JPH0486742A - 熱磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、磁気潜像を形成するのに適した熱磁気記録媒
体の製造装置に関するものである。

（従来の技術） 従来、磁気プリンタドラム材料は、例えば熱磁気プリン
タに用いられており、その場合磁気プリンタドラムに磁
気潜像が形成され、これを磁気的に現像して可視像を得
るようにしている（「マグネトグラフィプリンタ」今村
舜仁著、大野信編集、ＣＭＣｒノンインパクトプリンテ
ィング」第１５章Ｐ、　１５９〜Ｐ、１６８．１９８６
参照）。

第４図は従来の熱磁気プリンタの印刷プロセス図である
。

図において、記録用磁気ドラム１は矢印Ａ方向に回転す
る。該記録用磁気ドラム１面上には磁気潜像を形成する
ための熱磁気記録媒体であるＣｒｙ２薄膜等が設けられ
ている。

印刷プロセスにおいて、まず消磁手段２が熱磁気記録媒
体を一定方向に磁化する。次に、磁気記録手段３が所定
の磁気潜像を形成し、現像手段４が磁気潜像上にトナー
を付着させることにより、磁気潜像は可視像化される。

ここで、トナーは熱磁気記録媒体面上の漏れ磁界による
磁力線と熱磁気記録媒体面とが交差する部分に付着し、
その結果、磁気潜像は可視像化される。

その後、転写手段５及び定着手段６は、可視像を用紙上
に転写、定着する。最後にクリーニング手段７は熱磁気
記録媒体上の残留トナーを除去し、印刷プロセスを終了
する。

ところで、上記熱磁気記録媒体上に磁気潜像を記録する
方法としてはサーマルヘッドを用いる方法やレーザビー
ム光照射により加熱する方法がある。また、熱磁気記録
媒体の磁化方向は、主として記録媒体面に沿う方向（面
内記録法）と記録媒体の面に対し垂直である方向く垂直
記録法）とがあり、高解像度を必要とする場合には垂直
記録法が用いられる。垂直記録用紙の磁気記録媒体は、
希土類元素と鉄族元素との合金膜、すなわちＲＥ−７Ｍ
合金膜又はＣｏ−Ｃｒ合金膜で形成される。ＲＥ−７Ｍ
合金膜は熱磁気記録法を用いた光磁気ディスクに、また
Ｃｏ−Ｃｒ合金膜は磁気へ、ド記録法を用いた磁気ディ
スクに多く用いられている。

また、Ｃｏ／Ｐｔ人工格子やＣｏ／Ｐｄ人工格子等の薄
膜も垂直磁化膜となり熱磁気記録を行うことが可能であ
る。

ところが、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜は、キューリ点が高いため
熱磁気記録が困難である。さらに、ＲＥ−７Ｍ合金膜は
残留磁束密度が小さいため、トナーの付着力が不十分で
ある。また、Ｃｏ／Ｐｔ人工格子膜やＣｏ／Ｐｄ人工格
子膜の場合、全膜厚が数百人であるような極薄状態にお
いては磁気ヒステリノス曲線の角形比はｌであるが、全
膜厚が数千人となると角形比は１以下となり熱磁気記録
に必要な残留磁束密度が得られず、更に保磁力も５００
０ｅ程度と小さい。

このように、垂直記録用の垂直磁化膜を用いた熱磁気プ
リンタは原理的には記録の安定性が高く、高解像度を得
ることができ、低消費電力で作動するなどの特徴がある
ものの、垂直磁化膜として適当な材料がないという問題
があった。

そこで、基板の上に人工格子膜と薄膜を交互に積層して
垂直磁化膜を形成した熱磁気記録媒体が提供されている
。

第５図は従来の多重構造多層膜の熱磁気記録媒体の断面
図である。

この場合人工格子膜が、Ｃｏ層とｐｔＮを交互に積層し
たＣｏ／Ｐｔ人工格子膜又は００層とＰｄ層を交互に積
層したＣｏ／Ｐｄ人工格子膜で形成され、また上記薄膜
がｐｔ薄膜又はＰｄ薄膜としである。

この熱磁気記録媒体の場合、残留磁束密度は高く、磁性
体であるトナーの吸着に必要とされる十分な磁気力を発
生するとともに、保磁力も高（なり、キューり温度は低
くなる。

