JPH0483387A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JPH0483387A JPH0483387A JP19616590A JP19616590A JPH0483387A JP H0483387 A JPH0483387 A JP H0483387A JP 19616590 A JP19616590 A JP 19616590A JP 19616590 A JP19616590 A JP 19616590A JP H0483387 A JPH0483387 A JP H0483387A
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- Japan
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- power
- gas laser
- laser
- excitation timing
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、レーザ装置、特に常に最大のレーザパワー
を得ることができるレーザ装置に関するものである。
を得ることができるレーザ装置に関するものである。
［従来の技術］
第３図はレーザ装置として例えば特開昭６０−１４４８
７号公報に示された従来の気体レーザ装置を示す構成図
であり、第３図において（１）は気体レーザ発振器、（
２ｍ） 、 （２ｂ）は気体レーザ発振器（１）の後方
に縦続の関係に設けられてレーザ光を増幅する気体レー
ザ増幅器、（３）は励起指令となる基準パルスを出力す
るマスクパルス発生器、（４ａ） 、 （４ｂ） 。
７号公報に示された従来の気体レーザ装置を示す構成図
であり、第３図において（１）は気体レーザ発振器、（
２ｍ） 、 （２ｂ）は気体レーザ発振器（１）の後方
に縦続の関係に設けられてレーザ光を増幅する気体レー
ザ増幅器、（３）は励起指令となる基準パルスを出力す
るマスクパルス発生器、（４ａ） 、 （４ｂ） 。
（４ｃ）はマスクパルス発生器（３）に接続され、夫々
気体レーザ発生器（１）および気体レーザ増幅器（２ａ
）、 （２ｂ）に放電エネルギーを供給する電源である
。
気体レーザ発生器（１）および気体レーザ増幅器（２ａ
）、 （２ｂ）に放電エネルギーを供給する電源である
。
次に動作について説明する。レーザ装置は、マスクパル
ス発生器（３）の基準パルスにより電源（４ａ）が駆動
されて気体レーザ発振器（１）に放電エネルギーを供給
し、これを励起させレーザ光を出力する。また、マスク
パルス発生器（３）の基準パルスにより電源（４ｂ）が
駆動されて気体レーザ増幅器（２ａ）に放電エネルギー
を供給し、これを励起させ気体レーザ発振器（１）の出
力レーザ光を増幅したレーザ光を出力する。さらに、マ
スクパルス発生器（３）の基準パルスにより電源（４ｃ
）が駆動されて気体レーザ増幅器（２ｂ）に放電エネル
ギーを供給し、これを励起させ、さらに増幅したレーザ
光を出力する。
ス発生器（３）の基準パルスにより電源（４ａ）が駆動
されて気体レーザ発振器（１）に放電エネルギーを供給
し、これを励起させレーザ光を出力する。また、マスク
パルス発生器（３）の基準パルスにより電源（４ｂ）が
駆動されて気体レーザ増幅器（２ａ）に放電エネルギー
を供給し、これを励起させ気体レーザ発振器（１）の出
力レーザ光を増幅したレーザ光を出力する。さらに、マ
スクパルス発生器（３）の基準パルスにより電源（４ｃ
）が駆動されて気体レーザ増幅器（２ｂ）に放電エネル
ギーを供給し、これを励起させ、さらに増幅したレーザ
光を出力する。
各気体レーザ発振器（１）、気体レーザ増幅器＜２ｉ）
