JPH05150537A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH05150537A JPH05150537A JP3314592A JP31459291A JPH05150537A JP H05150537 A JPH05150537 A JP H05150537A JP 3314592 A JP3314592 A JP 3314592A JP 31459291 A JP31459291 A JP 31459291A JP H05150537 A JPH05150537 A JP H05150537A
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Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】残留磁束密度が十分に高く、保磁力が大きく、
しかも低キュリー温度を有する材料で作られ、高密度の
記録に適した垂直記録用の磁気記録媒体を提供する。 【構成】ステンレス基板８の上にＣｏ酸化膜９を積層
し、その上に垂直磁化膜として人工格子膜を積層する。
上記人工格子膜は、Ｃｏ層とＰｔ層（又はＰｄ層）を交
互に積層したＣｏ／Ｐｔ人工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人
工格子膜）１０で形成されている。上記Ｃｏ酸化膜９
は、膜厚Ｄを０．０１μｍ≦Ｄ≦１０μｍとし、上記Ｃ
ｏ／Ｐｔ人工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）１０
は、Ｃｏ層厚ｄCoを１Å≦ｄCo≦１５Åとし、Ｐｔ層厚
ｄPt（又はＰｄ層厚ｄpd）を２Å≦ｄPt（又はｄpd）≦
３０Åとしている。したがって、保磁力及び残留磁束密
度を向上させることができるとともに、キュリー温度を
低下させることができる。
しかも低キュリー温度を有する材料で作られ、高密度の
記録に適した垂直記録用の磁気記録媒体を提供する。 【構成】ステンレス基板８の上にＣｏ酸化膜９を積層
し、その上に垂直磁化膜として人工格子膜を積層する。
上記人工格子膜は、Ｃｏ層とＰｔ層（又はＰｄ層）を交
互に積層したＣｏ／Ｐｔ人工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人
工格子膜）１０で形成されている。上記Ｃｏ酸化膜９
は、膜厚Ｄを０．０１μｍ≦Ｄ≦１０μｍとし、上記Ｃ
ｏ／Ｐｔ人工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）１０
は、Ｃｏ層厚ｄCoを１Å≦ｄCo≦１５Åとし、Ｐｔ層厚
ｄPt（又はＰｄ層厚ｄpd）を２Å≦ｄPt（又はｄpd）≦
３０Åとしている。したがって、保磁力及び残留磁束密
度を向上させることができるとともに、キュリー温度を
低下させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気潜像を形成するの
に適した磁気記録媒体に関するものである。
に適した磁気記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁気記録媒体は、例えば熱磁気プ
リンティングに用いられており、その場合、記録用磁気
ドラムに磁気潜像が形成され、これを磁気的に現像して
可視像を得るようにしている（「マグネトグラフィプリ
ンタ」今村舜仁著、大野信編集、ＣＭＣ「ノンインパク
トプリンティング」第１５章Ｐ．１５９〜Ｐ．１６８、
１９８６参照）。
リンティングに用いられており、その場合、記録用磁気
ドラムに磁気潜像が形成され、これを磁気的に現像して
可視像を得るようにしている（「マグネトグラフィプリ
ンタ」今村舜仁著、大野信編集、ＣＭＣ「ノンインパク
トプリンティング」第１５章Ｐ．１５９〜Ｐ．１６８、
１９８６参照）。
【０００３】上記熱磁気プリンティングによって印刷を
行う従来の熱磁気プリンタについて説明する。図２は従
来の熱磁気プリンタの印刷プロセス図である。図におい
て、記録用磁気ドラム１は矢印Ａ方向に回転する。該記
録用磁気ドラム１面上には磁気潜像を形成するための磁
気記録媒体としてＣｒＯ2 薄膜などが形成されている。
行う従来の熱磁気プリンタについて説明する。図２は従
来の熱磁気プリンタの印刷プロセス図である。図におい
て、記録用磁気ドラム１は矢印Ａ方向に回転する。該記
録用磁気ドラム１面上には磁気潜像を形成するための磁
気記録媒体としてＣｒＯ2 薄膜などが形成されている。
【０００４】印刷プロセスにおいて、まず消磁手段２が
磁気記録媒体を一定方向に磁化する。次に、磁気記録手
段３が所定の磁気潜像を形成し、現像手段４が磁気潜像
