JPH047872A - 固体撮像素子 - Google Patents
固体撮像素子Info
- Publication number
- JPH047872A JPH047872A JP2111068A JP11106890A JPH047872A JP H047872 A JPH047872 A JP H047872A JP 2111068 A JP2111068 A JP 2111068A JP 11106890 A JP11106890 A JP 11106890A JP H047872 A JPH047872 A JP H047872A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- shielding pattern
- image sensor
- solid
- color filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、固体撮像素子に関する。
第２図は従来のＣＣＤ （電荷結合素子）カラー撮像素
子の一例を示す断面図である。 このカラー撮像素子はフォトダイオードを有する受光部
１１．ｉｌ、、、を形成した基板１２上に、上記受光部
！１を除くエリアにアルミ等の金属で遮光パターンＩ３
を形成し、更にアクリル等の中間膜１４を形成した後、
上記各受光部１１の上にゼラチン等をＲ（レッド）、Ｇ
（グリーン）あるいはＢ（ブルー）のカラーに染色し
たオンチップカラーフィルタ１５．＋５．、、を形成し
、その上から更に保護膜Ｉ６を形成している。 上記第２図では中間膜Ｉ４と保護膜１６との境界面やカ
ラーフィルタ１５の境界面は、きれいな直線や曲面とし
て描かれているが、実際は下部の複雑な形状、段差を反
映して境界面は複雑な形状となっている。そのため、受
光部ｌ！の上方から入射した光は上記中間膜１４と保護
膜１６との境界面やカラーフィルタＩ５の境界面で屈折
して雑多な方向に進み、互いに隣の受光部１１へ入り、
映像がぼやけたり色がずれたりすることがある。 上記遮光パターン１３はこの隣の領域からの光入射を防
止するためのもので、第３図に示すように格子状に形成
されている。すなわち、各受光部１１．１１．、 、の
上の非遮光領域１７．１７゜以外の領域をすべて覆うこ
とにより、各受光部１１にはその上のカラーフィルタ１
５を通過した光のみが入射するようにして、正確な映像
信号が得られるようにしようとするものである。
子の一例を示す断面図である。 このカラー撮像素子はフォトダイオードを有する受光部
１１．ｉｌ、、、を形成した基板１２上に、上記受光部
！１を除くエリアにアルミ等の金属で遮光パターンＩ３
を形成し、更にアクリル等の中間膜１４を形成した後、
上記各受光部１１の上にゼラチン等をＲ（レッド）、Ｇ
（グリーン）あるいはＢ（ブルー）のカラーに染色し
たオンチップカラーフィルタ１５．＋５．、、を形成し
、その上から更に保護膜Ｉ６を形成している。 上記第２図では中間膜Ｉ４と保護膜１６との境界面やカ
ラーフィルタ１５の境界面は、きれいな直線や曲面とし
て描かれているが、実際は下部の複雑な形状、段差を反
映して境界面は複雑な形状となっている。そのため、受
光部ｌ！の上方から入射した光は上記中間膜１４と保護
膜１６との境界面やカラーフィルタＩ５の境界面で屈折
して雑多な方向に進み、互いに隣の受光部１１へ入り、
映像がぼやけたり色がずれたりすることがある。 上記遮光パターン１３はこの隣の領域からの光入射を防
止するためのもので、第３図に示すように格子状に形成
されている。すなわち、各受光部１１．１１．、 、の
上の非遮光領域１７．１７゜以外の領域をすべて覆うこ
とにより、各受光部１１にはその上のカラーフィルタ１
５を通過した光のみが入射するようにして、正確な映像
信号が得られるようにしようとするものである。
しかしながら、上記従来の遮光パター７では、アルミ等
の金属でできた遮光膜１３の反射率が高い場合には、入
射した光の反射量が多くなり、また、遮光膜１３の形状
が複雑であるため、第４図に示すように反射光の方向か
定まらず乱反射する。 そのため、画像に輝度ムラや色ムラあるいは画面のざら
つき等の不良を発生するという問題があった。 そこで、この発明の目的は、乱反射する光の量を少なく
した遮光パターンを有して良好な画像を得ることができ
る固体撮像素子を提供することにある。
の金属でできた遮光膜１３の反射率が高い場合には、入
射した光の反射量が多くなり、また、遮光膜１３の形状
が複雑であるため、第４図に示すように反射光の方向か
定まらず乱反射する。 そのため、画像に輝度ムラや色ムラあるいは画面のざら
つき等の不良を発生するという問題があった。 そこで、この発明の目的は、乱反射する光の量を少なく
した遮光パターンを有して良好な画像を得ることができ
る固体撮像素子を提供することにある。
上記目的を達成するため、この発明は、複数の受光部を
形成した基板上に、上記各受光部に対してそれぞれ一つ
のカラーフィルタを中間膜を介して配設すると共に、上
記各受光部にその受光部の上のカラーフィルタを通過し
１こ光取外の光か入射するのを防止するための金属製の
遮光パターンを形成した固体撮像素子において、上記遮
光パターンをストライブ状に形成してなることを特徴と
している。
形成した基板上に、上記各受光部に対してそれぞれ一つ
のカラーフィルタを中間膜を介して配設すると共に、上
記各受光部にその受光部の上のカラーフィルタを通過し
１こ光取外の光か入射するのを防止するための金属製の
遮光パターンを形成した固体撮像素子において、上記遮
光パターンをストライブ状に形成してなることを特徴と
している。
遮光パターンがストライブ状に形成されているので、格
子状の遮光パターンの場合に比べてパターンの面積が少
なくなり、乱反射する光の量が減少する。従って、画像
に輝度ムラや色ムラあるいは画面のざらつき等の不良を
起こす要因が減少し、良好な画像が得られる。
子状の遮光パターンの場合に比べてパターンの面積が少
なくなり、乱反射する光の量が減少する。従って、画像
に輝度ムラや色ムラあるいは画面のざらつき等の不良を
