JPH0478264U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0478264U JPH0478264U JP11880790U JP11880790U JPH0478264U JP H0478264 U JPH0478264 U JP H0478264U JP 11880790 U JP11880790 U JP 11880790U JP 11880790 U JP11880790 U JP 11880790U JP H0478264 U JPH0478264 U JP H0478264U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- pivot hole
- holder
- front surface
- peripheral wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図〜第３図は本考案の一実施例を示したも
ので、第１図は基板ホルダの正面図、第２図は第
１図の−線に沿う拡大断面図、第３図は基板
固定片の拡大図である。第４図はスパツタ装置の
構成図、第５図は従来の基板ホルダの斜視図、第
６図は第５図の−線に沿う拡大断面図である
。 ２１……ホルダ本体、２１ａ……周壁、２２…
…基板収容凹部、２３……基板固定片、２４……
枢支孔、２５……支軸、２６……ストツパ、Ａ…
…被成膜基板。
ので、第１図は基板ホルダの正面図、第２図は第
１図の−線に沿う拡大断面図、第３図は基板
固定片の拡大図である。第４図はスパツタ装置の
構成図、第５図は従来の基板ホルダの斜視図、第
６図は第５図の−線に沿う拡大断面図である
。 ２１……ホルダ本体、２１ａ……周壁、２２…
…基板収容凹部、２３……基板固定片、２４……
枢支孔、２５……支軸、２６……ストツパ、Ａ…
…被成膜基板。
Claims (1)
- パツタ装置により被膜を成膜される被成膜基板
を垂直に保持する基板ホルダにおいて、前面に前
記被成膜基板をほぼ密に嵌込み収容する矩形状の
基板収容凹部を形成した垂直板状ホルダ本体の前
記基板収容凹部を囲む周壁の前面に、その上辺部
の両端部と両側辺部の下端部とにそれぞれ位置さ
せて、一端から他端に向かつて広幅となる形状を
なしかつ中心から狭幅端に偏つた位置に枢支孔を
形成した４個の基板固定片を配設し、これら基板
固定片は、前記ホルダ本体の周壁の前面にその内
周縁から前記基板固定片の狭幅端と枢支孔との距
離より大きく広幅端と枢支孔との距離より小さな
間隔をとつて設けた支軸に前記枢支孔を枢支して
回転可能に設けるとともに、前記ホルダ本体の周
壁の両側辺部に、この両側辺部の前記基板固定片
をその広幅端が前記基板収容凹部に向いた横向き
状態において下方から受止めるストツパを設けた
ことを特徴とするスパツタ装置用基板ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11880790U JPH0478264U (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11880790U JPH0478264U (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0478264U true JPH0478264U (ja) | 1992-07-08 |
Family
ID=31866773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11880790U Pending JPH0478264U (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0478264U (ja) |
-
1990
- 1990-11-15 JP JP11880790U patent/JPH0478264U/ja active Pending
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