JPS595207A - 色フイルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体撮像素子な用いたカラービデオカメラ
に好゛適な色フィルタの製造方法に関する。

近年、カラービデオカメラに用いる撮像管の半導体化が
進み、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃ！ｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅ
ｖｉｃｅ）等の半導体撮像素子が実用化されるよう、に
なった０ＣＣＤ２次元イメージセンサは、赤、キ、緑の
三原色に感応する半導体撮像素子な、モザイク状に２次
元配列したものであり、第１図に示すフィルタパターン
なもつ色フィルタｌに組み合わせて使われることが多い
。この色フィルタｌは、透明なガラス基板２北に、図示
の如く、Ｒ−Ｇラインに赤色透過フィルタケと緑色透過
フィルタ３を交互に配設し、その隣りのＢ−Ｇラインに
青色透過フィルタｊと緑色透過フィルタ３を交互に配設
置２、全体としてこれらのＲ−ＧラインとＢ−Ｇライン
を交互に配列することにより、緑色透過フィルタ３が市
松模様化された２次元モザイク状のフィルタパターンに
什トげである。

しかして、この種のＣＣＤ２次元イメージ七ンサ用色フ
ィルタ／は、従来の製造方法によれば、先ずガラス基板
２に赤色透過フィルタｑをフォトエツチングにより塗布
し、そのＬにバリア層６を形成し、次に緑色透過フィル
タ３を塗布１〜たのち、バリア１−７す介してＮ色透過
フィルタｊを塗布し、しかるのち保護膜ざな塗布して製
造されていた。

このため、例えば第１図に示した色フィルタｌのＲ−Ｇ
ラインとＢ−Ｇラインの断面は、夫々第２図ｆＡ）、　
（Ｂ）Ｋ示した如く、緑色透過フィルタ３に関して組み
合わさるべぎ他の赤色透過フィルタ弘又は青色透過フィ
ルタｊの位置関係が、互いに逆の関係となる。その結果
、Ｒ−Ｇラインでは、緑色透過フィルタ３はバリア層６
の凹部とバリア層７の平坦部の間に、またＢ−Ｇライン
では、バリアＩＨ７の凸部とバリア層乙の平坦部の間に
存在することになる。

このため、緑色透過フィルタ３の光学的特性を左右する
その幾何形状については、Ｒ−ＧラインとＢ−Ｇライン
で同列に論ずことはできず、塗布過程の違いにもとづく
種々の要因が絡んで、両ラインの光透過率が異なってし
まうのが好適であった。従って、第２図（Ａ）、　（Ｂ
）に一点鎖線で示した如く、色フィルタｌな接着剤ワを
用いて半導体撮像素子１０に接着１〜、撮像装置（図示
せず）に組み込んで使用した場合、視覚的に最も高解像
度が要求される分光感度特性をもつ色が透過する緑色透
過フィルタ３の光透過率が、ｉ”Ａり合うラインで異な
るため、再生画像の色むらが避けられないという欠点が
あった。

また、色フィルタｌを半導体操１象素子ｌｏに接着する
際に、緑色透過フィルタ３が受ける光学的特性の変化は
、幾何形状に違いのある隣り合うラインで異なることが
十分考えられ、このことも、緑色透過フィルタ３の塗布
下１１［色透過フィルタ弘と青色透過フィルタｊの塗布
工程の中間に行なう、従来の製造方法による色フィルタ
ｌの欠点になっていた。

本発明は、視覚的に最も高解像度が要求される分光感度
特性をもつ色の透過フィルタの塗布工程を、他の色の透
過フィルタの塗布工程の前又は後で行なうようにするこ
とにより、Ｊ：記従来の欠点を除去したものであり、製
造工程が透過フィルタの光学的特性に与える悪影響な排
し、特に輝度な左右する色の透過フィルタが、どの部分
も均一な光透過率をもつ色フィルタな製造できるように
することを目（杓とする。

この目的を達成するため、本発明は視覚的に最も高解像
度が要求される分光感度・（￥性をもつ色の透過フィル
タの塗布工程な、他の色の透過フィルタの塗布工程の中
間で行なわず、それらの前又は後に行なうようにしたこ
とを要旨とするものであろＯ 以ド、本発明の実施例につい′〔、第３図（Ａ）、　（
Ｂ）を参照して説明する。第３図（Ａ）、　（Ｂ）は、
夫々第１図に示した色フィルタを本発明になる製造方法
に従って製侍した場合の、第１図中Ｘ−Ｘ線、Ｙ−Ｘ線
に沿う縦断矢視図を示す。

