JPH048086B2 - - Google Patents
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- JPH048086B2 JPH048086B2 JP63157847A JP15784788A JPH048086B2 JP H048086 B2 JPH048086 B2 JP H048086B2 JP 63157847 A JP63157847 A JP 63157847A JP 15784788 A JP15784788 A JP 15784788A JP H048086 B2 JPH048086 B2 JP H048086B2
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- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 66
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 34
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims description 10
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims description 9
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 claims description 9
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 claims description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 6
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 3
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 3
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/40—Capture or disposal of greenhouse gases of CO2
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P20/00—Technologies relating to chemical industry
- Y02P20/151—Reduction of greenhouse gas [GHG] emissions, e.g. CO2
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は高純度ガスの製造に利用される圧力ス
イング吸着装置(以下単にPSA装置という)に
関し、詳細には高純度の製品ガスを高回収率で回
収することのできるPSA装置に関するものであ
る。
イング吸着装置(以下単にPSA装置という)に
関し、詳細には高純度の製品ガスを高回収率で回
収することのできるPSA装置に関するものであ
る。
以下には原料空気からN2ガスを高純度で回収
するPSA装置について例示的に説明するが、本
発明装置の適用対象はこれによつて限定解釈され
てはならない。
するPSA装置について例示的に説明するが、本
発明装置の適用対象はこれによつて限定解釈され
てはならない。
[従来の技術]
第3図は前処理装置R及びN2ガスを選択的に
吸着回収するPSA装置Pによつて構成されるN2
ガス回収装置の概略説明図である。前処理装置R
の圧縮機9によつて加圧された原料空気は前処理
塔2a,2bのいずれかに送給され、吸着剤に
H2O及びCO2成分を吸着させた後、ここを通過し
たO2/N2混合ガスは3塔式PSA装置Pへ送り込
まれる。第6図は該前処理塔2a,2bの工程を
示す説明図であり、吸着工程及び脱着工程が周期
的に交互に行なわれる。
吸着回収するPSA装置Pによつて構成されるN2
ガス回収装置の概略説明図である。前処理装置R
の圧縮機9によつて加圧された原料空気は前処理
塔2a,2bのいずれかに送給され、吸着剤に
H2O及びCO2成分を吸着させた後、ここを通過し
たO2/N2混合ガスは3塔式PSA装置Pへ送り込
