JPH0477656B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0477656B2 JPH0477656B2 JP60148266A JP14826685A JPH0477656B2 JP H0477656 B2 JPH0477656 B2 JP H0477656B2 JP 60148266 A JP60148266 A JP 60148266A JP 14826685 A JP14826685 A JP 14826685A JP H0477656 B2 JPH0477656 B2 JP H0477656B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- layers
- resin
- multilayer film
- dust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Laminated Bodies (AREA)
- Extrusion Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、剥離性多層フイルムの製造方法に関
する。
する。
従来の技術
近年、半導体ウエハ（以下単にウエハという）
からICやLSIを製造するプロセスは長足の進歩を
とげている。この進歩に伴ない周辺で利用されて
いる補助材料、例えばウエハのダイシングテープ
やキヤリヤテープなどは、高度な清浄性（無塵化
など）が要求されている。
からICやLSIを製造するプロセスは長足の進歩を
とげている。この進歩に伴ない周辺で利用されて
いる補助材料、例えばウエハのダイシングテープ
やキヤリヤテープなどは、高度な清浄性（無塵化
など）が要求されている。
このため、この分野において用いられる上記の
補助材料であるフイルムやシートなどは、塵埃の
付着しない雰囲気、例えば無塵室（クリーンルー
ム）内などで製造し包装し開封後はクリーンルー
ムに保管するか、あるいは製造時にクリーンルー
ムで少くとも片面を無塵な離型紙と貼合わせて清
浄度を維持するものであつた。
補助材料であるフイルムやシートなどは、塵埃の
付着しない雰囲気、例えば無塵室（クリーンルー
ム）内などで製造し包装し開封後はクリーンルー
ムに保管するか、あるいは製造時にクリーンルー
ムで少くとも片面を無塵な離型紙と貼合わせて清
浄度を維持するものであつた。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記のような無塵フイルムやシ
ートをクリーンルームなどの環境で製造するには
各種の制約があり、かつ製造コストが高くなると
いう問題がある。
ートをクリーンルームなどの環境で製造するには
各種の制約があり、かつ製造コストが高くなると
いう問題がある。
本発明は、上記のような問題点を解消し、非無
塵の環境においても製造でき、かつ容易に剥離す
ることにより無塵フイルムまたはシートを得るこ
とができる多層フイルムの製造方法を提供するこ
とを目的とする。
塵の環境においても製造でき、かつ容易に剥離す
ることにより無塵フイルムまたはシートを得るこ
とができる多層フイルムの製造方法を提供するこ
とを目的とする。
問題点を解決するための手段
本発明は、熱可塑性樹脂を少くとも３層で溶融
押出し、該溶融樹脂層の両端部を除く層間に、冷
却ガスを吹き出させて融着を防止した後、該樹脂
層をキヤストロール上で積層するとともに両端部
を融着させる多層フイルムの製造方法を要旨とす
る。
押出し、該溶融樹脂層の両端部を除く層間に、冷
却ガスを吹き出させて融着を防止した後、該樹脂
層をキヤストロール上で積層するとともに両端部
を融着させる多層フイルムの製造方法を要旨とす
る。
以下に本発明の方法を一実施態様の図面に基づ
いて詳細に説明する。
いて詳細に説明する。
図面は本発明の方法を示す概略説明図であり、
第１図は製膜状態を示す正面説明図、第２図は製
膜状態の側面説明図および第３図はマルチダイの
下部を示す説明図である。
第１図は製膜状態を示す正面説明図、第２図は製
膜状態の側面説明図および第３図はマルチダイの
下部を示す説明図である。
押出機１に供給した熱可塑性樹脂２は、マルチ
ストリツトダイ３から少くとも３層の溶融樹脂フ
イルムまたはシート４（以下フイルムと称す）状
に押出す。溶融樹脂フイルム４は、第３図に示す
ように端盲板５で樹脂出口スリツト６の両端を塞
ぎ、中間の樹脂フイルム４の幅を外層に比べて短
かくするか、または端盲板５を設けず樹脂フイル
ム４の全層の幅を同じに押出してもよい。この場
合、前者は外層のみが端部で融着した多層フイル
ムとなり、後者は各層が端部で融着した多層フイ
ルムとなる。また、樹脂フイルム４の厚さは用途
により異なるが、中間層は通常100μｍ程度で、
外層との厚さの構成比は外層／中間層＝１／２〜
１／４となるようにすることが望ましい。また、
上記樹脂フイルム４の構成は、３層以上で、目
的、用途に応じて中間層を増してもよい。さら
に、これら各層の樹脂は、同種または異種を組合
せてもよいが、外層同志は熱接着性であることが
必要である。
ストリツトダイ３から少くとも３層の溶融樹脂フ
イルムまたはシート４（以下フイルムと称す）状
に押出す。溶融樹脂フイルム４は、第３図に示す
ように端盲板５で樹脂出口スリツト６の両端を塞
ぎ、中間の樹脂フイルム４の幅を外層に比べて短
かくするか、または端盲板５を設けず樹脂フイル
ム４の全層の幅を同じに押出してもよい。この場
合、前者は外層のみが端部で融着した多層フイル
ムとなり、後者は各層が端部で融着した多層フイ
ルムとなる。また、樹脂フイルム４の厚さは用途
により異なるが、中間層は通常100μｍ程度で、
外層との厚さの構成比は外層／中間層＝１／２〜
１／４となるようにすることが望ましい。また、
上記樹脂フイルム４の構成は、３層以上で、目
的、用途に応じて中間層を増してもよい。さら
に、これら各層の樹脂は、同種または異種を組合
せてもよいが、外層同志は熱接着性であることが
必要である。
溶融樹脂フイルム４は、マルチスリツトダイ３
の樹脂出口スリツト６の間に設けた冷却ガス導管
７のガス吹出孔またはスリツト８よりガスを吹出
させて冷却する。この冷却は、溶融樹脂フイルム
４の端部を除き積層時に樹脂の溶融温度未満とな
るようにして各フイルム間の融着防止し、かつ端
部は積層時に溶融温度以上とすることが必要であ
る。冷却温度の調節は、ガスの吹出量により調節
することができる。この場合の冷却ガス９は、通
常窒素ガス、空気などが用いられるが、冷却ガス
中の塵埃の混入を防止するため大気を利用する場
合は充分な過をすること、或いは液化窒素など
を気化して使用することが望ましい、更に溶融フ
イルムの安定性のうえからは不活性な窒素ガスが
望ましい。ガス吹出しによる溶融樹脂フイルムの
冷却温度が上記の範囲を外れる場合は、多層フイ
ルムの端部が融着シールできないために積層後に
塵が侵入したり、一方フイルム間が融着して剥離
性が失われるなどの不都合が生じるために好まし
くない。
の樹脂出口スリツト６の間に設けた冷却ガス導管
７のガス吹出孔またはスリツト８よりガスを吹出
させて冷却する。この冷却は、溶融樹脂フイルム
４の端部を除き積層時に樹脂の溶融温度未満とな
るようにして各フイルム間の融着防止し、かつ端
部は積層時に溶融温度以上とすることが必要であ
る。冷却温度の調節は、ガスの吹出量により調節
することができる。この場合の冷却ガス９は、通
常窒素ガス、空気などが用いられるが、冷却ガス
中の塵埃の混入を防止するため大気を利用する場
合は充分な過をすること、或いは液化窒素など
を気化して使用することが望ましい、更に溶融フ
イルムの安定性のうえからは不活性な窒素ガスが
望ましい。ガス吹出しによる溶融樹脂フイルムの
冷却温度が上記の範囲を外れる場合は、多層フイ
ルムの端部が融着シールできないために積層後に
塵が侵入したり、一方フイルム間が融着して剥離
性が失われるなどの不都合が生じるために好まし
くない。
端部１０を除き冷却した多層の樹脂フイルム４
は、両端にジエツト気流１１を吹き付け、エアー
ナイフ１２でキヤストロール１３上に強制的に押
し付け積層するとともに両端部同志または各層を
融着して多層フイルム１４とした後巻き取る。な
お、両端部の融着は、ジエツト気流の吹き付けに
代り、ロールなどの圧着によるものでもよい。
は、両端にジエツト気流１１を吹き付け、エアー
ナイフ１２でキヤストロール１３上に強制的に押
し付け積層するとともに両端部同志または各層を
融着して多層フイルム１４とした後巻き取る。な
お、両端部の融着は、ジエツト気流の吹き付けに
代り、ロールなどの圧着によるものでもよい。
