JPH0477399A - SiCウイスカーの製造方法 - Google Patents
SiCウイスカーの製造方法Info
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- JPH0477399A JPH0477399A JP18999390A JP18999390A JPH0477399A JP H0477399 A JPH0477399 A JP H0477399A JP 18999390 A JP18999390 A JP 18999390A JP 18999390 A JP18999390 A JP 18999390A JP H0477399 A JPH0477399 A JP H0477399A
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- reaction vessel
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、複合強化材として有用なSiCウィスカーの
製造方法に係り、とくに良好な伸直性と高アスペクト比
を有するSiCウィスカーを工業的に生産するために有
利な方法に関する。
製造方法に係り、とくに良好な伸直性と高アスペクト比
を有するSiCウィスカーを工業的に生産するために有
利な方法に関する。
(従来の技術〕
SiCの針状単結晶で構成されるウィスカーは、比強度
、比弾性率、耐熱性、化学的安定性などの面で卓越した
性能特性を有することから各種のプラスチック材、金属
材あるいはセラミックス材の複合強化材として実用され
ている。
、比弾性率、耐熱性、化学的安定性などの面で卓越した
性能特性を有することから各種のプラスチック材、金属
材あるいはセラミックス材の複合強化材として実用され
ている。
SiCウィスカーの生成手段には、使用する原料状態の
相違により気相原料系と固相原料系とに分類されるが、
このうち現状において量産技術とされているのは固相原
料系による製造方法(例えば、特公昭60−44280
号公報、特開昭61−102416号公報、同62−3
099号公報など)である。これら固相原料系による製
造技術は、珪素源と炭材とを粉末状態で触媒成分と共に
混合し、この原料系を非酸化性雰囲気下で加熱反応させ
るプロセスが基本工程となる。この際、原料系は密閉状
の反応容器に充填して加熱反応に供され、加熱反応の手
段は、反応容器を固定式のアチソン炉に詰めておこなう
方法または反応容器を管状炉内にブツシャ−を介して押
し込み、間歇的にスライド移送させながらおこなう方法
が採られる。
相違により気相原料系と固相原料系とに分類されるが、
このうち現状において量産技術とされているのは固相原
料系による製造方法(例えば、特公昭60−44280
号公報、特開昭61−102416号公報、同62−3
099号公報など)である。これら固相原料系による製
造技術は、珪素源と炭材とを粉末状態で触媒成分と共に
混合し、この原料系を非酸化性雰囲気下で加熱反応させ
るプロセスが基本工程となる。この際、原料系は密閉状
の反応容器に充填して加熱反応に供され、加熱反応の手
段は、反応容器を固定式のアチソン炉に詰めておこなう
方法または反応容器を管状炉内にブツシャ−を介して押
し込み、間歇的にスライド移送させながらおこなう方法
が採られる。
従来、前記の反応容器としては、黒鉛材もしくはアルミ
ナ、ムライトのようなセラミックス材によって形成され
たものが使用されている。
ナ、ムライトのようなセラミックス材によって形成され
たものが使用されている。
反応容器は、直接に加熱されて内部に充填された原料系
を反応温度域に保持する必要があるため、材質的に高度
の耐熱性ならびに熱伝導性が要求される。従来から使用
されている黒鉛、アルミナ、ムライトなどの材料は、い
ずれも高度の耐熱性を備えているが、熱伝導性の点では
黒鉛材料が最も優れている。
を反応温度域に保持する必要があるため、材質的に高度
の耐熱性ならびに熱伝導性が要求される。従来から使用
されている黒鉛、アルミナ、ムライトなどの材料は、い
ずれも高度の耐熱性を備えているが、熱伝導性の点では