、 （２ｂ）を夫々励起する電源（４ａ） 、 ＜４
ｂ） 、 （４ｃ）は第４図のように構成される。すな
わち、ＤＣ電源（１０）の電圧を、サイラトロン（１１
）のオン、オフ動作によって、気体レーザ発振管け２）
の電極に印加してレーザを発生させる。このサイラトロ
ン（１１）は、前記、基準パルスを受けたパルス発生器
（１３）が出力するパルス信号でオン、オフ動作する。
、 （２ｂ）を夫々励起する電源（４ａ） 、 ＜４
ｂ） 、 （４ｃ）は第４図のように構成される。すな
わち、ＤＣ電源（１０）の電圧を、サイラトロン（１１
）のオン、オフ動作によって、気体レーザ発振管け２）
の電極に印加してレーザを発生させる。このサイラトロ
ン（１１）は、前記、基準パルスを受けたパルス発生器
（１３）が出力するパルス信号でオン、オフ動作する。
サイラトロン（１１）がオフのときは充放電コンデンサ
（１６）の充電期であり、破線矢印（１９）で示すよう
に、ＤＣ電源（１０）から共振充電用リアクトル（１４
）、逆流阻止用ダイオード（１５）、充放電コンデンサ
（１６）、および充放電抵抗器（２０）を介してＤＣ電
源（１０）へ帰る充電回路によって充放電コンデンサ（
１６）の充電が行われる。サイラトロン（１１）がオン
のときは充放電コンデンサ（１６）の放電期であり、実
線矢印（１７）で示すように、充放電コンデンサ（１６
）の充電電圧はサイラトロン（１１）を介して、陽極（
２５）、陰極（２６）に夫々通じているパルス高電圧供
給端子（３６＾）、（３６Ｋ）に印加される。パルス高
電圧供給端子（３６＾）、（３６Ｋ）はそれぞれ外管（
３２）を導電路として陽極（２５） 、陰極（２６）に
通じている。
（１６）の充電期であり、破線矢印（１９）で示すよう
に、ＤＣ電源（１０）から共振充電用リアクトル（１４
）、逆流阻止用ダイオード（１５）、充放電コンデンサ
（１６）、および充放電抵抗器（２０）を介してＤＣ電
源（１０）へ帰る充電回路によって充放電コンデンサ（
１６）の充電が行われる。サイラトロン（１１）がオン
のときは充放電コンデンサ（１６）の放電期であり、実
線矢印（１７）で示すように、充放電コンデンサ（１６
）の充電電圧はサイラトロン（１１）を介して、陽極（
２５）、陰極（２６）に夫々通じているパルス高電圧供
給端子（３６＾）、（３６Ｋ）に印加される。パルス高
電圧供給端子（３６＾）、（３６Ｋ）はそれぞれ外管（
３２）を導電路として陽極（２５） 、陰極（２６）に
通じている。
［発明が解決しようとする課題］
従来のレーザ装置は上記のように構成されていたので、
気体レーザ発振管のガスの状態変化、温度変化やサイラ
トロンを含む電源の特性変化等により気体レーザ発振器
および気体レーザ増幅器の励起タイミングがずれレーザ
光の増幅度が低下してくるという問題点があった。
気体レーザ発振管のガスの状態変化、温度変化やサイラ
トロンを含む電源の特性変化等により気体レーザ発振器
および気体レーザ増幅器の励起タイミングがずれレーザ
光の増幅度が低下してくるという問題点があった。
この発明は、上記した問題点を解決するためになされた
もので、気体レーザ発振管や電源の時間的な特性の変化
に係わらず常に一定の励起タイミングとして、最大の増
幅度を得ることができるレーザ装置を提供することを目
的とする。
もので、気体レーザ発振管や電源の時間的な特性の変化
に係わらず常に一定の励起タイミングとして、最大の増
幅度を得ることができるレーザ装置を提供することを目
的とする。
［課題を解決するための手段］
この発明に係わるレーザ装置は、レーザ光を出力する気
体レーザ発振器と、この気体レーザ発振器から出力され
たレーザ光を増幅する複数の気体レーザ増幅器とを備え
たレーザ装置において、前記気体レーザ発振器と前記複
