JPH047656U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH047656U JPH047656U JP4530290U JP4530290U JPH047656U JP H047656 U JPH047656 U JP H047656U JP 4530290 U JP4530290 U JP 4530290U JP 4530290 U JP4530290 U JP 4530290U JP H047656 U JPH047656 U JP H047656U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- film forming
- intake pump
- shape
- reaction vessel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 4
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図、第２図及び第３図はいずれも本考案に
係るポンプの平面図であり、第４図及び第５図は
それぞれ本考案ＣＶＤ装置の正面図及び断面図で
あり、第６図及び第７図はそれぞれ本考案ＣＶＤ
装置の正面図及び断面図である。第８図及び第９
図はそれぞれ従来のＣＶＤ装置の正面図及び断面
図である。 １３，１９，２１，２３……ブースターポンプ
、１７，２０，２４……ガス吸気口、１１，２６
……排出口、１４，２７……配管。
係るポンプの平面図であり、第４図及び第５図は
それぞれ本考案ＣＶＤ装置の正面図及び断面図で
あり、第６図及び第７図はそれぞれ本考案ＣＶＤ
装置の正面図及び断面図である。第８図及び第９
図はそれぞれ従来のＣＶＤ装置の正面図及び断面
図である。 １３，１９，２１，２３……ブースターポンプ
、１７，２０，２４……ガス吸気口、１１，２６
……排出口、１４，２７……配管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 薄膜形成手段を備えた反応容器と、該反応容器
のガス排出口に配管を介して接続した吸気ポンプ
とから成る薄膜形成装置において、 前記吸気ポンプ内に一対のまゆ形ロータを配置
し、且つ前記ガス排出口の形状と、前記配管の断
面形状及び前記吸気ポンプの吸気口の形状が前記
ロータの軸に沿つた長尺状もしくは矩形状である
か、又はロータの軸に沿つた複数個並設して成る
ことを特徴とする薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4530290U JPH047656U (ja) | 1990-04-28 | 1990-04-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4530290U JPH047656U (ja) | 1990-04-28 | 1990-04-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH047656U true JPH047656U (ja) | 1992-01-23 |
Family
ID=31559358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4530290U Pending JPH047656U (ja) | 1990-04-28 | 1990-04-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH047656U (ja) |
-
1990
- 1990-04-28 JP JP4530290U patent/JPH047656U/ja active Pending