JPH0478857B2 - - Google Patents
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- JPH0478857B2 JPH0478857B2 JP62270006A JP27000687A JPH0478857B2 JP H0478857 B2 JPH0478857 B2 JP H0478857B2 JP 62270006 A JP62270006 A JP 62270006A JP 27000687 A JP27000687 A JP 27000687A JP H0478857 B2 JPH0478857 B2 JP H0478857B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- belt
- pulley
- mainspring spring
- spring
- winding
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、検査装置の被検査物移動機構(以
下ワーク移動機構)に関し、詳細にはワークを移
動するベルト移動機構において、ぜんまいばねの
引つ張り力によりベルトを展張してたるみを除い
てワークに与える有害な変位を防止するもので、
また、ぜんまいばねの巻き取りを安定にするため
にプーリの構造を改善したものである。
下ワーク移動機構)に関し、詳細にはワークを移
動するベルト移動機構において、ぜんまいばねの
引つ張り力によりベルトを展張してたるみを除い
てワークに与える有害な変位を防止するもので、
また、ぜんまいばねの巻き取りを安定にするため
にプーリの構造を改善したものである。
[従来の技術]
電子機器に用いられる各種のミニサイズの部品
の外観検査を行うとき、検査装置に対して該部品
を微小な間隔で移動することが必要な場合があ
る。第3図は、その例として半導体のICデバイ
スに使用されるリードフレームの検査装置を示す
もので、リードフレームのワーク1は移動機構3
に載置されて必要な方向に移動し、光学検査装置
2により検査される。この場合、光学検査装置が
図示のようにワークの上側の投光部2aと下側の
受光部2bにより構成されている場合には、移動
機構3が検査用の光線の邪魔となるので、なんら
かの手段を講ずる必要があり、機構がそれだけ複
雑となる。また、一般にこのような検査において
は移動は微小で正確な間隔で行うことが必要で、
移動機構3にはボールねじを使用した精度の高い
ものが用いられており、価格も低廉ではない。こ
のような移動機構に代わつてベルトによるものが
考えられる。第4図は上記の検査装置に適用する
ベルト移動機構の概略の構造図で、ベルト4cの
両端をプーリ4a,4bに巻き掛け、ベルトの中
央部にワーク1を載置する。ベルトには光学検査
に必要な切り欠く4dを設け、一方のプーリ4a
をモータ5により回転してワークを移動させるも
のである。この機構は簡易で低廉であることに魅
力がある。しかしながらこの場合、移動距離はワ
ークの長さ程度に過ぎないが、検査の経過に従つ
てベルトは両方向のいずれにも移動することが必
要であり、このためには別のプーリ5a,5bと
ベルト5cによりモータ5の駆動力をプーリ4b
に伝達するか、または両軸をギヤにより連結する
か、あるいは他方のプーリ4bに別のモータ5′
を設けるなどの機構を付加しなければならない。
さらに最も重要なことは、ワークを載置するベル
ト4cが停止または移動中、常にたるむことなく
一定の強さで展張されていることである。もし、
ベルトにたるみがあるときは、ワークが微妙に動
いて位置が変わるので検査に支障する。このよう
なベルトの展張条件に対しては上記の各種の付加
機構は難点が多い。これらに対して、従来から各
種の機器に用いられている、ぜんまいばね式の巻
き取り機構(コツプリングという)によりベルト
の両端を引つ張ることが考えられる。第5図aは
コツプリングの外観図で、ぜんまいばね6の中心
にバネプーリ7aを取り付け、またその先端をバ
ネプーリ7bに、巻き方向をぜんまいばねの方向
と反対として巻き掛ける。バネプーリ7aには収
縮力が、7bには反発力が発生して各プーリには
回転力が与えられるものである。ただし、従来一
般に使用されているコツプリングの巻き枠(プー