まれる。第6図は該前処理塔2a,2bの工程を
示す説明図であり、吸着工程及び脱着工程が周期
的に交互に行なわれる。
前処理済ガス導出管21、一時貯留ホルダ11
及び原料ガス供給管1aを介してPSA装置Pに
供給される混合ガスは、自動開閉弁(以下単に弁
という)V1〜V3を介して吸着塔3a,3b,3
cのいずれかに導入される。各塔の底部には弁
V4〜V6を介して排ガス廃棄管4aが連結され、
該排ガス廃棄管4aは前処理塔2a,2bの再生
用ガス導入管22に連結され、吸着塔3a,3
b,3cを通過したO2を主成分とする排ガスは
前処理塔内に吸着されたH2OとCO2脱着のための
バージ用ガスとして利用される。また吸着塔3
a,3b,3c下部には分岐管を介して脱着用管
5が接続され、真空ポンプ6によつて脱着された
N2ガスは製品ガスホルダ20に貯留される。製
品ガスホルダ20には、洗浄用管8が配設され、
該洗浄用管8は分岐された後、弁V13〜V15を介
して吸着塔3a,3b,3cの各頂部に連結され
る。尚各吸着塔3a,3b,3cは連結配管10
a,10b,10cによつて直列的にも連結され
る。
及び原料ガス供給管1aを介してPSA装置Pに
供給される混合ガスは、自動開閉弁(以下単に弁
という)V1〜V3を介して吸着塔3a,3b,3
cのいずれかに導入される。各塔の底部には弁
V4〜V6を介して排ガス廃棄管4aが連結され、
該排ガス廃棄管4aは前処理塔2a,2bの再生
用ガス導入管22に連結され、吸着塔3a,3
b,3cを通過したO2を主成分とする排ガスは
前処理塔内に吸着されたH2OとCO2脱着のための
バージ用ガスとして利用される。また吸着塔3
a,3b,3c下部には分岐管を介して脱着用管
5が接続され、真空ポンプ6によつて脱着された
N2ガスは製品ガスホルダ20に貯留される。製
品ガスホルダ20には、洗浄用管8が配設され、
該洗浄用管8は分岐された後、弁V13〜V15を介
して吸着塔3a,3b,3cの各頂部に連結され
る。尚各吸着塔3a,3b,3cは連結配管10
a,10b,10cによつて直列的にも連結され
る。
第4図は、吸着塔3a,3b,3cの作動工程
を示す説明図であり、吸着工程開始時から脱着工
程終了時までの作動工程を1工程サイクルとして
いる。この1工程サイクルは図示の如く吸着工
程、回収工程、洗浄工程及び脱着工程より構成さ
れる。吸着工程では脱着の完了した吸着塔内を加
圧すると共に、O2/N2混合ガスを供給管1aか
ら加圧供給し、回収目的成分のN2ガスを吸着剤
に吸着させ不純成分ガス(主にO2ガス)を排ガ
ス廃棄管4a及び前処理装置Rを介して放出させ
る。又脱着工程では吸着塔を真空ポンプ6によつ
て減圧し、吸着塔内の吸着剤に吸着されたN2を
脱着し脱着用管5を通して製品ガスホルダ20に
回収貯留する。
を示す説明図であり、吸着工程開始時から脱着工
程終了時までの作動工程を1工程サイクルとして
いる。この1工程サイクルは図示の如く吸着工
程、回収工程、洗浄工程及び脱着工程より構成さ
れる。吸着工程では脱着の完了した吸着塔内を加
圧すると共に、O2/N2混合ガスを供給管1aか
ら加圧供給し、回収目的成分のN2ガスを吸着剤
に吸着させ不純成分ガス(主にO2ガス)を排ガ
ス廃棄管4a及び前処理装置Rを介して放出させ
る。又脱着工程では吸着塔を真空ポンプ6によつ
て減圧し、吸着塔内の吸着剤に吸着されたN2を
脱着し脱着用管5を通して製品ガスホルダ20に
回収貯留する。
次に回収工程及び洗浄工程を、吸着等3aの場
合を例に挙げて説明すると第5図a及びbによつ
て示される。即ち第5図aの状態においては、洗
浄用管8を通して高純度N2ガスを吸着塔3cへ
送給し、塔内の残留O2成分を追放し、吸着工程
の終了した吸着塔3aへ連結配管10cを介して
送り込み、洗浄済み排ガス中のN2成分を回収す
る。このとき吸着塔3aでは回収工程が行なわ
れ、吸着塔3cでは洗浄工程が行なわれる。また
第5図bの状態では、吸着塔3aは洗浄工程を行
ない、吸着塔3bは回収工程を行なう。
合を例に挙げて説明すると第5図a及びbによつ
て示される。即ち第5図aの状態においては、洗
浄用管8を通して高純度N2ガスを吸着塔3cへ
送給し、塔内の残留O2成分を追放し、吸着工程
の終了した吸着塔3aへ連結配管10cを介して
送り込み、洗浄済み排ガス中のN2成分を回収す
る。このとき吸着塔3aでは回収工程が行なわ
れ、吸着塔3cでは洗浄工程が行なわれる。また
