JPH0479956A - クリーンルームの清浄化システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

（産業上の利用分野） 本発明は、クリーンルームの清浄化システムに関し、よ
り詳しくは、オゾンくん蒸によりクリーンルーム内を無
菌状態にするクリーンルームの清浄化システムに関する
。 （従来の技術及び解決しようとする課題）いわゆるクリ
ーンルームは、微粒子（微生物を含む）を極力少なくし
た清浄なルーム（無菌室）として、様々な分野で利用さ
れており、缶詰、飲料等々の無菌充填を要する飲食品分
野や、半導体及び医薬品の製造などでは不可欠なシステ
ムである。 ところで、缶詰技術の進歩した今日においても、一般缶
詰の殺菌技術は、食品を容器に充填密封した後に外部か
ら加熱殺菌する方法（レトルト法殺菌法）が広く採用さ
れている。このレトルト殺菌法は、加熱媒体として蒸気
や熱水が用いられている０缶詰の加熱殺菌は微生物の中
でも耐熱性の強い細菌胞子を対象に行われるもので、一
般に低酸性飲料（ウーロン茶、コーヒー、紅茶、スープ
、ソースなど）缶詰の場合、缶型によって異なるが。 大体１１０〜１２０℃の温度で１５〜６０分又はそれ以
上の時間をかけて高温長時間殺菌が行われる。一般の細
菌胞子は１００℃以下の加熱ではかなり長時間加熱して
も死滅しないが、加熱温度が高くなる程その耐熱性は減
じ、１３０℃以上になると瞬時に死滅する。 この原理を応用して１３０℃以上の高温で短時間殺菌す
る従来の方法と異なった新しい殺菌技術がいろいろと開
発されている。例えば、缶詰の無菌充填方式として、容
器を３ｋｇ／ｃｍ２又は１４０℃以上の飽和蒸気の中に
おいて１ｏ秒間殺菌し、別途高温短時間殺菌済みの内容
物を無菌条件下で殺菌済み缶に充填密封する方法が試み
られている。 しかし、このような高圧での殺菌に耐える設備は嵩張る
と共にコスト高であることから、近年、簡単な無菌充填
システムが開発され、−例としてドール方式が実用化さ
れている（衛生技術会「無菌化包装食品の技術ｊｐ、３
０５〜３１８（１９７９）参照）。この方式は、２ステ
ツプ法と呼ばれるもので、食品の加熱殺菌部分とそれを
無菌的に充填密封する部分とからなり、高温短時間殺菌
装置で予め殺菌処理した食品を過熱蒸気で殺菌された缶
に無菌的に充填し、同様に過熱蒸気で殺菌された缶蓋に
より密封する方法である。 このドール方式によれば、内容物は高温短時間殺菌後、
常温に冷却してから充填するため、風味色調が良好であ
る等々、従来のレトルト法に比べて優れている。 しかし、システム内（フィラー、シーマ−）で加熱され
る（フィラー内の充填直前まで缶が過熱蒸気で加熱され
、缶そのものが熱く、また巻締め直前まで缶蓋も過熱蒸
気にさらされ、熱くなっている。更に充填室についても
過熱蒸気下にあり、充填雰囲気温度が高い）ため、容器
素材としては金属製のものしか適用できない。 また、充填時及び密封直後に熱くなっている缶や缶蓋及
び過熱雰囲気との接触により、内容物との熱交換が行な
われ、再び内容物が加熱される結果となり、特に風味が
劣化しやすい飲食品には未だ不向きであるという欠点が
あった。 したがって、飲食品の無菌充填では、風味の点からする
と、容器素材の殺菌工程とは切り離し、常温雰囲気状態
で充填密封できるシステムが望ましい。 一方、従来より、クリーンルームの清浄化システムとし
ては、クリーンルーム入口にヘパフィルタ−（ＨＥ　Ｐ
　Ａフィルター；防塵効率がＱ、３μｍ粒子で９９．９