リ)は、第5図bに示すように巻き軸71が太鼓
胴で、両側のフランジの内面72が傾斜した直線
とされている。このような形状のプーリにぜんま
いばねを巻き掛けるときは図cのように、ばね板
61が漸次横方向に偏り、遂にフランジのエツジ
73に乗り上げて動作不良とななることがある。
このような欠点を排除したぜんまいばね機構を上
記装置に適用し、簡易で安定に動作するベルト移
動機構が望まれている。
の外観検査を行うとき、検査装置に対して該部品
を微小な間隔で移動することが必要な場合があ
る。第3図は、その例として半導体のICデバイ
スに使用されるリードフレームの検査装置を示す
もので、リードフレームのワーク1は移動機構3
に載置されて必要な方向に移動し、光学検査装置
2により検査される。この場合、光学検査装置が
図示のようにワークの上側の投光部2aと下側の
受光部2bにより構成されている場合には、移動
機構3が検査用の光線の邪魔となるので、なんら
かの手段を講ずる必要があり、機構がそれだけ複
雑となる。また、一般にこのような検査において
は移動は微小で正確な間隔で行うことが必要で、
移動機構3にはボールねじを使用した精度の高い
ものが用いられており、価格も低廉ではない。こ
のような移動機構に代わつてベルトによるものが
考えられる。第4図は上記の検査装置に適用する
ベルト移動機構の概略の構造図で、ベルト4cの
両端をプーリ4a,4bに巻き掛け、ベルトの中
央部にワーク1を載置する。ベルトには光学検査
に必要な切り欠く4dを設け、一方のプーリ4a
をモータ5により回転してワークを移動させるも
のである。この機構は簡易で低廉であることに魅
力がある。しかしながらこの場合、移動距離はワ
ークの長さ程度に過ぎないが、検査の経過に従つ
てベルトは両方向のいずれにも移動することが必
要であり、このためには別のプーリ5a,5bと
ベルト5cによりモータ5の駆動力をプーリ4b
に伝達するか、または両軸をギヤにより連結する
か、あるいは他方のプーリ4bに別のモータ5′
を設けるなどの機構を付加しなければならない。
さらに最も重要なことは、ワークを載置するベル
ト4cが停止または移動中、常にたるむことなく
一定の強さで展張されていることである。もし、
ベルトにたるみがあるときは、ワークが微妙に動
いて位置が変わるので検査に支障する。このよう
なベルトの展張条件に対しては上記の各種の付加
機構は難点が多い。これらに対して、従来から各
種の機器に用いられている、ぜんまいばね式の巻
き取り機構(コツプリングという)によりベルト
の両端を引つ張ることが考えられる。第5図aは
コツプリングの外観図で、ぜんまいばね6の中心
にバネプーリ7aを取り付け、またその先端をバ
ネプーリ7bに、巻き方向をぜんまいばねの方向
と反対として巻き掛ける。バネプーリ7aには収
縮力が、7bには反発力が発生して各プーリには
回転力が与えられるものである。ただし、従来一
般に使用されているコツプリングの巻き枠(プー
リ)は、第5図bに示すように巻き軸71が太鼓
胴で、両側のフランジの内面72が傾斜した直線
とされている。このような形状のプーリにぜんま
いばねを巻き掛けるときは図cのように、ばね板
61が漸次横方向に偏り、遂にフランジのエツジ
73に乗り上げて動作不良とななることがある。
このような欠点を排除したぜんまいばね機構を上
記装置に適用し、簡易で安定に動作するベルト移
動機構が望まれている。
[発明の目的]
この発明は、以上の実情に鑑みてなされたもの
で、ぜんまいばねの復元力を利用してベルトに一
定の展張力を付勢してたるみを排除し、安定に往
復移動できる検査装置のワーク移動機構と、これ
に使用する動作の安定なぜんまいばね機構を提供
することを目的とするものである。
で、ぜんまいばねの復元力を利用してベルトに一
定の展張力を付勢してたるみを排除し、安定に往
復移動できる検査装置のワーク移動機構と、これ
に使用する動作の安定なぜんまいばね機構を提供
することを目的とするものである。
[問題点を解決するための手段]
この発明は、被検査のワークを載置したベルト
の両端をそれぞれ回転可能なベルトプーリに巻き
掛けて、該ベルトプーリにモータによる回転力を
与えてワークを一定の範囲で往復移動するベルト
移動機構において、上記ベルトの両端に、復元力
によりベルトを展張する方向に付勢するぜんまい