黒鉛材料が最も優れている。
このように黒鉛が反応容器の構成材料として好適である
ことは認められているが、反応および生成物との関係で
反応容器の材質組織について検討された例はない。
ことは認められているが、反応および生成物との関係で
反応容器の材質組織について検討された例はない。
固相原料系によるSiCウィスカーの生成反応は、通常
、SingとCとの反応によるS10ガスによるV L
S (Vapor−Liquid−5olid)機構
を介して進行すると見られているが、本発明者らはこの
過程で副生ずるCOガスの反応系内における濃淡が生成
反応に影響を与えることに着目して研究を重ねたところ
、黒鉛反応容器内にCOガスが充満するとSiCへの反
応が阻害されて曲がりや節のある低アスペクト比の針状
結晶が多く生成するが、反応容器を多孔組織にして余分
なCOガスを反応系外に逃すと伸直性の良好なアスペク
ト比の高い高品質のSiCウィスカーを生成させること
ができる事実を確認した。
、SingとCとの反応によるS10ガスによるV L
S (Vapor−Liquid−5olid)機構
を介して進行すると見られているが、本発明者らはこの
過程で副生ずるCOガスの反応系内における濃淡が生成
反応に影響を与えることに着目して研究を重ねたところ
、黒鉛反応容器内にCOガスが充満するとSiCへの反
応が阻害されて曲がりや節のある低アスペクト比の針状
結晶が多く生成するが、反応容器を多孔組織にして余分
なCOガスを反応系外に逃すと伸直性の良好なアスペク
ト比の高い高品質のSiCウィスカーを生成させること
ができる事実を確認した。
本発明は上記の知見に基づいて開発されたもので、この
目的とするところは、黒鉛反応容器を生成反応に好適な
多孔質の組織または形状とすることによって高性状のS
iCウィスカーを工業的に製造する方法を提供するにあ
る。
目的とするところは、黒鉛反応容器を生成反応に好適な
多孔質の組織または形状とすることによって高性状のS
iCウィスカーを工業的に製造する方法を提供するにあ
る。
上記の目的を達成するための本発明によるSiCウィス
カーの製造方法は、珪素源原料と炭材との粉末混合原料
に金属系触媒を添加して反応容器番こ充填し、これを1
500〜1900″Cの温度と非酸化雰囲気に保持され
た反応炉内において加熱反応させ7SjCウイスカーを
生成させる方法において、通気特性が500〜2000
af/h HC1,” H+nmAqの範囲にある多
孔性黒鉛材により形成した密閉円筒状の反応容器を用い
ることを構成上の特徴とする。
カーの製造方法は、珪素源原料と炭材との粉末混合原料
に金属系触媒を添加して反応容器番こ充填し、これを1
500〜1900″Cの温度と非酸化雰囲気に保持され
た反応炉内において加熱反応させ7SjCウイスカーを
生成させる方法において、通気特性が500〜2000
af/h HC1,” H+nmAqの範囲にある多
孔性黒鉛材により形成した密閉円筒状の反応容器を用い
ることを構成上の特徴とする。
本発明に用いられる珪素源原料としては、シリカゲル、
珪砂、石英粉、無機珪酸塩、有機珪素化合物など珪素成
分を含有する種々の物質を挙げることができ、中でもS
in、を主成分とするシリカゲル、石英粉、珪砂等の使
用が有効である。
珪砂、石英粉、無機珪酸塩、有機珪素化合物など珪素成
分を含有する種々の物質を挙げることができ、中でもS
in、を主成分とするシリカゲル、石英粉、珪砂等の使
用が有効である。
炭材としては、カーボンブランク、コークス粉、黒鉛粉
、粉末活性炭などが使用できるが、最も好適な炭材はカ
ーボンブラックである。カーボンブラックを通用する場
合には、ファー不スブラ・ツク、チャンネルブラック、
アセチレンブラック等の品種は問わないが、とくにDB
P吸油量が100d/100g以上の特性を有するもの
が有効に使用される。
、粉末活性炭などが使用できるが、最も好適な炭材はカ
ーボンブラックである。カーボンブラックを通用する場
合には、ファー不スブラ・ツク、チャンネルブラック、
アセチレンブラック等の品種は問わないが、とくにDB
P吸油量が100d/100g以上の特性を有するもの
が有効に使用される。