７％以上の高能率フィルター）を設け、これに空気を通
して細菌や微粒子を補集し、適度な温度、湿度に維持し
た清浄な空気をクリーンルーム内に供給させる方式が知
られており、ＰＥＴボトルの無菌充填などに用いられて
いる。 しかし、このシステムでは、クリーンルーム内を一応の
無菌状態に維持することは可能であるが、長期間運転を
中止（停電、ボイラー検査、連体など）した後に無菌状
態へ復帰させるには、細菌検査も含めて約４日間程度必
要とし、立上りが遅く、このため、休止期間中でも常時
フィルターを介して清浄な空気をクリーンルーム内に供
給し、無菌状態を維持させる必要がある等、システム全
体がコスト高になるという欠点がある。更には、クリー
ンルーム内の壁、天井、設備などに付着している細菌を
殺菌する手段がないので、完全殺菌能力がなく、ＰＥＴ
ボトルより厳しい殺菌が要求される缶詰の無菌充填など
の用途には適していない。 本発明は、上述の従来技術の問題点を解決し、完全殺菌
ができ、しかも長期間運転中止後の無菌状態への復帰が
速やかにできる新規なりリーンルーム清浄化システムを
提供することを目的とするものである。 （課題を解決するための手段） 前記課題を解決するため、本発明者等は、完全殺菌を迅
速にでき、しかも通常の運転時においても殺菌作用を有
する新たなりリーンルーム清浄化システムについて鋭意
研究を重ねた結果、オゾンの殺菌作用の利用に着目し、
オゾンくん蒸（「オゾンくん蒸」とはクリーンルーム内
に高濃度のオゾン空気を供給、排気させて強制循環させ
ると共にクリーンルーム内を湿度７０％以上で滅菌する
ことをいう。）を利用したクリーンルーム清浄化システ
ムを開発して、ここに本発明をなしたものである。 すなわち、本発明は、クリーンルーム内に高濃度のオゾ
ンを供給するオゾンくん蒸用回路と、クリーンルーム入
口に備えたフィルターを介して低濃度のオゾンをクリー
ンルーム内に供給するクリーンルーム運転用回路とを有
し、クリーンルーム内に高濃度のオゾンを供給してオゾ
ンくん蒸した後、低濃度のオゾンをクリーンルーム内に
供給して、クリーンルーム内を無菌状態に維持すること
を特徴とするクリーンルームの清浄化システムを要旨と
するものである。 本発明の態様としては、クリーンルーム内への高濃度オ
ゾンの供給は、前記フィルターを介することなく、直接
クリーンルーム内に供給するクリーンルームの清浄化シ
ステム、前記フィルターかへパフイルターであるクリー
ンルームの清浄化システム、オゾンくん蒸をオゾン濃度
２０〜２００ｐｐｍ、殺菌時間１〜１０時間で行い、ク
リーンルーム運転をオゾン濃度０．Ｏ５ｐｐｍ程度で行
うクリーンルームの清浄化システムとすることができる
。 また、クリーンルームが缶詰の無菌充填のためのルーム
であるクリーンルームの清浄化システムとすることがで
き、更には、フィルターの有効面積を変えることにより
、クリーンルーム内空間のうち、フィラー領域と、シー
マ領域と、他の空間とをそれぞれ清浄度が異なるクラス
に維持するクリーンルームの清浄化システムとすること
ができる。 以下に本発明を更に詳細に説明する。 （作用） 本発明は、上述の事情を勘案して、完全殺菌でき且つ任
意のクラスの無菌状態を維持できる新規なりリーンルー
ム清浄化システムを開発したものであり、要するに、ク
リーンルーム内に高濃度のオゾンを供給するオゾンくん
蒸用回路と、クリーンルーム入口に備えたフィルターを
介して低濃度のオゾンをクリーンルーム内に供給するク
