JPH048351Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH048351Y2 JPH048351Y2 JP2513286U JP2513286U JPH048351Y2 JP H048351 Y2 JPH048351 Y2 JP H048351Y2 JP 2513286 U JP2513286 U JP 2513286U JP 2513286 U JP2513286 U JP 2513286U JP H048351 Y2 JPH048351 Y2 JP H048351Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- foreign object
- object detection
- light
- mirror
- rotating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、NC機器等の産業機械における作業
テーブル並びにその周辺の異物を検出するために
用いて好適な光学式異物検出装置に関するもので
ある。
テーブル並びにその周辺の異物を検出するために
用いて好適な光学式異物検出装置に関するもので
ある。
従来より、NC機器等の自動化装置の一部にお
いては、その作業テーブル上の異物を検出するた
めに光学的な異物検出装置を使用している。近
年、この種の異物検出装置として、ハーフミラー
を透過して照射される光の反射方向を回転ミラー
を回転させながら可変して異物検出光を作ると共
に、被異物検出板面に隣接して反射面を配置し、
この反射面で前記異物検出光を反射させ前記回転
ミラーおよびハーフミラーの鏡面を経由して検出
器に導き、被異物検出板面上の異物を検出するよ
うに構成した異物検出装置が提案されている。
いては、その作業テーブル上の異物を検出するた
めに光学的な異物検出装置を使用している。近
年、この種の異物検出装置として、ハーフミラー
を透過して照射される光の反射方向を回転ミラー
を回転させながら可変して異物検出光を作ると共
に、被異物検出板面に隣接して反射面を配置し、
この反射面で前記異物検出光を反射させ前記回転
ミラーおよびハーフミラーの鏡面を経由して検出
器に導き、被異物検出板面上の異物を検出するよ
うに構成した異物検出装置が提案されている。
しかしながら、このような異物検出器による
と、ハーフミラーを透過して回転ミラーに光を照
射する際に、ハーフミラー部において屈折反射す
る光や回転ミラー部において乱反射する光が内部
ノイズとして検出器に作用してしまい、反射面に
異物検出光が照射されていないにもかかわらず、
検出器においてはすでに反射面を経由する異物検
出光が導入されているかのような状態となり、反
射面の位置合わせに手間がかかつてしまうもので
あつた。
と、ハーフミラーを透過して回転ミラーに光を照
射する際に、ハーフミラー部において屈折反射す
る光や回転ミラー部において乱反射する光が内部
ノイズとして検出器に作用してしまい、反射面に
異物検出光が照射されていないにもかかわらず、
検出器においてはすでに反射面を経由する異物検
出光が導入されているかのような状態となり、反
射面の位置合わせに手間がかかつてしまうもので
あつた。
本考案はこのような問題点を解消するためにな
されたもので、回転ミラーと反射面との間に光線
調光手段を配置することにより、異物検出光を調
色し可視光線とするようにしたものである。
されたもので、回転ミラーと反射面との間に光線
調光手段を配置することにより、異物検出光を調
色し可視光線とするようにしたものである。
したがつてこの考案によれば、可視光線とされ
た異物検出光の検出器への導入時点で、反射面の
位置合わせを行うことが可能となる。
た異物検出光の検出器への導入時点で、反射面の
位置合わせを行うことが可能となる。
〔実施例〕
以下、本考案に係る光学式異物検出装置を詳細
に説明する。第２図は、光線調色手段（後述）を
用いて反射面の位置決めを行つた後の光学式異物
検出装置の一例を示す構成図である。同図におい