数の気体レーザ増幅器の各々の励起タイミングを検出す
る手段と、前記気体レーザ発振器と前記複数の気体レー
ザ増幅器の各々のトリガパルスの位相を調整する手段と
、前記レーザ光のパワーを検出するパワー検出手段と、
前記気体レーザ増幅器のトリガパルス位相を所定範囲に
掃引して、前記パワー検出手段の出力であるレーザパワ
ーが最大となるトリガパルス位相および励起タイミング
を計測し、以後、前記計測した励起タイミングに一致す
るようトリガパルス位相を制御する制御手段とを備えた
ものである。
体レーザ発振器と、この気体レーザ発振器から出力され
たレーザ光を増幅する複数の気体レーザ増幅器とを備え
たレーザ装置において、前記気体レーザ発振器と前記複
数の気体レーザ増幅器の各々の励起タイミングを検出す
る手段と、前記気体レーザ発振器と前記複数の気体レー
ザ増幅器の各々のトリガパルスの位相を調整する手段と
、前記レーザ光のパワーを検出するパワー検出手段と、
前記気体レーザ増幅器のトリガパルス位相を所定範囲に
掃引して、前記パワー検出手段の出力であるレーザパワ
ーが最大となるトリガパルス位相および励起タイミング
を計測し、以後、前記計測した励起タイミングに一致す
るようトリガパルス位相を制御する制御手段とを備えた
ものである。
［作 用］
この発明においては、励起タイミングを計測する制御手
段を設け、まず、トリガパルス位相を掃引して、レーザ
パワーが最大となる励起タイミングおよびトリガパルス
位相を検出し、以後は、前記検出した励起タイミングと
なるようトリガパルス位相を制御する。
段を設け、まず、トリガパルス位相を掃引して、レーザ
パワーが最大となる励起タイミングおよびトリガパルス
位相を検出し、以後は、前記検出した励起タイミングと
なるようトリガパルス位相を制御する。
［実施例］
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の一実施例を示す構成図であり、（１
） 、 （２ａ） 、 （２ｂ） 、 （３） 、 （
４ａ） 、 ＜４ｂ） 、 （４ｃ）は上記従来装置と
全く同一のものである。第１図において、（１００）は
励起タイミング制御部であって、励起タイミング検出部
（１０２ａ） 、 （１０２ｂ） 、 （１０２ｅ）の
励起タイミング信号とレーザパワー検出部（１０３）の
パ・ワー信号とからトリガパルスの発生タイミングを演
算し、その結果をトリガパルス調整部（Ｉｏｔｍ）〜（
１０１ｃ）へ出力する。トリガパルス調整部（１０１ａ
）〜（１０１ｃ）はマスクパルス発生器（３）からの基
準パルスを励起タイミング制御部（ｉｏｏ）からの指令
値に応じた位相で電源（４ａ）〜（４ｃ）にトリガパル
スを送出する。
） 、 （２ａ） 、 （２ｂ） 、 （３） 、 （
４ａ） 、 ＜４ｂ） 、 （４ｃ）は上記従来装置と
全く同一のものである。第１図において、（１００）は
励起タイミング制御部であって、励起タイミング検出部
（１０２ａ） 、 （１０２ｂ） 、 （１０２ｅ）の
励起タイミング信号とレーザパワー検出部（１０３）の
パ・ワー信号とからトリガパルスの発生タイミングを演
算し、その結果をトリガパルス調整部（Ｉｏｔｍ）〜（
１０１ｃ）へ出力する。トリガパルス調整部（１０１ａ
）〜（１０１ｃ）はマスクパルス発生器（３）からの基
準パルスを励起タイミング制御部（ｉｏｏ）からの指令
値に応じた位相で電源（４ａ）〜（４ｃ）にトリガパル
スを送出する。
励起タイミング検出部（１０２ａ）〜（１０２ｃ）は放
電電流波形から励起タイミングを検出する。レーザパワ
ー検出部（１０３）は光学系分配器（１０４）から分配
されたレーザ光を受はレーザパワーを検出する。
電電流波形から励起タイミングを検出する。レーザパワ