金属系触媒は、Fe、Co Ni Caおよびこれ
らの合金または酸化物の粉粒体から選択される。
らの合金または酸化物の粉粒体から選択される。
原料成分の配合割合は、珪素源原料に対し炭材を60〜
200重量%の範囲とし、金属系触媒の配合量は珪素源
原料中のSi1モル当たり金属として0.01〜0.1
5モルに設定される。
200重量%の範囲とし、金属系触媒の配合量は珪素源
原料中のSi1モル当たり金属として0.01〜0.1
5モルに設定される。
上記の原料系は黒鉛材からなる密閉円筒状の反応容器に
軽(充填して加熱反応に供される。形状を密閉円筒状と
するのは、充填した原料粉末が均等に加熱され、かつ外
部に漏出飛散することがないようにするためで、通常は
円筒黒鉛管の両端に黒鉛円盤の落し蓋を嵌めて密閉状態
とする構造に形成される。
軽(充填して加熱反応に供される。形状を密閉円筒状と
するのは、充填した原料粉末が均等に加熱され、かつ外
部に漏出飛散することがないようにするためで、通常は
円筒黒鉛管の両端に黒鉛円盤の落し蓋を嵌めて密閉状態
とする構造に形成される。
本発明における重要な要件は、上記密閉円盤状の反応容
器として通気特性が500〜2000a+F!/h H
cm2・mmAqの範囲にある多孔性黒鉛材を用いて形
成したものを適用することである。該通気特性が、50
0d/h−cm2 ・−mAqを上廻る場合には通気
性が不十分で、容器内に充満する余分なCOガスが円滑
に排出されないため高性状なSiCウィスカーが生成さ
れ難くなり、他方2000d/h−cm” ・mmA
qを越えると容器自体の組織が脆弱となるためハンドリ
ング面で問題となり、また穿設により孔を形成するケー
スでは加工孔が大きくなって原料粉末が通過してしまう
不都合を招く。
器として通気特性が500〜2000a+F!/h H
cm2・mmAqの範囲にある多孔性黒鉛材を用いて形
成したものを適用することである。該通気特性が、50
0d/h−cm2 ・−mAqを上廻る場合には通気
性が不十分で、容器内に充満する余分なCOガスが円滑
に排出されないため高性状なSiCウィスカーが生成さ
れ難くなり、他方2000d/h−cm” ・mmA
qを越えると容器自体の組織が脆弱となるためハンドリ
ング面で問題となり、また穿設により孔を形成するケー
スでは加工孔が大きくなって原料粉末が通過してしまう
不都合を招く。
このような通気特性500−2000d/h−cm”
−mtaAqの範囲にある多孔性黒鉛材の反応容器は
、嵩密度0.3〜1.4g/ccの多孔質組織を備える
黒鉛材料を加工することによって形成することができる
。
−mtaAqの範囲にある多孔性黒鉛材の反応容器は
、嵩密度0.3〜1.4g/ccの多孔質組織を備える
黒鉛材料を加工することによって形成することができる
。
また、1.5g/cc以上の嵩密度をもつ通常の黒鉛材
を加工成形した反応容器の端部(蓋部)および/または
円筒部等の周辺に直径1〜5mmの孔を多数個穿設する
ことによって、通気特性500〜2000m1!/h−
c+mz−mmAqの範囲にある多孔性黒鉛材の反応容
器を形成することもできる。この場合に穿設する孔の数
は、例えば反応容器の内径が40〜200m−1長さが
100〜500mmの寸法範囲で10〜30個が好適で
ある。孔の穿設位置は、反応容器の長さが200mm以
下の形状では両端部(蓋部)のみに設置し、長さが20
0m5を越える形状では円筒部の中心付近に設置するこ
とが好ましい。 パ原料系を充填した反応容器は、窒
素、アルゴン等の非酸化性雰囲気に保持された加熱炉で
反応温度域に加熱される。加熱炉としては、通常の電気
抵抗加熱炉、アチソン炉またはプッシャー式管状炉など
が適用される。加熱反応の条件は昇温速度を5〜40°
C/sin、 、反応温度を1500〜1900°Cに
設定される。より好適な条件は、昇温速度10〜30°
C/sin、 、反応度1550〜1700°Cの範囲
にすることである。
を加工成形した反応容器の端部(蓋部)および/または
円筒部等の周辺に直径1〜5mmの孔を多数個穿設する
ことによって、通気特性500〜2000m1!/h−
c+mz−mmAqの範囲にある多孔性黒鉛材の反応容