て。１はNC機器等の産業機械における作業テー
ブル、２ａおよび２ｂは投光源、３ａおよび３ｂ
は投光源２ａおよび２ｂより出射される光を集束
する凸レンズ、４ａおよび４ｂはレンズ３ａおよ
び３ｂの集束する光（以下、スポツトビームと呼
ぶ）を透過するハーフミラー、５ａ及び５ｂはハ
ーフミラー４ａおよび４ｂを透過して入射される
スポツトビームを反射してその反射光を異物検出
スポツトビームとなす回転ミラー、６ａおよび６
ｂはこの回転ミラー５ａおよび５ｂを回転し、異
物検出スポツトビームの照射方向を可変するパル
スモータ、７ａおよび７ｂは作業テーブル１を挾
んで対向配置された反射面である。反射面７ａお
よび７ｂはプリズムあるいはガラス玉を集めて構
成されており、回転ミラー５ａおよび５ｂにて回
転しながら反射する異物検出スポツトビームが作
業テーブル１の上面を横断して反射面７ａおよび
７ｂに照射されるようになつている。そして、反
射面７ａおよび７ｂに照射される異物検出スポツ
トビームが、この反射面において反射し、回転ミ
ラー５ａおよび５ｂの鏡面を経由してハーフミラ
ー４ａおよび４ｂの鏡面に導びかれて反射し、凸
レンズ８ａおよび８ｂを介して受光素子９ａおよ
び９ｂにおいて受光されるようになつている。す
なわち、投光源２ａおよび２ｂ、凸レンズ３ａお
よび３ｂ、ハーフミラー４ａおよび４ｂ、回転ミ
ラー５ａおよび５ｂ、パルスモータ６ａおよび６
ｂ、凸レンズ８ａおよび８ｂ、受光素子９ａおよ
び９ｂよりなる第１の光学系および第２の光学系
と反射面７ａおよび７ｂとで第１の光学式異物検
出手段および第２の光学式異物検出手段が構成さ
れている。
に説明する。第２図は、光線調色手段（後述）を
用いて反射面の位置決めを行つた後の光学式異物
検出装置の一例を示す構成図である。同図におい
て。１はNC機器等の産業機械における作業テー
ブル、２ａおよび２ｂは投光源、３ａおよび３ｂ
は投光源２ａおよび２ｂより出射される光を集束
する凸レンズ、４ａおよび４ｂはレンズ３ａおよ
び３ｂの集束する光（以下、スポツトビームと呼
ぶ）を透過するハーフミラー、５ａ及び５ｂはハ
ーフミラー４ａおよび４ｂを透過して入射される
スポツトビームを反射してその反射光を異物検出
スポツトビームとなす回転ミラー、６ａおよび６
ｂはこの回転ミラー５ａおよび５ｂを回転し、異
物検出スポツトビームの照射方向を可変するパル
スモータ、７ａおよび７ｂは作業テーブル１を挾
んで対向配置された反射面である。反射面７ａお
よび７ｂはプリズムあるいはガラス玉を集めて構
成されており、回転ミラー５ａおよび５ｂにて回
転しながら反射する異物検出スポツトビームが作
業テーブル１の上面を横断して反射面７ａおよび
７ｂに照射されるようになつている。そして、反
射面７ａおよび７ｂに照射される異物検出スポツ
トビームが、この反射面において反射し、回転ミ
ラー５ａおよび５ｂの鏡面を経由してハーフミラ
ー４ａおよび４ｂの鏡面に導びかれて反射し、凸
レンズ８ａおよび８ｂを介して受光素子９ａおよ
び９ｂにおいて受光されるようになつている。す
なわち、投光源２ａおよび２ｂ、凸レンズ３ａお
よび３ｂ、ハーフミラー４ａおよび４ｂ、回転ミ
ラー５ａおよび５ｂ、パルスモータ６ａおよび６
ｂ、凸レンズ８ａおよび８ｂ、受光素子９ａおよ
び９ｂよりなる第１の光学系および第２の光学系
と反射面７ａおよび７ｂとで第１の光学式異物検
出手段および第２の光学式異物検出手段が構成さ
れている。
第３図ａは第１の光学系と反射面７ｂとを一体
に構成した第１の異物検出器を示す外観斜視図、
第３図ｂは第２の光学系と反射面７ａとを一体に
構成した第２の異物検出器を示す外観斜視図であ
る。同図において、１０ａおよび１１ａは回転ミ
ラー５ａおよび５ｂを介して出射される異物検出
スポツトビームの投光窓であり、投光窓１０ａの
下方領域に反射面７ｂが投光窓１１ａの上方領域
に反射面７ａが分割形成されている。そして、こ
の第１の異物検出器１０と第２の異物検出器１１
とが作業テーブル１を挾んで対向配置されてい
る。
に構成した第１の異物検出器を示す外観斜視図、