上にトナーを付着させることによって、磁気潜像は可視
像化される。ここで、トナーは磁気記録媒体面上の漏れ
磁界による磁力線と磁気記録媒体面とが交差する部分に
付着し、その結果、磁気潜像は可視像化される。
磁気記録媒体を一定方向に磁化する。次に、磁気記録手
段３が所定の磁気潜像を形成し、現像手段４が磁気潜像
上にトナーを付着させることによって、磁気潜像は可視
像化される。ここで、トナーは磁気記録媒体面上の漏れ
磁界による磁力線と磁気記録媒体面とが交差する部分に
付着し、その結果、磁気潜像は可視像化される。
【０００５】その後、転写手段５及び定着手段６は、可
視像を用紙上に転写し、定着する。最後にクリーニング
手段７は磁気記録媒体上の残留トナーを除去し、印刷プ
ロセスを終了する。ところで、上記磁気記録媒体上に磁
気潜像を形成する方法としてはサーマルヘッドを用いる
方法やレーザビーム光照射によって加熱する方法があ
る。また、磁気記録媒体の磁化方向は、主として磁気記
録媒体の表面に沿う方向（面内記録の場合）と磁気記録
媒体の表面に対し垂直の方向（垂直記録の場合）とがあ
り、高解像度を必要とする場合には垂直記録が用いられ
る。垂直記録に用いられる磁気記録媒体は、希土類元素
と鉄族元素との合金膜、すなわちＲＥ−ＴＭ合金膜又は
Ｃｏ−Ｃｒ合金膜で形成される。上記ＲＥ−ＴＭ合金膜
は熱すなわち光を照射することによって磁気潜像を形成
するのに適しており、熱磁気記録法を用いた光磁気ディ
スクに用いられ、またＣｏ−Ｃｒ合金膜は信号磁界を与
えることによって磁気潜像を形成するのに適しており、
磁気ヘッド記録法を用いた磁気ディスクに多く用いられ
ている。
視像を用紙上に転写し、定着する。最後にクリーニング
手段７は磁気記録媒体上の残留トナーを除去し、印刷プ
ロセスを終了する。ところで、上記磁気記録媒体上に磁
気潜像を形成する方法としてはサーマルヘッドを用いる
方法やレーザビーム光照射によって加熱する方法があ
る。また、磁気記録媒体の磁化方向は、主として磁気記
録媒体の表面に沿う方向（面内記録の場合）と磁気記録
媒体の表面に対し垂直の方向（垂直記録の場合）とがあ
り、高解像度を必要とする場合には垂直記録が用いられ
る。垂直記録に用いられる磁気記録媒体は、希土類元素
と鉄族元素との合金膜、すなわちＲＥ−ＴＭ合金膜又は
Ｃｏ−Ｃｒ合金膜で形成される。上記ＲＥ−ＴＭ合金膜
は熱すなわち光を照射することによって磁気潜像を形成
するのに適しており、熱磁気記録法を用いた光磁気ディ
スクに用いられ、またＣｏ−Ｃｒ合金膜は信号磁界を与
えることによって磁気潜像を形成するのに適しており、
磁気ヘッド記録法を用いた磁気ディスクに多く用いられ
ている。
【０００６】また、Ｃｏ／Ｐｔ人工格子膜、Ｃｏ／Ｐｄ
人工格子膜、これらの人工格子膜に大気中で熱処理を施
した薄膜等も垂直磁化膜を構成し、垂直記録に利用する
ことができるようになっている。
人工格子膜、これらの人工格子膜に大気中で熱処理を施
した薄膜等も垂直磁化膜を構成し、垂直記録に利用する
ことができるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の磁気記録媒体において、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜で形成し
た場合はキュリー温度が高いため熱磁気記録が困難とな
り、ＲＥ−ＴＭ合金膜で形成した場合は残留磁束密度が
低いためトナーの付着力が不十分となる。また、Ｃｏ／
Ｐｔ人工格子膜やＣｏ／Ｐｄ人工格子膜は保磁力及び残
留磁束密度が十分に大きくないために高密度の記録が困
難であるが、これらの人工格子膜に大気中で熱処理を施
した場合は保磁力及び残留磁気モーメントが大きく、熱
磁気プリンタ用の磁気記録媒体として利用可能性が高く
なる。ところが、人工格子膜の表面に酸化膜が形成され
てしまうために、磁気記録媒体の表面の残留磁束密度は
低下してしまう。
成の磁気記録媒体において、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜で形成し
た場合はキュリー温度が高いため熱磁気記録が困難とな
り、ＲＥ−ＴＭ合金膜で形成した場合は残留磁束密度が
低いためトナーの付着力が不十分となる。また、Ｃｏ／
Ｐｔ人工格子膜やＣｏ／Ｐｄ人工格子膜は保磁力及び残
留磁束密度が十分に大きくないために高密度の記録が困
難であるが、これらの人工格子膜に大気中で熱処理を施
した場合は保磁力及び残留磁気モーメントが大きく、熱
磁気プリンタ用の磁気記録媒体として利用可能性が高く
なる。ところが、人工格子膜の表面に酸化膜が形成され
てしまうために、磁気記録媒体の表面の残留磁束密度は
低下してしまう。
【０００８】このように、垂直記録用の垂直磁化膜を用
いた熱磁気プリンタは、原理的には記録の安定性が高
く、高解像度を得ることができ、低消費電力で作動させ
ることができるが、有効かつ高密度に記録を行うことが
できない。本発明は、上記従来の磁気記録媒体の問題点
を解決して、残留磁束密度が十分に高く、保磁力が大き
く、しかも低キュリー温度を有する材料で作られ、高密
度の記録に適した垂直記録用の磁気記録媒体を提供する
ことを目的とする。
いた熱磁気プリンタは、原理的には記録の安定性が高
く、高解像度を得ることができ、低消費電力で作動させ
ることができるが、有効かつ高密度に記録を行うことが
できない。本発明は、上記従来の磁気記録媒体の問題点
を解決して、残留磁束密度が十分に高く、保磁力が大き
く、しかも低キュリー温度を有する材料で作られ、高密
度の記録に適した垂直記録用の磁気記録媒体を提供する
ことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】そのために、本発明の磁
気記録媒体においては、基板の上にＣｏ酸化膜を積層
し、その上に垂直磁化膜として人工格子膜を積層して形
成される。そして、該人工格子膜が、Ｃｏ層とＰｔ層
（又はＰｄ層）を交互に積層したＣｏ／Ｐｔ人工格子膜
（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）で形成されている。
気記録媒体においては、基板の上にＣｏ酸化膜を積層
し、その上に垂直磁化膜として人工格子膜を積層して形
成される。そして、該人工格子膜が、Ｃｏ層とＰｔ層
（又はＰｄ層）を交互に積層したＣｏ／Ｐｔ人工格子膜
（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）で形成されている。
【００１０】上記基板上にＣｏ酸化膜及びＣｏ／Ｐｔ人
工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）を積層した後
に、真空中で熱処理が施される。上記熱処理の温度Ｔは ２００°Ｃ≦Ｔ≦４５０°Ｃ であり、かつ、熱処理時間は１分以上とする。
工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）を積層した後
に、真空中で熱処理が施される。上記熱処理の温度Ｔは ２００°Ｃ≦Ｔ≦４５０°Ｃ であり、かつ、熱処理時間は１分以上とする。
【００１１】また、上記Ｃｏ酸化膜は、膜厚Ｄを ０．０１μｍ≦Ｄ≦１０μｍ とし、Ｃｏ／Ｐｔ人工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子
膜）は、Ｃｏ層厚ｄCoを １Å≦ｄCo≦１５Å とし、Ｐｔ層厚ｄPt（又はＰｄ層厚ｄPd）を ２Å≦ｄPt（又はｄPd）≦３０Å とする。
膜）は、Ｃｏ層厚ｄCoを １Å≦ｄCo≦１５Å とし、Ｐｔ層厚ｄPt（又はＰｄ層厚ｄPd）を ２Å≦ｄPt（又はｄPd）≦３０Å とする。
【００１２】
【作用】本発明によれば、上記のように基板の上にＣｏ
酸化膜を積層し、その上に垂直磁化膜として人工格子膜
を積層することによって磁気記録媒体が形成される。上
記人工格子膜は、Ｃｏ層とＰｔ層（又はＰｄ層）を交互
に積層したＣｏ／Ｐｔ人工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工
格子膜）で形成されている。
酸化膜を積層し、その上に垂直磁化膜として人工格子膜
を積層することによって磁気記録媒体が形成される。上
記人工格子膜は、Ｃｏ層とＰｔ層（又はＰｄ層）を交互
に積層したＣｏ／Ｐｔ人工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工
格子膜）で形成されている。
【００１３】上記Ｃｏ酸化膜は、膜厚Ｄを ０．０１μｍ≦Ｄ≦１０μｍ とし、上記Ｃｏ／Ｐｔ人工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工
格子膜）は、Ｃｏ層厚ｄ Coを １Å≦ｄCo≦１５Å とし、Ｐｔ層厚ｄPt（又はＰｄ層厚ｄPd）を ２Å≦ｄPt（又はｄPd）≦３０Å としている。したがって、保磁力及び残留磁束密度を向
上させることができるとともに、キュリー温度を低下さ
せることができる。
格子膜）は、Ｃｏ層厚ｄ Coを １Å≦ｄCo≦１５Å とし、Ｐｔ層厚ｄPt（又はＰｄ層厚ｄPd）を ２Å≦ｄPt（又はｄPd）≦３０Å としている。したがって、保磁力及び残留磁束密度を向
上させることができるとともに、キュリー温度を低下さ
せることができる。
【００１４】上記Ｃｏ酸化膜及びＣｏ／Ｐｔ人工格子膜
（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）は、高周波スパッタ法に
