JPH0477254U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0477254U JPH0477254U JP12031390U JP12031390U JPH0477254U JP H0477254 U JPH0477254 U JP H0477254U JP 12031390 U JP12031390 U JP 12031390U JP 12031390 U JP12031390 U JP 12031390U JP H0477254 U JPH0477254 U JP H0477254U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- guide
- supporter
- slidable
- grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は、この発明のウエハガイドを放射状の
ウエハ支持器に取りつけた一例を示す平面図及び
正面図、第２図は、この発明のウエハガイドを放
射状のウエハ支持器に取りつけた一例の要部を示
す放射図、第３図は、ウエハガイド２及びウエハ
支持器１の係合手段の一例を示す断面図、第４図
は、この発明に従うウエハガイドの別の例を示す
正面図である。
ウエハ支持器に取りつけた一例を示す平面図及び
正面図、第２図は、この発明のウエハガイドを放
射状のウエハ支持器に取りつけた一例の要部を示
す放射図、第３図は、ウエハガイド２及びウエハ
支持器１の係合手段の一例を示す断面図、第４図
は、この発明に従うウエハガイドの別の例を示す
正面図である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエハをその厚み方向に挟み保持する溝をそな
え、このウエハをウエハ支持器へ装着するための
ガイドであつて、 上記ウエハ支持器に対してウエハ主表面に沿う
方向にスライド可能な係合手段をそなえることを
特徴とするウエハガイド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12031390U JPH0477254U (ja) | 1990-11-19 | 1990-11-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12031390U JPH0477254U (ja) | 1990-11-19 | 1990-11-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0477254U true JPH0477254U (ja) | 1992-07-06 |
Family
ID=31868224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12031390U Pending JPH0477254U (ja) | 1990-11-19 | 1990-11-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0477254U (ja) |
-
1990
- 1990-11-19 JP JP12031390U patent/JPH0477254U/ja active Pending
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