JPH0479434U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0479434U JPH0479434U JP12267390U JP12267390U JPH0479434U JP H0479434 U JPH0479434 U JP H0479434U JP 12267390 U JP12267390 U JP 12267390U JP 12267390 U JP12267390 U JP 12267390U JP H0479434 U JPH0479434 U JP H0479434U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum suction
- suction pen
- guide
- main body
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
第１図はこの考案の平面図、第２図は第１図の
吸着部分駆動部の内部を示した概略図である。第
３図はウエーハをキヤリアから抜取る時の駆動部
の実際の動きを示した概念図である。第４図は従
来の真空吸着ペンの平面図である。 １……ウエーハ吸着部、３……本体、５……吸
着部分駆動部、６……ガイド、９ａ〜９ｃ……組
み合わせ歯車、１０……ラツク。
吸着部分駆動部の内部を示した概略図である。第
３図はウエーハをキヤリアから抜取る時の駆動部
の実際の動きを示した概念図である。第４図は従
来の真空吸着ペンの平面図である。 １……ウエーハ吸着部、３……本体、５……吸
着部分駆動部、６……ガイド、９ａ〜９ｃ……組
み合わせ歯車、１０……ラツク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエーハ吸着部と、本体と、真空ＯＮ／Ｏ
ＦＦ部とを有する真空吸着ペンにおいて、キヤリ
アに固定できるガイドを設けたことを特徴とする
真空吸着ペン。 (2) 前記ガイドが本体に対して所定角度内で可
動である請求項１記載の真空吸着ペン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12267390U JPH0479434U (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12267390U JPH0479434U (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0479434U true JPH0479434U (ja) | 1992-07-10 |
Family
ID=31870434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12267390U Pending JPH0479434U (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0479434U (ja) |
-
1990
- 1990-11-22 JP JP12267390U patent/JPH0479434U/ja active Pending
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