JPH0483388A - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH0483388A JPH0483388A JP19611190A JP19611190A JPH0483388A JP H0483388 A JPH0483388 A JP H0483388A JP 19611190 A JP19611190 A JP 19611190A JP 19611190 A JP19611190 A JP 19611190A JP H0483388 A JPH0483388 A JP H0483388A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- laser
- pulse
- mirror
- beams
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明はレーザ発振装置に係り、特に１台の発振装置か
ら二つのレーザビームを得る装置に関する。
ら二つのレーザビームを得る装置に関する。
（従来技術）
１台のレーザ発振装置から二つのレーザビムを得る場合
、ビームスプリッタで二つに分けたり、あるいはパルス
レーザビームではパルスの繰返し周波数と同期して高速
に回転する回転ミラーを用いてパルスを２方向に導くこ
とが一般的に行われていた。しかし、ビームスプリッタ
ではビームをほぼ等分に分けた場合は強度もほぼ１／２
に低下し、ビーム強度の不足から加工の種類によっては
レーザ加工が行えなくなる。また、回転ミラーの場合に
は同期が難しいためビームの出射方向の安定性が悪く実
用的に問題があった。以上のような技術の他に、特開昭
５５−７７１８７号に開示された技術が知られている。
、ビームスプリッタで二つに分けたり、あるいはパルス
レーザビームではパルスの繰返し周波数と同期して高速
に回転する回転ミラーを用いてパルスを２方向に導くこ
とが一般的に行われていた。しかし、ビームスプリッタ
ではビームをほぼ等分に分けた場合は強度もほぼ１／２
に低下し、ビーム強度の不足から加工の種類によっては
レーザ加工が行えなくなる。また、回転ミラーの場合に
は同期が難しいためビームの出射方向の安定性が悪く実
用的に問題があった。以上のような技術の他に、特開昭
５５−７７１８７号に開示された技術が知られている。
この技術は第２図に示すように、レーザ発振器（１）を
有し、出力されたレーザ光はポッケルスセル（２）に入
射するようになっている。（３）はタイミング回路で第
３図（ａｌ に示すレーザ発振器（１）のＱスイッチ動
作用パルス電圧および同図（ｂ）に示すポッケルスセル
（２）の制御用パルス電圧を発生するようになっている
。（４）はポッケルスセル（２）を透過したレーザ光が
入射する位置に設けられた偏光子で互いに直交する二つ
の出力端（５）、 （６）を有している。
有し、出力されたレーザ光はポッケルスセル（２）に入
射するようになっている。（３）はタイミング回路で第
３図（ａｌ に示すレーザ発振器（１）のＱスイッチ動
作用パルス電圧および同図（ｂ）に示すポッケルスセル
（２）の制御用パルス電圧を発生するようになっている
。（４）はポッケルスセル（２）を透過したレーザ光が
入射する位置に設けられた偏光子で互いに直交する二つ
の出力端（５）、 （６）を有している。
上記の構成で、レーザ発振器（１）はＱスイッチ動作用
パルス電圧を印加されると、第３図（ｅ）に示スような
ジャイアントパルスのレーザ光を発振スル。一方、ポッ
ケルスセル（２）は上記制御用パルス電圧を印加された
場合、入力レーザ光の偏光方向を９０度変える。すなわ
ち、レーザ発振器（１）の出力レーザ光の偏光方向を第
２図のＡの方向とすると、上記制御用パルス電圧の印加
でポッケルスセル（２）の出射したレーザ光の偏光方向
は同図Ｂに示すように紙面に垂直の方向となる。偏光子
（４）はポッケルスセル（２）から出射したレーザ光を
受け、そのレーザ光が上記Ａ方向のときはそのまま出力
端（５）から第３図（＋Ｉ）に示すようにレザ光を出射
し、上記Ｂ方向のときは出力端（６）から第３図（ｅ）
に示すレーザ光を出射する。
パルス電圧を印加されると、第３図（ｅ）に示スような
ジャイアントパルスのレーザ光を発振スル。一方、ポッ
ケルスセル（２）は上記制御用パルス電圧を印加された
場合、入力レーザ光の偏光方向を９０度変える。すなわ
ち、レーザ発振器（１）の出力レーザ光の偏光方向を第
２図のＡの方向とすると、上記制御用パルス電圧の印加