よって形成され、Ｃｏ酸化膜及びＣｏ／Ｐｔ人工格子膜
（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）を作成した後に真空中で
熱処理が施される。上記熱処理の温度Ｔは ２００°Ｃ≦Ｔ≦４５０°Ｃ であり、かつ、熱処理時間は１分以上とする。
（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）は、高周波スパッタ法に
よって形成され、Ｃｏ酸化膜及びＣｏ／Ｐｔ人工格子膜
（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）を作成した後に真空中で
熱処理が施される。上記熱処理の温度Ｔは ２００°Ｃ≦Ｔ≦４５０°Ｃ であり、かつ、熱処理時間は１分以上とする。
【００１５】したがって、熱処理後には磁気特性が向上
する。
する。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図１は本発明の磁気記録媒体を
示す図である。図の（Ａ）は磁気記録媒体の断面を、
（Ｂ）は記録用磁気ドラムの断面を示している。図にお
いて、板厚が数十〜数百μｍの曲折自在なステンレス基
板８上に、高周波（ＲＦ）スパッタ法を用いてＣｏ酸化
膜９が積層され、該Ｃｏ酸化膜９の上に高周波スパッタ
法を用いて垂直磁化膜であるＣｏ／Ｐｔ人工格子膜（又
はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）１０が積層される。上記Ｃｏ
酸化膜９及びＣｏ／Ｐｔ人工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人
工格子膜）１０を積層した後、スパッタ・チャンバ中に
おいて真空下で熱処理が施され、磁気記録媒体１１が形
成される。該磁気記録媒体１１はシート状に形成され、
記録用磁気ドラム芯材１２上に巻き付けられる。また、
上記磁気記録媒体１１の全体の厚みは０．１〜数十μｍ
である。
ながら詳細に説明する。図１は本発明の磁気記録媒体を
示す図である。図の（Ａ）は磁気記録媒体の断面を、
（Ｂ）は記録用磁気ドラムの断面を示している。図にお
いて、板厚が数十〜数百μｍの曲折自在なステンレス基
板８上に、高周波（ＲＦ）スパッタ法を用いてＣｏ酸化
膜９が積層され、該Ｃｏ酸化膜９の上に高周波スパッタ
法を用いて垂直磁化膜であるＣｏ／Ｐｔ人工格子膜（又
はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）１０が積層される。上記Ｃｏ
酸化膜９及びＣｏ／Ｐｔ人工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人
工格子膜）１０を積層した後、スパッタ・チャンバ中に
おいて真空下で熱処理が施され、磁気記録媒体１１が形
成される。該磁気記録媒体１１はシート状に形成され、
記録用磁気ドラム芯材１２上に巻き付けられる。また、
上記磁気記録媒体１１の全体の厚みは０．１〜数十μｍ
である。
【００１７】上記構成の磁気記録媒体１１を作成するに
当たり、ステンレス基板８の加熱が可能な高周波スパッ
タ装置を使用する。また、Ｃｏ酸化膜９を積層する際に
はＣｏ3 Ｏ4 をターゲットに使用し、Ｃｏ／Ｐｔ人工格
子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）１０を積層する際に
はＣｏとＰｔ（又はＰｄ）をターゲットに使用し、ステ
ンレス基板８を回転させて各ターゲット上を通過させる
ようにしている。
当たり、ステンレス基板８の加熱が可能な高周波スパッ
タ装置を使用する。また、Ｃｏ酸化膜９を積層する際に
はＣｏ3 Ｏ4 をターゲットに使用し、Ｃｏ／Ｐｔ人工格
子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）１０を積層する際に
はＣｏとＰｔ（又はＰｄ）をターゲットに使用し、ステ
ンレス基板８を回転させて各ターゲット上を通過させる
ようにしている。
【００１８】ここで、スパッタ条件は、 バックグラウンド真空度 ：ＰBG＝１．０×１０-6Ｔｏ
ｒｒ以下 アルゴンガス圧 ：ＰAr＝３．０×１０-3Ｔｏ
ｒｒ 投入電力 ：高周波３００〜７００Ｗ ステンレス基板８の回転数：ｒ＝５〜１０ｒｐｍ である。
ｒｒ以下 アルゴンガス圧 ：ＰAr＝３．０×１０-3Ｔｏ
ｒｒ 投入電力 ：高周波３００〜７００Ｗ ステンレス基板８の回転数：ｒ＝５〜１０ｒｐｍ である。
【００１９】そして、Ｃｏ酸化膜９の膜厚Ｄは ０．０１μｍ≦Ｄ≦１０μｍ である。また、Ｃｏ／Ｐｔ人工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ
人工格子膜）１０を構成するＣｏ層厚ｄCoは １Å≦ｄCo≦１５Å であり、Ｐｔ層厚ｄPt（又はＰｄ層厚ｄPd）は ２Å≦ｄPt（又はｄPd）≦３０Å である。
人工格子膜）１０を構成するＣｏ層厚ｄCoは １Å≦ｄCo≦１５Å であり、Ｐｔ層厚ｄPt（又はＰｄ層厚ｄPd）は ２Å≦ｄPt（又はｄPd）≦３０Å である。
【００２０】また、熱処理条件は 熱処理温度 ：２００°Ｃ≦Ｔ≦４５０°Ｃ 熱処理時間 ：ｔ≧１ｍｉｎ 真空度 ：１．０×１０-6Ｔｏｒｒ以下 である。
【００２１】次に、上記構成の磁気記録媒体１１におけ
る第１の実施例を用いて磁気記録を行った結果について
説明する。この実験においては、Ｃｏ酸化膜９の膜厚Ｄ
を０．１μｍとしている。また、Ｃｏ／Ｐｔ人工格子膜
１０としてＣｏ層厚ｄCoが５Å、Ｐｔ層厚ｄPtが２０Å
となるようにＣｏ層とＰｔ層を交互に積層して全体の膜
厚を２．５μｍとしたものを使用している。さらに、熱
処理温度Ｔは３００°Ｃ、熱処理時間ｔは３０分として
いる。
る第１の実施例を用いて磁気記録を行った結果について
説明する。この実験においては、Ｃｏ酸化膜９の膜厚Ｄ
を０．１μｍとしている。また、Ｃｏ／Ｐｔ人工格子膜
１０としてＣｏ層厚ｄCoが５Å、Ｐｔ層厚ｄPtが２０Å
となるようにＣｏ層とＰｔ層を交互に積層して全体の膜
厚を２．５μｍとしたものを使用している。さらに、熱
処理温度Ｔは３００°Ｃ、熱処理時間ｔは３０分として
いる。
【００２２】図３は本発明の第１の実施例を示す磁気記
録媒体の断面図、図４は本発明の第１の実施例を示す磁
気記録媒体における人工格子膜の熱処理前後の磁化曲線
を示す図である。図４の（ａ）は熱処理前の磁化曲線
を、（ｂ）は熱処理後の磁化曲線を示している。図に示
すように、磁気記録媒体１１を評価したところ、熱処理
を施すと磁気特性が向上し、保磁力Ｈc は１６００Ｏｅ
程度、残留磁束密度Ｍr は２５００Ｇａｕｓｓ程度とな
り、磁性体であるトナーの吸着に必要とされる十分な磁
気力を発生する。また、キュリー温度は２５０°Ｃ程度
となる。
録媒体の断面図、図４は本発明の第１の実施例を示す磁
気記録媒体における人工格子膜の熱処理前後の磁化曲線
を示す図である。図４の（ａ）は熱処理前の磁化曲線
を、（ｂ）は熱処理後の磁化曲線を示している。図に示
すように、磁気記録媒体１１を評価したところ、熱処理
を施すと磁気特性が向上し、保磁力Ｈc は１６００Ｏｅ
程度、残留磁束密度Ｍr は２５００Ｇａｕｓｓ程度とな
り、磁性体であるトナーの吸着に必要とされる十分な磁
気力を発生する。また、キュリー温度は２５０°Ｃ程度
となる。
【００２３】図５は第１の実施例における熱処理温度に
よる残留磁束密度及び保持力の変化を示す図である。こ
こで、熱処理時間ｔはすべて３０分としている。この図
により、熱処理温度Ｔが２００〜４５０°Ｃの熱処理に
よって磁気特性が向上し、熱処理温度Ｔが３００°Ｃに
おいて最も良い値を示すことが分かる。図６は第１の実
施例における磁気記録媒体の熱処理時間による残留磁束
密度の変化を示す図である。
よる残留磁束密度及び保持力の変化を示す図である。こ
こで、熱処理時間ｔはすべて３０分としている。この図
により、熱処理温度Ｔが２００〜４５０°Ｃの熱処理に
よって磁気特性が向上し、熱処理温度Ｔが３００°Ｃに
おいて最も良い値を示すことが分かる。図６は第１の実
施例における磁気記録媒体の熱処理時間による残留磁束
密度の変化を示す図である。
【００２４】この図により、熱処理時間ｔが１分以上の
熱処理によって磁気特性が徐々に向上し、熱処理時間ｔ
が３０分程度以上では一定となることが分かる。図７は
第１の実施例におけるＣｏ酸化膜の膜厚を変えた場合の
磁気特性の変化を示す図である。この場合、熱処理温度
Ｔは３００°Ｃ、熱処理時間ｔは３０分としている。
熱処理によって磁気特性が徐々に向上し、熱処理時間ｔ
が３０分程度以上では一定となることが分かる。図７は
第１の実施例におけるＣｏ酸化膜の膜厚を変えた場合の
磁気特性の変化を示す図である。この場合、熱処理温度
Ｔは３００°Ｃ、熱処理時間ｔは３０分としている。
【００２５】図に示すように、Ｃｏ酸化膜９の膜厚Ｄを
０．０１μｍ以上として熱処理した場合に、磁気特性の
向上が見られ、膜厚Ｄが０．０５μｍ以上では一定とな
る。また、高速記録を実現するためには、下地の膜厚は
できる限り小さい方が良く、その点からＣｏ酸化膜９の
膜厚Ｄが１０μｍ以下であることが望ましい。本発明の
磁気記録媒体１１を評価する比較対象として、Ｃｏ／Ｐ
ｔ人工格子膜１０としてＣｏ層厚ｄCoが１８Å、Ｐｔ層
厚ｄPtが３５Åのもの、及びＣｏ層厚ｄCoが０．８Å、
Ｐｔ層厚ｄPtが１．６Åのものを作成した。いずれの場
合も、膜面内に容易軸を有する磁化膜となってしまい、
垂直磁気記録を行うことができない。
０．０１μｍ以上として熱処理した場合に、磁気特性の
向上が見られ、膜厚Ｄが０．０５μｍ以上では一定とな
る。また、高速記録を実現するためには、下地の膜厚は
できる限り小さい方が良く、その点からＣｏ酸化膜９の
膜厚Ｄが１０μｍ以下であることが望ましい。本発明の
磁気記録媒体１１を評価する比較対象として、Ｃｏ／Ｐ
ｔ人工格子膜１０としてＣｏ層厚ｄCoが１８Å、Ｐｔ層
厚ｄPtが３５Åのもの、及びＣｏ層厚ｄCoが０．８Å、
Ｐｔ層厚ｄPtが１．６Åのものを作成した。いずれの場
合も、膜面内に容易軸を有する磁化膜となってしまい、
垂直磁気記録を行うことができない。
【００２６】次に、上記構成の磁気記録媒体１１におけ
る第２の実施例を用いて磁気記録を行った結果について
説明する。この実験においては、Ｃｏ酸化膜９の膜厚Ｄ
を０．１μｍとしている。また、Ｃｏ／Ｐｄ人工格子膜
１０としてＣｏ層厚ｄCoが５Å、Ｐｄ層厚ｄPdが１５Å
となるようにＣｏ層とＰｄ層を交互に積層して全体の膜
厚を２．５μｍとしたものを使用している。さらに、熱
処理温度Ｔは３００°Ｃ、熱処理時間ｔは３０分として
いる。
る第２の実施例を用いて磁気記録を行った結果について
説明する。この実験においては、Ｃｏ酸化膜９の膜厚Ｄ
を０．１μｍとしている。また、Ｃｏ／Ｐｄ人工格子膜
１０としてＣｏ層厚ｄCoが５Å、Ｐｄ層厚ｄPdが１５Å
となるようにＣｏ層とＰｄ層を交互に積層して全体の膜
厚を２．５μｍとしたものを使用している。さらに、熱
処理温度Ｔは３００°Ｃ、熱処理時間ｔは３０分として
いる。
【００２７】図８は本発明の第２の実施例を示す磁気記
録媒体の断面図、図９は本発明の第２の実施例を示す磁
気記録媒体における人工格子膜の熱処理前後の磁化曲線
を示す図である。図９の（ａ）は熱処理前の磁化曲線
を、（ｂ）は熱処理後の磁化曲線を示している。図に示
すように、磁気記録媒体１１を評価したところ、熱処理
を施すと磁気特性が向上し、保磁力Ｈc は２０００Ｏｅ
程度、残留磁束密度Ｍr は３０００Ｇａｕｓｓ程度とな
り、磁性体であるトナーの吸着に必要とされる十分な磁
気力を発生する。また、キュリー温度は２００°Ｃ程度
となる。
録媒体の断面図、図９は本発明の第２の実施例を示す磁
気記録媒体における人工格子膜の熱処理前後の磁化曲線
を示す図である。図９の（ａ）は熱処理前の磁化曲線
を、（ｂ）は熱処理後の磁化曲線を示している。図に示
すように、磁気記録媒体１１を評価したところ、熱処理
を施すと磁気特性が向上し、保磁力Ｈc は２０００Ｏｅ
程度、残留磁束密度Ｍr は３０００Ｇａｕｓｓ程度とな
り、磁性体であるトナーの吸着に必要とされる十分な磁
気力を発生する。また、キュリー温度は２００°Ｃ程度
となる。
【００２８】図１０は第２の実施例における熱処理温度
による残留磁束密度及び保持力の変化を示す図である。
ここで、熱処理時間ｔはすべて３０分としている。この
図により、熱処理温度Ｔが２００〜４５０°Ｃの熱処理
によって磁気特性が向上し、熱処理温度Ｔが３００°Ｃ
において最も良い値を示すことが分かる。図１１は第２
の実施例における磁気記録媒体の熱処理時間による残留
磁束密度の変化を示す図である。
による残留磁束密度及び保持力の変化を示す図である。
ここで、熱処理時間ｔはすべて３０分としている。この
図により、熱処理温度Ｔが２００〜４５０°Ｃの熱処理
によって磁気特性が向上し、熱処理温度Ｔが３００°Ｃ
において最も良い値を示すことが分かる。図１１は第２
の実施例における磁気記録媒体の熱処理時間による残留
磁束密度の変化を示す図である。
【００２９】この図から熱処理時間ｔが１分以上の熱処
理によって磁気特性が徐々に向上し、熱処理時間ｔが３
０分程度以上では一定となることが分かる。図１２は第
２の実施例におけるＣｏ酸化膜の膜厚を変えた場合の磁
気特性の変化を示す図である。この場合、熱処理温度Ｔ
は３００°Ｃ、熱処理時間ｔは３０分としている。
理によって磁気特性が徐々に向上し、熱処理時間ｔが３
０分程度以上では一定となることが分かる。図１２は第
２の実施例におけるＣｏ酸化膜の膜厚を変えた場合の磁
気特性の変化を示す図である。この場合、熱処理温度Ｔ
は３００°Ｃ、熱処理時間ｔは３０分としている。
【００３０】図に示すように、Ｃｏ酸化膜９の膜厚Ｄを
０．０１μｍ以上として熱処理した場合に、磁気特性の
向上が見られ、膜厚Ｄが０．０５μｍ以上では一定とな
る。また、高速記録を実現するためには、下地の膜厚は
できる限り小さい方が良く、その点からＣｏ酸化膜９の
膜厚Ｄが１０μｍ以下であることが望ましい。本発明の
磁気記録媒体１１を評価する比較対象として、Ｃｏ／Ｐ
ｄ人工格子膜１０としてＣｏ層厚ｄCoが１８Å、Ｐｄ層
厚ｄPdが３５Åのもの、及びＣｏ層厚ｄCoが０．８Å、