ー検出部（１０３）は光学系分配器（１０４）から分配
されたレーザ光を受はレーザパワーを検出する。
次に第２図を参照して動作を説明する。まず、レーザの
励起動作を気体レーザ発振器（１）を例にとり説明する
。
励起動作を気体レーザ発振器（１）を例にとり説明する
。
マスクパルス発生器（３）からの基準パルスがトリガパ
ルス調整部（１０１ａ）に入力され、トリガパルス調整
部（１（ｌｌａ）は励起タイミング制御部（１００）か
らのタイミング指令信号に比例した量だけ遅延したパル
ス電源（４ａ）にサイラトロン（１１） （第４図）の
オン信号として供給する。電源（４ａ）は、前記、サイ
ラトロン（１１）のオン信号によりトリガパルス調整部
（１０１ａ）のトリガパルスのオフ期間に充放電コンデ
ンサ（１６） （第４図）に充電されたエネルギーを気
体レーザ発振管（１２） （第４図）へ放電し、励起さ
せる。このとき励起タイミングの検出は、気体レーザ発
振管（１２）への放電電流（１））を、励起タイミング
検出部（１０２ａ）の電流検出器ＣＴで検出し、励起タ
イミング演算部ＴＤＥＴで、基準パルスから電流検出器
ＣＴで検出した放電電流（１７）のピーク位置までの時
間を算出し、励起タイミング制御部（１００）へ出力す
る。また、気体レーザ増幅器（２ａ） 、 （２ｂ）の
励起動作も、トリガパルス調整部（１０１ｂ） 、 （
１０１ｃ）と、電源（４ｂ） 、 （４ｃ）とトリガパ
ルス調整部（１０１ｂ） 、 （１０１ｃ）の働きによ
り、上記した気体レーザ発振器（１）と全く同様にして
行われる。
ルス調整部（１０１ａ）に入力され、トリガパルス調整
部（１（ｌｌａ）は励起タイミング制御部（１００）か
らのタイミング指令信号に比例した量だけ遅延したパル
ス電源（４ａ）にサイラトロン（１１） （第４図）の
オン信号として供給する。電源（４ａ）は、前記、サイ
ラトロン（１１）のオン信号によりトリガパルス調整部
（１０１ａ）のトリガパルスのオフ期間に充放電コンデ
ンサ（１６） （第４図）に充電されたエネルギーを気
体レーザ発振管（１２） （第４図）へ放電し、励起さ
せる。このとき励起タイミングの検出は、気体レーザ発
振管（１２）への放電電流（１））を、励起タイミング
検出部（１０２ａ）の電流検出器ＣＴで検出し、励起タ
イミング演算部ＴＤＥＴで、基準パルスから電流検出器
ＣＴで検出した放電電流（１７）のピーク位置までの時
間を算出し、励起タイミング制御部（１００）へ出力す
る。また、気体レーザ増幅器（２ａ） 、 （２ｂ）の
励起動作も、トリガパルス調整部（１０１ｂ） 、 （
１０１ｃ）と、電源（４ｂ） 、 （４ｃ）とトリガパ
ルス調整部（１０１ｂ） 、 （１０１ｃ）の働きによ
り、上記した気体レーザ発振器（１）と全く同様にして
行われる。
次に、上記した励起動作を用いた励起タイミング制御部
（１００）による励起タイミング制御方法について説明
する。
（１００）による励起タイミング制御方法について説明
する。
励起タイミング制御方法は、レーザパワーが最大出力と
なる励起タイミングを検出する励起タイミング演算動作
と、前記励起タイミング演算動作後に実行されレーザパ
ワーを最大出力となる励起タイミングを維持する励起タ
イミング一定制御動作とからなる。レーザパワーが最大
出力となる励起タイミングを検出する励起タイミング演
算動作は、２基の気体レーザ増幅器（２ｍ） 、 （２
ｂ）に対して行う動作であり、最初に気体レーザ増幅器
（２ａ）に対して、その後気体レーザ増幅器（２ｂ）に
対して、以下の動作を行う。
なる励起タイミングを検出する励起タイミング演算動作
と、前記励起タイミング演算動作後に実行されレーザパ
ワーを最大出力となる励起タイミングを維持する励起タ
イミング一定制御動作とからなる。レーザパワーが最大