でポッケルスセル（２）の出射したレーザ光の偏光方向
は同図Ｂに示すように紙面に垂直の方向となる。偏光子
（４）はポッケルスセル（２）から出射したレーザ光を
受け、そのレーザ光が上記Ａ方向のときはそのまま出力
端（５）から第３図（＋Ｉ）に示すようにレザ光を出射
し、上記Ｂ方向のときは出力端（６）から第３図（ｅ）
に示すレーザ光を出射する。
（発明が解決しようとする課題）
上記第２図の場合、レーザ発振器（１）外部で１パルス
毎にポッケルスセル（２）を用いて偏光を変え、偏光子
（４）で２方向にビームを分けているため、出射方向に
よるレーザ強度の制御が困難であった。
毎にポッケルスセル（２）を用いて偏光を変え、偏光子
（４）で２方向にビームを分けているため、出射方向に
よるレーザ強度の制御が困難であった。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、ビーム強
度やパルス幅が制御可能になる二つのレーザ光を取り出
すことのできるレーザ発振装置を提供することを目的と
する。
度やパルス幅が制御可能になる二つのレーザ光を取り出
すことのできるレーザ発振装置を提供することを目的と
する。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段と作用）
レーザ励起部と、このレーザ励起部の一端側に設けられ
た高反射ミラーと、上記レーザ励起部の他端側に設けら
れ上記高反射ミラーと対になって光共振器を形成する第
１の出力ミラーと、この出力ミラーと上記レーザ励起部
との間に設けられたビームスプリッタと、このビームス
プリッタで分岐されたレーザ光の光路に設けられ上記高
反射ミラーと光共振器を形成する第２の出力ミラーと、
上記ビームスプリッタと上記１１および第２の出力ミラ
ーとの間にそれぞれ設けられた第１、第２の音響光学Ｑ
スイッチ素子とを備えたもので、第１、第２の音響光学
Ｑスイッチを同時または個々に作用させることで、二つ
のレーザ光を種々の形態にして出力する。
た高反射ミラーと、上記レーザ励起部の他端側に設けら
れ上記高反射ミラーと対になって光共振器を形成する第
１の出力ミラーと、この出力ミラーと上記レーザ励起部
との間に設けられたビームスプリッタと、このビームス
プリッタで分岐されたレーザ光の光路に設けられ上記高
反射ミラーと光共振器を形成する第２の出力ミラーと、
上記ビームスプリッタと上記１１および第２の出力ミラ
ーとの間にそれぞれ設けられた第１、第２の音響光学Ｑ
スイッチ素子とを備えたもので、第１、第２の音響光学
Ｑスイッチを同時または個々に作用させることで、二つ
のレーザ光を種々の形態にして出力する。
（実施例）
以下、本発明を実施例を示す図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の〜実施例で、（１Ｇ）は制御電源（１
１）から所定の電力の供給を受けるレーザヘッドで、ネ
オジュウムをドープしたＹＡＧロッド等の固体レーザ媒
質（１２）と、クセノンランプなどの励起手段（１３）
と、これら両者を所定位置に設けた集光反射鏡（１４）
とを備えている。（１５）はレーザヘッド（１０）の一
端面に所定の距離をあけて反射面を対面させて設けられ
た高反射ミラーである。
１）から所定の電力の供給を受けるレーザヘッドで、ネ
オジュウムをドープしたＹＡＧロッド等の固体レーザ媒
質（１２）と、クセノンランプなどの励起手段（１３）
と、これら両者を所定位置に設けた集光反射鏡（１４）
とを備えている。（１５）はレーザヘッド（１０）の一
端面に所定の距離をあけて反射面を対面させて設けられ
た高反射ミラーである。
（１６）はレーザヘッド（１５）の他端面に対面して設
けられた第１の出力ミラーで、レーザヘッド（１ヒ）を
介し高反射ミラー（１５）と光共振器を形成している。
けられた第１の出力ミラーで、レーザヘッド（１ヒ）を
介し高反射ミラー（１５）と光共振器を形成している。
レーザヘッド（１０）の他端面と第１の出力ミラー（１
６）における光路上にはほぼ等分にビームを分岐するビ
ームスプリッタ（１７）がその部分反射面を上記他端面
に４５度に傾けて設けられている。ビームスプリッタ（
１７）で直角に反射された光路には第２の出力ミラー（
１８）が設けられていて、高反射ミラ（１５）と光共振
器を形成している。第１の出力ミラー（１６）とビーム
スプリッタ（１７）との間における光路には第１の音響
光学Ｑスイッチ素子（２０）が設けられている。また、
第２の出力ミラー（１８）とビムスプリッタ（１７）と
