JPH0481963U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0481963U JPH0481963U JP12340790U JP12340790U JPH0481963U JP H0481963 U JPH0481963 U JP H0481963U JP 12340790 U JP12340790 U JP 12340790U JP 12340790 U JP12340790 U JP 12340790U JP H0481963 U JPH0481963 U JP H0481963U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- gate
- back plate
- gate valve
- stopper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図〜第3図はこの考案の実施例を示してお
り、第1図はゲート弁を開いた状態のゲート装置
の縦断側面図、第2図はゲート弁の閉じ状態を示
す縦断側面図、第3図はストツパーの取付構造を
示す断面図である。第4図は従来のゲート装置を
示す縦断側面図である。 1……真空槽、3……弁箱、3a……内底壁、
4……通口、5……ゲート弁、6……操作シリン
ダ、11……ピストンロツド、12……バツクプ
レート、13……平行リンク、14……弁板、1
7……ストツパー、21……ねじ穴。
り、第1図はゲート弁を開いた状態のゲート装置
の縦断側面図、第2図はゲート弁の閉じ状態を示
す縦断側面図、第3図はストツパーの取付構造を
示す断面図である。第4図は従来のゲート装置を
示す縦断側面図である。 1……真空槽、3……弁箱、3a……内底壁、
4……通口、5……ゲート弁、6……操作シリン
ダ、11……ピストンロツド、12……バツクプ
レート、13……平行リンク、14……弁板、1
7……ストツパー、21……ねじ穴。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空槽に隣接して弁箱が設けられ、該弁箱
の内部に、真空槽への通口を開閉するゲート弁が
配置されており、このゲート弁を弁箱の外面に設
けた操作シリンダで開閉操作するゲート装置であ
つて、 ゲート弁と弁箱の内壁との間に、ゲート弁の閉
じ方向移動を阻止するストツパーが設けられてお
り、 ゲート弁が開き位置側のストロークエンドに位
置している状態でのみ、ストツパーがゲート弁と
弁箱の内壁とのいずれか一方に着脱可能に取付け
固定されている真空装置用のゲート装置。 (2) ゲート弁が重力に抗して開き操作されるよ
うゲート装置を真空槽に付設しており、 ゲート弁は、操作シリンダのピストンロツドに
連結されるバツクプレートと、該バツクプレート
に平行リンクを介して支持された弁板とを含み、 開き位置にあるバツクプレートの下端面と、こ
れに対向する弁箱の内底壁との対向間隔より僅か
に短い金属軸体でストツパーを形成し、 ストツパーをバツクプレートの下端面に設けた
ねじ穴にねじ込み装着した請求項(1)記載の真空
装置用のゲート装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12340790U JPH0734929Y2 (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | 真空装置用のゲート装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12340790U JPH0734929Y2 (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | 真空装置用のゲート装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0481963U true JPH0481963U (ja) | 1992-07-16 |
| JPH0734929Y2 JPH0734929Y2 (ja) | 1995-08-09 |
Family
ID=31871117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12340790U Expired - Lifetime JPH0734929Y2 (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | 真空装置用のゲート装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0734929Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-11-22 JP JP12340790U patent/JPH0734929Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0734929Y2 (ja) | 1995-08-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |