JPS629941A - 多層フイルムの製造方法 - Google Patents
多層フイルムの製造方法Info
- Publication number
- JPS629941A JPS629941A JP60148266A JP14826685A JPS629941A JP S629941 A JPS629941 A JP S629941A JP 60148266 A JP60148266 A JP 60148266A JP 14826685 A JP14826685 A JP 14826685A JP S629941 A JPS629941 A JP S629941A
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- JP
- Japan
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- film
- layers
- resin
- side end
- end parts
- Prior art date
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- Granted
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- Laminated Bodies (AREA)
- Extrusion Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、剥離性多層フィルムの製造方法に関する。
従来の技術
近年、半導体ウェハ（以下単にウエノ・という）から工
ＣやＬＳＩを製造するプロセスは長足の進歩をとけてい
る。この進歩に伴かい周辺で利用されている補助材料、
例えばウェハのダイシングチーブやキャリヤチーブなど
は、高度な清浄性（無塵化などンが要求されている。
ＣやＬＳＩを製造するプロセスは長足の進歩をとけてい
る。この進歩に伴かい周辺で利用されている補助材料、
例えばウェハのダイシングチーブやキャリヤチーブなど
は、高度な清浄性（無塵化などンが要求されている。
このため、この分野において用いられる上記の補助材料
であるフィルムやシートなどは、塵埃の付着しない界囲
気、例えば無塵室（クリーンルーム）内などで製造し包
装し開封後はクリーンルームに保管するか、あるいは製
造時にクリーンルームで少くとも片面を無塵な離型紙と
貼合わせて清浄度を維持するものであった。
であるフィルムやシートなどは、塵埃の付着しない界囲
気、例えば無塵室（クリーンルーム）内などで製造し包
装し開封後はクリーンルームに保管するか、あるいは製
造時にクリーンルームで少くとも片面を無塵な離型紙と
貼合わせて清浄度を維持するものであった。
発明が解決しょうとする問題点
しかしながら、上記のような無塵フィルムやシートラフ
リーンルームなどの環境で製造するには各種の制約がら
υ、かつ製造コストが高くなるという問題がある。
リーンルームなどの環境で製造するには各種の制約がら
υ、かつ製造コストが高くなるという問題がある。
本発明は、上記のような問題点を解消し、非無塵の環境
においても製造でき、かつ容易に剥離することにニジ無
塵フィルムまたはシートを得ることができる多層フィル
ムの製造方法を提供することを目的とする。
においても製造でき、かつ容易に剥離することにニジ無
塵フィルムまたはシートを得ることができる多層フィル
ムの製造方法を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段
本発明は、熱可塑性樹脂を少くとも３層で溶融押出し、
該溶融樹脂層の両端部を除く層間に、冷却ガスを吹き出
させて融着を防止した後、該樹脂層をキャヌトロール上
で積層するとともに両端部を融着させる多層フィルムの
製造方法を要旨とする。
該溶融樹脂層の両端部を除く層間に、冷却ガスを吹き出
させて融着を防止した後、該樹脂層をキャヌトロール上
で積層するとともに両端部を融着させる多層フィルムの
製造方法を要旨とする。
以下に本発明の方法合一実施態様の図面に基づいて詳細
に説明する。
に説明する。
図面は本発明の方法全示す概略酸、明図であり、第１図
は製膜状態を示す正面説明図、第２図は製膜状態の側面
説明図および第５図はマルチダイの下部を示す説明図で
ある。
は製膜状態を示す正面説明図、第２図は製膜状態の側面
説明図および第５図はマルチダイの下部を示す説明図で
ある。
押出機１に供給した熱可塑性樹脂２は、マルチスリット
ダイ３から少くとも３層の溶融樹脂フィルムまたはシー
ト４（以下フィルムと称すλ状に押出す。溶融樹脂フィ
ルム４は、第３図に示すように端盲板５で樹脂量ロスリ
ット乙の両端を塞ぎ、中間の樹脂フィルム４の幅を間層
に比べて短かくするか、または端盲板５を設けず樹脂フ
ィルム４の全層の幅を同じに押出してもよい。この場合
、前者は外層のみが端部で融着した多層フィルムとなシ
、後者は各層が端部で融着した多層フィルムと力る。ま
た、樹脂フィルム４の厚さは用途に↓９異なるが、中間
層は通常１００μｍ程度で、外層との厚さの構成比は外
層／中間層＝１／２〜１／４となるようにすることが望
ましい。また、上記樹脂フィルム４の構成は、３層以上
で、目的、用途に応じて中間層を増してもよい。さらに
、これら各層の樹脂は、同種またけ異種を組合せてもよ
いが、外層同志は熱接着性であることが必要である。
ダイ３から少くとも３層の溶融樹脂フィルムまたはシー
ト４（以下フィルムと称すλ状に押出す。溶融樹脂フィ
ルム４は、第３図に示すように端盲板５で樹脂量ロスリ
ット乙の両端を塞ぎ、中間の樹脂フィルム４の幅を間層
に比べて短かくするか、または端盲板５を設けず樹脂フ
ィルム４の全層の幅を同じに押出してもよい。この場合
、前者は外層のみが端部で融着した多層フィルムとなシ
、後者は各層が端部で融着した多層フィルムと力る。ま
た、樹脂フィルム４の厚さは用途に↓９異なるが、中間
層は通常１００μｍ程度で、外層との厚さの構成比は外
層／中間層＝１／２〜１／４となるようにすることが望
ましい。また、上記樹脂フィルム４の構成は、３層以上
で、目的、用途に応じて中間層を増してもよい。さらに
、これら各層の樹脂は、同種またけ異種を組合せてもよ
いが、外層同志は熱接着性であることが必要である。
溶融樹脂フィルム４は、マルチスリットダイ３の樹脂出
口スリット６の間に設けた冷却ガス導管７のガス吹出孔
またはスリット８工りガスを吹出させて冷却する。この
冷却は、溶融樹脂フィルム４の端部を除き積層時に樹脂
の溶融温度未満となるようにして各フィルム間の融着防
止し、かつ端部は積層時に溶融温度以上とすることが必
要である。冷却温度の調節は、ガスの吹出量により調節
することができる。この場合の冷却ガス９は、通常窒素
ガス、空気などが用いられるが、冷却ガス中の塵埃の混
入を防止するため大気を利用する場合は充分な濾過全す
ること、或いは液化窒素々どを気化して使用することが
望ましい、更に溶融フィルムの安定性のうえからは不活
性な窒素ガスが望ましい。ガス吹出しによる溶融樹脂フ
ィルムの冷却温度が上記の範囲を外れる場合は、多層フ
ィルムの端部が融着シールできないために積層後に塵が
侵入したり、一方フイルム間が融着して剥離性が失われ
るなどの不都合が生じるために好ましくない。
口スリット６の間に設けた冷却ガス導管７のガス吹出孔
またはスリット８工りガスを吹出させて冷却する。この
冷却は、溶融樹脂フィルム４の端部を除き積層時に樹脂
の溶融温度未満となるようにして各フィルム間の融着防
止し、かつ端部は積層時に溶融温度以上とすることが必
要である。冷却温度の調節は、ガスの吹出量により調節
することができる。この場合の冷却ガス９は、通常窒素
ガス、空気などが用いられるが、冷却ガス中の塵埃の混
入を防止するため大気を利用する場合は充分な濾過全す
ること、或いは液化窒素々どを気化して使用することが
望ましい、更に溶融フィルムの安定性のうえからは不活
性な窒素ガスが望ましい。ガス吹出しによる溶融樹脂フ
ィルムの冷却温度が上記の範囲を外れる場合は、多層フ
ィルムの端部が融着シールできないために積層後に塵が
侵入したり、一方フイルム間が融着して剥離性が失われ
るなどの不都合が生じるために好ましくない。
端部１０を除き冷却した多層の樹脂フィルム４は、両端
にジェット気流１１を吹き付け、エアーナイフ１２でキ
ャストロール１３上に強制的に押し付は積層するととも
に両端部同志または各層を融着して多層フィルム１４と
した後巻き取る。なお、両端部の融着は、ジェット気流
の吹き付けに代シ、ロールなどの圧着によるものでも工
い。
にジェット気流１１を吹き付け、エアーナイフ１２でキ
ャストロール１３上に強制的に押し付は積層するととも
に両端部同志または各層を融着して多層フィルム１４と
した後巻き取る。なお、両端部の融着は、ジェット気流
の吹き付けに代シ、ロールなどの圧着によるものでも工
い。
得られた多層フィルムは、その幅方向の両端（耳りが融
着し、その端部からの塵などの混侵入を防止するもので
あり、その両端部を切ｐ落すことによって表裏の外層を
容易に剥離できて中間層を無塵フィルムとして得ること
ができる。
着し、その端部からの塵などの混侵入を防止するもので
あり、その両端部を切ｐ落すことによって表裏の外層を
容易に剥離できて中間層を無塵フィルムとして得ること
ができる。
本発明における前記の熱可塑性樹脂としては、原則的に
は任意で、フィルムまたはシートの成形ができるもので
あれば特に限定はない。例えばポリオレフィン、ポリア
ミド、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネイ
ト、ポリイミド、ポリスルホン、フッ素樹脂などがあげ
られる。これらの樹脂は、他の樹脂お工び添加剤を添加
したものであってもよい。これら熱可塑性樹脂のうちで
は、ポリエチレン、ポリプロピレンたどが作業性および
価格などの点から好ましい。
は任意で、フィルムまたはシートの成形ができるもので
あれば特に限定はない。例えばポリオレフィン、ポリア
ミド、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネイ
ト、ポリイミド、ポリスルホン、フッ素樹脂などがあげ
られる。これらの樹脂は、他の樹脂お工び添加剤を添加
したものであってもよい。これら熱可塑性樹脂のうちで
は、ポリエチレン、ポリプロピレンたどが作業性および
価格などの点から好ましい。
実施例
第１〜３図に示すような、口径５０Ｗｎφの押出機３基
と幅５５０製の多数穴あき６潤φ冷却ガス吹出金属管お
よび中間層樹脂出ロスリット端盲板付マルチスリットキ
ャストダイからなる３種３層共押出キャストフィル吐出
装置、直径４００咽φ、長さ４００闘チルロ一ル引取装
置斤および巻取装置を用いて多層フィルム全製造した。
と幅５５０製の多数穴あき６潤φ冷却ガス吹出金属管お
よび中間層樹脂出ロスリット端盲板付マルチスリットキ
ャストダイからなる３種３層共押出キャストフィル吐出
装置、直径４００咽φ、長さ４００闘チルロ一ル引取装
置斤および巻取装置を用いて多層フィルム全製造した。
線状低密度ポリエチレン（密度０．９２０ ？／ａｎ３
、Ｍ工＝２ｆ７１０分）を、ヘッダ導管の温ｆｆを中間
層を１８０℃、両列層を２００℃に設定した押出機に供
給し、２００℃に設定したダイエり押出し、多層フィル
ムの厚さ全１００μｎｔ、外層／中間層／外層の厚でか
１：２：１となるように各押出機の吐出量を調整した。
、Ｍ工＝２ｆ７１０分）を、ヘッダ導管の温ｆｆを中間
層を１８０℃、両列層を２００℃に設定した押出機に供
給し、２００℃に設定したダイエり押出し、多層フィル
ムの厚さ全１００μｎｔ、外層／中間層／外層の厚でか
１：２：１となるように各押出機の吐出量を調整した。
冷却ガス吹出孔ニジ元圧が０．５〜ｔ ５ ｋｇ／ｃｍ
２Ｇになるように調整した窒素ガス吹出させて溶融押出
フィルムを冷却した。
２Ｇになるように調整した窒素ガス吹出させて溶融押出
フィルムを冷却した。
両端部を除き冷却した各フィルム金、エアーナイフで強
制的にキャストロールに押付けるとともに、フィルムの
端から約１５ ｍｍ ｆ中心としてエアージェット気流
を吹き付は溶融状態の外層フィルム同志を融着して巻取
った。
制的にキャストロールに押付けるとともに、フィルムの
端から約１５ ｍｍ ｆ中心としてエアージェット気流
を吹き付は溶融状態の外層フィルム同志を融着して巻取
った。
得られた多層フィルムは、両端を夫々２０ｍ＋切ｐ落し
表裏面にセロハンテープを貼り左右に広げることに、ｃ
シ容易に剥離させることができ、中間層から塵の付着し
ないフィルムが得られた。
表裏面にセロハンテープを貼り左右に広げることに、ｃ
シ容易に剥離させることができ、中間層から塵の付着し
ないフィルムが得られた。
発明の効果
本発明の方法によれば剥離性が容易な多層フィルムが得
られる。また、多層フィルムは非無塵の環境において製
造できるために、これを剥離して得られる無塵フィルム
は従来のものに比べてコストダウンが図れる。また、多
層フィルム全構成する樹脂は、同種、異種の組合せに制
限がなく製造できる。このため、同種の樹脂を用いた場
合に、端部を切シ落したスクラップの再生が容易である
。
られる。また、多層フィルムは非無塵の環境において製
造できるために、これを剥離して得られる無塵フィルム
は従来のものに比べてコストダウンが図れる。また、多
層フィルム全構成する樹脂は、同種、異種の組合せに制
限がなく製造できる。このため、同種の樹脂を用いた場