器を形成することもできる。この場合に穿設する孔の数
は、例えば反応容器の内径が40〜200m−1長さが
100〜500mmの寸法範囲で10〜30個が好適で
ある。孔の穿設位置は、反応容器の長さが200mm以
下の形状では両端部(蓋部)のみに設置し、長さが20
0m5を越える形状では円筒部の中心付近に設置するこ
とが好ましい。 パ原料系を充填した反応容器は、窒
素、アルゴン等の非酸化性雰囲気に保持された加熱炉で
反応温度域に加熱される。加熱炉としては、通常の電気
抵抗加熱炉、アチソン炉またはプッシャー式管状炉など
が適用される。加熱反応の条件は昇温速度を5〜40°
C/sin、 、反応温度を1500〜1900°Cに
設定される。より好適な条件は、昇温速度10〜30°
C/sin、 、反応度1550〜1700°Cの範囲
にすることである。
昇温速度が5°C/win未満であると径大のSiCウ
ィスカーを生成することが困難となり、40°Cノll
l1nを1廻る場合には原料組織中の温度勾配が大きく
なるため、生成ウィスカー形状に異形化およびバラツキ
が増大する傾向を招く。また、反応温度が1500°C
未満ではSiCウィスカーの生成が円滑に進行しなくな
る上に珪素源原料の残留が多くなり、1900’Cを越
える高温域ではウィスカー形状の異形化が増大し、同時
にウィスカーの粒状化が始まってショットの混在が増え
る。
ィスカーを生成することが困難となり、40°Cノll
l1nを1廻る場合には原料組織中の温度勾配が大きく
なるため、生成ウィスカー形状に異形化およびバラツキ
が増大する傾向を招く。また、反応温度が1500°C
未満ではSiCウィスカーの生成が円滑に進行しなくな
る上に珪素源原料の残留が多くなり、1900’Cを越
える高温域ではウィスカー形状の異形化が増大し、同時
にウィスカーの粒状化が始まってショットの混在が増え
る。
反応後、反応容器中に残留する未反応の炭材成分を焼却
処理によって除去する。
処理によって除去する。
このようにして得られるSiCウィスカーは、淡緑白色
を呈する格子欠陥のない5iCO針状単結晶で、優れた
伸直性と高いアスペクト比を備える高性状のものである
。
を呈する格子欠陥のない5iCO針状単結晶で、優れた
伸直性と高いアスペクト比を備える高性状のものである
。
固体原料系によるSiCウィスカーの生成は、下式の反
応を介して進行する。
応を介して進行する。
S i Ox 十C−+S i o+c。
この反応において発生するCOガスが反応容器内に滞留
し、次第に充満してくるとSiC針状結晶の真直的な成
長を阻害する現象を起こす。
し、次第に充満してくるとSiC針状結晶の真直的な成
長を阻害する現象を起こす。
この現象は、本発明に基づいて通気特性500〜200
0d/h−CIIlz−IIIIIAqの範囲にある多
孔性黒鉛材により形成した密閉円筒状の反応容器に原料
粉末を充填して加熱反応に供すると、その多孔組織もし
くは穿設孔から余分なCOガスが優先的に外部に除去さ
れる作用により効果的に解消する。したがって、反応容
器内に伸直性のある高アスペクト性の結晶が成長しえる
環境が与えられ、常に高性状のSiCウィスカーが生成
することになる。
0d/h−CIIlz−IIIIIAqの範囲にある多
孔性黒鉛材により形成した密閉円筒状の反応容器に原料
粉末を充填して加熱反応に供すると、その多孔組織もし
くは穿設孔から余分なCOガスが優先的に外部に除去さ
れる作用により効果的に解消する。したがって、反応容
器内に伸直性のある高アスペクト性の結晶が成長しえる
環境が与えられ、常に高性状のSiCウィスカーが生成
することになる。
(実施例)
以下、本発明の実施例を比較例と対比しながら説明する
。
。
実施例1
珪素源原料として粒度200メツシユ以下の石英粉末を
用い、そのSi1モルに対し0.03モルに相当する量
のFe粉末を触媒として混合した。これにカーボンブラ
ック炭材を珪素源原料に対し180重量%の割合で配合
し、均一に攪拌混合した。炭材用のカーボンブラックに
は、DBP吸油1130m1!/100g 、よう素吸
着量104mg/gの特性を有するファーネスブラック