起こす要因が減少し、良好な画像が得られる。
以下、この発明を図示の実施例にもとづき説明する。
第１図はこの発明の一実施例の固体撮像素子の遮光膜の
パターンを示す平面図である。 この固体撮像素子は遮光膜３がストライブ状に形成され
ていることを除いては第２図に示す従来の固体撮像素子
と同しである。 この第１図に示すように、遮光膜をストライブ状にした
場合には、第３図に示すような格子状にした場合に比ベ
パターンの面積か減少する。従って、この遮光膜で乱反
射されて受光部のホトダイオードに入射する光の量か減
少する。すなわち、画像に輝度ムラや色ムラあるいは画
面のざらつき等の不良を起こす要因が減少する。実験で
は、従来例では不良品がＩＯ数％あったのに対し、未実
施例のものでは不良品が数％以下に減少したことが確認
されている。
パターンを示す平面図である。 この固体撮像素子は遮光膜３がストライブ状に形成され
ていることを除いては第２図に示す従来の固体撮像素子
と同しである。 この第１図に示すように、遮光膜をストライブ状にした
場合には、第３図に示すような格子状にした場合に比ベ
パターンの面積か減少する。従って、この遮光膜で乱反
射されて受光部のホトダイオードに入射する光の量か減
少する。すなわち、画像に輝度ムラや色ムラあるいは画
面のざらつき等の不良を起こす要因が減少する。実験で
は、従来例では不良品がＩＯ数％あったのに対し、未実
施例のものでは不良品が数％以下に減少したことが確認
されている。
以上より明らかなように、この発明の固体撮像素子は、
複数の受光部を形成した基板上の上記各受光部の上に中
間膜を介して配設されたカラーフィルタを通過した光取
外の光が上記受光部に入射するのを防止するための金属
製の遮光パターンをストライブ状に形成しているので、
輝度ムラや色ムラあるいは画面のざらつき等のない良好
な画像を得ることかできる。
複数の受光部を形成した基板上の上記各受光部の上に中
間膜を介して配設されたカラーフィルタを通過した光取
外の光が上記受光部に入射するのを防止するための金属
製の遮光パターンをストライブ状に形成しているので、
輝度ムラや色ムラあるいは画面のざらつき等のない良好
な画像を得ることかできる。
第１図はこの発明の固体撮像素子の一実施例における遮
光パターンを示す平面図、第２図は従来の固体撮像素子
の断面図、第３図は上記従来例における遮光パターンを
示す平面図、第４図は上記従来例における遮光パターン
により入射光が乱反射されることを説明する図である。 ３・・・ストライブ状の遮光パターン、１１・・受光部
、１２・・基板、 １３・・・格子状の遮光パターン、１４・・・中間膜、
１５・・・オンチップカラーフィルタ、１６・保護膜、
１７・・非遮光領域。
光パターンを示す平面図、第２図は従来の固体撮像素子
の断面図、第３図は上記従来例における遮光パターンを
示す平面図、第４図は上記従来例における遮光パターン
により入射光が乱反射されることを説明する図である。 ３・・・ストライブ状の遮光パターン、１１・・受光部
、１２・・基板、 １３・・・格子状の遮光パターン、１４・・・中間膜、
１５・・・オンチップカラーフィルタ、１６・保護膜、
１７・・非遮光領域。
Claims (1)
- （１）複数の受光部を形成した基板上に、上記各受光部
に対してそれぞれ一つのカラーフィルタを中間膜を介し
て配設すると共に、上記各受光部にその受光部の上のカ
ラーフィルタを通過した光以外の光が入射するのを防止
するための金属製の遮光パターンを形成した固体撮像素
子において、上記遮光パターンをストライプ状に形成し
てなることを特徴とする固体撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2111068A JPH047872A (ja) | 1990-04-25 | 1990-04-25 | 固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2111068A JPH047872A (ja) | 1990-04-25 | 1990-04-25 | 固体撮像素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH047872A true JPH047872A (ja) | 1992-01-13 |
Family
ID=14551576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2111068A Pending JPH047872A (ja) | 1990-04-25 | 1990-04-25 | 固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH047872A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19980056449A (ko) * | 1996-12-28 | 1998-09-25 | 문정환 | 칼라 고체 촬상 소자 및 그 제조방법 |
| KR100788596B1 (ko) * | 2001-12-28 | 2007-12-26 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 이미지 소자의 제조 방법 |
-
1990
- 1990-04-25 JP JP2111068A patent/JPH047872A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19980056449A (ko) * | 1996-12-28 | 1998-09-25 | 문정환 | 칼라 고체 촬상 소자 및 그 제조방법 |
| KR100788596B1 (ko) * | 2001-12-28 | 2007-12-26 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 이미지 소자의 제조 방법 |
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