JPH0478132A - 防着板固定用ネジ - Google Patents
防着板固定用ネジInfo
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- JPH0478132A JPH0478132A JP19278990A JP19278990A JPH0478132A JP H0478132 A JPH0478132 A JP H0478132A JP 19278990 A JP19278990 A JP 19278990A JP 19278990 A JP19278990 A JP 19278990A JP H0478132 A JPH0478132 A JP H0478132A
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- Japan
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- knob
- fixing
- plate
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要］
本発明は、スパッタ装置やＣＶＤ装置等の堆積物防着板
の固定用ふジの構造に関し。
の固定用ふジの構造に関し。
確実な取り付けが行なえることを目的とし。
成膜用の半導体製造装置のチャンバ内壁に取り付けられ
る防着板固定用ネジの構造において、ネジ部の頭部の上
に、該頭部より更に大きな径のつまみが一体構造にて形
成されてなるように構成する。
る防着板固定用ネジの構造において、ネジ部の頭部の上
に、該頭部より更に大きな径のつまみが一体構造にて形
成されてなるように構成する。
本発明は、スパッタ装置やＣＶＤ装置等の堆積物防着板
の固定用ネジの構造に関する。
の固定用ネジの構造に関する。
近年の半導体製造装置のチャンバ内における堆積物防着
板の固定用ネジには１着脱の容易さと。
板の固定用ネジには１着脱の容易さと。
取り付は手番の短縮が要求されている。
そのため、従来取外しに時間を要した防着板固定用ネジ
の構造を改良する必要があった。
の構造を改良する必要があった。
第３図は従来例の説明図である。
図において、１３はネジ、１４はネジキャップ、１５は
防着板、 １６はチャンバ、１７は堆積物である。
防着板、 １６はチャンバ、１７は堆積物である。
従来のスパッタ装置やＣＶＤ装置等の半導体製造装置に
おいては、 装置を稼働して、金属膜等をスパッタした
り、ポリＳｉ膜等をＣＶＤ成長した場合に、基板７上に
堆積物としての金属膜、或いはポリＳｉ膜等が形成され
るが、同時に、基板とターゲント或いはガス拡散板間の
チャン、／Ｘの部分にも堆積物が付着する。そのために
、この部分に防着板を取り付けて、チャンバに直接付着
するのを防止するとともに、防着板を取外して、堆積物
の除去をし易くする。しかし１何度もスパッタ等の堆積
を繰り返していると３段々に堆積物厚く堆積されて、堆
積物が繋がってしまい、ネジを回して、ネジを取り外す
ことが大変に困難と成って（る。
おいては、 装置を稼働して、金属膜等をスパッタした
り、ポリＳｉ膜等をＣＶＤ成長した場合に、基板７上に
堆積物としての金属膜、或いはポリＳｉ膜等が形成され
るが、同時に、基板とターゲント或いはガス拡散板間の
チャン、／Ｘの部分にも堆積物が付着する。そのために
、この部分に防着板を取り付けて、チャンバに直接付着
するのを防止するとともに、防着板を取外して、堆積物
の除去をし易くする。しかし１何度もスパッタ等の堆積
を繰り返していると３段々に堆積物厚く堆積されて、堆
積物が繋がってしまい、ネジを回して、ネジを取り外す
ことが大変に困難と成って（る。
そのため、第３図に示すように、チャンノ１に堆積物が
付かないための防着板の取り付は方法において、取り付
は手番を短縮するためにネジの頭部に傘状の径の広いつ
まみを被せる構造のネジキャップ１４を使用していたが
、ネジ１３の加工精度や形状、或いは、ネジキャンプ１
４の取り付は時の不確実性のために、使用中に、振動等
により落下するなどの問題が生していた。
付かないための防着板の取り付は方法において、取り付
は手番を短縮するためにネジの頭部に傘状の径の広いつ
まみを被せる構造のネジキャップ１４を使用していたが
、ネジ１３の加工精度や形状、或いは、ネジキャンプ１
４の取り付は時の不確実性のために、使用中に、振動等
により落下するなどの問題が生していた。
〔発明が解決しようとする課題］
従って、ふジに対するネジキャップの取り付けに手間が
かかること、及び、使用中にネジキャップが落下してし
まうといった問題があり、安定使用が出来なかった。
かかること、及び、使用中にネジキャップが落下してし
まうといった問題があり、安定使用が出来なかった。
本発明は１以上の点に鑑み、これらの欠点を解消して、
防着板取り付はネジが、安定して、確実に、容易に取り
付けが行なえることを目的として提供されるものである
。
防着板取り付はネジが、安定して、確実に、容易に取り
付けが行なえることを目的として提供されるものである
。
〔課題を解決するための手段］
第１図は本発明の原理説明図である。
図において、１はネジ部、２は頭部、３はつまみ、４は
ネジである。
ネジである。
本発明では、上記の問題点を解決するために規格品と同
等のネジ部１を有する防着板固定用ネジ４の頭部２に、
更に大きな径のつまみ３を一体構造により作成して、ネ
ジ４の上部に付着する堆積物１２と、防着板に付着する
堆積物１２を分断してネジ４の取外しを容易にする。
また、つまみ３の部分を大きくして、掴みやすく、シか
も、ネジ４の着脱時の作業性を大きく向上させている。
等のネジ部１を有する防着板固定用ネジ４の頭部２に、
更に大きな径のつまみ３を一体構造により作成して、ネ
ジ４の上部に付着する堆積物１２と、防着板に付着する
堆積物１２を分断してネジ４の取外しを容易にする。
また、つまみ３の部分を大きくして、掴みやすく、シか
も、ネジ４の着脱時の作業性を大きく向上させている。
即ち２本発明の目的は、成膜用の半導体製造装置のチャ
ンバ内壁に取り付けられる防着板固定用ネジの構造にお
いて、ネジ部士の頭部→の上に。
ンバ内壁に取り付けられる防着板固定用ネジの構造にお
いて、ネジ部士の頭部→の上に。
該頭部→より更に大きな径のつまみ３が一体構造にて形