出力となる励起タイミングを検出する励起タイミング演
算動作は、２基の気体レーザ増幅器（２ｍ） 、 （２
ｂ）に対して行う動作であり、最初に気体レーザ増幅器
（２ａ）に対して、その後気体レーザ増幅器（２ｂ）に
対して、以下の動作を行う。
まず、気体レーザ増幅器（２ａ）に対しては、トリガパ
ルス調整部（１０１ｂ）に対し基本パルスからの遅延量
Ｔｄｏを最小値Ｔｌ１ｌイに設定し、この時の励起タイ
ミング検出部（１０２ｂ）の検出値Ｔｅとレーザパワー
検出部（１０３）からの読取ったパワー値Ｐと前記遅延
量ＴｄｏをそれぞれＴｅｒ、ＰＯ，Ｔｄｒとして記憶（
第２図（ａ）期間Ｉ）Ｌ、次に、前記遅延量をΔＴｄだ
け増大させレーザパワー検出部（１０３）のパワー値Ｐ
を読取り、前回のパワー計測値ＰＯと比較する。前記比
較において読取値Ｐ〉記憶値ＰＯのとき記憶している励
起タイミング計測値Ｔｅｒとパワー値ＰＯと遅延量Ｔｄ
ｒを、それぞれ励起タイミング検出部（１０２ｂ）の今
回の検出値Ｔｅ、レーザパワー検出部（１０３）から読
取ったパワー値Ｐ、基準パルスからの遅延量Ｔｄｏで更
新する。
ルス調整部（１０１ｂ）に対し基本パルスからの遅延量
Ｔｄｏを最小値Ｔｌ１ｌイに設定し、この時の励起タイ
ミング検出部（１０２ｂ）の検出値Ｔｅとレーザパワー
検出部（１０３）からの読取ったパワー値Ｐと前記遅延
量ＴｄｏをそれぞれＴｅｒ、ＰＯ，Ｔｄｒとして記憶（
第２図（ａ）期間Ｉ）Ｌ、次に、前記遅延量をΔＴｄだ
け増大させレーザパワー検出部（１０３）のパワー値Ｐ
を読取り、前回のパワー計測値ＰＯと比較する。前記比
較において読取値Ｐ〉記憶値ＰＯのとき記憶している励
起タイミング計測値Ｔｅｒとパワー値ＰＯと遅延量Ｔｄ
ｒを、それぞれ励起タイミング検出部（１０２ｂ）の今
回の検出値Ｔｅ、レーザパワー検出部（１０３）から読
取ったパワー値Ｐ、基準パルスからの遅延量Ｔｄｏで更
新する。
前記比較において記憶値ＰＯ〉読取値Ｐのときは前記Ｔ
ｅｒ、 ＰＯｌＴｄｒの更新は行わず次の動作に移る。
ｅｒ、 ＰＯｌＴｄｒの更新は行わず次の動作に移る。
次の動作は、基本パルスがらの遅延量をさらに△Ｔｄだ
け増大させ、前回と同様基本パルスがらの遅延量の増大
後のパワー読取値Ｐと記憶するパワー値ＰＯを比較し、
前記比較において読取値Ｐ〉記憶値ＰＯのとき記憶して
いる励起タイミング検出値Ｔｅｒとパワー値ＰＯと遅延
量Ｔｄｒを、それぞれ励起タイミング検出部（１０２ｂ
）の今回の検出値Ｔｅ、レーザパワー検出部（１０３）
がち読取ったパワー値Ｐ、基準パルスからの遅延量Ｔｄ
ｏで更新する。前記比較において記憶値ＰＯ＞ｊＲ取値
Ｐのときは励起タイミング検出値の置き換えは行わない
（第２図（ａ）期間■）。
け増大させ、前回と同様基本パルスがらの遅延量の増大
後のパワー読取値Ｐと記憶するパワー値ＰＯを比較し、
前記比較において読取値Ｐ〉記憶値ＰＯのとき記憶して
いる励起タイミング検出値Ｔｅｒとパワー値ＰＯと遅延
量Ｔｄｒを、それぞれ励起タイミング検出部（１０２ｂ
）の今回の検出値Ｔｅ、レーザパワー検出部（１０３）
がち読取ったパワー値Ｐ、基準パルスからの遅延量Ｔｄ
ｏで更新する。前記比較において記憶値ＰＯ＞ｊＲ取値
Ｐのときは励起タイミング検出値の置き換えは行わない
（第２図（ａ）期間■）。
以上の動作を基本パルスがちの遅延量が設定しうる最大
値ｔ□ヨに達するまで連続して行う。（第２図（ａ）期
間■）。
値ｔ□ヨに達するまで連続して行う。（第２図（ａ）期
間■）。
上記動作の結果、記憶された励起タイミング検出値Ｔｅ
ｒと基準パルスからの遅延量Ｔｄｒを励起タイミング一
定制御の制御基準値として使用する。
ｒと基準パルスからの遅延量Ｔｄｒを励起タイミング一
定制御の制御基準値として使用する。
