素膜との密着性が十分とは言い難く、硬質炭
素膜が剥離し易いという問題を有している。 ［発明の目的］ この発明の目的は、前記問題を解消し、従来の
超硬工具材料のような、融点や磁気特性の問題が
なく、しかも高い破壊靭性値を示すとともに基体
と硬質炭素膜との密着性に優れた超硬工具材料を
提供することである。 ［前記目的を達成するための手段］ 前記目的を達成するために、この発明者が鋭意
検討を重ねた結果、特定のセラミツクスからなる
基体に硬質炭素膜を被覆してなる材料は、融点や
磁気特性の問題がなく、高い破壊靭性値を示すと
ともに基体と硬質炭素膜とを密着性に優れ、超硬
工具材料として好適に利用することができること
を見い出してこの発明に到達した。 すなわち、この発明の概要は、繊維強化フアイ
ンセラミツクスからなる基体に、硬質炭素被膜を
形成してなる超硬工具用材料である。 前記繊維強化フアインセラミツクス（以下、
「FRC」と言うことがある。）は、フアインセラ
ミツクスをマトリクスとし、このマトリクス中に
無機繊維を配合してなる。前記フアインセラミツ
クスとしては、酸化アルミニウム（Al2O3）、ジ
ルコニア（ZrO2）、酸化イツトリウム（Y2O3）、
酸化マグネシウム（MgO）、酸化カルシウム
（CaO）、酸化セリウム（CeO2）、酸化チタン
（TiO2）、酸化クロム（Cr2O3）、二酸化ケイ素
（SiO2）、ムライト、アパタイト、フエライト、
スピネルなどの酸化物系フアインセラミツクス、
および、炭化ケイ素、窒化ケイ素（Si3N4）、窒
化ホウ素（BN）、炭化ホウ素（B4C）、窒化アル
ミニウム（AlN）、窒化クロム、（CrN）、サイア
ロンなどの非酸化物系フアインセラミツクスが挙
げられる。前記フアインセラミツクスの中でも、
酸化物系フアインセラミツクスが好ましく、特
に、アルミナ、およびアルミナとイツトリア含有
ジルコニアとの組合せが好ましい。 前記無機繊維としては、長繊維状、短繊維状あ
るいはウイスカー状の無機物質であれば特に制限
がなく、たとえば、前記フアインセラミツクスの
ウイスカー、具体的には炭化ケイ素ウイスカー、
窒化ケイ素ウイスカー、あるいは、ガラス繊維、
炭素繊維、カーボンウイスカーなどを挙げること
ができる。これらの中でも好ましいのは、炭化ケ
イ素ウイスカーである。炭化ケイ素ウイスカー
は、基体の機械的強度の向上および基体表面に対
する硬質炭素被膜の密着性の向上に、特に著しい
効果を奏するからである。 さらに、好ましいマトリクスと無機繊維との組
合せを示すとすれば、アルミナ（マトリクス）と
炭化ケイ素ウイスカー（無機繊維）である。 前記FRCを得るにあたつて、マトリクス成分
は、その平均粒径が、通常、3.0μｍ以下である。
無機繊維については、フイラメント径0.1〜1.0μ
ｍφ、長さ5.0〜100μｍ、アスペクト比20〜200の
ものを好適に使用することができる。 前記FRCは、これらの各成分を、たとえばボ
ールミル、バンバリーミキサーなどの混練機を使
用して十分に混練して得られる混合物を、所定の
型内に充填した後、温度1200〜2000℃の条件下に
焼結して得ることができる。 この混合物における各成分の配合割合は、マト
リクス成分100重量部に対して、無機繊維５〜40
重量部である。具体的な例として、アルミナ100
重量部に対して、炭化ケイ素ウイスカーが５〜40
重量部、ジルコニアが５〜40重量部である。 この発明においては、前記FRCを基体とし、
この基体の表面に硬質炭素被膜、すなわちダイヤ
モンド被膜またはダイヤモンド状炭素被膜を形成
する。 前記硬質炭素被膜は、たとえば炭素源ガスを励
起して得られるガスを、前記基体に接触させるこ
とにより形成することができる。 前記炭素源ガスとしては、たとえば、メタン、
エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン
などのアルカン類、エチレン、プロピレン、ブテ
ン、ペンテン、ブタジエンなどのアルケン類、ア
セチレンなどのアルキン類、ベンゼン、トルエ
ン、キシレン、インデン、ナフタリン、フエナン
トレンなどの芳香族炭化水素類、シクロプロパ
ン、シクロヘキサンなどのシクロパラフイン類、
シクロペンテン、シクロヘキセンなどのシクロオ
レフイン類などが挙げられる。 また、炭素源ガスとして、一酸化炭素、二酸化
炭素、メチルアルコール、エチルアルコール、ア
セトン、ベンゾフエノンなどの含酸素炭素化合
物、トリメチルアミン、メチルアミン、エチルア
