JPH0166744U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２
図は他の実施例を示す図、第３図は従来例を示す
図、第４図は電離真空計の原理を示す説明図であ
る。 ３……プラズマ室、５……ウエネルト電極（イ
オンコレクタ電極）、６……イオン引出し電極、
１１……フイラメント、１３……フイラメント電
源、１４……アノード電源、１５……イオン引出
し電源（イオンコレクタ電源）、２０……電流計
。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. アノードとフイラメントからなるプラズマ室、
   このプラズマ室の近傍に配置されたウエネルト電
   極およびイオン引出し電極からなり、前記フイラ
   メントに接続されるフイラメント電源、前記アノ
   ードに正側が前記ウエネルト電極に負側が接続さ
   れたアノード電源、前記イオン引出し電極に負側
   が前記アノード電源の負側に正側が接続されたイ
   オン引出し電源を有するイオン発生装置において
   、前記プラズマ室内の圧力を測定する際は、前記
   アノード電極の負側をグランドに、前記イオン引
   出し電源の負側を前記ウエネルト電極側に、正側
   を電流計を介してグランド側に接続するようにし
   たことを特徴とするイオン発生装置。