第5図bの状態では、吸着塔3aは洗浄工程を行
ない、吸着塔3bは回収工程を行なう。
[発明が解決しようとする課題]
上記吸着工程の初期において吸着塔3a,3
b,3cを通過した排ガス中のN2成分濃度は比
較的に低く、該排ガスを前処理装置Rの再生用パ
ージガスとして放出しても製品N2ガスの回収率
を著しく低下することはない。
b,3cを通過した排ガス中のN2成分濃度は比
較的に低く、該排ガスを前処理装置Rの再生用パ
ージガスとして放出しても製品N2ガスの回収率
を著しく低下することはない。
しかしながら、回収工程で排ガス廃棄管4aへ
流入する排ガスは吸着工程終了後の2つの吸着塔
を[第5図a,bに示す]を直列的に通過するも
のの、N2ガスの濃度は高く(おおよそ90%)、こ
の排ガスを前処理装置Rを経由して放出してしま
うと、N2ガスの回収率を著しく低下させること
になる。尚吸着工程終期における排ガス中のN2
ガス濃度も比較的高く、これを放散させることは
回収率の低下につながる。
流入する排ガスは吸着工程終了後の2つの吸着塔
を[第5図a,bに示す]を直列的に通過するも
のの、N2ガスの濃度は高く(おおよそ90%)、こ
の排ガスを前処理装置Rを経由して放出してしま
うと、N2ガスの回収率を著しく低下させること
になる。尚吸着工程終期における排ガス中のN2
ガス濃度も比較的高く、これを放散させることは
回収率の低下につながる。
そこで本発明者らは、回収目的成分ガスの濃度
を高純度に保持したままで、回収率を向上させる
ことを目的として種々研究を重ね、本発明を完成
した。
を高純度に保持したままで、回収率を向上させる
ことを目的として種々研究を重ね、本発明を完成
した。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成し得た本発明は、排ガス廃棄管
と再生用ガス導入管を連結する配管を2系統に分
岐させ、さらに再合流せしめる構成とし、前記圧
力スイング吸着塔における回収成分ガスを吸着す
る吸着剤を収納した回収吸着塔を前記2系統のい
ずれか一方に設ける点を要旨とするものである。
と再生用ガス導入管を連結する配管を2系統に分
岐させ、さらに再合流せしめる構成とし、前記圧
力スイング吸着塔における回収成分ガスを吸着す
る吸着剤を収納した回収吸着塔を前記2系統のい
ずれか一方に設ける点を要旨とするものである。
[作用及び実施例]
第1図は本発明の代表的な実施例を示す概略説
明図である、第3図に示した従来例と比較すると
本発明の特徴的な構成は下記の通りである。即ち
排ガス廃棄管4aと再生用ガス導入管22の間
を、バイパス管12と回収吸着塔配管13の2系
統によつて並列的に接続し、該回収吸着塔配管1
3には回収吸着塔14及び弁X2,X3を設け、前
記バイパス管12には弁X1を配設する。上記回
収吸着塔14内には回収目的成分であるN2を選
択的に吸着する合成ゼオライトを装填する。
明図である、第3図に示した従来例と比較すると
本発明の特徴的な構成は下記の通りである。即ち
排ガス廃棄管4aと再生用ガス導入管22の間
を、バイパス管12と回収吸着塔配管13の2系
統によつて並列的に接続し、該回収吸着塔配管1
3には回収吸着塔14及び弁X2,X3を設け、前
記バイパス管12には弁X1を配設する。上記回
収吸着塔14内には回収目的成分であるN2を選
択的に吸着する合成ゼオライトを装填する。
上記バイパス管12及び回収吸着塔配管13は
第2図A〜Cに示す様に使用される。即ち排ガス
廃棄管4a内を通過する排ガス中にN2成分が少
ないときには、弁X2,X3を閉鎖して弁X1を開放
し、バイパス管12を介してこの排ガスを再生用
ガス導入管22経由で前処理塔2a,2bへ送給
する。
第2図A〜Cに示す様に使用される。即ち排ガス
廃棄管4a内を通過する排ガス中にN2成分が少
ないときには、弁X2,X3を閉鎖して弁X1を開放
し、バイパス管12を介してこの排ガスを再生用
ガス導入管22経由で前処理塔2a,2bへ送給
する。
一方吸着塔3a,3b,3cのいずれかにおい
て回収工程を行なつているとき(第4図参照)、
或は吸着工程の後期即ち排ガス廃棄管4a内を流
れる排ガス中に高濃度のN2ガスが混入している
ときには、弁X1を閉じて弁X2,X3を開放し、第
2図Bに示す如く排ガスを回収吸着塔14へ導入
し、排ガス中のN2成分を吸着剤に吸着させ、該
回収吸着塔14を通過したガスのみを再生用ガス
導入管22へ導く。