第６図は従来の熱磁気記録媒体のスパッタ装置を示ず図
、第６図（Ａ）はスパッタ装！の正面図、第６図（Ｂ）
はターゲット配置図、第６図（Ｃ）はシ島ツタ配置図で
ある。

図において、１１は回転板１２の上に配設されスパッタ
リングによって多重構造多層膜が形成される基板である
。上記回転板１２はアースに接続されている。

１４は上記基板１１に対向して配設されるターゲットで
あり、Ｃｏ部分１４ａとＰｔ　（又はＰｄ）部分１４ｂ
が半円形状を有していて、両者が電気的に接触させられ
て接合されて円形になっている。ターゲ７）１４には、
Ｃｏ部分１４ａ　とＰｔ　（又はＰｄ）部分１４ｂの共
通のスパッタ用電源１５が接続される。

上記構成のスパッタ装置においては、回転板１２が回転
するのに伴い、ターゲット１４の二つの部分１４ａ、　
１４ｂ上を基板１１が回転することになり、該基板１１
の上にＣｏ／Ｐｔ人工格子膜又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜
が形成される。

続いて、スパッタ装置が開放され、ｐｔ又はＰｄの薄膜
が上記Ｃｏ／Ｐｔ人工格子膜又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜
上に積層される。

そのため、上記基板１１とターデフ１４間に円形のシャ
ッタ１６が配設される。該シャッタ１６の基板１１及び
ターゲノ目４に対向する部分には円形の開口１７が形成
されていて、基板１１の上にＣｏ／Ｐｔ人工格子膜又は
Ｃｏ／Ｐｄ人工格子膜を形成する工程においては、上記
開口１７は開放される。

また、上記Ｃｏ／Ｐｔ人工格子膜又はＣｏ／Ｐｄ人工格
子膜の上にＰｔ又はＰｄの薄膜を形成する場合には、上
記開口１７のターゲットＣＯに対向する部分が図示しな
いしきり仮によって遮蔽される。

そして、このＣｏ／Ｐｔ人工格子膜又はＣｏ／Ｐｄ人工
格子膜の形成と、ｐｔ又はＰｄの薄膜の形成とが繰り返
されて多重構造多層膜が形成される。

上記ツヤツタ１６は手動で回転させることができ、基板
１１の表面を予備的に処理するに当たって逆スバンタを
行う場合にはターゲラ目４が汚れないよう　１８０°回
転させられる。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記従来の熱磁気記録媒体の製造装置に
おいては、多重構造多層膜が形成されるため、熱磁気記
録媒体のキューり点、残留磁束密度などの磁気特性を向
上させることはできるが、それを製造するためにスパッ
タ装置が必要となり、装置が大型化、複雑化してしまう
。また、ｐｔ又はＰｄの薄膜を形成する場合、−度装置
を開放しターゲットの半分を遮蔽するなどの作業が必要
であり、製造方法が複雑化するとともに、製造時間が長
くなってしまう。さらに、装置の開放時に基板の酸化が
起こる。

（課題を解決するための手段） そのために、本発明の熱磁気記録媒体の製造装置におい
ては、別の成分かみなる二つの部分を電気的に接触させ
て接合し、かつ共通のスパッタ用電源に接続したターゲ
ットと、該ターゲットに対向して配設され、周期的に移
動させられる基板が設けられている。

上記ターゲットと基板間には、回転自在に支持され手動
で回転させることができるようにンヤ。

夕が配設されている。該シャッタには、円周方向におい
て両者を対向させる位置に複数の開口が設けられている
。

そして、上記各開口には、遮蔽位置及び遮蔽面積がそれ
ぞれ異なるしきり板が設けられている。

（作用） 本発明によれば、上記のように別の成分からなる二つの
部分を電気的に接触させて接合し、かつ共通のスパッタ
用電源に接続したターゲットを設け、これに対向するよ
うに基板を配設し、該基板を周期的に移動させる。

上記ターゲットの二つの成分ををスパッタリングによっ
て交互に積層して人工格子膜を形成し、該人工格子膜と
、上記口つの成分の一方の薄膜を更に交互に積層して多
重構造多層膜を形成する。

この場合、人工格子膜を形成する時は二つの成分をスパ
ッタリングする必要があり、薄膜を形成する時は一方の
成分のみをスパッタリングする。

したがって、一方の成分のみをスパッタリングする場合
には、他方の成分を遮蔽すればい。

そのため、上記ターゲットと基板間に、両者を対向させ
るように複数の開口を形成したツヤツタを回転自在に配
設し、上記各開口にしきり板を配設しておき、スパッタ
リングの各工程間で遮蔽位置及び遮蔽面積を可変とする
。

上記シャッタを回転させ遮蔽位置を変えることによって
成分を選択することができ、遮蔽面積を変えることによ
って層の厚さを変更することができる。

（実施例） 以下、本発明の実施例について凹面を参照しながら詳細
に説明する。

第１回は本発明の熱磁気記録媒体の製造装置を実施する
ためのスパッタ装置を示す圀、第１図（Ａ）はスパッタ
装置の正面図、第１［１Ｊ（Ｂ）はターゲットの平面図
、第２図は第１図のスバ、り装置の第一シャッタの平面
図、第３図は第１図のスパッタ装置の第二シャッタの平
面図である。

図において、１１は回転Ｆｉ１２の上に配設され、スパ
ッタリングによって多重構造多層膜が形成される基板で
ある。上記回転板１２はアースに接続されている。

１４は上記基Ｆｉ１１に対向して配設されるターゲット
であり、００部分１４ａ　とＰｔ　（又はＰｄ）部分１
４ｂが半円形状を有していて、両者を電気的に接触させ
て接合し、円形としている。該ターゲット１４には、単
元の、すなわちＣｏ部分１４ａ　とＰｔ　（又はＰｄ）
部分１４ｂに共通のスパッタ用電源１５が接続される。

上記構成のスパッタ装置においては、回転板１２が回転
するのに伴い、ターゲノ目４の二つの部分１４ａ、　１
４ｂ上を基板１１が回転することになり、該基板１１の
上２こＣｏ／Ｐｔ人工格子膜又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜
が形成される。

上記回転板１２とターゲノ日４間には、それぞれ円形で
、独立に回転自在に支持された第一ンヤソタ２１及び第
二シャッタ２２が配設される。

上記第一シャッタ２１の基板１１及びターゲット１４に
対応する部分には円形の開口２４が形成されていて、基
板１１の上にＣｏ／Ｐｔ人工格子膜又はＣｏ／Ｐｄ人工
格子膜を形成する工程においては、上記開口２４を介し
てスパッタリングが行われるようになっている。

一方、第二シャッタ２２には、基板１１及びターゲノ目
４に対応する円周方向４箇所に、開口２５〜２８が形成
される。そして、第３図に示すように上記開口２５〜２
８には各種形状の第一しきり板３１〜第四しきり板３４
が架設される。各しきり板３１〜３４は、開口２５〜２
８を貫通して下方に延びる垂下部３５と、各開口２５〜
２８の縁部に係止されるとともに開口２５〜２８の所定
部分を遮蔽する遮蔽部３６からなる。

上記垂下部３５は、ターゲット１４の各部分１４ａ、１
４ｂの各成分を分離した状態でスパッタリングさせると
ともに、一方が遮蔽された場合にその遮蔽を完全にする
ために形成され、両成分の合金化を防止する。

また、上記遮蔽部３６は第３図のハツチングで示す形状
を有する。すなわち、上記第一しきりＦｉ３１の遮蔽部
３６は細い帯状を呈しており、ターゲット１４のＣｏ部
分１４ａ及びＰｔ　（又はＰｄ）部分１４ｂのいずれを
も基板１１に対向させる。

また、上記第二しきり板３２の遮蔽部３６は開口２６の
半分を覆う長方形の形状を有しており、ターゲット１４
のＣｏ部分１４ａのみを覆う。

上記第三しきり板３３の遮蔽部３６は開口２７の半分弱
を覆う長方形の形状を有しており、ターゲット１４の０
０部分１４ａの大部分を覆うとともに、Ｐｔ　（又はＰ
ｄ）部分１４ｂに対向する部分を開放して基板１１に対
向させる。

そして、上記第四しきり板３４の遮蔽部３６は開口２８
の半分を覆う長方形の形状を有しており、ターゲ７・目
４のＰｔ　（又はＰｄ）部分１４ｂのみを覆う。

上記構成のスパッタ装置において、人工格子膜を形成す
る場合、第二シャッタ２２を開口２５とターゲノ目４が
対向する位Ｗに回転し、この上方で基板１１を回転させ
る。各層厚の比率を変える場合には、第三しきり板３３
のように遮蔽面積の異なるものを用いる。そして、Ｐｔ
薄膜又はｐａｆｆｌｌｌを形成する場合には、第二しき
り板３２によりＣｏ部分１４ａを隠すように第二シャッ
タ２２を回転させてスパッタする。また、第四しきり板
３４を使用すること一二よりＣＯ薄膜を用いた多重構造
多層膜を形成することができる。