〔東海カーボン■製、“’5EAST5H”]を用いた
。
用い、そのSi1モルに対し0.03モルに相当する量
のFe粉末を触媒として混合した。これにカーボンブラ
ック炭材を珪素源原料に対し180重量%の割合で配合
し、均一に攪拌混合した。炭材用のカーボンブラックに
は、DBP吸油1130m1!/100g 、よう素吸
着量104mg/gの特性を有するファーネスブラック
〔東海カーボン■製、“’5EAST5H”]を用いた
。
この粉末混合原料を、嵩密度1.8g/CCの多孔質黒
鉛材を加工して形成した内径5011Il、長さ150
mmの管状部と両端に嵌入する円盤蓋からなる密閉円筒
状の反応容器に軽く充填した。この反応容器の通気特性
は、750 ml/h−cm” ・+u+Aqであっ
た。
鉛材を加工して形成した内径5011Il、長さ150
mmの管状部と両端に嵌入する円盤蓋からなる密閉円筒
状の反応容器に軽く充填した。この反応容器の通気特性
は、750 ml/h−cm” ・+u+Aqであっ
た。
反応容器を窒素ガス雰囲気に保持された電気抵抗加熱炉
に入れ、10℃/sin、の昇温速度で1640℃まで
上昇させ、2時間保持して反応生成させた。
に入れ、10℃/sin、の昇温速度で1640℃まで
上昇させ、2時間保持して反応生成させた。
加熱反応後、反応容器から内容物を回収し、大気中で6
00°Cの温度に熱処理して残留する炭材成分を焼却除
去した。
00°Cの温度に熱処理して残留する炭材成分を焼却除
去した。
得られた生成物につきχ線回折をおこなったところ、β
−3iCの原子開路82.15人、1.54人の波長位
置に明確なピークが現出し、5iChやCに相当する回
折線は確認されなかった。
−3iCの原子開路82.15人、1.54人の波長位
置に明確なピークが現出し、5iChやCに相当する回
折線は確認されなかった。
生成した各SiCウィスカーの平均径、アスペクト比お
よび形状等を、用いた反応容器の通気特性と対比させて
表1に示した。
よび形状等を、用いた反応容器の通気特性と対比させて
表1に示した。
なお、性状、形状の評価は、SiCウィスカーをSEM
写真で拡大して観察するとともに、そのうち100本に
つき直径、長さを測定する方法によった。
写真で拡大して観察するとともに、そのうち100本に
つき直径、長さを測定する方法によった。
実施例2
実施例1と同一の原料粉末を、嵩密度0.4g/ccの
黒鉛材を加工して形成した実施例1と同形状の反応容器
に軽く充填した。この反応容器の通気特性は、1520
d/h−cta!1mAqであった。
黒鉛材を加工して形成した実施例1と同形状の反応容器
に軽く充填した。この反応容器の通気特性は、1520
d/h−cta!1mAqであった。
反応容器を窒素ガス雰囲気に保持された電気抵抗加熱炉
に入れ、実施例1と同一条件により加熱反応させ、残留
炭材成分を焼却除去した。
に入れ、実施例1と同一条件により加熱反応させ、残留
炭材成分を焼却除去した。
得られたSiCウィスカーの性状、形状などを表1に併
載した。
載した。
比較例1
実施例1と同一の原料粉末を、嵩密度1.51/ccの
黒鉛材を加工して形成した実施例1と同形状の反応容器
に軽く充填した。この反応容器の通気特性は、450
Id/h −cm” ・−*Aqであった。
黒鉛材を加工して形成した実施例1と同形状の反応容器
に軽く充填した。この反応容器の通気特性は、450
Id/h −cm” ・−*Aqであった。
反応容器を窒素ガス雰囲気に保持された電気抵抗加熱炉
に入れ、実施例1と同一条件により加熱反応させ、残留
炭材成分を焼却除去した。
に入れ、実施例1と同一条件により加熱反応させ、残留
炭材成分を焼却除去した。
得られたSiCウィスカーの性状、形状などを表1に併
載した。
載した。
実施例3
実施例1と同一の原料粉末を、嵩密度1.7g/ccの
黒鉛材を加工した内径50mm、長さ150II11の
管状部1と両端に直径2非の孔3を5個穿設した円盤蓋
2とからなる第1図(断面図)および第2図(円盤蓋の
平面図)に示したような反応容器に軽く充填した。この
反応容器の通気特性は、1100I11/h・0m2・
mIIIAqであった。
黒鉛材を加工した内径50mm、長さ150II11の
管状部1と両端に直径2非の孔3を5個穿設した円盤蓋
2とからなる第1図(断面図)および第2図(円盤蓋の
平面図)に示したような反応容器に軽く充填した。この
反応容器の通気特性は、1100I11/h・0m2・
mIIIAqであった。
反応容器を窒素ガス雰囲気に保持された電気抵抗加熱炉
に入れ、実施例1と同一条件で加熱反応させ、残留炭材
成分を焼却除去した。
に入れ、実施例1と同一条件で加熱反応させ、残留炭材
成分を焼却除去した。
得られたSiCウィスカーの性状、形状などを表1に併
載した。
載した。
比較例2
実施例1と同一の原料粉末を、嵩密度1 、7g/cc
の黒鉛材から加工した実施例3と同形状であって孔を穿
設しない反応容器に軽く充填した。この反応容器の通気
特性は、20R1/h−cm” ・IIlmAqであ
った。
の黒鉛材から加工した実施例3と同形状であって孔を穿
設しない反応容器に軽く充填した。この反応容器の通気
特性は、20R1/h−cm” ・IIlmAqであ
った。
反応容器を窒素ガス雰囲気に保持された電気抵抗加熱炉
に入れ、実施例1と同一条件で加熱反応させ、残留炭材
成分を焼却除去した。
に入れ、実施例1と同一条件で加熱反応させ、残留炭材
成分を焼却除去した。
得られたSiCウィスカーの性状、形状などを表1に併
載した。
載した。
表 1
表1の結果から、本発明で特定した通気特性を備える反
応容器を用いた実施例1〜3による場合には良好な伸直
性と高度のアスペクト比を有するSiCウィスカーが製
造されることが認められた。
応容器を用いた実施例1〜3による場合には良好な伸直
性と高度のアスペクト比を有するSiCウィスカーが製
造されることが認められた。
以上のとおり、本発明によれば特定の通気特性を有する
多孔性黒鉛材から構成された反応容器を適用することに
より、優れた伸直性と高いアスペクト比をもつSiCウ
ィスカーを操業性よく製造することができる。
多孔性黒鉛材から構成された反応容器を適用することに
より、優れた伸直性と高いアスペクト比をもつSiCウ
ィスカーを操業性よく製造することができる。
したがって、各種マトリックス材を対象とする高品質の
複合強化材を量産することが可能となる。
複合強化材を量産することが可能となる。
図は実施例3で用いた黒鉛反応容器を示したもので、第
1図は断面図、第2図は円盤蓋部分の平面図である。 l・・・管状部 2・・・円盤蓋3・・・孔 出願人 東海カーボン株式会社 代理人 弁理士 高 畑 正 也 手続補正書(自発) (1)明細書第1O頁12行目の「・・・粒度200メ
ツシユ・・・」を、「・・・粒度200μm・・・」に
補正する。 平成2年9月11日 (2)明細書第11頁13行目の「・・・原子間距離2
.15人、・・・」を「・・・面間隔2.51人、・・
・」に補正す平成2年特許願第189993号 2、発明の名称 SiCウィスカーの製造方法 3゜ 4゜ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都港区北青山−丁目2番3号名称 東海
カーボン株式会社 取締役社長 三文字 昌 久
1図は断面図、第2図は円盤蓋部分の平面図である。 l・・・管状部 2・・・円盤蓋3・・・孔 出願人 東海カーボン株式会社 代理人 弁理士 高 畑 正 也 手続補正書(自発) (1)明細書第1O頁12行目の「・・・粒度200メ
ツシユ・・・」を、「・・・粒度200μm・・・」に
補正する。 平成2年9月11日 (2)明細書第11頁13行目の「・・・原子間距離2
.15人、・・・」を「・・・面間隔2.51人、・・
・」に補正す平成2年特許願第189993号 2、発明の名称 SiCウィスカーの製造方法 3゜ 4゜ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都港区北青山−丁目2番3号名称 東海
カーボン株式会社 取締役社長 三文字 昌 久
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、珪素源原料と炭材との粉末混合原料に金属系触媒を
添加して反応容器に充填し、これを1500〜1900