Ｐｄ層厚ｄPdが１．６Åのものを作成した。いずれの場
合も、膜面内に容易軸を有する磁化膜となってしまい、
垂直磁気記録を行うことができない。
０．０１μｍ以上として熱処理した場合に、磁気特性の
向上が見られ、膜厚Ｄが０．０５μｍ以上では一定とな
る。また、高速記録を実現するためには、下地の膜厚は
できる限り小さい方が良く、その点からＣｏ酸化膜９の
膜厚Ｄが１０μｍ以下であることが望ましい。本発明の
磁気記録媒体１１を評価する比較対象として、Ｃｏ／Ｐ
ｄ人工格子膜１０としてＣｏ層厚ｄCoが１８Å、Ｐｄ層
厚ｄPdが３５Åのもの、及びＣｏ層厚ｄCoが０．８Å、
Ｐｄ層厚ｄPdが１．６Åのものを作成した。いずれの場
合も、膜面内に容易軸を有する磁化膜となってしまい、
垂直磁気記録を行うことができない。
【００３１】上記実施例においては、磁気記録媒体１１
の応用例として熱磁気プリンタについて説明している
が、熱及び光の照射によって記録を行う他の記録装置に
も応用することができる。また、垂直磁化膜の全膜厚を
０．１〜数十μｍとし、ステンレス基板８の板厚を数十
〜数百μｍとしたが、これらの厚さは用途に応じて変化
させることができる。
の応用例として熱磁気プリンタについて説明している
が、熱及び光の照射によって記録を行う他の記録装置に
も応用することができる。また、垂直磁化膜の全膜厚を
０．１〜数十μｍとし、ステンレス基板８の板厚を数十
〜数百μｍとしたが、これらの厚さは用途に応じて変化
させることができる。
【００３２】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形すること
が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するもの
ではない。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形すること
が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するもの
ではない。
【００３３】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、基板の上にＣｏ酸化膜及び垂直磁化膜として人工
格子膜を積層して磁気記録媒体を形成している。上記人
工格子膜は、Ｃｏ層とＰｔ層（又はＰｄ層）を交互に積
層したＣｏ／Ｐｔ人工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子
膜）で形成され、上記Ｃｏ酸化膜及びＣｏ／Ｐｔ人工格
子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）を積層した後に真空
中で熱処理が施される。
れば、基板の上にＣｏ酸化膜及び垂直磁化膜として人工
格子膜を積層して磁気記録媒体を形成している。上記人
工格子膜は、Ｃｏ層とＰｔ層（又はＰｄ層）を交互に積
層したＣｏ／Ｐｔ人工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子
膜）で形成され、上記Ｃｏ酸化膜及びＣｏ／Ｐｔ人工格
子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）を積層した後に真空
中で熱処理が施される。
【００３４】したがって、磁気記録媒体はキュリー温度
が低く、残留磁束密度が十分に高く、かつ、保磁力が大
きくなり、垂直記録を行う場合の磁気記録密度を高くす
ることができる。そして、例えば熱磁気プリンタにこれ
を用いた場合、高解像度を得ることができ、消費電力を
低減することもできる。
が低く、残留磁束密度が十分に高く、かつ、保磁力が大
きくなり、垂直記録を行う場合の磁気記録密度を高くす
ることができる。そして、例えば熱磁気プリンタにこれ
を用いた場合、高解像度を得ることができ、消費電力を
低減することもできる。
【図１】本発明の磁気記録媒体を示す図である。
【図２】従来の熱磁気プリンタの印刷プロセス図であ
る。
る。
【図３】本発明の第１の実施例を示す磁気記録媒体の断
面図である。
面図である。
【図４】本発明の第１の実施例を示す磁気記録媒体にお
ける人工格子膜の熱処理前後の磁化曲線を示す図であ
る。
ける人工格子膜の熱処理前後の磁化曲線を示す図であ
る。
【図５】第１の実施例における熱処理温度による残留磁
束密度及び保持力の変化を示す図である。
束密度及び保持力の変化を示す図である。
【図６】第１の実施例における磁気記録媒体の熱処理時
間による残留磁束密度の変化を示す図である。
間による残留磁束密度の変化を示す図である。
【図７】第１の実施例におけるＣｏ酸化膜の膜厚を変え
た場合の磁気特性の変化を示す図である。