リーンルーム運転用回路とを備えている。 前者のオゾンくん蒸用回路により高濃度のオゾンをクリ
ーンルーム内に導入し、クリーンルーム内のオゾン濃度
を均一化させながら強制潤滑させることにより、クリー
ンルーム内の壁、天井、床、及び板物表面などに付着し
ている細菌を短時間に完全殺菌し、長期間運転停止後の
無菌状態への復帰を短時間にすることができる。 その後、後者のクリーンルーム運転用回路により低濃度
のオゾンをフィルターを介して完全殺菌したクリーンル
ーム内に供給して、長期間運転停止期間中フィルター人
口側に補集された微生物を殺菌すると共に、低濃度のオ
ゾンを強制循環させつつ運転するので、オペレーター等
の入室によりクリーンルーム内に持ち込まれる浮遊菌や
落下菌等の微生物も速やかにクリーンルーム内から排出
され、また、排出されずに残った微生物についても発育
を抑えクリーンルーム内の無菌状態を維持することがで
きる。 バイオクリーンルームの清浄状態は、規格（米航空宇宙
局規格）により、種々のクラス別に規定されている。ク
ラス１００は粒子径０．５μ■以上の微粒子が累積粒子
数で１００個／ｆｔ３以下の状態、クラス１００００は
粒子径０．５μ朧以上の微粒子が累積粒子数で１０００
０個／ｆｔ３以下の状態である。 缶詰の無菌充填の場合、オゾン耐性細菌芽胞に対して十
分な殺菌効果があり、しかも無芽胞細菌を完全殺菌でき
る清浄化システムが必要であるが、単にクリーンルーム
内にオゾンを添加しただけでは、実用的なシステムとは
言えない。すなわち、常時、高濃度のオゾンをクリーン
ルーム内に供給している状態で缶詰の充填等の作業を行
うことは危険であるので、完全面での配慮が必要である
と共に、接物の耐食性等も配慮しなければならない。 したがって、オゾンくん蒸は、少なくともクリーンルー
ム内の表面殺菌条件がＩＤ（生存菌数を１／１０に減少
させる殺菌条件）になるように殺菌処理するのが良く、
好ましくはオゾン濃度２０〜２０　ｏｐｐｍ、殺菌時間
１〜１０時間、湿度７０％以上でオゾンくん蒸するのが
実用的でもあり効果的である。すなわち、２００ｐｐｍ
以上のオゾン濃度では、酸化力が強いため耐食性の高い
機械しか使用できず、また、２０ｐｐ＋ｉ以下では殺菌
時間が長くかかってしまい、例えば、夜間の運転停止時
間（通常１２時間ぐらい）内で殺菌作業が完了せず実用
的でない。 また、その後の運転時のオゾン導入については、フィル
ターの入口側に捕集された無芽胞微生物を殺菌でき、し
かもクリーンルーム内の壁、天井、接物及びそれをつな
ぐ搬送設備等、表面付着菌の発育を抑える程度の低濃度
のオゾン（０，Ｏ２ｐｐｍ以上）であればよい。 一般に、自然界におけるオゾンガスの濃度は、地表空気
中や、海岸、山林等が高く、０．０１〜０．０４ｐｐｒ
ｎ存在し、上空はどオゾン濃度は高くなり、１２０００
＋＋＋以上の上空では１〜２ｐｐｍ存在するが、人間に
対する健康上の理由からオゾンの許容濃度は０　、１　
ｐｐｍ（労働時間内の日平均値）とすることが衛生学会
より勧告されている。したがって、低濃度のオゾンとし
ては、滅菌効果と人体に対する影響を考慮して０．０５
〜０　、１　ｐｐｍとするのが滅菌効果上好ましい。 更に、クリーンルーム内空間が作業員が入って作業する
作業領域と、作業員の入室によってクリーンルーム内に
持ち込まれる細菌で汚染されるのを非常に嫌う非作業領
域などのように区分される場合には、それぞれの領域を
無菌状態の異なるクラスに維持するのがよく、そのため
には、各区分領域毎にヘパフィルタ−を備え、その有効
面積を変えることにより行い、オゾンくん無援の作業領
域と非作業領域の無菌状態を各領域毎に維持させるのが
設備上望ましい。

【以下余白】

（実施例） 以下に本発明の実施例を示す。 失意盤上 第１図は本発明の清浄化システムのフローの一例を示し
ている。 図中、１はクリーンルーム（無菌室）で、適当な箇所に
ヘパフィルタ−２が備えられている。ここで、ヘパフィ
ルタ−は約０．３μｍの微孔を有するフィルターを多重
構造に折り畳んだ高性能フィルターであり、微生物を捕
集することができ、その大きさ（有効面積）を変えるこ
とにより、清浄度状態を種々のレベルのクラスに変える
ことができる。 このヘパフィルタ−２には、クリーンルーム内に低濃度
のオゾンを供給するクリーンルーム運転用ラインが接続
されている。具体的には、ヘパフィルタ−２はフィルタ
ーユニット（予め大きい塵埃を取り除く中性能フィルタ
ー）３を有するラインＲ工を介してエアハンドリングユ
ニット（空調機）４に接続され、このエアハンドリング
ユニット４は、一方ではラインＲ２にてクリーンルーム
１に直接接続されると共に、他方ではヒーター５を有す
るラインＲ３にて空気清浄器６が接続されている。この
空気清浄器６には第１オゾン発生器６□が付加されてい
る。第１オゾン発生器６□はオゾンを空気清浄器６に添
加し、低濃度のオゾンを含む空気をラインＲ３に供給す
る装置である。この空気清浄器６は、ラインＲ４にて直
接クリーンルーム１の側壁に接続されると共に、大気を
導入するラインＲ６にも接続されている。 このようなりリーンルーム運転用回路において、ライン
Ｒ５のブロワ−を作動させて空気清浄器６に導入された
空気に第１オゾン発生器６１によって所定の低濃度のオ
ゾンが供給混合され、この空気はヒーター５を介してエ
アハンドリングユニット４に送られ、フィルターユニッ
ト３を介してヘパフィルタ−２を通過し、クリーンルー
ム内に供給される。クリーンルーム内から排出された空
気は、再びラインＲ４にて空気清浄器６に循環供給され
、一方ではＲ２にてエアハンドリングユニット４に循環
供給される。 一方、オゾンくん蒸用回路では、第２オゾン発生器７が
ラインＲ１に直接接続されており、このラインＲ３はラ
インＲｓにて直接クリーンルーム１のＲ４と対向する壁
面に接続されている。第２オゾン発生器７は高濃度のオ
ゾンガスを直接ラインＲ３に供給するためのものである
。このラインＲ６には、クリーンルーム内を加湿するた
めの加湿器８を備えたラインＲ７を専用に設け、クリー
ンルーム内で混合加湿させるようにしである。 このようなオゾンくん蒸用回路によれば、第１オゾン発
生器６□によりオゾンを添加された低濃度のオゾンを有
する空気に、更に第２オゾン発生器７により直接オゾン
が添加され、この高濃度のオゾンを有する空気がライン
Ｒ６及びＲ７によってクリーンルーム１に供給されて、
クリーンルーム１のオゾンくん蒸が行われる。クリーン
ルーム１から排出された空気はラインＲ９により空気清
浄器６に循環され、閉回路を構成している。この場合、
ヘパフィルタ−２を介するラインは使用しない。 クリーンルーム１には、オゾンくん蒸機の高濃度オゾン
を大気に無害化して排出するオゾン排出ラインＲ８が接
続され、オゾンくん蒸機、第２オゾン発生器７を停止し
、図示していない活性炭を介して、ラインＲ３のブロワ
−を作動させて、クリーンルーム１内の高濃度オゾンを
大気放出する。 一方で、ラインＲ５のブロワ−を作動させて、クリーン
ルーム内のオゾン濃度を所定濃度まで低くし、その後、