得られた多層フイルムは、その幅方向の両端
（耳部）が融着し、その端部からの塵などの混侵
入を防止するものであり、その両端部を切り落す
ことによつて表裏の外層を容易に剥離できて中間
層を無塵フイルムとして得ることができる。
（耳部）が融着し、その端部からの塵などの混侵
入を防止するものであり、その両端部を切り落す
ことによつて表裏の外層を容易に剥離できて中間
層を無塵フイルムとして得ることができる。
本発明における前期の熱可塑性樹脂としては、
原則的には任意で、フイルムまたはシートの成形
ができるものであれば特に限定はない。例えばポ
リオレフイン、ポリアミド、ポリエステル、ポリ
塩化ビニル、ポリカーボネイト、ポリイミド、ポ
リスルホン、フツ素樹脂などがあげられる。これ
らの樹脂樹脂は、他の樹脂および添加剤を添加し
たものであつてもよい。これら熱可塑性樹脂のう
ちでは、ポリエチレン、ポリプロピレンなどが作
業性および価格などの点から好ましい。
原則的には任意で、フイルムまたはシートの成形
ができるものであれば特に限定はない。例えばポ
リオレフイン、ポリアミド、ポリエステル、ポリ
塩化ビニル、ポリカーボネイト、ポリイミド、ポ
リスルホン、フツ素樹脂などがあげられる。これ
らの樹脂樹脂は、他の樹脂および添加剤を添加し
たものであつてもよい。これら熱可塑性樹脂のう
ちでは、ポリエチレン、ポリプロピレンなどが作
業性および価格などの点から好ましい。
実施例
第１〜３図に示すような、口径30mmφの押出機
３基と幅350mmの多数穴あき６mmφ冷却ガス吹出
金属管および中間層樹脂出口スリツト端盲板付マ
ルチスリツトキヤストダイからなる３種３層共押
出キヤストフイル吐出装置、直径400mmφ、長さ
400mmチルロール引取装置および巻取装置を用い
て多層フイルムを製造した。
３基と幅350mmの多数穴あき６mmφ冷却ガス吹出
金属管および中間層樹脂出口スリツト端盲板付マ
ルチスリツトキヤストダイからなる３種３層共押
出キヤストフイル吐出装置、直径400mmφ、長さ
400mmチルロール引取装置および巻取装置を用い
て多層フイルムを製造した。
線状低密度ポリエチレン（密度0.920ｇ／cm3、
MI＝２ｇ／10分）を、ヘツダ導管の温度を中間
層を180℃、両外層を200℃に設定した押出機に供
給し、200℃に設定したダイより押出し、多層フ
イルムの厚さを100μｍ、外層／中間層／外層の
厚さが１：２：１となるように各押出機の吐出量
を調整した。冷却ガス吹出孔により元圧が0.5〜
1.5Kg／cm2Ｇになるように調整した窒素ガス吹出
させて溶融押出フイルムを冷却した。
MI＝２ｇ／10分）を、ヘツダ導管の温度を中間
層を180℃、両外層を200℃に設定した押出機に供
給し、200℃に設定したダイより押出し、多層フ
イルムの厚さを100μｍ、外層／中間層／外層の
厚さが１：２：１となるように各押出機の吐出量
を調整した。冷却ガス吹出孔により元圧が0.5〜
1.5Kg／cm2Ｇになるように調整した窒素ガス吹出
させて溶融押出フイルムを冷却した。
両端部を除き冷却した各フイルムを、エアーナ
イフで強制的にキヤストロールに押付けるととも
に、フイルムの端から約15mmを中心としてエアー
ジエツト気流を吹き付け溶融状態の外層フイルム
同志を融着して巻取つた。
イフで強制的にキヤストロールに押付けるととも
に、フイルムの端から約15mmを中心としてエアー
ジエツト気流を吹き付け溶融状態の外層フイルム
同志を融着して巻取つた。
得られた多層フイルムは、両端を夫々20mm切り
落し表裏面にセロハンテープを貼り左右に広げる
ことにより容易に剥離させることができ、中間層
から塵の付着しないフイルムが得られた。
落し表裏面にセロハンテープを貼り左右に広げる
ことにより容易に剥離させることができ、中間層
から塵の付着しないフイルムが得られた。
発明の効果
本発明の方法によれば剥離性が容易な多層フイ
ルムが得られる。また、多層フイルムは非無塵の
環境において製造できるために、これを剥離して
得られる無塵フイルムは従来のものに比べてコス
トダウンが図れる。また、多層フイルムを構成す
る樹脂は、同種、異種の組合せに制限がなく製造
できる。このため、同種の樹脂を用いた場合に、
端部を切り落したスクラツプの再生が容易であ
る。
ルムが得られる。また、多層フイルムは非無塵の
環境において製造できるために、これを剥離して