ばね機構を取り付けたものである。
の両端をそれぞれ回転可能なベルトプーリに巻き
掛けて、該ベルトプーリにモータによる回転力を
与えてワークを一定の範囲で往復移動するベルト
移動機構において、上記ベルトの両端に、復元力
によりベルトを展張する方向に付勢するぜんまい
ばね機構を取り付けたものである。
上記のぜんまいばね機構は、適当な余長のある
平板のぜんまいばねを使用し、その中心にベルト
プーリの巻き軸をとりつけ、これをベース盤に回
転自由に支持する。また、ぜんまいばねの先端を
ぜんまいばねの巻き方向と反対方向に別のバネプ
ーリに巻き掛け、その巻き軸を回転自由としてこ
れにベルトの一端を巻き掛けたものである。
平板のぜんまいばねを使用し、その中心にベルト
プーリの巻き軸をとりつけ、これをベース盤に回
転自由に支持する。また、ぜんまいばねの先端を
ぜんまいばねの巻き方向と反対方向に別のバネプ
ーリに巻き掛け、その巻き軸を回転自由としてこ
れにベルトの一端を巻き掛けたものである。
次に、上記の2個のバネプーリはそれぞれの両
側のフランジの内面を、該バネプーリの中心軸よ
り一定の半径位置までの間、該中心軸に直角な平
面としてその間隔をぜんまいばねの幅寸法と等し
くし、かつ、上記一定の半径位置より該フランジ
の外周エツジまでの間を、ぜんまいばねをガイド
する湾曲面とするものである。
側のフランジの内面を、該バネプーリの中心軸よ
り一定の半径位置までの間、該中心軸に直角な平
面としてその間隔をぜんまいばねの幅寸法と等し
くし、かつ、上記一定の半径位置より該フランジ
の外周エツジまでの間を、ぜんまいばねをガイド
する湾曲面とするものである。
[作用]
この発明による検査装置のワーク移動機構にお
いては、モータの回転方向を変えることによりベ
ルトが往復移動する。ぜんまいばね機構は、ぜん
まいばねが2個のバネプーリに反対方向に巻き掛
けられているため、巻き取り側にも繰りだし側に
も復元力が発生し、両方のバネプーリに回転力が
与えられる。この場合、ぜんまいばねには適当な
余長があるので復元力は繰り出された長さに無関
係である。一方のバネプーリの軸がベルトの一端
に直結され、ベルトの両端に展張力が与えられ
る。以上の機構により、ベルトは停止時または移
動位置に拘らず、常に一定の力で両方に展張され
てワークの検査に有害なたるみを生ずることがな
いものである。
いては、モータの回転方向を変えることによりベ
ルトが往復移動する。ぜんまいばね機構は、ぜん
まいばねが2個のバネプーリに反対方向に巻き掛
けられているため、巻き取り側にも繰りだし側に
も復元力が発生し、両方のバネプーリに回転力が
与えられる。この場合、ぜんまいばねには適当な
余長があるので復元力は繰り出された長さに無関
係である。一方のバネプーリの軸がベルトの一端
に直結され、ベルトの両端に展張力が与えられ
る。以上の機構により、ベルトは停止時または移
動位置に拘らず、常に一定の力で両方に展張され
てワークの検査に有害なたるみを生ずることがな
いものである。
ところで、この発明の構成で重要な点は、モー
タがベルトプーリを直接駆動するものではなく、
両端のベルトプーリの間の位置でベルトに係合し
てベルトを駆動する点と、先に述べたように両端
にバネプーリを有するぜんまいばね機構がベルト
の巻き取り側にも繰りだし側にも復元力を作用し
てベルトを常時巻き取り状態に保つ点にある。こ
れにより中間位置にあるモータによりベルトを駆
動して往復移動させたときに、その駆動方向に応
じて発生するベルトの弛み部分を一方のぜんまい
の復元力でベルトプーリに巻き取り、反対側のベ
ルトプーリに発生するバネプーリの巻き取り力に
よりモータの駆動力との間でベルトを引つ張り状
態に保持することができる。このことで、ベルト
を往復移動させた場合にベルトに歪みや弛みを発
生させることなく、正確な位置にワークを位置決
めできる。
タがベルトプーリを直接駆動するものではなく、
両端のベルトプーリの間の位置でベルトに係合し
てベルトを駆動する点と、先に述べたように両端
にバネプーリを有するぜんまいばね機構がベルト
の巻き取り側にも繰りだし側にも復元力を作用し
てベルトを常時巻き取り状態に保つ点にある。こ
れにより中間位置にあるモータによりベルトを駆
動して往復移動させたときに、その駆動方向に応