た場合の磁気特性の変化を示す図である。
【図８】本発明の第２の実施例を示す磁気記録媒体の断
面図である。
面図である。
【図９】本発明の第２の実施例を示す磁気記録媒体にお
ける人工格子膜の熱処理前後の磁化曲線を示す図であ
る。
ける人工格子膜の熱処理前後の磁化曲線を示す図であ
る。
【図１０】第２の実施例における熱処理温度による残留
磁束密度及び保持力の変化を示す図である。
磁束密度及び保持力の変化を示す図である。
【図１１】第２の実施例における磁気記録媒体の熱処理
時間による残留磁束密度の変化を示す図である。
時間による残留磁束密度の変化を示す図である。
【図１２】第２の実施例におけるＣｏ酸化膜の膜厚を変
えた場合の磁気特性の変化を示す図である。
えた場合の磁気特性の変化を示す図である。
８ ステンレス基板（基板） ９ Ｃｏ酸化膜 １０ Ｃｏ／Ｐｔ人工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工格
子膜） １１ 磁気記録媒体 １２ 記録用磁気ドラム芯材
子膜） １１ 磁気記録媒体 １２ 記録用磁気ドラム芯材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 政信 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電気 工業株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 （ａ）基板と、（ｂ）該基板上に積層さ
れたＣｏ酸化膜と、（ｃ）該Ｃｏ酸化膜の上に積層され
るとともに、人工格子膜で形成される垂直磁化膜とから
成るとともに、（ｄ）真空中において熱処理が施され、
（ｅ）上記人工格子膜が、Ｃｏ層とＰｔ層を交互に積層
したＣｏ／Ｐｔ人工格子膜であることを特徴とする磁気
記録媒体。 - 【請求項２】 （ａ）基板と、（ｂ）該基板上に積層さ
れたＣｏ酸化膜と、（ｃ）該Ｃｏ酸化膜の上に積層され
るとともに、人工格子膜で形成される垂直磁化膜とから
成るとともに、（ｄ）真空中において熱処理が施され、
（ｅ）上記人工格子膜が、Ｃｏ層とＰｄ層を交互に積層
したＣｏ／Ｐｄ人工格子膜であることを特徴とする磁気
記録媒体。 - 【請求項３】 上記Ｃｏ酸化膜は、膜厚Ｄが ０．０１μｍ≦Ｄ≦１０μｍ である請求項１又は２記載の磁気記録媒体。
- 【請求項４】 上記人工格子膜は、Ｃｏ層厚ｄCoが １Å≦ｄCo≦１５Å であり、Ｐｔ層厚ｄPtが ２Å≦ｄPt≦３０Å である請求項１記載の磁気記録媒体。
- 【請求項５】 上記人工格子膜は、Ｃｏ層厚ｄCoが １Å≦ｄCo≦１５Å であり、Ｐｄ層厚ｄPdが ２Å≦ｄPd≦３０Å である請求項２記載の磁気記録媒体。
- 【請求項６】 上記熱処理の温度Ｔが ２００°Ｃ≦Ｔ≦４５０°Ｃ であり、かつ、熱処理時間が１分以上である請求項１又
は２記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3314592A JPH05150537A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3314592A JPH05150537A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05150537A true JPH05150537A (ja) | 1993-06-18 |
Family
ID=18055155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3314592A Withdrawn JPH05150537A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05150537A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5170102A (en) * | 1989-04-14 | 1992-12-08 | U.S. Philips Corporation | Picture display device |
-
1991
- 1991-11-28 JP JP3314592A patent/JPH05150537A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5170102A (en) * | 1989-04-14 | 1992-12-08 | U.S. Philips Corporation | Picture display device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990204 |