JPH0487298A - 共振型インバータ式ｘ線装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、インバータを用いてＸ線管に高電圧を印加す
るインバータ式Ｘ線高電圧装置に関し、特にコンデンサ
とインダクタンスの共振を利用してＸ線管に高電圧を印
加する共振型インバータ式Ｘ線高電圧装置の管電圧の立
ち上げ方法に関する。

〔従来の技術〕

従来の共振型インバータ式Ｘ線高電圧装置は、直流電源
電圧を高周波交流に変換する共振型インバータと、この
共振型インバータの出力電圧を昇圧する高圧変圧器と、
この高圧変圧器の出力電圧を整流する整流回路と、この
整流回路の出力電圧が印加されるＸ線管とを有して成っ
ていた。このようなＸ線高電圧装置の小形、軽量化を図
るには、上記の高圧変圧器を小形、軽量のものとするこ
とが最も有効である。そして、その高圧変圧器は、それ
への入力電圧の周波数を高くすることによって小形、軽
量化を図ることができる。

そして、このような高圧変圧器への入力電圧を高周波化
する手段として、従来、米国特許第４２２５７８８号明
細書に開示されている直列共振型インバータを用いたも
のがある。これは、高圧変圧器の漏れインダクタンスと
、こ九に直列に接続された共振用コンデンサとの共振を
利用したもので、インバータの周波数を制御して負荷と
してのＸ線管に供給する電圧を制御するようになってい
る。

また、特開昭６３−１．９０５５６号公報に記載されて
いるように、共振型インバータの対向する二組のスイッ
チング素子のオン、オフの位相をずらすことによってイ
ンバータ電流を遮断し、出力電圧を制御するようにした
ものもある。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記した米国特許第４２２５７８８号公報に記載された
周波数制御方式の共振型インバータを用いたＸ線装置、
及び特開昭６３−１９０５５６号公報に記載された位相
差制御方式の共振型インバータを用いたＸ線装置では、
管電圧の立上げを次のように行うために改善すべき点を
有していた。

（１）周波数制御方式のものでは、管電圧を立ち上げる
際に、インバータの動作周波数を例えば共振回路の共振
周波数以下の領域で低い周波数から高い周波数へと上昇
させる。ところが、インバータの動作周波数が低いとこ
ろでは、高圧変圧器へ印加される電圧の時間積分値（印
加電圧時間積）が大きくなる。そのため変圧器の鉄心の
断面積を大きくする必要が生じ、結果として変圧器の小
型化が制限されるという間層があった。

（２）位相差制御方式のものでは、変圧器を小型化する
ため、インバータの動作周波数を所定の高い周波数とし
ておいて、位相差を大きな位相差から小さな位相差へと
変更する。しかしながら、大きな位相差で対向する２つ
のスイッチング素子をオン・オフすると、インバータ電
流が大きな領域でスイッチング素子がオン・オフするこ
ととなる。このため、スイッチング損失が太きくなり、
効率が悪くなったり、スイッチング素子は定格の大きな
高価なものを使用しなければならないという問題が生ず
る。

そこで本発明は、上記のような問題を解決し、高圧変圧
器の小型・軽量化を計るとともに、効率の良いかつ低コ
ストの共振型インバータ式ｘｉ装置を提供することを目
的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために本発明は、直流電源と、この
直流電源の出力電圧を高周波交流に変換する共振型イン
バータと、この共振型インバータの出力電圧を昇圧する
高圧変圧器と、この高圧変圧器の出力電圧を整流する整
流回路と、この整流回路の出力電圧が印加されるＸ線管
とを備えた共振型インバータ式Ｘ線装置において、前記
共振型インバータの動作開始時に設定管電圧に対応して
、かつ時間の経過とともに増大する管電圧立上げ信号を
発生する手段と、前記管電圧立上げ信号に対応して前記
共振型インバータの動作周波数を時間の経過ととともに
高くする周波数信号を発生する手段と、前記管電圧立上
げ信号と前記周波数信号とに対応して前記共振型インバ
ータのスイッチング素子の動作位相差を時間の経過とと
もに小さくする位相差信号を発生する手段と、前記周波
数信号と前記位相差信号とに対応したインバータ駆動信
号を発生する手段とを設けたものである。

