JPH048427U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH048427U JPH048427U JP4783390U JP4783390U JPH048427U JP H048427 U JPH048427 U JP H048427U JP 4783390 U JP4783390 U JP 4783390U JP 4783390 U JP4783390 U JP 4783390U JP H048427 U JPH048427 U JP H048427U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas supply
- liquid filling
- filling chamber
- supply pipe
- tank
- Prior art date
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- Granted
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- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 claims description 3
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す全体構成図、
第２図はガス供給管の変形例を示す図、第３図は
ガス供給管と吹出口との気泡発生数に対する最適
径を説明するための図、第４図〜第６図は従来例
を示し第４図は全体構成図、第５図は単孔型およ
び第６図は多孔型を示す図である。 １……半導体製造装置、２……キヤリヤーガス
供給手段、５……コントローラ、１０……バブリ
ング装置、１１……タンク、１２……液体充填室
、１３……ベーパー発生室、１４……液体、１５
……ベーパー、２１……ガス供給管、２２……基
端側、２３……先端側、２４……ガス吹出口。
第２図はガス供給管の変形例を示す図、第３図は
ガス供給管と吹出口との気泡発生数に対する最適
径を説明するための図、第４図〜第６図は従来例
を示し第４図は全体構成図、第５図は単孔型およ
び第６図は多孔型を示す図である。 １……半導体製造装置、２……キヤリヤーガス
供給手段、５……コントローラ、１０……バブリ
ング装置、１１……タンク、１２……液体充填室
、１３……ベーパー発生室、１４……液体、１５
……ベーパー、２１……ガス供給管、２２……基
端側、２３……先端側、２４……ガス吹出口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 液体充填室とベーパー発生室とを形成するタン
クと、基端側がキヤリヤーガス供給手段に接続さ
れかつガス吹出口を有する先端側が液体充填室の
液中に差込まれたガス供給管とからなるバブリン
グ装置において、 前記ガス供給管の前記タンク内に挿入された部
分をＬ字形状に形成するとともに先端側が水平と
なるように前記液体充填室に配設しかつ前記ガス
吹出口を上向き単孔として形成したことを特徴と
するバブリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4783390U JPH0533005Y2 (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4783390U JPH0533005Y2 (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH048427U true JPH048427U (ja) | 1992-01-27 |
| JPH0533005Y2 JPH0533005Y2 (ja) | 1993-08-23 |
Family
ID=31564116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4783390U Expired - Lifetime JPH0533005Y2 (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0533005Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-05-08 JP JP4783390U patent/JPH0533005Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0533005Y2 (ja) | 1993-08-23 |
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