の間における光路には第２の音響光学Ｑスイッチ素子（
２１）が設けられている。
６）における光路上にはほぼ等分にビームを分岐するビ
ームスプリッタ（１７）がその部分反射面を上記他端面
に４５度に傾けて設けられている。ビームスプリッタ（
１７）で直角に反射された光路には第２の出力ミラー（
１８）が設けられていて、高反射ミラ（１５）と光共振
器を形成している。第１の出力ミラー（１６）とビーム
スプリッタ（１７）との間における光路には第１の音響
光学Ｑスイッチ素子（２０）が設けられている。また、
第２の出力ミラー（１８）とビムスプリッタ（１７）と
の間における光路には第２の音響光学Ｑスイッチ素子（
２１）が設けられている。
（２２）は第１、第２の音響光学Ｑスイッチ素子（２０
）（２１）のスイッチングのタイミングを制御する制御
部である。
）（２１）のスイッチングのタイミングを制御する制御
部である。
次に上記構成の作用について説明する。制御電源（１１
）をＯＮにし、レーザ発振の状態で、第１の音響光学Ｑ
スイッチ（２０）を動作させると、第１の出力ミラー（
１６）からパルスビーム（Ｌｌ）が出方され、第２の音
響光学Ｑスイッチ素子（２１）を動作させると、第２の
出力ミラー （１８）からパルスビーム（Ｌりが出力さ
れる。上記同時の動作において、第１、第２の音響光学
Ｑスイッチ素子（２０）、 （２１）の繰り返し数を１
／２にして、同時にしかもタイミングを半分だけずらし
て動作させると、それぞれ単独で動作したときと等しい
ピーク強度を持った２本のパルスビームが出力される。
）をＯＮにし、レーザ発振の状態で、第１の音響光学Ｑ
スイッチ（２０）を動作させると、第１の出力ミラー（
１６）からパルスビーム（Ｌｌ）が出方され、第２の音
響光学Ｑスイッチ素子（２１）を動作させると、第２の
出力ミラー （１８）からパルスビーム（Ｌりが出力さ
れる。上記同時の動作において、第１、第２の音響光学
Ｑスイッチ素子（２０）、 （２１）の繰り返し数を１
／２にして、同時にしかもタイミングを半分だけずらし
て動作させると、それぞれ単独で動作したときと等しい
ピーク強度を持った２本のパルスビームが出力される。
（発明の効果）
第１、第２の音響光学Ｑスイッチ素子（２０）、 （２
］）の動作タイミングずれを変えることによって、パル
スビーム（ＬＩＬ （Ｌ２）のそれぞれに対する入力エ
ネルギーを変えることが可能となり、これらビームのピ
ーク強度やパルス幅もある程度制御可能となり、例えば
レーザ加工に適用した場合には、材質の異なる材料を同
時に加工することも可能になる。また、出力したレーザ
光を２本に分けている構成に比べて装置の全体構成を小
型にすることができるようになった。
］）の動作タイミングずれを変えることによって、パル
スビーム（ＬＩＬ （Ｌ２）のそれぞれに対する入力エ
ネルギーを変えることが可能となり、これらビームのピ
ーク強度やパルス幅もある程度制御可能となり、例えば
レーザ加工に適用した場合には、材質の異なる材料を同
時に加工することも可能になる。また、出力したレーザ
光を２本に分けている構成に比べて装置の全体構成を小
型にすることができるようになった。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は従来
例を示す構成図、第３図は第２図の各部分の動作波形図
である。 ０１１・・レーザヘッド ５・・・高反射ミラ ６・・・第１の出力ミラー ７）・・・ビームスプリッタ ８ ・・・第２の出力ミラー
例を示す構成図、第３図は第２図の各部分の動作波形図
である。 ０１１・・レーザヘッド ５・・・高反射ミラ ６・・・第１の出力ミラー ７）・・・ビームスプリッタ ８ ・・・第２の出力ミラー
Claims (1)
- レーザ励起部と、このレーザ励起部の一端側に設けられ
た高反射ミラーと、上記レーザ励起部の他端側に設けら
れ上記高反射ミラーと対になって光共振器を形成する第
１の出力ミラーと、この出力ミラーと上記レーザ励起部
との間に設けられたビームスプリッタと、このビームス
プリッタで分岐されたレーザ光の光路に設けられ上記高
反射ミラーと光共振器を形成する第２の出力ミラーと、
上記ビームスプリッタと上記第１および第２の出力ミラ
ーとの間にそれぞれ設けられた第１、第２の音響光学Ｑ