〔作用〕

Ｘ線放射に先立って、Ｘ線装置では管電圧が設定される
。管電圧が設定されると、その信号が管電圧立上げ信号
発生手段へ入力される。管電圧立上げ信号発生手段は設
定管電圧に対応して管電圧を徐々に設定値まで立上げる
ために、時間の経過に伴って徐々に増大する管電圧立上
げ信号を発生する。この管電圧立上げ信号は周波数信号
発生手段と位相差信号発生手段との双方へ出力される。

周波数信号発生手段では、徐々に増大する管電圧立上げ
信号に基づいてインバータの動作周波数を次第に高くな
るように設定する周波数信号を生成する。一方５位相差
信号発生手段は管電圧立上げ信号と周波数信号とに基づ
いて、インバータのスイツチング素子の動作位相差を設
定する位相差信号を生成する。この位相差信号は管電圧
立上げ信号と周波数信号との時間変化に対応し、時間の
経過とともに位相差が小さくなる。

そして、周波数信号と位相差信号とはインバータのスイ
ッチング素子の駆動信号発生手段へ入力され、駆動信号
発生手段からスイッチング素子の駆動パルスが出力され
る。この駆動パルスは時間の経過とともに、周波数が増
大すると同時に位相差が小さくなる。

インバータのスイッチング素子がこの駆動パルスによっ
て駆動されると、管電圧は時間の経過に伴って次第に設
定値と上昇させられる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図乃至第８図を用いて説
明する。第１図は本発明による共振型インバータ式Ｘ線
装置の主回路構成を示している。

第１図において、１は直流電源、例えば商用電源を整流
して直流電圧を出力するもの、又はバッテリーから成る
。２はインバータで前記直流電源１の出力を高周波交流
に変換するもので、トランジスタＴ　ｒｌ＋　Ｔｒ２．
Ｔｒ３＋　ＴｒｉとそれらのトランジスタＴｒｌ〜Ｔ　
ｒ　４の各々に逆並列接続されたダイオードＤ１．　Ｄ
ｚｓ　Ｄａ、　Ｄ番とでフルブリッジ型インバータを構
成したもの、３はインバータ２の出力電圧を昇圧する高
圧変圧器、４は整流回路で高圧変圧器３の出力電圧を全
波整流するもの、５は整流回路４の出力電圧が静電容量
Ｃ２を有する高圧ケーブル（図示省略）を介して印加さ
れるＸ線を放射するＸ線管である。なお、高圧変圧器３
は一次巻線と二次巻線とを有し、−次巻線に直列に共振
用コンデンサＣ１が接続され、これらの−次巻線と共振
用コンデンサＣ１との接続体がインバータ２の出力側に
接続されている。６は本装置の操作卓、７は管電圧立上
げ信号発生回路、８は周波数信号発生回路、９は位相差
信号発生回路、１０はパルス分配回路、１１はトランジ
スタＴ　ｒ　１〜Ｔｒｉのベース駆動回路である。

本発明は、第１図に示すように、操作卓６からの管電圧
設定信号Ｖ　ｓ　ｅ　ｔ　を管電圧立上げ信号発生回路
７へ入力して、時間の経過に伴ってステップ状に増大す
る信号■、を作成し、この信号■１を周波数信号発生回
路８と位相差信号発生回路９とへ入力し、周波数信号発
生回路８ではインバータ２の動作周波数を漸次増大させ
るパルスＰｔ　を発生させるとともに、位相差信号発生
回路９では管電圧立上げ信号発生回路７の出力信号■１
と前記周波数信号発生回路８の出力パルスＰｉとから管
電圧設定値に対応して位相差のずれがだんだん少なくな
るパルスＰφを作成し、これらのパルスＰｔ、Ｐφから
インバータ２のトランジスタＴ　ｒ　１〜Ｔｒａを駆動
するパルスを作成するものである。

以下、第２図と第４図、及び第５図と第７図により周波
数信号の発生方法、及び位相差信号の発生方法を説明す
る。

第２図は周波数信号発生回路８の一構成例を示す図、第
４図はその動作波形図である。なお、第３図は共振型イ
ンバータＸ線装置のインバータ動作周波数と管電圧の関
係を示している。第２図において、８１は鋸歯状波発生
回路、８２は演算増幅器、８３は比較器、８４は分周器
である。この周波数信号発生回路８は、入力電圧Ｖ＋、
即ち操作卓６から出力される管電圧設定信号Ｖ　ｓ　ｅ
　ｔに対応して管電圧立上げ信号発生回路７が出力する
信号■エ　を入力し、この入力信号■１に対し、第３図
に示すような関係で周波数信号Ｐｚ　を出力させるもの
である。演算増幅器８２は予め所定値に定められた定電
圧信号Ｖｃ　と前記信号■１との差信号（Ｖｃ　　Ｖｌ
）を出力し、一方、鋸歯状波発生回路８１は第４図に示
す波形の信号■。を出力する。

これらの信号（ＶＣ−Ｖｌ）とｖｎとが比較器８３へ入
力される。比較器８３は（ＶＣ−Ｖｌ）とＶｎとを比較
し信号Ｐｃ　を出力する。信号Ｐｃは（ＶＣ−Ｖｌ）と
Ｖｎとが一致したときに０”となり、それ以外のときは
４１１　＋１となる。そしてこの″○″呂力で鋸歯状波
発生回路８１はリセツトされるようになっている。比較
器８３の出力信号Ｐｃは分周器８４へ入力され分周され
、周波数信号Ｐ、となってパルス分配回路１０へ出力さ
れる。また、信号Ｐｃは管電圧立上げ信号発生回路７へ
出力される。管電圧立」二げ信号発生回路７はＰｃの２
パルス毎に順次増大するｖＩ　を出力する。

次に、位相差信号発生回路９について説明する。

位相差信号発生回路９は、−例として第５図に示すよう
に、前記周波数信号Ｐ、を入力し、第７図に示す鋸歯状
波信号ＶＳ　を出力する鋸歯状波発生回路（２）９１と
、管電圧立上げ信号を反転する反転器９２と、この鋸歯
状波信号Ｖｓ　と反転器９２の出力信号Ｖ　１’　　と
を比較し、Ｖ　ｓ　＞　Ｖ　ｔ　’の間に位相差信号Ｐ
φを出力する比較器（２）９３とから構成されている。

第７図に示すようにＰ’ｚの立上りとＰφの立上りとの
間を位相差φとすると、位相差φは時間の経過とともに
小さくなる。この位相差信号Ｐφはパルス分配回路１０
へ出力される。

次に、第８図を交えて第１図に示すインバータ式Ｘ線装
置の管電圧の立上げ動作を説明する。

操作者が操作卓６で管電圧を設定しく勿論、Ｘ線装置で
あるので管電流、Ｘ線放射時間も設定される）、Ｘ線放
射指令を入力すると、管電圧設定信号Ｖ　ｓ　ｅ　＋　
が操作卓６より管電圧立上げ信号発生回路７へ出力され
る。すると管電圧立上げ信号発生回路７は第８図（ｃ）
に示すような時間とともにステップ状に増大する管電圧
立上げ信号Ｖ１　を出力する。この管電圧立上げ信号ｖ
１は周波数信号発生回路８及び位相差信号発生回路９へ
入力される。周波数信号発生回路８は第４図に示すよう
に、時間とともにステップ状に増大する信号Ｖ。

を基に、定電圧信号Ｖｃ　とｖｌ　との差（ｖｃ−ｖｌ
）と、鋸歯状波信号■。とからパルス状の周波数信号Ｐ
ｔ　を作成する。このＰ、は、時間とともにステップ状
に増大するｖｌに対応して、時間とともに周波数が増加
する。そして、このＰｔはパルス分配回路１０と、位相
差信号発生回路９へ入力される。位相差信号発生回路９
はＶ、を反転したｖｉ′　　と、Ｐｉを基に作成された
鋸歯状波信号Ｖｓとを比較して位相差信号Ｐφを作成す
る。この位相差信号Ｐφはパルス分配回路１０へ出力さ
れる。パルス分配回路１０は周波数信号Ｐ１と位相差信
号Ｐφとを入力し、第８図に示す（ｆ）。

（ｇ）、（ｈ）、（ｉ）のパルス信号を作成し出力する
。パルス信号（ｆ）〜（ｉ）のうち（ｆ）と（ｈ）及び
（ｇ）と（ｊ）は互いにオンとオフとが逆に出力される
ようになっており、パルス分配回路１０は第８図の（ｆ
）、（ｇ）、（ｈ）、（ｉ）に示すパルス信号をそれぞ
れベース駆動回路１１ａ〜１　］、　ｄへ出力する。ベ
ース駆動回路１１ａ〜ｌｌｄはパルス分配回路１０の出
力信号の各々を増幅して、インバータ２のトランジスタ
Ｔ　ｒ　１〜Ｔｒ４のベースへ供給して、　トランジス
タＴｒｘ−Ｔｒ４を駆動する。

次に、インバータ２の動作を説明する。周波数信号Ｐｔ
　が１１１　Ｉ＋となった時刻ｔ１にベース駆動回路１
１よりトランジスタＴｒｌをオンする（ｆ）が出力され
、トランジスタＴ　ｒ　１がオンする。次いで、位相差
信号Ｐφが１１１　Ｉ＋となった時刻ｔ２にベース駆動
回路１１はトランジスタＴｒ４をオンする（ｇ）を出力
する。これによってトランジスタＴｒｉとＴｒ４の双方
がオンし、ＴｒｘとＴｒ４を含んで形成される共振回路
にコンデンサとインダクタンスで定まる振動周期の電流
（共振電流）が流れる。

この振動周期を定めるコンデンサとインダクタンスのう
ち、コンデンサは、高圧変圧器３の一次巻線に直列接続
された共振用コンデンサＣ１と、高圧変圧器３の二次巻
線の層間に存在する浮遊容量と、整流回路４からｘｉ管
５に至る高圧ケーブルの浮遊容量Ｃ２とであり、インダ
クタンスは高圧変圧器３の漏れインダクタンス（図示略
）と配線のインダクタンスとである。

周波数信号Ｐｆは時刻ｔ３で（ｌ　ＯＩ＋となり、これ
によりトランジスタＴ　ｒ　１がオフし、トランジスタ
Ｔ　ｒ　ｚ→共共振コンデンサＣ工高高圧変圧器一次巻
線→トランジスタＴ目の回路を流れていた共振電流が遮
断され、一方トランジスタＴｒ２がオンする。そして時
刻ｔ８を経過すると、トランジスタＴ目とＴｒｚが同時
にオンしているが、トランジスタＴ　ｒ　ｓとＴｒｘが
オフしているので、直流電源１からは電流が流れない。

時刻ｔ４でパルス分配回路１０からの信号でベース駆動
回路１１はトランジスタＴｒ４をオフするとともに、ト
ランジスタＴｒ３をオンする。すると、トランジスタＴ
ｒｚとＴ　ｒ　３とを含んで形成される共振回路に共振
電流が流れる。

時刻ｔ５でインバータの第１動作周期が終了し、周波数
信号Ｐｔは再びｔＬ　Ｉ　ＩＴとなる。この時、トラン
ジスタＴｒ２はオフし、またトランジスタＴ　ｒ　１が
オンし、次いでインバータは第２動作周期へ入る。イン
バータの第２動作周期に入った時刻ｔ。

において、位相差信号Ｐφが１１１　ＩＴとなる。この
時、トランジスタＴｒ２はオフし、トランジスタＴｒｉ
がオンする。以下、時刻ｔ７においてＰ□が１１　ＣＬ
ＩＴ　、　Ｐφがｔｒ　Ｏ″′となり、Ｔ　ｒ　ｓがオ
フし、Ｔｒ２がオンする。時刻ｔ８において、Ｔｒ４が
オフし、Ｔ　ｒ　３がオンし、時刻ｔ８でインバータの
第２動作周期が終了する。

そして、以下、第３動作周期、・・・、第ｎ動作周期と
いう具合にインバータが動作する。そして、第ｎ動作周
期が終了した時刻ｔＮにおいて管電圧立上げ信号Ｖｉ　
は定常値となり、これ以降インバータは管電圧がＶｓｅ
ｔ　となる周波数、位相差（第８図では位相差は零とし
である。）で繰り返し動作する。

以上の管電圧立上げ時のインバータの動作周期を順次、
Ｔ□、　Ｔｅｌ　Ｔ３１・・・、Ｔｎとすると、これら
はＴ１＞Ｔｚ＞Ｔ３＞−＞Ｔｎとなり、また位相差を順
次、φ工、φ２．φ３．・・・、φ。とすると、それら
はφ１〉φ２〉φ３〉・・〉φ、となる。

このように共振型インバータの周波数と位相差とを上記
の如く制御することにより高圧変圧器３の１次巻線に生
じた共振電流から高圧変圧器３の励磁電流と２次巻線の
浮遊容量に流れる電流とを減じた高圧電流が整流回路４
で整流された高圧ケーブルの浮遊容量で平滑されてＸ線
管５に印加され、Ｘ線管５からＸ線が放射される。そし
て、上記の如くインバータを制御することにより、Ｘ線
管に印加される電圧は次第に増加するように制御される
。

以上説明したように本実施例によれば、設定管電圧に対
して、共振型インバータの動作周波数を徐々に増加する
とともに１位相差を徐々に小さくして管電圧を立上げる
ようにしたので、従来袋打のように、動作周波数のみの
制御法における低周波数時の高圧変圧器の印加電圧時間
積の増大による鉄心の大型化、及び位相差のみの制御法
におけるインバータ電流（共振電流）の大きいところで
のインバータスイッチング素子のオン／オフによる損失
の増大との双方の問題を回避することができる。

次に、第９図により本発明の第２の実施例を説明する。

この第２の実施例は、実際の管電圧を検出して、その検
出値を管電圧立上げ信号と比較し、その差を次に出力す
る管電圧立上げ信号に加算して７その補正された管電圧
立上げ信号を周波数信号発生回路及び位相差信号発生回
路へ出力し、管電圧を正確に立上げ設定可能としたもの
である。

第９図の構成において、１２は実際にＸ線管５へ印加さ
れた電圧を検出する。例えば分圧器より成る管電圧検出
器、１３は管電圧検出器１２の出力信号をインバータ２
の制御系で用いる信号に対応した信号に変換する信号変
換回路、１４は誤差増幅器で管電圧立上げ信号発生回路
７のある回の出力信号とそれによる信号変換回路１３の
出力信号との誤差を求め、次回の管電圧立上げ信号に加
算して出力するものである。その他の構成は第１図と同
様であるので説明は省略し、次に第９図の構成装置の動
作を説明する。

インバータ２の第に動作周期において、管電圧立上げ信
号としてＶｌｋが周波数信号発生回路８及び位相差信号
発生回路９へ出力されると、周波数信号発生回路８から
周波数信号Ｐ１ｋが、そして位相差信号発生回路９から
Ｐφ３が出力される。インバータ２は前記Ｐｘｋ及びＰ
φｋに基づいてパルス分配回路から出力される駆動パル
ス群によってトランジスタＴ目〜Ｔｒ４が駆動される。

これによって生じた共振電流によってＸ線管５に管電圧
が印加される。この管電圧は管電圧検出器１２によって
検出され、信号変換回路１３へ出力される。信号変換回
路１３は入力した信号をインバータ制御系での信号に対
応するように変換してそれを誤差増幅器１４へ出力する
。誤差増幅器１４は管電圧立上げ信号ＶＩｋと、このＶ
ＩｋによってＸ線管５に印加された管電圧の検出信号Ｖ
Ｘｋとの差αを演算する。

次のインバータ２の動作周期、即ち第（ｋ＋１）動作周
期となると、管電圧立上げ信号発生回路７はＶｌ（ｋ＋
１１を出力する。このＶ　ｔ（ｍ＋ｔ＋が誤差増幅器１
４へ入力されると、誤差増幅器１４はｖＩｋとＶ　ｘ　
ｂとの差αをＶＩ（ｈ＋ｓ＋へ加算して出力する。これ
によって、第（ｋ＋１）動作周期のインバータ２の動作
周波数及び位相差が設定される。以下、この新たに設定
された周波数と位相差でインバータ２が動作して管電圧
がＸ線管５へ印加される。

この第２の実施例によれば、インバータの動作周期毎に
実際の管電圧をフィードバックして次回の動作周波数と
位相差を設定するので、管電圧の立上げがスムーズに行
えるとともに、管電圧を正確に設定することができる。

そしてまた、直流電源電圧の変動等があっても、その影
響を受けることなく、管電圧を常に設定値とすることが
できる。

以上本発明について、好ましい実施例を２つ挙げて説明
したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく
、要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。た
とえば、インバータの方式はフルブリッジ式に代えてハ
ーフブリッジ式にしても良く、また共振方式は共振用コ
ンデンサを付加した方式に代え、高圧変圧器自体が有し
ている漏れインダクタンスと浮遊容量とを共振素子とす
る方式やその他の共振方式としても良い。