合に、端部を切シ落したスクラップの再生が容易である
。
図面は本発明を示す概略説明図で、第１図は製膜状態を
示す正面説明図、第２図は製膜状態の側面説明図および
第５図はマルチダイの下部を示す説明図である。
示す正面説明図、第２図は製膜状態の側面説明図および
第５図はマルチダイの下部を示す説明図である。
Claims (1)
- 熱可塑性樹脂を少くとも３層で溶融押出し、該溶融樹脂
層の両端部を除く層間に、冷却ガスを吹き出させて融着
を防止した後、該樹脂層をキャストロール上で積層する
とともに両端部を融着させる多層フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60148266A JPS629941A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 多層フイルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60148266A JPS629941A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 多層フイルムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS629941A true JPS629941A (ja) | 1987-01-17 |
| JPH0477656B2 JPH0477656B2 (ja) | 1992-12-09 |
Family
ID=15448923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60148266A Granted JPS629941A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 多層フイルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS629941A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0950499A1 (de) * | 1998-04-16 | 1999-10-20 | lean tec Entwicklungs GmbH | Verfahren zur Herstellung von besonders oberflächenreinen Blas- oder Giessfolien sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| CN102294815A (zh) * | 2010-06-25 | 2011-12-28 | 尤尼吉可株式会社 | 树脂薄膜的制造装置 |
| US11731412B2 (en) * | 2016-10-26 | 2023-08-22 | Nitto Denko Corporation | Production method for film laminate |
-
1985
- 1985-07-08 JP JP60148266A patent/JPS629941A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0950499A1 (de) * | 1998-04-16 | 1999-10-20 | lean tec Entwicklungs GmbH | Verfahren zur Herstellung von besonders oberflächenreinen Blas- oder Giessfolien sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| CN102294815A (zh) * | 2010-06-25 | 2011-12-28 | 尤尼吉可株式会社 | 树脂薄膜的制造装置 |
| US11731412B2 (en) * | 2016-10-26 | 2023-08-22 | Nitto Denko Corporation | Production method for film laminate |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0477656B2 (ja) | 1992-12-09 |
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