スイッチ素子とを備えたことを特徴とするレーザ発振装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19611190A JPH0483388A (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19611190A JPH0483388A (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | レーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0483388A true JPH0483388A (ja) | 1992-03-17 |
Family
ID=16352423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19611190A Pending JPH0483388A (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0483388A (ja) |
-
1990
- 1990-07-26 JP JP19611190A patent/JPH0483388A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4276518A (en) | Optical oscillator | |
| US4441186A (en) | Electronically switchable multiwavelength laser system | |
| US20050224469A1 (en) | Efficient micro-machining apparatus and method employing multiple laser beams | |
| US20060114948A1 (en) | Workpiece processing system using a common imaged optical assembly to shape the spatial distributions of light energy of multiple laser beams | |
| JP2597845B2 (ja) | 高繰り返しパルスレーザー装置 | |
| WO1983004144A1 (en) | Synchronously-pumped phase-conjugate laser | |
| JP4490015B2 (ja) | 短パルスレーザ装置 | |
| US20100193481A1 (en) | Laser constructed with multiple output couplers to generate multiple output beams | |
| US3432767A (en) | Apparatus employing electronic light shutters for switching the direction of a laser beam along discrete paths | |
| US4760577A (en) | CPM pulse laser device having a feedback means | |
| US4326175A (en) | Multi-color, multi-pulse laser system | |
| JPH0483388A (ja) | レーザ発振装置 | |
| WO2006062766A2 (en) | Efficient micro-machining apparatus and method employing multiple laser beams | |
| JPH098389A (ja) | 狭帯域化エキシマレーザー発振器 | |
| JP2002151773A (ja) | レーザー及び材料処理方法 | |
| JP2734945B2 (ja) | レーザー発振器 | |
| JP2002043664A (ja) | パルスレーザ発生装置及びそれを利用したｘ線発生装置 | |
| JPH07131102A (ja) | Ｑスイッチレーザ発振装置 | |
| JPH02260479A (ja) | レーザ発振装置 | |
| JPH03255688A (ja) | 波長狭帯域化エキシマレーザ発振器 | |
| JPH09214040A (ja) | 波長連続可変レーザ装置 | |
| JPH10247755A (ja) | レーザ光再生増幅器 | |
| JPH0374519B2 (ja) | ||
| JP2745905B2 (ja) | パルスレーザ装置 | |
| JP2001007429A (ja) | レーザ光発生装置 |