第３図ｂは第２の光学系と反射面７ａとを一体に
構成した第２の異物検出器を示す外観斜視図であ
る。同図において、１０ａおよび１１ａは回転ミ
ラー５ａおよび５ｂを介して出射される異物検出
スポツトビームの投光窓であり、投光窓１０ａの
下方領域に反射面７ｂが投光窓１１ａの上方領域
に反射面７ａが分割形成されている。そして、こ
の第１の異物検出器１０と第２の異物検出器１１
とが作業テーブル１を挾んで対向配置されてい
る。
このように構成された異物検出装置において
は、回転ミラー５ａおよび５ｂの回転位置を入射
されるスポツトビームに対して45°（図示状態）と
し、この回転位置を基準として異物の検出を行う
ようにしている。すなわち、回転ミラー５ａおよ
び５ｂの回転位置が図示状態にあるとき、この回
転ミラー５ａおよび５ｂにおいて反射する異物検
出スポツトビームが反射面７ａおよび７ｂの終端
面に照射されるように反射面７ａおよび７ｂの位
置決めが施されている。そして、回転ミラー５ａ
および５ｂをこの回転位置を基準にして時計方向
に回転することにより、反射面７ａおよび７ｂに
おける異物検出スポツトビームの照射位置が移動
し、この異物検出スポツトビームの遮光時点で、
受光素子９ａおよび９ｂにおいて作業テーブル１
上の異物の存在を知ることができる。しかして、
反射面７ａおよび７ｂ上を移動する異物検出スポ
ツトビームの照射方向が回転ミラー５ａの中心と
回転ミラー５ｂの中心とを結ぶ直径ａと一致した
時点で、作業テーブル１上での全ての異物のサー
チを終えることができる。
は、回転ミラー５ａおよび５ｂの回転位置を入射
されるスポツトビームに対して45°（図示状態）と
し、この回転位置を基準として異物の検出を行う
ようにしている。すなわち、回転ミラー５ａおよ
び５ｂの回転位置が図示状態にあるとき、この回
転ミラー５ａおよび５ｂにおいて反射する異物検
出スポツトビームが反射面７ａおよび７ｂの終端
面に照射されるように反射面７ａおよび７ｂの位
置決めが施されている。そして、回転ミラー５ａ
および５ｂをこの回転位置を基準にして時計方向
に回転することにより、反射面７ａおよび７ｂに
おける異物検出スポツトビームの照射位置が移動
し、この異物検出スポツトビームの遮光時点で、
受光素子９ａおよび９ｂにおいて作業テーブル１
上の異物の存在を知ることができる。しかして、
反射面７ａおよび７ｂ上を移動する異物検出スポ
ツトビームの照射方向が回転ミラー５ａの中心と
回転ミラー５ｂの中心とを結ぶ直径ａと一致した
時点で、作業テーブル１上での全ての異物のサー
チを終えることができる。
ところで、このように構成された異物検出装置
においては、反射面７ａおよび７ｂの位置決めを
第１図に示すような赤色フイルム１２を用いて行
つている。すなわち、反射面７ａの前面側に赤色
フイルム１２を配置し、このフイルム１２を通過
する異物検出スポツトビームを赤色に調色して反
射面７ａの位置決めを行つている。つまり、回転
ミラー５ａおよびハーフミラー４ａの鏡面を経由
して受光素子９ａに導入される異物検出スポツト
ビームを赤色とし、反射面７ａの終端面７a1を上
下させながら受光素子９ａに赤色光が導入された
時点で反射面７ａの正確な位置決めを行つてい
る。尚、第２図における反射面７ｂも同様にして
正確な位置決めを行うことができるが、本実施例
においては、第１の異物検出器１０と第２の異物
検出器１１とが左右対称に作られているので、ど
ちらか一方の位置決めを行えば、他方側の反射面
の位置決めは行わなくとも自ずとその位置が決定
される。また、受光素子９ａおよび９ｂに赤色光
が導入されたか否かの確認は目視で行い、この目
視は第１および第２の異物検出器１０および１１
にのぞき窓を設けることにより容易に可能とな
る。また、本実施例においては、フイルム１２を
赤色としたが赤色に限ることはなく、通過する異
物検出スポツトビームを可視光線に変えることが
できれば他の色彩であつてもかまわない。つま
り、テーブル１の周囲に作用する他の有色光に対
して受光素子に導入される異物検出スポツトビー
ムを際立たせることができれば、他の色彩に調色
