JPH0487187A - 有機エレクトロルミネッセンス素子 - Google Patents

有機エレクトロルミネッセンス素子

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JPH0487187A
JPH0487187A JP2197868A JP19786890A JPH0487187A JP H0487187 A JPH0487187 A JP H0487187A JP 2197868 A JP2197868 A JP 2197868A JP 19786890 A JP19786890 A JP 19786890A JP H0487187 A JPH0487187 A JP H0487187A
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JP
Japan
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organic
film electrode
emitting layer
thickness
transparent conductive
Prior art date
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Pending
Application number
JP2197868A
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English (en)
Inventor
Yasushi Mori
寧 森
Yasushi Kawada
靖 川田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は有機エレクトロルミネッセンス素子に関する。
(従来の技術) 電界発光を利用したエレクトロルミネッセンス(以下、
ELと略す)素子は、薄型平面デイスプレィ素子、液晶
デイスプレィの背面光源、平面光源などに用いられてい
る。現在、実用に供されているEL素子は、蛍光体を分
散させた発光層に交流電圧を印加して発光させる、いわ
ゆる分散型EL素子である。分散型EL素子では、数1
0V110kHz以上の交流電圧を印加する必要がある
ため、その駆動電源が、EL素子か組み込まれる小型ノ
く一ソナルコンピュータなどの電子回路の雑音源となり
、機器の本来の機能を阻害する原因となっている。
近年、発光層材料として有機化合物を用い、10V程度
の低い直流電圧で駆動でき、従来の分散型EL素子と同
等の輝度を有する有機EL素子か開発され、分散型EL
素子の欠点を克服できる新たな素子として注目を集めて
いる( C,W、Tang andS、A、 VanS
Iyke、 Appl 、Phys、Lett、 、 
vol 、 51 、 pp、 913−915(19
87);特開昭63−264629号公報)。有機EL
素子においては、発光層に用いる有機化合物を変化させ
ることにより、発光の色調を変化させることができる。
特に、分散型EL素子では困難であった、青色の発光を
得ることも容易である。このように種々の利点を有する
ため、有機EL素子はフルカラー平面デイスプレー素子
として非常に有望である。
しかし、有機EL素子は、寿命が短いという重大な欠点
を持っている。現在のところ、連続的に駆動させて初期
の輝度を維持できる時間は、数ioo時間が限度である
。
(発明が解決しようとする課題) 本発明の目的は、寿命の長い有機EL素子を提供するこ
とにある。
[発明の構成] (課題を解決するための手段と作用) 本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子は、透明基
板上に形成された透明導電H電極と、金属膜電極と、こ
れらの電極間に挟持された有機化合物からなる発光層と
を有し、前記1対の電極間に電場を印加して前記発光層
を発光させるエレクトロルミネッセンス素子において、
前記透明導電膜電極の前記発光層と接触する面の平坦度
が、前記発光層の膜厚の1/10〜1/100の範囲で
あることを特徴とするものである。
本発明における有機EL素子は、透明基板上に、透明導
電膜電極、発光層、及び金属膜電極か順次形成された構
造を有している。透明基板としては例えばガラス基板が
用いられる。透明導電膜電極の材料としては例えばイン
ジウム・スズ酸化物(ITO)か用いられる。発光層の
材料としては各種有機化合物が用いられる。発光層の構
成は、正孔輸送層と電子輸送層(狭義の発光層)とを積
層したものか一般的である。本発明における発光層の厚
さとは、発光に関与する有機化合物の層の厚さを意味す
る。したがって、正孔輸送層と電子輸送層とを積層した
場合には、両者の合計の厚さである。金属膜電極の材料
としては各種の金属、合金が用いられる。透明導電膜電
極、発光層、及び金属膜電極は、スパッタリング法や真
空蒸着法(抵抗加熱方式、電子ビーム加熱方式)などの
製膜法により、形成される。
このような構造を有する有機EL素子は、1対の電極か
らそれぞれ注入された電子と正孔とが発光層で再結合す
ることによる発光現象を利用した素子であり、動作的に
は発光ダイオードと類似している。有機EL素子におい
ては、低電圧駆動を実現するために、発光層の膜厚を数
100nm以下にすることが要求される。
本発明において、透明導電膜電極の表面の平坦度は、基
準長さを0.25mmとして測定された十点平均粗さ(
JIS BO601)の値を意味する。透明導電膜電極
の発光層と接触する面の平坦度を、発光層の膜厚の1/
10〜1/100の範囲としたのは、以下のような理由
による。
まず、本発明者らは、有機EL素子の劣化する原因につ
いて鋭意検討した結果、以下のような結論に達した。有
機EL素子では、電極から電子・正孔が注入された後に
、発光性再結合が生じるほかに、非発光性再結合が生じ
て発光層中に熱が発生ずる。この熱は、有機発光層材料
の結晶化を誘起する。このため、結晶粒の成長により、
発光層中で空孔など欠陥か発生したり、金属電極か破損
し、これらが有機EL素子を劣化させる原因となる。
有機EL素子を長寿命化するためには、有機発光層材料
として、結晶化に要する活性化エネルギーの高い材料を
選択することが考えられる。しかし、現在のところ、結
晶化に要する活性化エネルギーを定量化できる手段かな
いため、最適な材料を選択することは困難である。
本発明者らは、更に結晶化の初期過程を詳細に検討した
結果、有機発光層と接する透明導電膜電極の凹凸部分が
結晶化の核になることを見出した。
そして、この凹凸を平坦化することにより、結晶化の核
が減少し、結晶粒成長に伴う有機EL素子の劣化を抑制
できることを見出した。一方、−足表面積のEL素子か
らの発光強度を最大にするためには、電極からより多数
の電子・正孔を注入すればよい。そのためには、発光層
と電極との接触面積をより大きくすればよい。
電極の平坦化により結晶化の核を減少させることと、発
光層と電極との接触面積を増大させることとは、相反す
る素子構造を要求するものである。
本発明者らは、素子全体の性能を最適化する観点から種
々実験し、発光層の膜厚に対する、透明導電膜電極の発
光層と接触する面の平坦度の範囲を求めた。すなわち、
平坦度が発光層の膜厚の1/10を超えると素子の劣化
か進行して寿命か短くなり、1/100未満では大きな
発光強度を得ることができない。そして、透明導電膜電
極の発光層と接触する面の平坦度を、発光層の膜厚の1
/10〜1/100の範囲にすれば、長寿命及び発光強
度の両者を満足できる。透明導電膜電極の平坦度は、例
えば製膜後に研磨することにより調整することができる
。
(実施例) 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第1図に本実施例で作製した直流駆動有機EL素子の構
造を示す。透明基板1上に、透明導電膜電極2、正孔輸
送層3、電子輸送層4、金属膜電極5が順次積層されて
ELナセル構成されている。
本実施例においては、ELナセル以下のようにして作製
された。
透明基板としてガラス基板を用い、このガラス基板を有
機溶剤により脱脂洗浄しておいた。透明導電膜電極材料
としてインジウム・スズ酸化物(ITO)を用いた。ガ
ラス基板上に、スパッタリング法により、平均膜厚30
0n+1のITO薄膜を形成した。
ITO薄膜を製膜後、研磨粒子としてカーボランダムを
用い、表面粗さ計による一j定を行い、表面の平坦度が
2Or+m以下、2nm以上となるように研磨した(実
施例1〜5)。比較のために、研磨処理を行わなかった
もの(比較例1)、及び平坦度をlnm未満にしたもの
(比較例2)を作製した。
表面の平坦度は、基準長さを0 、25 +amとして
測定した十点平均粗さの値である(JIS BO601
)。更に、ランプ加熱により、真空中、300°Cて、
30分間熱処理して、膜抵抗を50Ω/口に調整した。
正孔輸送層材料としては、下記1式で表わされるヒドラ
ゾン化合物を用いた。ITO電極上に、抵抗加熱真空蒸
着法により、膜厚100nmのヒドラゾン化合物の薄膜
を形成した。蒸着時のホード温度は、予備実験により決
定された、ヒドラゾン化合物の熱分解が生じない値を採
用した。また、水晶振動子式膜厚モニターにより監視し
なから、蒸着ボートに通電する時間を調整することによ
り、ヒドラゾン化合物薄膜の膜厚を制御した。
電子輸送層材料としては、下記り式で表わされるトリス
(8−キノリツール)アルミニウム(以下、八ρ1.と
略す)を用いた。正孔輸送層上に、前記と同縁に、抵抗
加熱真空蒸着法により、膜厚100nmのAgq3の薄
膜を形成した。
金属膜電極材料としては、Mg−Ag合金(Mg/Ag
−1/10)を使用した。この合金のペレットを蒸発源
とし、所定形状のマスクを用いて電子ビーム蒸着法によ
り、膜厚300r+m、面積4×4關2の薄膜電極を形
成した。この際、蒸発源を収容したルツボには、アルミ
製のカバーを設け、電子源であるフィラメントからの輻
射熱か有機膜に達するのを防止した。
有機膜及び金属膜電極は、スパッタ槽、抵抗加熱蒸着槽
、電子ビーム蒸着槽を連結した製膜装置を用いて形成し
、一連の工程の間に、素子を外気に触れさせることなく
各真空槽を移動させた。このように素子を外気にさらさ
ないようにすれば、有機層の酸化、膜へのゴミの付着な
ど、素子特性を劣化させる要因を除去する点で有利であ
る。
以上のようにして作製された各ELセルについて、気温
25℃、相対湿度50%において、ITO電極側を正、
金属電極側を負として電圧を印加し、発光特性を測定し
た。測定内容は、IOVを印加した発光時の電流、輝度
計により測定した電圧印加直後の発光輝度、及び発光輝
度が通電開始時の半分になる時間で定義される寿命であ
る。これらの結果を表1に示す。
表     1 [発明の効果コ 以上詳述したように本発明によれば、輝度か高く、かつ
寿命の長い有機エレクトロルミt・ノセンス素子を得る
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例における有機エレクトロルミネ
ッセンス素子の構成を示す図である。 1・・・透明基板、2・・・透明導電膜電極、3・・正
孔輸送層、4・・・電子輸送層、5・・金属膜電極。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  透明基板上に形成された透明導電膜電極と、金属膜電
    極と、これらの電極間に挟持された有機化合物からなる
    発光層とを有し、前記1対の電極間に電場を印加して前
    記発光層を発光させるエレクトロルミネッセンス素子に
    おいて、前記透明導電膜電極の前記発光層と接触する面
    の平坦度が、前記発光層の膜厚の1/10〜1/100
    の範囲であることを特徴とする有機エレクトロルミネッ
    センス素子。
JP2197868A 1990-07-27 1990-07-27 有機エレクトロルミネッセンス素子 Pending JPH0487187A (ja)

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