JPH047890Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、平面研磨装置の定盤に研磨剤供給用
のチユーブを接続するための接続装置に関するも
のである。

［従来の技術］ この種の平面研磨装置として従来より知られて
いるものに、駆動源に連結された上下の定盤と太
陽歯車及び内歯歯車を備え、両歯車で遊星歯車状
に駆動されるキヤリヤに保持させたワークを上下
の定盤で研磨するようにしたものがある。而し
て、かかる平面研磨装置においては、上定盤に多
数の研磨剤供給孔を設け、これらの孔にチユーブ
を通じて研磨剤を供給しながらワークの加工を行
うようにしている。

ところが、従来の平面研磨装置においては、定
盤に対する研磨剤供給チユーブの接続を、専用の
管継手を定盤の研磨材供給孔にねじ込みにより取
付け、この管継手にチユーブを接続することによ
り行つていた。そのため、各孔毎に高価な管継手
を取付けなければならず、部品数が多くなつてコ
スト高になるばかりでなく、チユーブの接続や取
外し作業が管継手の螺回操作のために非常に煩雑
になり、例えば定盤の清掃や交換などを行う際に
は、多数の継手を着脱しなければならないために
非常に多くの時間と労力とが必要であつた。

また、定盤に管継手を取付けるためには、供給
孔にねじ加工を施さなければならず、そのため、
定盤の加工が面倒であるばかりでなく、研磨材で
ねじが摩耗し、管継手の再利用ができなくなると
いうケースも多かつた。

［考案が解決しようとする問題点］ 本考案の課題は、簡単な接続具を定盤の研磨剤
供給孔内に嵌着するだけで、従来のように高価で
着脱作業が面倒な管継手を使用したり、定盤に特
殊な孔加工を施したりすることなく、簡単且つ確
実にチユーブを接続することのできる接続装置を
提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本考案の接続装置
は、定盤に設けた研磨材供給孔内に、内側面の中
間位置に管内部に向けて内径を徐々に狭めること
により形成した細径部を有する弾性接続管を押し
込みにより嵌着し、上記研磨剤供給チユーブの端
部を該接続管内に弾力的に挿嵌せしめたことを特
徴とするものである。

［作用］ チユーブの先端を定盤の研磨剤供給孔内に嵌着
された弾性接続管に挿入すると、該チユーブは接
続管の細径部に弾力的に嵌着され、液密に接続さ
れる。

チユーブを取外すときは、それを強く引つ張つ
て弾性接続管から抜取ればよい。

［実施例］ 以下、本考案の実施例を図面を参照しながら詳
述する。

第１図に示す平面研磨装置は、基本的には公知
のものと同様の構成を有している。即ち、図示し
ない駆動源に連結された上下の定盤１０，１１と
太陽歯車１２及び内歯歯車１３を備え、両歯車１
２，１３で遊星歯車状に駆動されるキヤリヤ１４
に保持させたワーク１５を上下の定盤１０，１１
で研磨するように構成されている。

定盤の研磨面に研磨剤を供給するため、上定盤
１０を支持する吊板１６には、供給源１９からの
研磨剤を分配するパウダーリング１７が取付けら
れ、このパウダーリング１７に取付けられた研磨
剤供給用の合成樹脂製チユーブ１８の先端が上定
盤１０に接続されている。

上記チユーブの上定盤１０への接続は、第２図
からも明らかなように、該上定盤の研磨剤供給孔
２０の一端に拡大部２０ａを形成し、該拡大部２
０ａ内に軟質合成樹脂や合成ゴム等からなる弾性
接続管２１を容易に抜脱しないように密に嵌着
し、該接続管２１内にチユーブ１８を挿入させる
ことにより行つており、この接続管２１の中間部
には、その内径を管の両側から次第に狭くするこ
とによつて細径部２２を形成し、挿入されたチユ
ーブ１８がこの細径部２２内に弾力的に挿嵌され
て液密に保持されるように構成している。

上記構成を有する平面研磨装置において、上定
盤１０に対するチユーブ１８の接続は、該チユー
ブ１８の先端を研磨剤供給孔２０内の弾性接続管
２１に挿入することにより行われる。このとき、
該チユーブ１８は、該弾性接続管２１の細径部２
２に弾力的に嵌着され、液密に保持されることに
なる。

チユーブ１８を取外すときは、それを強く引つ
張ることによつて弾性接続管２１から抜取ればよ
い。

上定盤１０を上下反転させて使用する場合に
は、供給孔２０の反対側に同様の拡大部を設け、
この拡大部内に上記接続管２１を嵌着すればよ
い。

［考案の効果］ このように、本考案の接続装置によれば、定盤
の研磨剤供給孔内に弾性接続管を嵌着し、この弾
性接続管の内部に研磨剤供給チユーブの端部を弾
力的に挿入することにより該研磨剤供給チユーブ
を定盤に接続するようにしているので、該研磨剤
供給チユーブを単に弾性接続管内に押込みまたは
引抜くだけでその着脱を行うことができ、従来の
管継手を使用してチユーブを接続する場合のよう
な、チユーブの先端にスリーブを嵌着し、該スリ
ーブに上記管継手を連結して、該管継手を定盤に
切設した螺子孔にねじ込むといつた面倒で力を要
する作業を一切行う必要がなく、該チユーブの着
脱作業を小さい力で簡単且つ迅速に行うことがで
きる。しかも、上記弾性接続管の内径が管端部に
おいて広く、且つ中間の細径部に向けて徐々に狭
くなつているため、研磨剤供給チユーブの端部を
該弾性接続管の端部にあてがつてそのまま押込む
だけで、上記傾斜に沿つて該チユーブを容易に押
込むことができる。

また、上記弾性接続管を定盤の供給孔内に単に
押込むことにより取付けることができるので、高
価で構造が複雑な管継手を使用し、それを定盤に
ねじ孔を加工して取付けるようにしている従来に
比べ、接続装置を簡単な構造により安価に構成す
ることができ、しかも、研磨剤でねじが摩耗して
使用不能になるようなことがないため、接続管を
長期にわたつて反復使用することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の接続装置を適用した平面研磨
装置の部分断面図、第２図はその要部拡大図であ
る。 １０……上定盤、１８……チユーブ、２０……
供給孔、２１……接続管、２２……細径部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 定盤に設けた研磨剤供給孔内に、内側面の中間
   位置に管内部に向けて内径を徐々に狭めることに
   より形成された細径部を有する弾性接続管を押し
   込みにより嵌着し、研磨剤供給チユーブの端部を
   該接続管内に弾力的に挿嵌せしめたことを特徴と
   する研磨剤供給チユーブの接続装置。