℃の温度と非酸化性雰囲気に保持された反応炉内におい
て加熱反応させてSiCウィスカーを生成させる方法に
おいて、通気特性が500〜2000ml/h・cm^
2・mmAqの範囲にある多孔性黒鉛材により形成した
密閉円筒状の反応容器を用いることを特徴とするSiC
ウィスカーの製造方法。 2、密閉円筒状の反応容器が、嵩密度0.3〜1.4g
/ccの多孔質黒鉛材によって構成される請求項1記載
のSiCウィスカーの製造方法。 3、密閉円筒状の反応容器が、嵩密度1.5g/cc以
上の黒鉛材で形成した反応容器の周辺に直径1〜5mm
の孔を多数個穿設することにより構成される請求項1記
載のSiCのウイスカーの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18999390A JPH0477399A (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | SiCウイスカーの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18999390A JPH0477399A (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | SiCウイスカーの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0477399A true JPH0477399A (ja) | 1992-03-11 |
Family
ID=16250600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18999390A Pending JPH0477399A (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | SiCウイスカーの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0477399A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6266762B1 (en) | 1995-01-06 | 2001-07-24 | Ricoh Company, Ltd. | Information processing apparatus |
| US6497764B2 (en) * | 1998-07-13 | 2002-12-24 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for growing SiC single crystals |
| CN105780123A (zh) * | 2016-02-04 | 2016-07-20 | 武汉科技大学 | 一种碳化铪纳米晶须及其制备方法 |
-
1990
- 1990-07-17 JP JP18999390A patent/JPH0477399A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6266762B1 (en) | 1995-01-06 | 2001-07-24 | Ricoh Company, Ltd. | Information processing apparatus |
| US6497764B2 (en) * | 1998-07-13 | 2002-12-24 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for growing SiC single crystals |
| CN105780123A (zh) * | 2016-02-04 | 2016-07-20 | 武汉科技大学 | 一种碳化铪纳米晶须及其制备方法 |
| CN105780123B (zh) * | 2016-02-04 | 2018-02-09 | 武汉科技大学 | 一种碳化铪纳米晶须及其制备方法 |
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