クリーンルームの運転回路を作動させる。 オゾンくん蒸は、芽胞細菌に対して所望のＤ値（Ｄ値と
は、一般に生存菌数が１０分の１に減少（９０％死滅）
するのに要する加熱時間と定義されているが、ここでは
、生存菌数の生き残る確率とし、ＩＤであれば１０分の
１．２Ｄであれば１００分の１などのように使う）が得
られる条件で行なわれるが、本実施例では、芽胞細菌の
付着菌生存数が１０分の１に減少する殺菌条件（ＩＤ）
になるまで行い、種々のオゾン濃度に対する必要殺菌時
間を測定した。その結果、第３図に示す関係が得られた
。 その後、オゾン濃度０．Ｏ２ｐｐｍ以上の空気を供給す
るクリーンルーム運転を行った。その際、クリーンルー
ムの外で回収した外気空中浮遊菌を３０℃、７２時間か
けて培養し、これを運転中のクリーンルーム内に入れ、
生存菌数の時間的変化を調査したところ、数時間後には
生存菌数が半減していた。 このことから、運転中に持ち込まれる菌の発育抑制に十
分効果があり、オゾンくん蒸した際の無菌状態を確実に
維持させることができた。 オゾンくん蒸は、通常、オゾン濃度２０〜２００ｐｐｍ
、殺菌時間１〜１０時間で行い、一方、クリーンルーム
運転は、殺菌効果並びにクリーンルームの壁、天井、機
械設備などの耐食性材料の腐食等を考慮してオゾン濃度
０．Ｏ５ｐｐｍ程度で行う。 なお、本実施例ではオゾンくん蒸をＩＤの殺菌条件で行
ったが、これに限ることなく、ＩＤ値シラインりも上の
斜線領域内（第３図）で任意にオゾン濃度と殺菌時間を
選択することが可能である。 か＼るクリーンルーム清浄化システムによれば、以下の
ような優れた効果が期待できる。 （１）夜間にオゾンくん蒸することにより、休止期間中
でもヘパフィルタ−へのエアー循環を止めることができ
、ランニングコストを低減できる。 （２）オゾンくん蒸により、クリーンルーム内の接物表
面の殺菌を行うことができる。また、オゾンくん蒸する
時、高濃度のオゾンを側壁から供給して、側面へ排気す
るので、クリーンルーム内の隅々まで拡散でき、濃度の
均一化が図れ、オゾン耐性細菌芽胞でも十分な殺菌効果
が得られ、無芽胞細菌を完全殺菌できる。 （３）長期間運転を中止した後でも、無菌状態への復帰
を速やかに行うことができる。ヘパフィルタ−のみを備
えたクリーンルームでは、クリーンルーム内の壁、天井
、機械及びこれを接続する搬送設備等々の表面を殺菌す
る手段がないため、長期間運転を中止した後に無菌状態
に復帰させて運転できるまでには、細菌検査の培養結果
を待たないとスタートできず、そのために４日間はどの
ライン停止は避けられないが、本システムによれば、夜
間にオゾンくん蒸するだけで無菌状態へ復帰させること
ができる。 （４）低濃度オゾンの運転時、ヘパフィルタ−を介して
オゾン空気をクリーンルーム内へ供給するので、ヘパフ
ィルタ−の入口側に捕集された微生物を殺菌でき、万が
−にもヘパフィルタ−を通過してクリーンルーム内に混
入したとしても死滅しているので安全である。 （５）更に、低濃度オゾンの運転時には、クリーンルー
ム内の壁、天井、機械及びこれを接続する搬送設備等々
の表面に付着している微生物や、オペレーターの入室の
際、侵入してくる細菌等の発育を抑えることができる。 （６）クリーンルーム内を常温にできるので、各種作業
に最適の条件を提供できる。特に、飲食品の無菌充填の
場合、金属以外の材料の容器を使用できると共に、充填
すべき内容物も加熱により変質する恐れのある物質も可
能である。 このように、本発明のクリーンルームの清浄化システム
は優れた効果を有するので、種々の用途に適用可能であ
る。例えば、缶詰、飲料などの飲食品や他の殺菌物質の
無菌充填のほか、医薬品などの製造も可能である。 次に本発明の適用例を示す。勿論１本発明はこの適用例
のみに限定されないことは云うまでもない。 ス】１【炎 本例は、缶詰の無菌充填に適用した場合の例であり、第
２図はそのクリーンルーム清浄化システムを模式図的に
示している。 図中、１はクリーンルームであり、その清浄化システム
は、第１図に示したオゾンくん蓋用回路とクリーンルー
ム運転用回路を備えた清浄化システムと同様であるが、
各回路構成は同じであるので、ヘパフィルタ−２以外の
記載は省略されている。 このクリーンルーム１には、更に、内容物を殺菌し供給
するラインＲａ、空缶を殺菌し供給するラインＲｂ、缶
蓋を殺菌し供給するラインＲｅ、充填済みの缶詰を撮部
するラインＲｄが接続されており、かつ、クリーンルー
ム１内には、空缶に内容物を充填するフィラー（図示せ
ず）、充填後缶蓋を巻き締めて密封するシーマ（図示せ
ず）が配置されている。 内容物はその種類に応じて高温短時間殺菌などで殺菌処
理され、ポンプ等を利用してラインＲａによりクリーン
ルーム１に常温で供給される。 空缶、缶蓋などは、過熱蒸気殺菌、薬剤殺菌などの適当
な方法により殺菌処理されて、それぞれラインＲｂ、Ｒ
ｅによりクリーンルーム１内に常温にて搬入される。 勿論、クリーンルーム１内の壁、天井、機械及びこれを
接続する搬送設備等々の表面は、必要に応じて薬剤、無
菌水などの適当な方法により予め洗浄殺菌しておく。特
にオゾンを含む空気に曝されにくい箇所には事前の殺菌
処理が有効である。 この事前の殺菌処理を効果的にするために、本例では、
ステンレスパネル（図示せず）を使用して、クリーンル
ーム１内をフィラー領域Ｆと、シーマ領域Ｓと、他の空
間領域に区画し、それぞれの領域にヘパフィルタ−２を
有効面積を変えて設けることにより、フィラー領域Ｆと
シーマ領域Ｓをそれぞれ１０クラスに、他の空間領域を
１００００クラスに維持した。 なお、フィラー領域Ｆ内のシーマ巻締領域を、スチーム
とＮ２量で適当な巻締雰囲気条件下に調整することによ
り、充填済み缶詰内の真空度を調整することができる。 上記構成のシステムにおいて、まず、クリーンルーム内
の壁、天井、機械設備等々について洗浄（洗剤）→水洗
（無菌水）→くん蒸（オゾン）→殺菌（薬剤）→水洗（
無菌水）のパターンを夜間に行い、クリーンルーム内を
運転可能な無菌状態にした。 その際、オゾンくん蒸を、長時間くん蒸として２０ｐｐ
ａ＋Ｘ　１０時間、短時間くん蒸として２００　ｐｐｍ
×１時間の範囲内で種々の条件で行った。 次いで、オゾン濃度Ｑ、Ｏ５ｐｐｍの空気を供給する通
常運転を行い、缶詰の無菌充填作業を実施した。その際
、充填すべき内容物は高温短時間殺菌した後、常温に冷
却してフィラーに供給した。また空缶及び缶蓋は過熱蒸
気により予め殺菌し、常温に冷却してクリーンルーム内
への搬入ラインに載せた。 得られた缶詰について細菌検査及び風味色調検査を行っ
たところ、全く問題がなかった。 か＼る缶詰の無菌充填に適用したクリーンルーム清浄化
システムによれば、実施例１の効果に加えて、以下のよ
うな優れた効果が期待できる。 （１）クリーンルーム内を常温にでき、殺菌処理した内
容物と共に、空缶並びに缶蓋も常温でクリーンルーム内
に供給することができるので、内容物は充填される時及
び密封直後に空缶や缶蓋からの熱影響を受けることがな