じて発生するベルトの弛み部分を一方のぜんまい
の復元力でベルトプーリに巻き取り、反対側のベ
ルトプーリに発生するバネプーリの巻き取り力に
よりモータの駆動力との間でベルトを引つ張り状
態に保持することができる。このことで、ベルト
を往復移動させた場合にベルトに歪みや弛みを発
生させることなく、正確な位置にワークを位置決
めできる。
また、このような構成で重要なことは、ベルト
がどこに移動してもぜんまいばねがベルト巻き取
りのための復元力を常時発生させることである。
そこで、これを実現する1つの構造として、バネ
プーリの構造としてフランジの内側の面を一定の
半径位置まで垂直面とし、その外方を湾曲面とす
る。これにより巻き取りの場合にばねがこれにガ
イドされて垂直面内に導入され、無用な横方向に
移動することなく円滑に巻き取られるものであ
る。
がどこに移動してもぜんまいばねがベルト巻き取
りのための復元力を常時発生させることである。
そこで、これを実現する1つの構造として、バネ
プーリの構造としてフランジの内側の面を一定の
半径位置まで垂直面とし、その外方を湾曲面とす
る。これにより巻き取りの場合にばねがこれにガ
イドされて垂直面内に導入され、無用な横方向に
移動することなく円滑に巻き取られるものであ
る。
[実施例]
第1図a,bは、この発明の一実施例の検査装
置のワーク移動機構におけるぜんまいばねを用い
たベルト移動機構において使用するぜんまいばね
機構を説明するもので、図aに示すバネプーリを
使用する。図は、ぜんまいばねの中心側のバネプ
ーリ7aの断面図で、巻き軸71は単なる円筒と
する。両側のフランジの内面72は軸に直角の平
面としてその間隔はぜんまいばねの幅とほぼ同一
とし、フランジのエツジ部分73はぜんまいばね
をガイドするために、円弧など適当な湾曲面とす
るものである。ぜんまいばねの先端側のバネプー
リ7bも同様の形状として、両者を図bのように
組合わせてぜんまいばね機構12を構成する。バ
ネプーリ7aには、その巻き軸71に支持軸8a
を貫通してベアリング9により回転自由とし、支
持軸を支持板10によりベース盤11に固定す
る。バネプーリ7bは巻き軸71に支持軸8bを
固定し、ベアリング9により回転自由に支持板1
0に軸支する。両バネプーリ7a,7bにおける
ぜんまいばねの復元力Fにより、支持軸8bに矢
印Cの方向の回転力がえられる。
置のワーク移動機構におけるぜんまいばねを用い
たベルト移動機構において使用するぜんまいばね
機構を説明するもので、図aに示すバネプーリを
使用する。図は、ぜんまいばねの中心側のバネプ
ーリ7aの断面図で、巻き軸71は単なる円筒と
する。両側のフランジの内面72は軸に直角の平
面としてその間隔はぜんまいばねの幅とほぼ同一
とし、フランジのエツジ部分73はぜんまいばね
をガイドするために、円弧など適当な湾曲面とす
るものである。ぜんまいばねの先端側のバネプー
リ7bも同様の形状として、両者を図bのように
組合わせてぜんまいばね機構12を構成する。バ
ネプーリ7aには、その巻き軸71に支持軸8a
を貫通してベアリング9により回転自由とし、支
持軸を支持板10によりベース盤11に固定す
る。バネプーリ7bは巻き軸71に支持軸8bを
固定し、ベアリング9により回転自由に支持板1
0に軸支する。両バネプーリ7a,7bにおける
ぜんまいばねの復元力Fにより、支持軸8bに矢
印Cの方向の回転力がえられる。
第2図は、この発明の一実施例の検査装置のワ
ーク移動機構の全体的な構成図で、ベルト4cの
両端部にそれぞれ2個1組のぜんまいばね機構1
2−1,12−2および12−3,12−4を設
けて、それぞれの支持軸8a,8bを共通とす
る。これらの支持軸は図示しない支持板によりベ
ース板に取り付けられる。両側の支持軸8bを作
用軸としてベルト4cの両端を巻き掛けて、支持
軸の回転力によりベルトを展張する。なお、両端
にぜんまいばね機構を2個づつ使用する理由は、
ベルトに対する力のバランスを良好とするためで
ある。次に、ベルト4cに適当な載置台1aを固
定し、その上に被検査のワーク1を載置する。ワ
ークに対応して光学検査装置2a,2bが設けら
れ、モータ5によりベルトがX方向に移動して検
査がなされる。移動方向はモータの回転方向によ
り自由が変えられ、つまり往復移動する。ベルト
が移動中または停止時においても、ベルトの展張