て回収工程を行なつているとき(第4図参照)、
或は吸着工程の後期即ち排ガス廃棄管4a内を流
れる排ガス中に高濃度のN2ガスが混入している
ときには、弁X1を閉じて弁X2,X3を開放し、第
2図Bに示す如く排ガスを回収吸着塔14へ導入
し、排ガス中のN2成分を吸着剤に吸着させ、該
回収吸着塔14を通過したガスのみを再生用ガス
導入管22へ導く。
上記の弁X1〜X3の開閉制御は第4図の工程ス
ケジユールに合わせて時間的に制御する手段とし
ても良いし、或は排ガス廃棄管4aにN2ガス濃
度測定器を配置し、該測定器の検出値に応じて弁
X1〜X3を開閉制御できる様に構成しても構わな
い。
ケジユールに合わせて時間的に制御する手段とし
ても良いし、或は排ガス廃棄管4aにN2ガス濃
度測定器を配置し、該測定器の検出値に応じて弁
X1〜X3を開閉制御できる様に構成しても構わな
い。
また回収吸着塔14内に吸着されたN2成分は
次に述べる方法によつて脱着して吸着剤の再生を
はかると共に、N2成分を再び回収する。即ち第
2図Cに示す様に、脱着工程が完了して減圧状態
にある吸着塔(例えば3a)と回収吸着塔14
を、弁X2,V4を開放することによつて連通する。
このとき弁X1,X3は閉鎖とする。この作動によ
り回収吸着塔14内の吸着剤は減圧再生されると
共に、脱着されたN2成分は吸着塔3a内に吸着
されて再回収されることになる。この作動の後吸
着塔3aにおいては吸着工程が開始され、第4図
に示す工程順序に従つて運転が繰返される。
次に述べる方法によつて脱着して吸着剤の再生を
はかると共に、N2成分を再び回収する。即ち第
2図Cに示す様に、脱着工程が完了して減圧状態
にある吸着塔(例えば3a)と回収吸着塔14
を、弁X2,V4を開放することによつて連通する。
このとき弁X1,X3は閉鎖とする。この作動によ
り回収吸着塔14内の吸着剤は減圧再生されると
共に、脱着されたN2成分は吸着塔3a内に吸着
されて再回収されることになる。この作動の後吸
着塔3aにおいては吸着工程が開始され、第4図
に示す工程順序に従つて運転が繰返される。
尚該回収吸着塔14の再生方法は上記の例に限
らず、別に真空ポンプ及びガスホルダを回収吸着
塔14に直列接続し、該回収吸着塔14を使用し
ないときに減圧してN2成分を脱着できる様に構
成し、該ガスホルダと吸着塔3a,3b,3cを
別の配管を経由して接続し、吸着工程のいずれか
の時点で吸着塔3a,3b,3c側へ送給しても
構わない。
らず、別に真空ポンプ及びガスホルダを回収吸着
塔14に直列接続し、該回収吸着塔14を使用し
ないときに減圧してN2成分を脱着できる様に構
成し、該ガスホルダと吸着塔3a,3b,3cを
別の配管を経由して接続し、吸着工程のいずれか
の時点で吸着塔3a,3b,3c側へ送給しても
構わない。
またバイパス管12と回収吸着塔配管13の再
生用ガス導入管22側の合流点の下流部に、排ガ
ス貯留用のガスホルダを配設しておき、バイパス
管12及び回収吸着塔配管13を夫々通過する排
ガスを均圧化すると共に、弁Z7,Z8を介して逆流
されてくる可能性があるO2/N2混合ガスを減圧
して吸着塔3a,3b,3c側へ逆流しない様に
することが推奨される。
生用ガス導入管22側の合流点の下流部に、排ガ
ス貯留用のガスホルダを配設しておき、バイパス
管12及び回収吸着塔配管13を夫々通過する排
ガスを均圧化すると共に、弁Z7,Z8を介して逆流
されてくる可能性があるO2/N2混合ガスを減圧
して吸着塔3a,3b,3c側へ逆流しない様に
することが推奨される。
(実験例)
第1図及び第3図に示した装置を使つて下記の
条件でN2ガスの回収実験を行ない、N2ガス回収
率の比較を行なつた。
条件でN2ガスの回収実験を行ない、N2ガス回収
率の比較を行なつた。
前処理塔内径:50mm
前処理塔高さ:1000mm
前処理塔着剤:合成ゼオライト13X型及びシリカ
ゲル 原料空気供給量:3200N/h 原料空気供給圧:5.0Kg/cm2G 吸着塔内径:80mm 吸着塔高さ:1000mm 吸着塔吸着剤:合成ゼオライト5A型 脱着圧力:100Torr この実験によれば、第3図に示した従来装置で
は、回収率は約25%であつたが、本発明装置では
回収率を36%とすることができた。尚両装置とも
回収N2ガスの純度は99.99%であつた。