気体レーザ増幅器（２ｂ）に対しては、励起タイミング
検出部（１０２ｅ）とレーザパワー検出部（１０３）と
トリガパルス調整部（１０１ｃ）を用いて、気体レーザ
増幅器（２ａ）と全く同様の動作により励起タイミング
一定制御動作の制御基準値Ｔｅｒ、 Ｔｄｒを得る。
検出部（１０２ｅ）とレーザパワー検出部（１０３）と
トリガパルス調整部（１０１ｃ）を用いて、気体レーザ
増幅器（２ａ）と全く同様の動作により励起タイミング
一定制御動作の制御基準値Ｔｅｒ、 Ｔｄｒを得る。
気体レーザ発振器（１）に対しては、基本パルスからの
遅延量Ｔｄｏを設定し得る中間値ｔ、１．としてトリガ
パルス調整部（１０１ａ）に設定し、このときの励起タ
イミング検出部（１０２ａ）の検出値を制御基準値Ｔｅ
ｒ、 ｔｍｌ、を制御基準値Ｔｄｒとし、すぐに後に示
す励起タイミング一定制御動作に移る。
遅延量Ｔｄｏを設定し得る中間値ｔ、１．としてトリガ
パルス調整部（１０１ａ）に設定し、このときの励起タ
イミング検出部（１０２ａ）の検出値を制御基準値Ｔｅ
ｒ、 ｔｍｌ、を制御基準値Ｔｄｒとし、すぐに後に示
す励起タイミング一定制御動作に移る。
レーザパワーが最大出力を維持する励起タイミング一定
制御動作（第２図（ｂ））は、気体レーザ発振器（１）
、気体レーザ増幅器（２ａ） 、 （２ｂ）のそれぞれ
に対し次のように行われる。
制御動作（第２図（ｂ））は、気体レーザ発振器（１）
、気体レーザ増幅器（２ａ） 、 （２ｂ）のそれぞれ
に対し次のように行われる。
気体レーザ発振器（１）に対しては、励起タイミング検
出部（１０２ｇ）の検出値Ｔｅと励起タイミング演算動
作で保持した制御基準値Ｔｅｒの偏差ΔＴｅを（１）式
で演算し、前記 △Ｔｅ ＝ Ｔｅｒ −Ｔｅ
（１）偏差を励起タイミング演算動作で保持した基準
パルスからの遅延量の制御基準値Ｔｄｒに（２）式に示
す演算を行って、その結果を遅延量の新しい指令値Ｔｄ
ｏとしてトリガパルス Ｔｄｏ ＝ Ｔｄｒ ＋ △Ｔｅ （２）調
整部（１０１ａ）へ出力する。すなわち、励起タイミン
グの変化量を基準パルスからの遅延量により補償する動
作となる。
出部（１０２ｇ）の検出値Ｔｅと励起タイミング演算動
作で保持した制御基準値Ｔｅｒの偏差ΔＴｅを（１）式
で演算し、前記 △Ｔｅ ＝ Ｔｅｒ −Ｔｅ
（１）偏差を励起タイミング演算動作で保持した基準
パルスからの遅延量の制御基準値Ｔｄｒに（２）式に示
す演算を行って、その結果を遅延量の新しい指令値Ｔｄ
ｏとしてトリガパルス Ｔｄｏ ＝ Ｔｄｒ ＋ △Ｔｅ （２）調
整部（１０１ａ）へ出力する。すなわち、励起タイミン
グの変化量を基準パルスからの遅延量により補償する動
作となる。
前記（２）式に引き続き、（３）式の演算を実施する。
Ｔｄｒ ＝ Ｔｄｏ
（３）なぜなら、前記（１）式、（２）式の動作で△
Ｔｅ＝０に補償されるので次周期以後の励起動作でさら
にドリフトがない限り、遅延量として前記（２）式の結
果を出力し続ける必要があり、・この（３）式の動作に
て実現できる。
（３）なぜなら、前記（１）式、（２）式の動作で△
Ｔｅ＝０に補償されるので次周期以後の励起動作でさら
にドリフトがない限り、遅延量として前記（２）式の結
果を出力し続ける必要があり、・この（３）式の動作に
て実現できる。
気体レーザ増幅器（２ａ）に対する励起タイミング一定
制御動作は、トリガパルス調整部（１０１ｂ）と励起タ
イミング検出部（１０２ｂ）を使用し、上記した気体レ
ーザ発振器（１）と同様の作用によって実現される。
制御動作は、トリガパルス調整部（１０１ｂ）と励起タ
イミング検出部（１０２ｂ）を使用し、上記した気体レ
ーザ発振器（１）と同様の作用によって実現される。
さらに、気体レーザ増幅器（２ｂ）に対する励起タイミ
ング一定制御動作は、トリガパルス調整部（１０１ｃ）
と励起タイミング検出部（１０２ｃ）を使用し、上記し
た気体レーザ発振器（１）と同様の作用によって実現さ
れる。
ング一定制御動作は、トリガパルス調整部（１０１ｃ）
と励起タイミング検出部（１０２ｃ）を使用し、上記し
た気体レーザ発振器（１）と同様の作用によって実現さ
れる。
上記した励起タイミング一定制御動作では、気体ル−ザ
発振器（１）、気体レーザ増幅器（２ａ） 、 （２ｂ
）の各装置がドリフトによる励起タイミングの変化量を
基準パルスからの遅延量にて正確に補正することができ
るので、レーザパワーの最大出力が得られる励起タイミ
ングで気体レーザ発振器（１）、気体レーザ増幅器（２
ａ） 、 （２ｂ）がそれぞれ励起され続ける。
発振器（１）、気体レーザ増幅器（２ａ） 、 （２ｂ
）の各装置がドリフトによる励起タイミングの変化量を
基準パルスからの遅延量にて正確に補正することができ
るので、レーザパワーの最大出力が得られる励起タイミ
ングで気体レーザ発振器（１）、気体レーザ増幅器（２
ａ） 、 （２ｂ）がそれぞれ励起され続ける。
［発明の効果コ
以上のように、この発明によれば、レーザ光を出力する
気体レーザ発振器と、この気体レーザ発振器から出力さ
れたレーザ光を増幅する複数の気体レーザ増幅器とを備
えたレーザ装置において、前記気体レーザ発振器と前記
複数の気体レーザ増幅器の各々の励起タイミングを検出
する手段と、前記レーザ発振器と前記複数の気体レーザ
増幅器の各々のトリガパルスの位相を調整する手段と、
前記気体レーザ光のパワーを検出するパワー検出手段と
、前記気体レーザ増幅器のトリガパルス位相を所定範囲
に掃引して、前記パワー検出手段の出力であるレーザパ
ワーが最大となるトリガパルス位相および励起タイミン
グを計測し、以後、前記計測した励起タイミングに一致
するようトリガパルス位相を制御する制御手段とを備え
たので、気体レーザ発振管のガスの状態変化、温度変化
やサイラトロンを含む電源の特性変化等により気体レー
ザ発振器および気体レーザ増幅器の励起タイミングがず
れても、最適な励起タイミングとなるよう制御できるの
で、常にレーザ装置の出し得る最大のレーザパワーが得
られるという効果がある。
気体レーザ発振器と、この気体レーザ発振器から出力さ
れたレーザ光を増幅する複数の気体レーザ増幅器とを備
えたレーザ装置において、前記気体レーザ発振器と前記
複数の気体レーザ増幅器の各々の励起タイミングを検出
する手段と、前記レーザ発振器と前記複数の気体レーザ
増幅器の各々のトリガパルスの位相を調整する手段と、
前記気体レーザ光のパワーを検出するパワー検出手段と
、前記気体レーザ増幅器のトリガパルス位相を所定範囲
に掃引して、前記パワー検出手段の出力であるレーザパ
ワーが最大となるトリガパルス位相および励起タイミン
グを計測し、以後、前記計測した励起タイミングに一致
するようトリガパルス位相を制御する制御手段とを備え
たので、気体レーザ発振管のガスの状態変化、温度変化
やサイラトロンを含む電源の特性変化等により気体レー
ザ発振器および気体レーザ増幅器の励起タイミングがず
れても、最適な励起タイミングとなるよう制御できるの
で、常にレーザ装置の出し得る最大のレーザパワーが得
られるという効果がある。
第１図はこの発明によるレーザ装置の一実施例を示す構
成図、第２図はこの発明の詳細な説明するためのタイミ
ング図、第３図は従来のレーザ装置を示す構成図、第４
図は電源部の詳細を示す構成図である。 図において、（１）は気体レーザ発振器、（２ａ）。 （２ｂ）は気体レーザ増幅器、（３）はマスクパルス発
生器、（４ａ） 、 （４ｂ） 、 （４ａ）は電源、
（１００）は励起タイミング制御部、＜Ｉｏｔａ） 、