成されてなることにより達成される。
成されてなることにより達成される。
〔作用］
本発明では、上記のように、ネジの頭部の上に更に大き
なつまみの部分を一体構造として形成する構造となり、
使用中に外れる心配がなくなりしかもおおきなつまみに
よってネジの着脱が容易にでき１手番短縮が可能となる
。
なつまみの部分を一体構造として形成する構造となり、
使用中に外れる心配がなくなりしかもおおきなつまみに
よってネジの着脱が容易にでき１手番短縮が可能となる
。
第２図は本発明の一実施例の装置への取り付は部の説明
図である。
図である。
図において、４はネジ、５は防着板、６はチャンバ、７
は基板、８は基板ホルダ、９はターゲット、１０はガス
導入口、１１は排気口、１２は堆積物である。
は基板、８は基板ホルダ、９はターゲット、１０はガス
導入口、１１は排気口、１２は堆積物である。
第２図（ａ）に示すスパッタ装置のチャンノ＼６の内壁
に５本発明のネジ４を使用して、防着板５を取り付ける
。
に５本発明のネジ４を使用して、防着板５を取り付ける
。
装置を稼働して、 Ａｆｆをスパッタした場合、基板
７上に堆積物としての１膜か形成されるが。
７上に堆積物としての１膜か形成されるが。
同時に、基板７とターゲット９間のチャンノ＼６の部分
にも堆積物１２が付着する。そのために、この部分に防
着板を取り付けて、チャンバ６に直接付着するのを防止
するとともに、堆積物１２の除去をし易くしである。
にも堆積物１２が付着する。そのために、この部分に防
着板を取り付けて、チャンバ６に直接付着するのを防止
するとともに、堆積物１２の除去をし易くしである。
本発明のネジでは、ネジ４の頭部２に大きな径のつまみ
３がついているので、堆積物１２が繋がって ネジ４を
取り外すことが困難となることはなく、堆積物は図に示
すように、ネジ４の下に僅かしか進入せず、２ジ４の着
脱が非常に容易に行なえる。
３がついているので、堆積物１２が繋がって ネジ４を
取り外すことが困難となることはなく、堆積物は図に示
すように、ネジ４の下に僅かしか進入せず、２ジ４の着
脱が非常に容易に行なえる。
〔発明の効果］
以上説明したように９本発明によれば、ネジは通常の規
格化されたネジと同様に防着板に取り付けられ、且つ、
防着板とネジの上部に付着した堆積物を、構造的に分断
しているので、ネジの取外しが容易となり、一体成形と
なっているので、従来例のような、振動によるつまみの
落下も起こらない。そして、つまみの部分が大口径化さ
れているので２着脱時の作業性も向上している。
格化されたネジと同様に防着板に取り付けられ、且つ、
防着板とネジの上部に付着した堆積物を、構造的に分断
しているので、ネジの取外しが容易となり、一体成形と
なっているので、従来例のような、振動によるつまみの
落下も起こらない。そして、つまみの部分が大口径化さ
れているので２着脱時の作業性も向上している。
９はターゲット
１１は排気口
１０はガス導入口
１２は堆積物
第１図は本発明の原理説明図
第２図は本発明の一実施例の説明図。
第３図は従来例の説明図
である。
図において
１はネジ部、 ２は頭部
３はつまみ、 ４はネジ。
５は防着板、 ６はチャンバ
Claims (1)
- 成膜用の半導体製造装置のチャンバ内壁に取り付けられ
る防着板固定用ネジの構造において、ネジ部（１）の頭
部（２）の上に、該頭部（２）より更に大きな径のつま
み（３）が一体構造にて形成されてなることを特徴とす
る防着板固定用ネジ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19278990A JP2869159B2 (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | 防着板固定用ネジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19278990A JP2869159B2 (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | 防着板固定用ネジ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0478132A true JPH0478132A (ja) | 1992-03-12 |
| JP2869159B2 JP2869159B2 (ja) | 1999-03-10 |
Family
ID=16297025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19278990A Expired - Fee Related JP2869159B2 (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | 防着板固定用ネジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2869159B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200090219A (ko) | 2018-06-20 | 2020-07-28 | 가부시키가이샤 알박 | 방착 부재 및 진공 처리 장치 |
| KR20210006955A (ko) | 2018-12-27 | 2021-01-19 | 가부시키가이샤 아루박 | 방착부재 및 진공처리장치 |
-
1990
- 1990-07-19 JP JP19278990A patent/JP2869159B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200090219A (ko) | 2018-06-20 | 2020-07-28 | 가부시키가이샤 알박 | 방착 부재 및 진공 처리 장치 |
| KR20210006955A (ko) | 2018-12-27 | 2021-01-19 | 가부시키가이샤 아루박 | 방착부재 및 진공처리장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2869159B2 (ja) | 1999-03-10 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |