JPH0482311A - 圧電振動子の周波数調整方法及び圧電振動子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本願発明は、圧電基板に振動電極を設けてなる圧電振動
子に周波数調整部材を設けて行う周波数の調整方法及び
上記調整方法により周波数の調整を行うのに適した圧電
振動子に関する。

［従来の技術］ 従来、圧電基板に振動電極を設けてなる圧電振動子の共
振周波数を調整する方法としては、例えば、第５図及び
第６図に斜視図及び断面図を示すように、Ｌ　ｉ　Ｔ　
ａ　Ｏｓからなる圧電基板】１の表裏両面に形成された
Ｃｕ−Ｎｉ合金からなる振動電極１２にＹＡＧレーレー
を照射し、局部的に所定の面積分たけ振動電［ｉ１２を
蒸発させることにより質量を減少させ、周波数を少しず
つ上昇させて周波数を調整する方法がある。第５図にお
いて１３はレーザ光により振動電極１２が除去されて形
成されたピットである。

［発明が解決しようとする課Ｍ］ しかし、上記従来の周波数調整方法においては、振動電
極１２を所定の面積（質量）だけ局部的に蒸発させる（
トリミングする）ことが困難で、高精度に周波数を調整
することができないという問題点がある。また、振動電
極１２か除去された後にレーザ光が圧電基板１１にまで
達して圧電基板１１の素地にタメージを与えるという問
題点がある。

本願発明は、上記の問題点を解決するものであり、確実
に周波数調整を行うことかできるとともに圧電基板の素
地を損傷する恐れのない周波数調整方法及び該周波数調
整法に適した圧電振動子を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記の問題点を解決するために、本願発明の圧電振動子
の周波数調整方法は、 圧電基板の表面に振動電極を形成してなる圧電振動子の
該振動電極上に、所定の質量を有し、かつ該振動電極よ
りレーザ光吸収率の高い周波数調整部材を複数個配設し
ておき、所定の周波数に調整するために必要な数だけ該
周波数調整部材をレーザ光により除去゛することを特徴
とする。

また、本願発明の圧電振動子は、 圧電基板と、 前記圧電基板を挾んで対向する一対の振動電極と、 前記振動電極の表面に複数個配設された、前記振動電極
よりもレーザ光吸収率の高い物質からなり、所定の質量
を有する周波数調整部材とを具備することを特徴とする
。

［作用］ 本願発明の圧電振動子の周波数調整方法においては、所
定の質量を有する、振動電極よりもレーザ光吸収率の高
い物質からなる周波数調整部材かレーザ光により順次除
去される過程を目視し、所定の個数の周波数調整部材（
すなわち所定の質量）が除去された時点でレーザ光の照
射を停止することにより周波数の調整を行う、また、周
波数調整部材は振動電極上に設けられており、周波数調
整部材が蒸発した後直ちにレーザ光か圧電基板にあたる
ことがないため、圧電基板の素地を損傷することがない
。

また、本願発明の圧を振動子においては、振動電極の表
面に、振動電極よりもレーザ光吸収率の高い物質からな
り所定の質量を有する周波数調整部材が複数個配設され
ており、上記本願発明にかかる周波数調整方法により、
確実に周波数の調整を行うことができる。

［実繕例］ 以下、この発明の実施例を図に基づいて説明する。第１
図は本願発明の一実施例にかかる圧電振動子を示す斜視
図である。

図に示すように、この圧電振動子は矩形板状の圧電基板
１の両面に銀（Ａｇ）からなる振動電極２を設けるとと
もに、圧電基板１の端部側に引出し電極４を延設するこ
とにより形成されている。

そして、この振動電極２の表面には、直方体形状で所定
の質量を有する周波数調整部材３が所定の間隔をおいて
複数個配設されている。この周波数調整部材３の材料と
しては、振動型［！２　（Ａｇ＞よりもレーザ光吸収率
の高いＣｕ−Ｎｉが用いられている。

上記のように構成された圧電振動子においては、その周
波数を調整する場合に、″レーザ光を上記周波数調整部
材３に照射し、所定個数の周波数調整部材３を除去（蒸
発）することにより行う、このとき、周波数調整部材３
は振動電極２よりし、−サ光吸収率か高いため照射する
レーザ光の強度を適当に調整することにより周波数調整
部材３のみを選択的に蒸発させることか可能になり、振
動電極２の損傷を防止することができる。また、圧電基
板１は振動電極２より下にあるので、レーザ光の照射に
より周波数調整部材３が除去されてもその後直ちに圧電
基板１にレーザ光かあたることかないのでその素地面が
損傷されることはない。

レーザ光を照射して周波数を調整する場合、上記圧電振
動子においては、周波数調整部材３の１個当たりの質量
が所定の値に調整されているため、周波数調整部材３を
何個除去すればどの程度周波数が増大するかをあらかじ
め算出することが可能であり、周波数調整のために必要
な数だけ除去した時点でレーザ光の照射を停止すること
により確実に周波数を調整することができる。

上記実施例においては、周波数調整部材３を圧電振動子
の一方の面の振動電極２上に設けた場合について説明し
たが、圧電基板１の両面の振動電＃１２，２の両方に周
波数調整部材３を設けるようにしてもよいことはいうま
でもない。

また、圧＠振動子の形状については上記実施例に示すよ
うなものに限らず、例えば第４図に示すような、略正方
形の圧電基板１の両面の中央に円形の振動電′＃ｉ！２
を設け、端部に引出し電極４を形成した圧電振動子など
種々の圧電振動子に関して本願発明を適用することが可
能である。さらに、本願発明は、振動部表面に振動電極
を設けた圧電振動子であれば単結晶、セラミックスその
他を用いた種々の振動モードの圧ｔ、振動子に適用する
ことができる。

周波数調整部材３の形状は上記実施例によって限定され
るものではなく、例えば平面形状か円形、多角形その他
種々の形状に構成することが可能である。

また、周波数調整部材３は上記実施例のように金属など
の導電性を有するものに限らす、振動電極２よりレーザ
光吸収率の高い材料であればよく、樹脂その他の種々の
材料を用いることが可能である。

なお、振動電極２と周波数調整部材３との接合（密着）
強度を高めるために、第３図に示すように、接合層５を
設けてもよい、この接合層５としてはモネルメツキ膜な
どが例示されるか、その他の材料を用いてもよい。

［発明の効果］ 上述のように、本願発明の圧電振動子の周波数調整方法
は、圧電振動子の振動電極上に、所定の質量を有し、か
つ該振動電極よりレーザ光吸収率の高い周波数調整部材
を複数個配設しておき、所定の周波数に調整するなめに
必要な数だけ上記周波数調整部材をレーザ光により除去
するように構成しているので、所定の個数の周波数調整
部材（すなわち所定の質量）が除去された時点でレーザ
光の照射を停止することにより、確実に周波数の調整を
行うことできる。

また、本願発明の圧電振動子は、振動電極の表面に、振
動電極よりもレーザ光吸収率の高い物質からなり所定の
質量を有する周波数調整部材が複数個配設されており、
上記本願発明にかがる周波数調整方法により、確実に周
波数の調整を行うことができる。さらに、周波数調整部
材は振動電極上に設けられており、周波数調整部材が蒸
発してもレーザ光が直接圧電基板にあたらないため圧電
基板の素地を損傷することなく周波数の調整を確実に行
うことかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本願発明の一実施例にかがる圧電振動子を示す
斜視図、第２図は該圧電振動子の周波数調整部材の一部
を除去した状態を示す斜視図、第１・・・・・・圧電基
板 ２・・・・・・振動電極 ３・・・・・・周波数調整部材 特許出願人　株式会社　村田製作所 代　理　人弁理士西澤　均 ５図及び第６図は従来の圧電振動子を示す斜視図及び断
面図である。 第 図 第 図 第 図 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）圧電基板の表面に振動電極を形成してなる圧電振
   動子の該振動電極上に、所定の質量を有し、かつ該振動
   電極よりレーザ光吸収率の高い周波数調整部材を複数個
   配設しておき、所定の周波数に調整するために必要な数
   だけ該周波数調整部材をレーザ光により除去することを
   特徴とする圧電振動子の周波数調整方法。 ２　圧電基板と、 前記圧電基板を挾んで対向する一対の振動電極と、 前記振動電極の表面に複数個配設された、前記振動電極
   よりもレーザ光吸収率の高い物質からなり、所定の質量
   を有する周波数調整部材と を具備することを特徴とする圧電振動子。