ゲル 原料空気供給量:3200N/h 原料空気供給圧:5.0Kg/cm2G 吸着塔内径:80mm 吸着塔高さ:1000mm 吸着塔吸着剤:合成ゼオライト5A型 脱着圧力:100Torr この実験によれば、第3図に示した従来装置で
は、回収率は約25%であつたが、本発明装置では
回収率を36%とすることができた。尚両装置とも
回収N2ガスの純度は99.99%であつた。
[発明の効果]
本発明により回収目的成分濃度は高純度のまま
で、従来装置に比較して製品ガスの回収率を向上
できる様になつた。
で、従来装置に比較して製品ガスの回収率を向上
できる様になつた。
第1図は本発明の代表的な実施例を示す概略説
明図、第2図A,B,Cは本発明装置の作動状態
を示す説明図、第3図は従来の装置例を示す概略
説明図、第4図は第3図に示す吸着塔の工程を示
す説明図、第5図a,bは洗浄工程及び回収工程
を示す説明図、第6図は前処理塔の工程を示す説
明図である。 1a……加圧原料ガス導入管、2a,2b……
前処理塔、3a,3b,3c……吸着塔、4a…
…排ガス廃棄管、6……真空ポンプ、8……洗浄
用管、9……圧縮機、10……製品ガスホルダ、
10a,10b,10c……連結配管、12……
バイパス管、13……排ガスホルダ、14……回
収吸着塔、21……前処理済ガス導出管、22…
…再生用ガス導入管。
明図、第2図A,B,Cは本発明装置の作動状態
を示す説明図、第3図は従来の装置例を示す概略
説明図、第4図は第3図に示す吸着塔の工程を示
す説明図、第5図a,bは洗浄工程及び回収工程
を示す説明図、第6図は前処理塔の工程を示す説
明図である。 1a……加圧原料ガス導入管、2a,2b……
前処理塔、3a,3b,3c……吸着塔、4a…
…排ガス廃棄管、6……真空ポンプ、8……洗浄
用管、9……圧縮機、10……製品ガスホルダ、
10a,10b,10c……連結配管、12……
バイパス管、13……排ガスホルダ、14……回
収吸着塔、21……前処理済ガス導出管、22…
…再生用ガス導入管。
Claims (1)
- 1 前処理塔に設ける前処理済ガス導出管と圧力
スイング吸着塔に設ける加圧原料ガス導入管を連
結すると共に、前記圧力スイング吸着塔に設ける
排ガス廃棄管と前記前処理塔に設ける再生用ガス
導入管を連結してなる圧力スイング吸着装置にお
いて、前記排ガス廃棄管と再生用ガス導入管を連
結する配管を2系統に分岐させ、さらに再合流せ
しめる構成とし、前記圧力スイング吸着塔におけ
る回収成分ガスを吸着する吸着剤を収納した回収
吸着塔が前記2系統のいずれか一方に設けられて
なることを特徴とする圧力スイング吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63157847A JPH026815A (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 圧力スイング吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63157847A JPH026815A (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 圧力スイング吸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH026815A JPH026815A (ja) | 1990-01-11 |
| JPH048086B2 true JPH048086B2 (ja) | 1992-02-14 |
Family
ID=15658660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63157847A Granted JPH026815A (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 圧力スイング吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH026815A (ja) |
-
1988
- 1988-06-24 JP JP63157847A patent/JPH026815A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH026815A (ja) | 1990-01-11 |
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