得られる無塵フイルムは従来のものに比べてコス
トダウンが図れる。また、多層フイルムを構成す
る樹脂は、同種、異種の組合せに制限がなく製造
できる。このため、同種の樹脂を用いた場合に、
端部を切り落したスクラツプの再生が容易であ
る。
図面は本発明を示す概略説明図で、第１図は製
膜状態を示す正面説明図、第２図は製膜状態の側
面説明図および第３図はマルチダイの下部を示す
説明図である。 １……押出機、２……熱可塑性樹脂、３……マ
ルチスリツトダイ、４……溶融樹脂フイルム、５
……端盲板、６……樹脂出口スリツト、７……冷
却ガス導管、８……ガス吹出孔、９……冷却ガ
ス、１０……フイルム端部、１１……ジエツト気
流、１２……エアーナイフ、１３……キヤストロ
ール、１４……多層フイルム。
膜状態を示す正面説明図、第２図は製膜状態の側
面説明図および第３図はマルチダイの下部を示す
説明図である。 １……押出機、２……熱可塑性樹脂、３……マ
ルチスリツトダイ、４……溶融樹脂フイルム、５
……端盲板、６……樹脂出口スリツト、７……冷
却ガス導管、８……ガス吹出孔、９……冷却ガ
ス、１０……フイルム端部、１１……ジエツト気
流、１２……エアーナイフ、１３……キヤストロ
ール、１４……多層フイルム。
Claims (1)
- １ 熱可塑性樹脂を少くとも３層で溶融押出し、
該溶融樹脂層の両端部を除く層間に、冷却ガスを
吹き出させて融着を防止した後、該樹脂層をキヤ
ストロール上で積層するとともに両端部を融着さ
せる多層フイルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60148266A JPS629941A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 多層フイルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60148266A JPS629941A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 多層フイルムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS629941A JPS629941A (ja) | 1987-01-17 |
| JPH0477656B2 true JPH0477656B2 (ja) | 1992-12-09 |
Family
ID=15448923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60148266A Granted JPS629941A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 多層フイルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS629941A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19816869A1 (de) * | 1998-04-16 | 1999-10-21 | Lean Tec Entwicklungs Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Blas- oder Gießfolien sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| JP2012006271A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Unitika Ltd | 樹脂フィルムの製造装置 |
| CN109890600A (zh) * | 2016-10-26 | 2019-06-14 | 日东电工株式会社 | 薄膜层叠体的制造方法 |
-
1985
- 1985-07-08 JP JP60148266A patent/JPS629941A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS629941A (ja) | 1987-01-17 |
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