（１０１ｂ） 、 （１０１ｃ）はトリガパルス調整
部、（１０２ａ） 、 （１０２ｂ） 、 （１０２ｃ
）は励起タイミング検出部、（１０３）はレーザパワー
検出部である６なお、各図中同一符号は同一または相当
部分を示す。
成図、第２図はこの発明の詳細な説明するためのタイミ
ング図、第３図は従来のレーザ装置を示す構成図、第４
図は電源部の詳細を示す構成図である。 図において、（１）は気体レーザ発振器、（２ａ）。 （２ｂ）は気体レーザ増幅器、（３）はマスクパルス発
生器、（４ａ） 、 （４ｂ） 、 （４ａ）は電源、
（１００）は励起タイミング制御部、＜Ｉｏｔａ） 、
（１０１ｂ） 、 （１０１ｃ）はトリガパルス調整
部、（１０２ａ） 、 （１０２ｂ） 、 （１０２ｃ
）は励起タイミング検出部、（１０３）はレーザパワー
検出部である６なお、各図中同一符号は同一または相当
部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ光を出力する気体レーザ発振器と、この気体レー
ザ発振器から出力されたレーザ光を増幅する複数の気体
レーザ増幅器とを備えたレーザ装置において、 前記気体レーザ発振器と前記複数の気体レーザ増幅器の
各々の励起タイミングを検出する手段と、前記気体レー
ザ発振器と前記複数の気体レーザ増幅器の各々のトリガ
パルスの位相を調整する手段と、 前記レーザ光のパワーを検出するパワー検出手段と、 前記気体レーザ増幅器のトリガパルス位相を所定範囲に
掃引して、前記パワー検出手段の出力であるレーザパワ
ーが最大となるトリガパルス位相および励起タイミング
を計測し、以後、前記計測した励起タイミングに一致す
るようトリガパルス位相を制御する制御手段と を備えたことを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19616590A JPH0483387A (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19616590A JPH0483387A (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0483387A true JPH0483387A (ja) | 1992-03-17 |
Family
ID=16353291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19616590A Pending JPH0483387A (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0483387A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7852899B2 (en) | 2001-05-03 | 2010-12-14 | Cymer, Inc. | Timing control for two-chamber gas discharge laser system |
-
1990
- 1990-07-26 JP JP19616590A patent/JPH0483387A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7852899B2 (en) | 2001-05-03 | 2010-12-14 | Cymer, Inc. | Timing control for two-chamber gas discharge laser system |
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