ミン、アニリンなどの含窒素炭素化合物なども使
用することができる。 これらは、１種単独で用いることもできるし、
２種以上を併用することもできる。 これらの中でも、好ましいのは、メタン、エタ
ン、プロパン等のパラフイン系炭化水素、アセト
ン、ベンゾフエノン等のケトン類および一酸化炭
素、メチルアルコール等の含酸素炭素化合物であ
る。 前記硬質炭素被膜の形成にあたつては、前記炭
素源ガスとともに希釈用ガスを用いることもでき
る。この希釈用ガスとしては、水素ガス；ヘリウ
ムガス、アルゴンガス、ネオンガス、キセノンガ
ス、窒素ガスなどの不活性ガスが挙げられる。 これらは、１種単独で用いてもよいし、２種以
上を組合わせて用いてもよい。 これらの中でも、水素ガスを用いた場合には、
プラズマCVD法においては高周波またはマイク
ロ波の照射によつてプラズマを形成し、CVD法
においては熱または放電により原子状水素を形成
する。 この原子状水素は、ダイヤモンドまたはダイヤ
モンド状炭素の析出と同時に析出する黒鉛構造の
炭素を除去する作用を有する。 前記不活性ガスは、特に、スパツタリング法、
イオン化蒸着法、イオンビーム蒸着法を採用する
場合に前記パラフイン系炭化水素化合物、前記含
酸素有機化合物および／または含窒素有機化合物
からなる炭素源ガスと混合して用いるものであ
り、アーク放電空間中でイオン化することにより
炭素原子をたたき出して炭素をイオン化する作用
を有する。 前記希釈用ガスを使用する場合、前記炭素源ガ
スとの混合比は、炭素源ガス／希釈用ガスのモル
比で、通常、0.1／100以上である。この混合比が
0.1／100未満の場合には、硬質炭素の析出速度が
遅くなつたり、硬質炭素が析出しなくなつたりす
る。 前記炭素源ガスを励起する手段としては、たと
えば高周波プラズマCVD法、直流プラズマCVD
法、マイクロ波プラズマCVD法、熱フイラメン
ト法、化学輸送法、イオンビーム法などの従来よ
り公知の方法を用いることができる。 前記硬質炭素被膜の形成において、前記基体の
表面の温度は、前記炭素源ガスの励起手段によつ
て異なるので、一概に決定することはできない
が、たとえばマイクロ法プラズマCVD法を用い
る場合には、通常、常温〜1000℃、好ましくは常
温〜950℃である。基体表面の温度が1000℃を超
えると、非ダイヤモンド状炭素であるグラフアイ
トの発生量が多くなる。 前記硬質炭素被膜の形成における反応圧力は、
通常、10-8〜103torr、好ましくは10-6〜800torr
である。反応圧力が10-8torrよりも低い場合に
は、硬質炭素の析出速度が遅くなつたり、硬質炭
素が析出しなくなつたりする。一方、103torrよ
り高い場合にはグラフアイトの発生量が多くな
る。 この発明の超硬工具用材料は、たとえばチツ
プ、テープカツター、引き抜きダイス、ドリル、
パンチ等の各種超硬工具に好適に利用することが
できる。 ［発明の効果］ この発明によると、 (1) それ自体が高い破壊靭性値を示す繊維強化セ
ラミツクスからなる基体に、硬質炭素を被覆し
てなるので、耐熱性、耐摩耗性および破壊靭性
に優れるとともに磁気特性の問題がなく、 (2) しかも、基体と硬質炭素被膜との密着性が良
好であるので、初期の特性が急激に変化するこ
とがなく安定した特性を示す、 等の効果を奏する超硬工具材料を提供することが
できる。 ［実施例］ 次いで、この発明の実施例および比較例を示
し、この発明についてさらに具体的に説明する。 実施例 １ アルミナ粉末（平均粒径0.5μｍ）100ｇ、炭化
ケイ素ウイスカー（フイラメント径0.1〜1.0μｍ
φ、長さ20〜100μｍ、アスペクト比50〜200）25
ｇを、ボールミルを使用して48時間混練し、混合
物とした。 得られた混合物を、チツプ成形型内に充填した
後、ホツトプレス法により温度1500℃の条件下に
焼結させて、FRCを得た。 次いで、このFRCを基体として、基体温度900
℃、圧力40torrの条件下に周波数2.45GHzのマイ
クロ波電源の出力を600wに設定した。 続いて、この反応室内に一酸化炭素を流量
10sccm、水素ガスを流量90sccmで導入して、マ
イクロ波プラズマCVD法によりダイヤモンドの
合成を0.5時間行つて、厚み3μｍの被覆を有する
超硬工具材料を得た。 ここで、得られた被膜について、ラマン分光分
析を行なつたところ、ラマン散乱スペクトルの
1333cm-1付近にダイヤモンドに起因するピークが
見られ、不純物のないダイヤモンドであることを