力はつねに一定であることは既に説明した通りで
ある。なお、この場合のY方向の移動は検査装置
2bによるものである。
ーク移動機構の全体的な構成図で、ベルト4cの
両端部にそれぞれ2個1組のぜんまいばね機構1
2−1,12−2および12−3,12−4を設
けて、それぞれの支持軸8a,8bを共通とす
る。これらの支持軸は図示しない支持板によりベ
ース板に取り付けられる。両側の支持軸8bを作
用軸としてベルト4cの両端を巻き掛けて、支持
軸の回転力によりベルトを展張する。なお、両端
にぜんまいばね機構を2個づつ使用する理由は、
ベルトに対する力のバランスを良好とするためで
ある。次に、ベルト4cに適当な載置台1aを固
定し、その上に被検査のワーク1を載置する。ワ
ークに対応して光学検査装置2a,2bが設けら
れ、モータ5によりベルトがX方向に移動して検
査がなされる。移動方向はモータの回転方向によ
り自由が変えられ、つまり往復移動する。ベルト
が移動中または停止時においても、ベルトの展張
力はつねに一定であることは既に説明した通りで
ある。なお、この場合のY方向の移動は検査装置
2bによるものである。
[発明の効果]
以上の説明により明らかなように、この発明の
検査装置のワーク移動機構においては、モータの
回転により必要な往復移動、停止が随時になさ
れ、この間ベルトの両端に設けられたぜんまいば
ね機構により、移動中または停止時を問わず、常
に一定の力でベルトが展張されてたるみを生ずる
ことがなく、載置されたワークに有害な位置変位
の発生が排除される。ぜんまいばね機構は適当な
余長のある平板ぜんまいばねを使用して、復元力
の一定化が図られており、また、巻き取り不良と
ならないように、プーリのフランジは直角の平面
とガイド用の湾曲面とされているもので、これら
によりベルトに載置された被検査ワークが安定確
実に検査される効果には大きいものがある。
検査装置のワーク移動機構においては、モータの
回転により必要な往復移動、停止が随時になさ
れ、この間ベルトの両端に設けられたぜんまいば
ね機構により、移動中または停止時を問わず、常
に一定の力でベルトが展張されてたるみを生ずる
ことがなく、載置されたワークに有害な位置変位
の発生が排除される。ぜんまいばね機構は適当な
余長のある平板ぜんまいばねを使用して、復元力
の一定化が図られており、また、巻き取り不良と
ならないように、プーリのフランジは直角の平面
とガイド用の湾曲面とされているもので、これら
によりベルトに載置された被検査ワークが安定確
実に検査される効果には大きいものがある。
第1図aおよびbは、この発明の一実施例の検
査装置のワーク移動機構における、ぜんまいばね
の巻き枠(プーリ)とぜんまいばね機構の実施例
の軸方向断面図、第2図はこの発明の一実施例の
検査装置のワーク移動機構の全体的な構成図、第
3図は光学検査装置に対する被検査ワークの移動
機構の1例図、第4図はベルト移動機構による光
学検査装置の構成図、第5図a,bおよびcは従
来のぜんまいばねの巻き枠とその欠点を説明する
断面図である。 1……ワーク、2……光学検査装置、3……移
動機構、4a,4b,5a,5b……ベルトプー
リ、4c,5c……ベルト、4d……切り欠き、
5,5′……モータ、6……ぜんまいばね、6a
……ぜんまいばねの中心、6b……ぜんまいばね
の先端、7a,7b……バネプーリ、71……巻
き軸、72……フランジの内面、73……フラン
ジのエツジ、8……支持軸、9……ベアリング、
10……支持板、11……ベース盤、12……ぜ
んまいばね機構。
査装置のワーク移動機構における、ぜんまいばね
の巻き枠(プーリ)とぜんまいばね機構の実施例
の軸方向断面図、第2図はこの発明の一実施例の
検査装置のワーク移動機構の全体的な構成図、第
3図は光学検査装置に対する被検査ワークの移動
機構の1例図、第4図はベルト移動機構による光
学検査装置の構成図、第5図a,bおよびcは従
来のぜんまいばねの巻き枠とその欠点を説明する
断面図である。 1……ワーク、2……光学検査装置、3……移
動機構、4a,4b,5a,5b……ベルトプー
リ、4c,5c……ベルト、4d……切り欠き、
5,5′……モータ、6……ぜんまいばね、6a
……ぜんまいばねの中心、6b……ぜんまいばね
の先端、7a,7b……バネプーリ、71……巻
