JPH0483388A - Laser oscillator - Google Patents
Laser oscillatorInfo
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- JPH0483388A JPH0483388A JP19611190A JP19611190A JPH0483388A JP H0483388 A JPH0483388 A JP H0483388A JP 19611190 A JP19611190 A JP 19611190A JP 19611190 A JP19611190 A JP 19611190A JP H0483388 A JPH0483388 A JP H0483388A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明はレーザ発振装置に係り、特に1台の発振装置か
ら二つのレーザビームを得る装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a laser oscillation device, and particularly to a device for obtaining two laser beams from one oscillation device.
(従来技術)
1台のレーザ発振装置から二つのレーザビムを得る場合
、ビームスプリッタで二つに分けたり、あるいはパルス
レーザビームではパルスの繰返し周波数と同期して高速
に回転する回転ミラーを用いてパルスを2方向に導くこ
とが一般的に行われていた。しかし、ビームスプリッタ
ではビームをほぼ等分に分けた場合は強度もほぼ1/2
に低下し、ビーム強度の不足から加工の種類によっては
レーザ加工が行えなくなる。また、回転ミラーの場合に
は同期が難しいためビームの出射方向の安定性が悪く実
用的に問題があった。以上のような技術の他に、特開昭
55−77187号に開示された技術が知られている。(Prior art) When obtaining two laser beams from one laser oscillation device, it is necessary to split them into two using a beam splitter, or for pulsed laser beams, use a rotating mirror that rotates at high speed in synchronization with the pulse repetition frequency. It was common practice to guide the flow in two directions. However, with a beam splitter, if the beam is divided into approximately equal parts, the intensity will be approximately 1/2.
Depending on the type of processing, laser processing may not be possible due to insufficient beam intensity. Furthermore, in the case of a rotating mirror, synchronization is difficult, resulting in poor stability in the beam exit direction, which poses a practical problem. In addition to the techniques described above, a technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 55-77187 is known.
この技術は第2図に示すように、レーザ発振器(1)を
有し、出力されたレーザ光はポッケルスセル(2)に入
射するようになっている。(3)はタイミング回路で第
3図(al に示すレーザ発振器(1)のQスイッチ動
作用パルス電圧および同図(b)に示すポッケルスセル
(2)の制御用パルス電圧を発生するようになっている
。(4)はポッケルスセル(2)を透過したレーザ光が
入射する位置に設けられた偏光子で互いに直交する二つ
の出力端(5)、 (6)を有している。As shown in FIG. 2, this technology includes a laser oscillator (1), and the output laser light is made to enter a Pockels cell (2). (3) is a timing circuit that generates a pulse voltage for operating the Q switch of the laser oscillator (1) shown in Fig. 3 (al) and a pulse voltage for controlling the Pockels cell (2) shown in Fig. 3 (b). (4) is a polarizer provided at a position where the laser beam transmitted through the Pockels cell (2) is incident, and has two output ends (5) and (6) that are orthogonal to each other.
上記の構成で、レーザ発振器(1)はQスイッチ動作用
パルス電圧を印加されると、第3図(e)に示スような
ジャイアントパルスのレーザ光を発振スル。一方、ポッ
ケルスセル(2)は上記制御用パルス電圧を印加された
場合、入力レーザ光の偏光方向を90度変える。すなわ
ち、レーザ発振器(1)の出力レーザ光の偏光方向を第
2図のAの方向とすると、上記制御用パルス電圧の印加
でポッケルスセル(2)の出射したレーザ光の偏光方向
は同図Bに示すように紙面に垂直の方向となる。偏光子
(4)はポッケルスセル(2)から出射したレーザ光を
受け、そのレーザ光が上記A方向のときはそのまま出力
端(5)から第3図(+I)に示すようにレザ光を出射
し、上記B方向のときは出力端(6)から第3図(e)
に示すレーザ光を出射する。With the above configuration, when the laser oscillator (1) is applied with a pulse voltage for Q-switch operation, it emits a giant pulse laser beam as shown in FIG. 3(e). On the other hand, the Pockels cell (2) changes the polarization direction of the input laser beam by 90 degrees when the control pulse voltage is applied. That is, if the polarization direction of the output laser beam from the laser oscillator (1) is the direction A in FIG. 2, the polarization direction of the laser beam emitted by the Pockels cell (2) upon application of the control pulse voltage is the direction B in the same figure. The direction is perpendicular to the paper as shown in . The polarizer (4) receives the laser light emitted from the Pockels cell (2), and when the laser light is in the above-mentioned direction A, it directly emits the laser light from the output end (5) as shown in Figure 3 (+I). However, in the case of the above B direction, from the output end (6) to Fig. 3 (e)
The laser beam shown in is emitted.
(発明が解決しようとする課題)
上記第2図の場合、レーザ発振器(1)外部で1パルス
毎にポッケルスセル(2)を用いて偏光を変え、偏光子
(4)で2方向にビームを分けているため、出射方向に
よるレーザ強度の制御が困難であった。(Problem to be Solved by the Invention) In the case of Figure 2 above, a Pockels cell (2) is used to change the polarization for each pulse outside the laser oscillator (1), and a polarizer (4) is used to direct the beam in two directions. Since the laser beams are separated, it is difficult to control the laser intensity depending on the emission direction.
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、ビーム強
度やパルス幅が制御可能になる二つのレーザ光を取り出
すことのできるレーザ発振装置を提供することを目的と
する。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a laser oscillation device that can extract two laser beams whose beam intensity and pulse width can be controlled.
[発明の構成]
(課題を解決するための手段と作用)
レーザ励起部と、このレーザ励起部の一端側に設けられ
た高反射ミラーと、上記レーザ励起部の他端側に設けら
れ上記高反射ミラーと対になって光共振器を形成する第
1の出力ミラーと、この出力ミラーと上記レーザ励起部
との間に設けられたビームスプリッタと、このビームス
プリッタで分岐されたレーザ光の光路に設けられ上記高
反射ミラーと光共振器を形成する第2の出力ミラーと、
上記ビームスプリッタと上記11および第2の出力ミラ
ーとの間にそれぞれ設けられた第1、第2の音響光学Q
スイッチ素子とを備えたもので、第1、第2の音響光学
Qスイッチを同時または個々に作用させることで、二つ
のレーザ光を種々の形態にして出力する。[Structure of the invention] (Means and effects for solving the problem) A laser excitation section, a high reflection mirror provided on one end side of the laser excitation section, and a high reflection mirror provided on the other end side of the laser excitation section. a first output mirror forming an optical resonator in pair with a reflecting mirror; a beam splitter provided between the output mirror and the laser excitation section; and an optical path of the laser beam split by the beam splitter. a second output mirror that is provided in and forms an optical resonator with the high reflection mirror;
First and second acousto-optic Qs provided between the beam splitter and the eleventh and second output mirrors, respectively.
By operating the first and second acousto-optic Q-switches simultaneously or individually, the two laser beams are output in various forms.
(実施例) 以下、本発明を実施例を示す図面に基づいて説明する。(Example) Hereinafter, the present invention will be explained based on drawings showing embodiments.
第1図は本発明の〜実施例で、(1G)は制御電源(1
1)から所定の電力の供給を受けるレーザヘッドで、ネ
オジュウムをドープしたYAGロッド等の固体レーザ媒
質(12)と、クセノンランプなどの励起手段(13)
と、これら両者を所定位置に設けた集光反射鏡(14)
とを備えている。(15)はレーザヘッド(10)の一
端面に所定の距離をあけて反射面を対面させて設けられ
た高反射ミラーである。Figure 1 shows an embodiment of the present invention, in which (1G) is a control power supply (1G).
A laser head that receives a predetermined power supply from 1), which includes a solid laser medium (12) such as a YAG rod doped with neodymium, and an excitation means (13) such as a xenon lamp.
and a condensing reflector (14) with both of these installed at predetermined positions.
It is equipped with (15) is a high reflection mirror that is provided on one end surface of the laser head (10) with its reflective surface facing each other at a predetermined distance.
(16)はレーザヘッド(15)の他端面に対面して設
けられた第1の出力ミラーで、レーザヘッド(1ヒ)を
介し高反射ミラー(15)と光共振器を形成している。A first output mirror (16) is provided facing the other end surface of the laser head (15), and forms an optical resonator with the high reflection mirror (15) via the laser head (1H).
レーザヘッド(10)の他端面と第1の出力ミラー(1
6)における光路上にはほぼ等分にビームを分岐するビ
ームスプリッタ(17)がその部分反射面を上記他端面
に45度に傾けて設けられている。ビームスプリッタ(
17)で直角に反射された光路には第2の出力ミラー(
18)が設けられていて、高反射ミラ(15)と光共振
器を形成している。第1の出力ミラー(16)とビーム
スプリッタ(17)との間における光路には第1の音響
光学Qスイッチ素子(20)が設けられている。また、
第2の出力ミラー(18)とビムスプリッタ(17)と
の間における光路には第2の音響光学Qスイッチ素子(
21)が設けられている。The other end surface of the laser head (10) and the first output mirror (1
A beam splitter (17) for splitting the beam almost equally into the optical path in 6) is provided with its partially reflecting surface inclined at 45 degrees to the other end surface. Beam splitter (
17), there is a second output mirror (
18) is provided, forming an optical resonator with the high reflection mirror (15). A first acousto-optic Q-switch element (20) is provided in the optical path between the first output mirror (16) and the beam splitter (17). Also,
A second acousto-optic Q-switch element (
21) is provided.
(22)は第1、第2の音響光学Qスイッチ素子(20
)(21)のスイッチングのタイミングを制御する制御
部である。(22) are the first and second acousto-optic Q-switch elements (20
) (21) is a control unit that controls the timing of switching.
次に上記構成の作用について説明する。制御電源(11
)をONにし、レーザ発振の状態で、第1の音響光学Q
スイッチ(20)を動作させると、第1の出力ミラー(
16)からパルスビーム(Ll)が出方され、第2の音
響光学Qスイッチ素子(21)を動作させると、第2の
出力ミラー (18)からパルスビーム(Lりが出力さ
れる。上記同時の動作において、第1、第2の音響光学
Qスイッチ素子(20)、 (21)の繰り返し数を1
/2にして、同時にしかもタイミングを半分だけずらし
て動作させると、それぞれ単独で動作したときと等しい
ピーク強度を持った2本のパルスビームが出力される。Next, the operation of the above configuration will be explained. Control power supply (11
) is turned ON, and in the state of laser oscillation, the first acousto-optic Q
When the switch (20) is operated, the first output mirror (
A pulsed beam (Ll) is output from the second output mirror (18) when the second acousto-optic Q switch element (21) is operated. In this operation, the number of repetitions of the first and second acousto-optic Q-switch elements (20) and (21) is set to 1.
/2 and operate simultaneously with half the timing difference, two pulse beams are output with the same peak intensity as when each is operated independently.
(発明の効果)
第1、第2の音響光学Qスイッチ素子(20)、 (2
])の動作タイミングずれを変えることによって、パル
スビーム(LIL (L2)のそれぞれに対する入力エ
ネルギーを変えることが可能となり、これらビームのピ
ーク強度やパルス幅もある程度制御可能となり、例えば
レーザ加工に適用した場合には、材質の異なる材料を同
時に加工することも可能になる。また、出力したレーザ
光を2本に分けている構成に比べて装置の全体構成を小
型にすることができるようになった。(Effect of the invention) First and second acousto-optic Q-switch elements (20), (2
]) By changing the operation timing shift, it is possible to change the input energy for each pulse beam (LIL (L2)), and the peak intensity and pulse width of these beams can also be controlled to a certain extent. In some cases, it is also possible to process different materials at the same time.Also, compared to a configuration in which the output laser beam is divided into two beams, the overall configuration of the device can be made smaller. .
第1図は本発明の一実施例を示す構成図、第2図は従来
例を示す構成図、第3図は第2図の各部分の動作波形図
である。
011・・レーザヘッド
5・・・高反射ミラ
6・・・第1の出力ミラー
7)・・・ビームスプリッタ
8 ・・・第2の出力ミラーFIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a block diagram showing a conventional example, and FIG. 3 is an operation waveform diagram of each part of FIG. 2. 011... Laser head 5... High reflection mirror 6... First output mirror 7)... Beam splitter 8... Second output mirror
Claims (1)
た高反射ミラーと、上記レーザ励起部の他端側に設けら
れ上記高反射ミラーと対になって光共振器を形成する第
1の出力ミラーと、この出力ミラーと上記レーザ励起部
との間に設けられたビームスプリッタと、このビームス
プリッタで分岐されたレーザ光の光路に設けられ上記高
反射ミラーと光共振器を形成する第2の出力ミラーと、
上記ビームスプリッタと上記第1および第2の出力ミラ
ーとの間にそれぞれ設けられた第1、第2の音響光学Q
スイッチ素子とを備えたことを特徴とするレーザ発振装
置。A laser excitation section, a high reflection mirror provided at one end of the laser excitation section, and a first mirror provided at the other end of the laser excitation section and paired with the high reflection mirror to form an optical resonator. an output mirror, a beam splitter provided between the output mirror and the laser excitation section, and a second beam splitter provided in the optical path of the laser beam split by the beam splitter and forming an optical resonator with the high reflection mirror. output mirror and
first and second acousto-optic Qs provided between the beam splitter and the first and second output mirrors, respectively;
A laser oscillation device comprising a switch element.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19611190A JPH0483388A (en) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | Laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19611190A JPH0483388A (en) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | Laser oscillator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0483388A true JPH0483388A (en) | 1992-03-17 |
Family
ID=16352423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19611190A Pending JPH0483388A (en) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | Laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0483388A (en) |
-
1990
- 1990-07-26 JP JP19611190A patent/JPH0483388A/en active Pending
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