い。したがって、内容物の風味が劣化するのを防止する
ことができるので、熱により風味が劣化する恐れのある
内容物も充填可能とすることができる。また、金属以外
の材料の容器も使用できる。 （２）床が濡れていて、作業員の靴などにより侵入して
きた微生物が発育しやすい充填室でも、オゾンによる発
育抑制効果により無菌状態を維持することができる。 （３）クリーンルーム内空間を無菌状態の異なるクラス
の作業領域、非作業領域に区分する場合、各区分領域毎
に備えたヘパフィルタ−の有効面積を変えることにより
容易に清浄度を変更することができる。 （発明の効果） 以上詳述したように１本発明によれば、クリーンルーム
内に高濃度のオゾンを供給してオゾンくん蒸するので、
完全殺菌が可能であると共に長期間運転中止後の無菌状
態への復帰を速やかに行うことができ、しかも、その後
、低濃度のオゾンをクリーンルーム内に供給して無菌状
態を維持しつつ運転できるので、完全殺菌効果及び微生
物育成の抑制効果も顕著である。更に、クリーンルーム
内は常温でも運転できる。したがって、本システムは各
種用途に容易に適用できると共に低コストである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のクリーンルーム清浄化システムのフロ
ーの一例を示す説明図、 第２図は本発明を缶詰の無菌充填に適用した場合の構成
例を模式図的に示す説明図、 第３図は、殺菌条件ＩＤにおけるオゾン濃度と殺菌時間
の関係を示す図である。 １・・・クリーンルーム（無菌室）、２・・・ヘパフィ
ルタ−１３・・・フィルターユニット、４・・・エアハ
ンドリングユニット、５・・・ヒーター、６・・・空気
清浄器、６□・・・第１オゾン発生器、７・・・第２オ
ゾン発生器、８・・・加湿器、Ｆ・・・フィラー、Ｓ・
・・シーマ。 特許出願人　　大和製罐株式会社

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）クリーンルーム内に高濃度のオゾンを供給するオ
   ゾンくん蒸用回路と、クリーンルーム入口に備えたフィ
   ルターを介して低濃度のオゾンをクリーンルーム内に供
   給するクリーンルーム運転用回路とを有し、クリーンル
   ーム内に高濃度のオゾンを供給してオゾンくん蒸した後
   、低濃度のオゾンをクリーンルーム内に供給して、クリ
   ーンルーム内を無菌状態に維持することを特徴とするク
   リーンルームの清浄化システム。
2. （２）クリーンルーム内への高濃度オゾンの供給は、前
   記フィルターを介することなく直接クリーンルーム内に
   供給する請求項１に記載のクリーンルームの清浄化シス
   テム。
3. （３）前記フィルターがヘパフィルターである請求項１
   に記載のクリーンルームの清浄化システム。
4. （４）オゾンくん蒸をオゾン濃度２０〜２００ｐｐｍ、
   殺菌時間１〜１０時間で行い、クリーンルーム運転をオ
   ゾン濃度０．０５ｐｐｍ程度で行う請求項１、２又は３
   に記載のクリーンルームの清浄化システム。
5. （５）クリーンルームが缶詰の無菌充填のためのルーム
   である請求項１に記載のクリーンルームの清浄化システ
   ム。
6. （６）フィルターの有効面積を変えることにより、クリ
   ーンルーム内空間のうち、フィラー領域と、シーマ領域
   と、他の空間のそれぞれ清浄度が異なるクラスに維持す
   る請求項５に記載のクリーンルームの清浄化システム。