本実施例では、視覚的に亮Ｍ＋＊度の分）′Ｃ，感度特
性を必要としない色な透１尚する赤色透過フィルタグと
Ｗ色透過フィルタｌを、ガラス基板λ上の所定の箇所に
塗布したあと、視覚的に高解像度の分光感度特性を必要
とする色を透過する緑色透過フィルタ３な、バリア層乙
の上に塗布する製造方法によっている。このため、緑色
透過フィルタ３についてみれば、第３図（Ａ）、　（Ｂ
）に示した如く、Ｒ−ＧラインもＢ−Ｇラインも、とも
に緑色透過フィルタ３が、バリア層乙の凹部とバリア層
７の平坦部との間に挾まれた状態で、保護ｊ換ｇに接す
ることになる。従って、両ラインでの緑色透過フィルタ
３は、その光透過面積も光透過率も、その他製造過程で
決定される光学的緒特性が全く同一であり、このため色
むらの原因となる光学的特性のばらつきはみられない。

この光学的諸！庁性には、色フィルタｌを半導体操１象
素子１０に接着するとぎに生ずる緑色透過フィルタ３の
幾何形状の微妙な変形といった、−姑しただけでは定ｌ
的把握の困難な特性影響因子に関係した光学的特性も含
むものである。従って、従来の製造方法の如く、Ｒ，−
ＧラインとＢ−Ｇラインで緑色透過フィルタ３の光学的
特性に与える影響が異なるために、色むらな生ずるとい
った不都合はない。

なお、上記実施例では、赤色透過フィルタケとに色透過
フィルタｊな塗布した最後に、緑色透過フィルタ３を塗
布する製造方法を採ったが、赤色透過フィルタｑやＨ色
透過フィルタＳを塗布するよりも、先ず最初に緑色透過
フィルタ３を全面塗布する製造方法によってもよく、そ
の場合も、緑色透過フィルタ３についての光学的特性が
Ｒ−ＧラインとＢ−Ｇラインで異なることはなく、従っ
て色むらは生じない。

また、上記実施例では、色フィルタｔとして赤。

青、緑の３原色に対応する透過フィルタな設ける場合を
例にとったが、視覚的に華も解像度が要求される分光感
度特性をもつ色として白色光を採用した場合は、他の色
として黄色光やシアン色光の組み合わせが考えられ、こ
れらの色に対応する透過フィルタも、前記実施例で説明
した工程にならって塗布すればよい。

また、色フィルタｌ−上の各透過フィルタの２次元配列
は、使用する半導体操ＩＩ！素子ｉｏの素子の配列パタ
ーンに応じて前記実施例と異なる配列としてもよく、そ
の場合、透過光の輝度な左右する緑色透過フィルタ３　
（又は白色透過フィルタ等）については、色フイルタｌ
上に均一に分布するようにしておくとよい。

以上説明したように、本発明になる色フィルタの製造方
法によれば、視覚的に最も高解１＃！度が安来される分
光感度特性なもつ色の透過フィルタの塗布工程を、他の
色の透過フィルタの塗布工程の中間で行なわず、それら
の前又は後で行なうようにしたので、視覚的に最も高解
像度が要求される分光感度特性をもつ色の透過フィルタ
の幾何形状が、どの部分をとっても同一の条件で決定さ
れ、従ってこの透過フィルタの一部だけが製造過程で特
殊な光学的特性をもつに至る確率は極めて低く、これに
より輝度な左右することになる色の透過フィルタが、ど
の部分をとっても均一な光透過率をもち得、例えば半導
体撮像素子と組み合わせて撮像装置に用いることにより
、色むらの少ない画面再生が可能である等の優れた効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は撮像管用色フィルタの一例の平面図、第２図（
Ａ）、　（Ｂ）ｉ？夫々第１図に示した色フィルタを、
従来の製造方法に従って製造した場合の、第を図中Ｘ−
Ｘ線、Ｙ−Ｙ線に沿う縦断矢視図、第３図（Ａ）、　（
Ｂ）は夫々第１図に示した色フィルタを、本発明になる
戦遣方法に従って製造した場合の、第１図中Ｘ−Ｘ＠、
Ｙ−Ｙ線に沿う縦断矢視図である。 ｌ・・・色フィルタ、２・・・ガラス基板、３・・・緑
色透過フィルタ、ｑ・・・赤色透過フィルタ、５・・・
青色透過フィルタ、６，７・・・バリア層。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 透明なに板に、分光感度特性が異なる３（＠類の色の各
   透）１４フイルタを、互いにバリヤ層を介して夫々所定
   の２次元配列に従って塗布することにより製造される色
   フィルタの製造方法において、視覚的に最も高解像度が
   要求される分光感度特性なもつ色の透過フィルタの塗布
   工程は、他の色の透過フィルタの塗布工程の中間で行な
   わず、それらの前又は後に行なうようにしたことを％徴
   とする色フィルタの製造方法。