JPH0476057U - - Google Patents

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JPH0476057U
JPH0476057U JP11857490U JP11857490U JPH0476057U JP H0476057 U JPH0476057 U JP H0476057U JP 11857490 U JP11857490 U JP 11857490U JP 11857490 U JP11857490 U JP 11857490U JP H0476057 U JPH0476057 U JP H0476057U
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JP
Japan
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semiconductor device
coil
circuit
diffusion layer
built
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JP11857490U
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【図面の簡単な説明】
第1図、第2図はコイルとコイルの直線近似モ
デルを示す図、第3図は半導体基板上に設けたコ
イルの鳥観図、第4図は半導体基板上に設けたコ
イルの断面図、第5図は半導体基板上に設けたコ
イルの上面図、第6図はその断面図である。 1……半導体基板、2……層間膜1、3……第
1の金属配線層、4……スルーホール、5……第
2の金属配線層、6……層間膜2、7……第3の
金属配線層。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 半導体基板上に拡散層を設け、当該拡児層を
    電気的に接続する金属配線層を2層以上で形成し
    た半導体装置において、当該金属配線層によりコ
    イルを形成し自己インダクタンスを内蔵したこと
    を特徴とする半導体装置。 2 請求項1記載の半導体装置において、当該自
    己インダクタンスと拡散層の接合容量或いは、酸
    化膜を用いた容量とを直列に接続したL−C発振
    回路を内蔵したことを特徴とする半導体装置。 3 半導体基板上に拡散層を設け、当該拡散層を
    電気的に接続する金属線層を3層以上で形成した
    半導体装置において、当該金属配線層によりコイ
    ルを形成し、かつ、コイルを発生した磁束を導く
    金属配線をコイル内を通る閉じた環状に形成する
    ことにより形成される無端ソレノイドを内蔵する
    ことを特徴とする半導体装置。 4 請求項3記載の無端ソレノイドにおいてコイ
    ルを2個以上設けることにより形成された相互イ
    ンダクタンスを内蔵することを特徴とする半導体
    装置。 5 請求項4記載の相互インダクタンスを内蔵す
    る半導体装置において1方のコイルにMOS回路
    などのデジタル回路を接続し、他方のコイルにト
    ランジスタなどのリニア回路を接続し、半導体装
    置内部のデジタル信号処理結果をリニア回路の電
    流出力として外部に出力出来る様にしたことを特
    徴とする半導体装置。 6 請求項1記載の自己インダクタンスにアンプ
    を接続した回路を内蔵し、コイル内の磁束変化を
    内部信号として処理出来ることを特徴とする半導
    体装置。 7 請求項1記載の半導体装置において、当該自
    己インダクスタスと拡散層、或いは多結晶シリコ
    ン等により形成された抵抗とを直列に接続するこ
    とにより形成される平滑りアクトルを内蔵するこ
    とを特徴とする半導体装置。 8 請求項7記載の相互インダクタンスを外部信
    号端子と内部回路間に挿入することにより、外部
    からの突入電流による内部回路の劣化を防止する
    構造としたことを特徴とする半導体装置。
JP11857490U 1990-11-14 1990-11-14 Pending JPH0476057U (ja)

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JPH0476057U true JPH0476057U (ja) 1992-07-02

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7167073B2 (en) 2003-10-24 2007-01-23 Rohm Co., Ltd. Semiconductor device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7167073B2 (en) 2003-10-24 2007-01-23 Rohm Co., Ltd. Semiconductor device

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