確認した。 この超硬工具材料からなるチツプについて、次
の条件下に連続切削試験を行なつて、被削材の表
面粗さ（Rnax）および切刃の逃げ面摩耗幅につ
いて評価した。 被削材；アルミニウム（A2017BE−T4） 切削速度；500ｍ／分 切り込み量；ｔ＝0.15mm 送り量；ｆ＝0.15mm／回転 切削時間；50分間 結果を第１表に示す。 実施例 ２ 前記実施例１において、アルミナ粉末および炭
化ケイ素ウイスカーに加えて、イツトリア含有ジ
ルコニア粉末（平均粒径0.01μｍ）10ｇを用いた
ほかは、前記実施例１と同様にして実施した。 結果を第１表に示す。 比較例 １ 前記実施例１において、基体に硬質炭素被膜を
形成しなかつたほかは、前記実施例１と同様にし
て超硬工具材料を調製し、得られた超硬工具材料
からなるチツプについて前記実施例１と同様の条
件下に連続切削試験を行なつた。 結果を第１表に示す。 第１表から明らかなように、この比較例のチツ
プは、被削材の表面粗さおよび切刃の逃げ面摩耗
幅のいずれもが前記実施例１に比較して劣つてい
た。 比較例 ２ WC−Co（Co量５％）からなるチツプについて
前記実施例１と同様の条件下に連続切削試験を行
なつた。 結果を第１表に示す。 第１表から明らかなように、この比較例のチツ
プは、被削材の表面粗さおよび切刃の逃げ面摩耗
幅のいずれもが前記実施例１に比較して劣つてい
た。 【表】
Claims (1)
- １ 繊維強化フインセラミツクスからなる基体
に、硬質炭素被膜を形成してなる超硬工具用材
料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17051887A JPS6414185A (en) | 1987-07-08 | 1987-07-08 | Material for cemented carbide tool |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17051887A JPS6414185A (en) | 1987-07-08 | 1987-07-08 | Material for cemented carbide tool |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6414185A JPS6414185A (en) | 1989-01-18 |
| JPH0475875B2 true JPH0475875B2 (ja) | 1992-12-02 |
Family
ID=15906424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17051887A Granted JPS6414185A (en) | 1987-07-08 | 1987-07-08 | Material for cemented carbide tool |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6414185A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0310705A (ja) * | 1989-06-08 | 1991-01-18 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | ダイヤモンド被覆工具の製造方法 |
| CA2034483C (en) * | 1989-06-15 | 2001-04-24 | Ngk Spark Plug Company Limited | Diamond-coated member |
| JPH03237036A (ja) * | 1989-08-24 | 1991-10-22 | Nippon Electric Glass Co Ltd | アルミナパッケージ用薄板状硼けい酸ガラス |
| JP2017024923A (ja) * | 2015-07-16 | 2017-02-02 | イビデン株式会社 | セラミック複合材 |
-
1987
- 1987-07-08 JP JP17051887A patent/JPS6414185A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6414185A (en) | 1989-01-18 |
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