JPH0487154U - - Google Patents
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- JPH0487154U JPH0487154U JP13031990U JP13031990U JPH0487154U JP H0487154 U JPH0487154 U JP H0487154U JP 13031990 U JP13031990 U JP 13031990U JP 13031990 U JP13031990 U JP 13031990U JP H0487154 U JPH0487154 U JP H0487154U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- revolver
- stand
- rotation
- revolver stand
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 2
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例によるイオン発生装
置の概略構成図、第2図は同装置におけるレボル
バー台の平面図である。 2……真空チエンバ、3……イオン源位置合わ
せ機構、4……レボルバー台、5……回転導入機
、6……液体金属イオン源、7……ナイフエツジ
、8……引出し電極、9……イオン源発射位置、
10,11……端子、12……直線導入機、13
……引出し電圧用電源、14……加熱用電源。
置の概略構成図、第2図は同装置におけるレボル
バー台の平面図である。 2……真空チエンバ、3……イオン源位置合わ
せ機構、4……レボルバー台、5……回転導入機
、6……液体金属イオン源、7……ナイフエツジ
、8……引出し電極、9……イオン源発射位置、
10,11……端子、12……直線導入機、13
……引出し電圧用電源、14……加熱用電源。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 複数の液体金属イオン源が円周上に装着される
レボルバー台と、このレボルバー台をチエンバ内
で回転させる回転導入機と、イオン引出し電極と
を備え、 前記レボルバー台の回転により所望のイオン源
をイオンビーム発射位置に移動可能としたことを
特徴とするイオン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13031990U JPH0487154U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13031990U JPH0487154U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0487154U true JPH0487154U (ja) | 1992-07-29 |
Family
ID=31877672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13031990U Pending JPH0487154U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0487154U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016110923A (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-20 | 株式会社東芝 | イオン加速装置及び粒子線治療装置 |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP13031990U patent/JPH0487154U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016110923A (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-20 | 株式会社東芝 | イオン加速装置及び粒子線治療装置 |
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