してもよく、このような光線調色手段はフイルム
以外の方法でも得ることができることは言うまで
もない。
においては、反射面７ａおよび７ｂの位置決めを
第１図に示すような赤色フイルム１２を用いて行
つている。すなわち、反射面７ａの前面側に赤色
フイルム１２を配置し、このフイルム１２を通過
する異物検出スポツトビームを赤色に調色して反
射面７ａの位置決めを行つている。つまり、回転
ミラー５ａおよびハーフミラー４ａの鏡面を経由
して受光素子９ａに導入される異物検出スポツト
ビームを赤色とし、反射面７ａの終端面７a1を上
下させながら受光素子９ａに赤色光が導入された
時点で反射面７ａの正確な位置決めを行つてい
る。尚、第２図における反射面７ｂも同様にして
正確な位置決めを行うことができるが、本実施例
においては、第１の異物検出器１０と第２の異物
検出器１１とが左右対称に作られているので、ど
ちらか一方の位置決めを行えば、他方側の反射面
の位置決めは行わなくとも自ずとその位置が決定
される。また、受光素子９ａおよび９ｂに赤色光
が導入されたか否かの確認は目視で行い、この目
視は第１および第２の異物検出器１０および１１
にのぞき窓を設けることにより容易に可能とな
る。また、本実施例においては、フイルム１２を
赤色としたが赤色に限ることはなく、通過する異
物検出スポツトビームを可視光線に変えることが
できれば他の色彩であつてもかまわない。つま
り、テーブル１の周囲に作用する他の有色光に対
して受光素子に導入される異物検出スポツトビー
ムを際立たせることができれば、他の色彩に調色
してもよく、このような光線調色手段はフイルム
以外の方法でも得ることができることは言うまで
もない。
しかして、このような方法で反射面７ａおよび
７ｂの位置決めを終えた後、光線調色手段として
の赤色フイルム１２を取り去り、前述した異物の
サーチを行うようにする。
７ｂの位置決めを終えた後、光線調色手段として
の赤色フイルム１２を取り去り、前述した異物の
サーチを行うようにする。
尚、赤色フイルム１２は、そのまま反射面７ａ
および７ｂの前面側に配置した状態にしておいて
もよいことは言うまでもなく、このような状態で
受光素子９ａおよび９ｂの光路の前段に赤色フイ
ルタ（図示せず）を配置し、赤色光のみを透過し
て受光素子９ａおよび９ｂにて受光させるように
すれば、受光素子９ａおよび９ｂに作用する内部
ノイズが除去され、正確な異物の検出が可能とな
る。また、このようにすることによつて、反射面
７ａおよび７ｂの位置決めの際に受光素子９ａ及
び９ｂに導入される赤色光の導入タイミングをわ
ざわざ目視することなく、受光素子９ａおよび９
ｂより送出される電気信号に基づいて知ることが
可能となる。また、本実施例においては、作業テ
ーブル１の図示（第２図）斜線部で示した範囲の
異物を検出するようにしたが、作業テーブル１の
周辺部までをも異物検出範囲に含むように構成し
てもよく、この異物検出範囲が被異物検出板面と
なることは言うまでもない。
および７ｂの前面側に配置した状態にしておいて
もよいことは言うまでもなく、このような状態で
受光素子９ａおよび９ｂの光路の前段に赤色フイ
ルタ（図示せず）を配置し、赤色光のみを透過し
て受光素子９ａおよび９ｂにて受光させるように
すれば、受光素子９ａおよび９ｂに作用する内部
ノイズが除去され、正確な異物の検出が可能とな
る。また、このようにすることによつて、反射面
７ａおよび７ｂの位置決めの際に受光素子９ａ及
び９ｂに導入される赤色光の導入タイミングをわ
ざわざ目視することなく、受光素子９ａおよび９
ｂより送出される電気信号に基づいて知ることが
可能となる。また、本実施例においては、作業テ
ーブル１の図示（第２図）斜線部で示した範囲の
異物を検出するようにしたが、作業テーブル１の
周辺部までをも異物検出範囲に含むように構成し
てもよく、この異物検出範囲が被異物検出板面と
なることは言うまでもない。
以上説明したように本考案による光学式異物検
出装置によると、回転ミラーと反射面との間に光
線調光手段を配置することにより、異物検出光を
