JPH0485727U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0485727U JPH0485727U JP1990128493U JP12849390U JPH0485727U JP H0485727 U JPH0485727 U JP H0485727U JP 1990128493 U JP1990128493 U JP 1990128493U JP 12849390 U JP12849390 U JP 12849390U JP H0485727 U JPH0485727 U JP H0485727U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable rod
- wafer
- main body
- vacuum
- pallet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Description
第１図から第３図迄は、本考案による真空内ウ
エーハクリツプ機構を示すもので、第１図は全体
構成を示す平面図、第２図は正面図、第２Ａ図は
第１図の要部を示す詳細構成図、第３図は案内体
とクリツプ片の構成を示す要部の構成図、第４図
は従来の機構を示す平面図である。 １は本体、２はウエーハ保持凹部、３はウエー
ハ、５は移動棒、６は案内体、１０，１１はクリ
ツプ片、１４はばね部材、２０はパレツトドグで
ある。
エーハクリツプ機構を示すもので、第１図は全体
構成を示す平面図、第２図は正面図、第２Ａ図は
第１図の要部を示す詳細構成図、第３図は案内体
とクリツプ片の構成を示す要部の構成図、第４図
は従来の機構を示す平面図である。 １は本体、２はウエーハ保持凹部、３はウエー
ハ、５は移動棒、６は案内体、１０，１１はクリ
ツプ片、１４はばね部材、２０はパレツトドグで
ある。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエーハ３を保持するためのウエーハ保持凹部
２を有する本体１と、前記本体１に設けられ移動
棒５を有する案内体６と、前記移動棒５に設けら
れ前記移動棒５を常時一方向に付勢するためのば
ね部材１４と、前記本体１に回動自在に設けられ
前記移動棒５に接続された一対のクリツプ片１０
，１１と、前記本体１に回動自在に設けられ前記
移動棒５と当接可能なパレツトドグ２０とを備え
、 前記本体１が移動し、前記パレツトドグを介し
て前記移動棒が前記ばね部材に抗して移動するこ
とにより、前記各クリツプ片を作動させるように
構成したことを特徴とする真空内ウエーハクリツ
プ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990128493U JPH0485727U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990128493U JPH0485727U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0485727U true JPH0485727U (ja) | 1992-07-24 |
Family
ID=31875952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990128493U Pending JPH0485727U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0485727U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000308988A (ja) * | 1999-03-18 | 2000-11-07 | Applied Materials Inc | ウェハハンドリングロボット用の機械式グリッパ |
| JP2008172241A (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Applied Materials Inc | 高温ロボットエンドエフェクタ |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP1990128493U patent/JPH0485727U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000308988A (ja) * | 1999-03-18 | 2000-11-07 | Applied Materials Inc | ウェハハンドリングロボット用の機械式グリッパ |
| JP2008172241A (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Applied Materials Inc | 高温ロボットエンドエフェクタ |