また、インバータのスイッチング素子について言えば、
バイポーラトランジスタに代えて自己遮断の可能な素子
、例えばＧＴ○やＩＧＢＴを用いても良い。

さらに、上記実施例はアナログ制御で行う例で説明した
が、管電圧立上げ信号発生回路２周波数信号発生回路９
位相差信号発生回路、パルス分配回路等での信号をディ
ジタル化し、マイクロプロセッサユニット（ＭＰＵ）や
ＲＡＭ、ＲＯＭ等のメモリを用いて制御系を構成しても
良いことは勿論である。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明によれば、管電圧をインバータ
の動作周波数と位相差との２つのパラメータを用い、か
つ周波数は始動開始から徐々に増加させ、位相差は徐々
に小さくするようにしたので、従来装置の周波数制御の
み、または位相差制御のみで管電圧を立ち上げる方式の
有す欠点を解消することができる。すなわち、本発明で
は、インバータの周波数が低い動作周期のところでも位
相差が零でないので、高圧変圧器の印加電圧時間積を小
さくすることができる。したがって、高圧変圧器の鉄心
を小さくすることができる。

また、位相差と周波数との２つのパラメータを併せて制
御するため、共振電流が大きい位相でスイッチング素子
をオン／オフすることを周波数のパラメータで回避する
ことができる。したがって、インバータでのスイッチン
グ損失を小さくすることができる。

以上述べたことから、本発明によれば高圧変圧器のか型
、軽量化、及びインバータ式Ｘ線装置の効率向上と低コ
スト化が達成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による共振型インバータ式Ｘ
線装置の主回路構成図、第２図は第１図に示す周波数信
号発生回路の一構成例を示す図、第３図は管電圧とイン
バータの周波数との対応を示す図、第４図は第２図に示
す周波数信号発生回路の動作波形図、第５図は位相差信
号発生回路の一構成例を示す図、第６図は管電圧とイン
バータの位相差の対応を示す図、第７図は第Ｓ図に示す
位相差信号発生回路の動作波形図、第８図は第１図の共
振型インバータ式Ｘ線装置の各部の動作波形図、第９図
は本発明の第２の実施例による共振型インバータ式Ｘ線
装置の主回路構成図である。 １・・直流電源、２・インバータ、３・・高圧変圧器、
５・・・Ｘ線管、６・・操作卓、７・・・管電圧立上げ
信号発生回路、８・・周波数信号発生回路、９・・位相
差信号発生回路、１０・・パルス分配回路、１１・・ベ
ース駆動回路、１２・管電圧検出器、１３・・信号変換
回路、１４・・・誤差増幅器、Ｔｒｉ〜Ｔｒ４・・・ト
ランジスタ、ｖ　ｓ　ｅ　ｔ・・管電圧設定信号、■、
・・管電゛圧立上げ信号、Ｐｒ・・周波数信号、Ｐφ・
・・位相差葛 卑 為 閃 ８２樗偏春 葛 区 算 乙 図 為７図 卑 図 −吋用

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、直流電源と、この直流電源の出力電圧を高周波交流
   に変換する共振型インバータと、この共振型インバータ
   の出力電圧を昇圧する高圧変圧器と、この高圧変圧器の
   出力電圧を整流する整流回路と、この整流回路の出力電
   圧が印加されるＸ線管とを備えた共振型インバータ式Ｘ
   線装置において、前記共振型インバータの動作開始時に
   設定管電圧に対応して、かつ時間の経過とともに増大す
   る管電圧立上げ信号を発生する手段と、前記管電圧立上
   げ信号に対応して前記共振型インバータの動作周波数を
   時間の経過とともに高くする周波数信号を発生する手段
   と、前記管電圧立上げ信号と前記周波数信号とに対応し
   て前記共振型インバータのスイッチング素子の動作位相
   差を時間の経過とともに小さくする位相差信号を発生す
   る手段と、前記周波数信号と前記位相差信号とに対応し
   たインバータ駆動信号を発生する手段とを設けたことを
   特徴とする共振型インバータ式Ｘ線装置。