調色し可視光線とするようにしたので、可視光線
された異物検出光の検出器への導入時点で反射面
の位置を行うことが可能となり、ハーフミラー部
において屈折反射する光や回転ミラー部において
乱反射する光が検出器に内部ノイズとして作用し
たとしても、この内部ノイズとは無関係に反射面
の位置決めを適確且つすばやく行うことができ
る。
出装置によると、回転ミラーと反射面との間に光
線調光手段を配置することにより、異物検出光を
調色し可視光線とするようにしたので、可視光線
された異物検出光の検出器への導入時点で反射面
の位置を行うことが可能となり、ハーフミラー部
において屈折反射する光や回転ミラー部において
乱反射する光が検出器に内部ノイズとして作用し
たとしても、この内部ノイズとは無関係に反射面
の位置決めを適確且つすばやく行うことができ
る。
第１図は本考案に係る光学式異物検出装置の一
実施例における反射面の位置決めを行う際の構成
図、第２図は反射面の位置決め後赤色フイルムを
取り去つた後の異物検出装置を示す構成図、第３
図はこの異物検出装置に用いる異物検出器を示す
外観斜視図である。 １……作業テーブル、２ａ，２ｂ……投光源、
４ａ，４ｂ……ハーフミラー、５ａ，５ｂ……回
転ミラー、６ａ，６ｂ……パルスモータ、７ａ，
７ｂ……反射面、９ａ，９ｂ……受光素子、１
０，１１……異物検出器、１２……赤色フイル
ム。
実施例における反射面の位置決めを行う際の構成
図、第２図は反射面の位置決め後赤色フイルムを
取り去つた後の異物検出装置を示す構成図、第３
図はこの異物検出装置に用いる異物検出器を示す
外観斜視図である。 １……作業テーブル、２ａ，２ｂ……投光源、
４ａ，４ｂ……ハーフミラー、５ａ，５ｂ……回
転ミラー、６ａ，６ｂ……パルスモータ、７ａ，
７ｂ……反射面、９ａ，９ｂ……受光素子、１
０，１１……異物検出器、１２……赤色フイル
ム。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ハーフミラーを透過して照射される光を異物検
出光として反射し、この異物検出光の反射方向を
回転しながら可変する回転ミラーと、 被異物検出板面に隣接して配置され、この板面
上を横断して照射される前記異物検出光を反射
し、前記回転ミラーおよび前記ハーフミラーの鏡
面を経由して検出器に導く反射面と を備えてなる光学式異物検出装置において、 前記回転ミラーと前記反射面との間に配置さ
れ、前記異物検出光を調色し可視光線とする光線
調色手段を有する ことを特徴とする光学式異物検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2513286U JPH048351Y2 (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2513286U JPH048351Y2 (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62140351U JPS62140351U (ja) | 1987-09-04 |
| JPH048351Y2 true JPH048351Y2 (ja) | 1992-03-03 |
Family
ID=30824999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2513286U Expired JPH048351Y2 (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH048351Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-02-25 JP JP2513286U patent/JPH048351Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62140351U (ja) | 1987-09-04 |
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