上述しなように本発明の熱磁気記録媒体の製造装置によ
れば、第一、第二シャッタ２１．２２の内、第２シヤツ
タ２２に予めしきり板を配設しておくことによってスバ
７・夕装置内を開放することなく、第２ンセノタ２２を
手動回転するだけで多重構造多層膜を形成することがで
きる。この場合、数種の構造を持つ多層膜を連続的り：
酸化させることなく短時間に形成することができる。

このように形成された多重構造多層膜の磁気特性を評価
したところ、Ａｒガス圧５０ｍＴｏｒｒ　、基板回転数
５ｒｐｍ、ターゲット投入電力５００ｗの条件下でＣ。

層厚が２人、ｐｔ又はＰｄ層厚が５人で全体の膜厚１５
０人の人工格子膜と、膜厚１５０人のｐｔ又はＰｄの薄
膜からなる多重構造多層膜において、残留磁束密度１０
００Ｇｕｓｓ以上、キューり温度２００°Ｃ以下、保磁
力３００００ｅ程度となる。

従来の方法で同様の膜を形成した場合にも、同程度の磁
気特性を得ることができるが、製造のための時間が数倍
〜数十倍程度かかる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。

例えば、上記実施例においては、多重構造多層膜として
Ｃｏ／Ｐｔ又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜とｐｔ又はＰｄ薄
膜を用い、人工格子膜の積層周期及び膜厚、ｐｔ又はＰ
ｄ薄膜の膜厚は一定としているが、これらの厚さはしき
り板３１〜３４の大きさ、位置を変えることにより簡単
に変更することができ、複雑な構造を有する、例えばフ
ラクタル的な多層膜を容易に形成することが可能である
。

（発明の効果） 以上詳細に説明したように、本発明によれば、熱磁気記
録媒体はキューリ点が低くかつ残留磁束密度の高い垂直
磁化膜であるＣｏ／Ｐｔ又はＣｏ／Ｐｄの人工格子膜と
ｐｔ又はＰｄの薄膜とを交互に積層した多層膜により形
成される。

したがって、垂直記録を行う磁気記録密度を得ることが
できる。そして、例えば熱磁気プリンタにこれを用いた
場合、解像度を高くし消費電力を低減することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の熱磁気記録媒体の製造装置を実施する
ためのスパッタ装置を示す図、第１図（Ａ）はスバ、り
装置の正面図、第１図（Ｂ）はターゲットの平面図、第
２図は第１図のスパッタ装置の第一シャッタの平面図、
第３図は第１図のスパッタ装置の第二シャッタの平面図
、第４図は従来の熱磁気プリンタの印刷プロセス図、第
５図は従来の多重構造多層膜の熱磁気記録媒体の断面図
、第６図は従来の熱磁気記録媒体のスパッタ装置を示す
図、第６図（Ａ）はスパッタ装置の正面図、第６図（Ｂ
）はターゲット配置図、第６図（Ｃ）はシャッタ配置図
である。 １１・・・基板、１２・・・回転板、１４・・・ターゲ
ット、２１・第一シャッタ、２２・・・第二シャッタ、
３１〜３４・・・しきり板、３６・・・遮蔽部。 特許出願人　沖電気工業株式会社 代理人　弁理士　川　合　　誠（外１名）第一ンインタ
の平面図 第２図 スパッタ駿１［示ｆｓ 第１図 Ｙニジ褌ツタのイ胎図 第３図 手続手甫正書（自発） 明　　　細　　　書 平成２年１２月２７日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （ａ）別の成分からなる二つの部分を電気的に接触させ
   て接合し、かつ共通のスパッタ用電源に接続したターゲ
   ットと、 （ｂ）該ターゲットに対向して配設され、周期的に移動
   させられる基板と、 （ｃ）上記ターゲットと基板間にあって回転自在に支持
   されるとともに、円周方向において両者を対向させる位
   置に複数の開口を形成したシャッタと、（ｄ）上記各開
   口に配設され、遮蔽位置及び遮蔽面積がそれぞれ異なる
   しきり板を有することを特徴とする熱磁気記録媒体の製
   造装置。