き軸、72……フランジの内面、73……フラン
ジのエツジ、8……支持軸、9……ベアリング、
10……支持板、11……ベース盤、12……ぜ
んまいばね機構。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 被検査物を載置したベルトの両端をそれぞれ
ベルトプーリに巻き付けて、前記被検査物を所定
の範囲で往復移動させる検査装置の被検査物移動
機構において、両端の前記ベルトプーリの間に配
置され前記ベルトに係合して前記ベルトを往復駆
動するモータと、平板のぜんまいばねにより連結
され両側のプーリの一方が他方に前記ぜんまいば
ねの復元力をもつて巻き取られる関係にある一対
のプーリを有する第1および第2のぜんまいばね
機構とを備え、第1のぜんまいばね機構の前記巻
き取られるプーリが前記ベルトプーリの両端の一
方に結合され、第2のぜんまいばね機構の前記巻
き取られるプーリが前記ベルトプーリの両端の他
方に結合され、前記モータのベルト駆動により発
生する前記ベルトの弛み部分を第1および第2の
ぜんまいばね機構の一方によりそれが結合された
前記ベルトプーリに巻き取り、他方の前記巻き取
られるプーリの巻き取り力と前記モータの駆動力
とによりベルトを引つ張り状態にすることを特徴
とする検査装置の被検査物移動機構。 2 第1および第2のぜんまいばね機構のそれぞ
れのプーリの両側のフランジの内側面が前記プー
リの巻き軸より一定の半径位置までの間前記巻き
軸に直角な面となつていて前記フランジの間隔が
前記ぜんまいばねの幅寸法とほぼ等しくかつ前記
一定の半径位置より前記フランジの外周エツジま
での間が前記ぜんまいばねをガイドする湾曲面と
なつている特許請求の範囲第1項記載のぜんまい
ばねを用いた検査装置の被検査物移動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27000687A JPH01112069A (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 | 検査装置の被検査物移動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27000687A JPH01112069A (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 | 検査装置の被検査物移動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01112069A JPH01112069A (ja) | 1989-04-28 |
| JPH0478857B2 true JPH0478857B2 (ja) | 1992-12-14 |
Family
ID=17480239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27000687A Granted JPH01112069A (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 | 検査装置の被検査物移動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01112069A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009300072A (ja) * | 2009-08-07 | 2009-12-24 | Haimekku:Kk | 冷蔵庫内の載置台 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5229569A (en) * | 1975-08-29 | 1977-03-05 | Hitachi Ltd | Revolving device |
-
1987
- 1987-10-26 JP JP27000687A patent/JPH01112069A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01112069A (ja) | 1989-04-28 |
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