JPH048783A - ホットメルトシート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体ウェハやレンズ及び腕時計のカバーガ
ラス等硬詭材の表面を研磨加工するに際し、被加工物（
以後ワークと記す）を研磨板に貼付けるための固着部材
に関するものである。

〔従来の技術〕

従来のワークの表面を研磨する工程を第３図の（（イ）
〜（ホ）で説明すると、同図（（イ）の平面図と（ロ）
の側面図はワークを貼付けるためのワーク盤１０で、同
図（ハ）の側面図はこのワーク盤１０を加熱して、その
表面に一般にホットメルト樹脂と総称されるもので、詳
しくは後述するがこのような樹脂２を溶融塗付する、こ
の塗付した上に同図に）の平面図に示すようにワーク７
を配置し、同図（ホ）の側面図のようにプレス盤８で紙
やセロファンなど介在物９を介してプレスする。このと
きワーク盤１０は加熱され樹脂２の溶融によりワーク７
は固着される。このワーク盤は図示してない研磨装置に
セントされ、回転してワーク７の表面を研磨し、研磨の
終了したワーク盤ＩＯは再び加熱してワーク７を剥がし
て、個々のワークとして次の工程に移行していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記のようなワークの固着方法のため、プレスや剥がし
などのときワークとワーク盤が直接接触するため、硬脆
材よりなるワークのエンヂ部に欠けやキズが発生し、ま
た剥がす作業も個々のワークを対象にしていて問題があ
った。本発明はこれらの問題を解決するに好適なワーク
固着部材を提供することを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記問題を解決するために、繊維よりなるシー
ト面にホットメルト樹脂を熱融着させたホットメルトシ
ートを固着部材として提供するものである。

〔作用〕

本発明によるホットメルトシートは、繊維よりなるシー
トの面に樹脂を溶融付着させであるので、ワークの固着
に際し、繊維に備わる緩衝作用と、そのシート状に係わ
り、ワークの欠けや作業性の悪さを改善するものである
。

〔実施例〕

まず、本発明の「ホットメルトシート」を構成する素材
について説明をし、ここで解説した一般的な用語で実施
例の説明をする。

構成材のホットメルト樹脂は詳しくは、天然及び合成樹
脂よりなり、常温とそれ以下では固形で、加熱により粘
性のある液状となり、加熱を解除すると固形化に戻る特
性を持つもので、前述した産業分野では主に「セラック
」と称呼されている。

以後の実施例で「ホットメルト樹脂２」を「セラック２
」と同し符番で説明する。

また、繊維よりなるシートとは、詳しくは紙、布、及び
不織布などを指すが、以後の実施例では「紙」を使い、
その称呼を「ペーパー４」として説明する。そして、上
記「セラック２」と「ペーパー４」とで合成されたシー
トを「七ランクペーパー５」と表現して説明する。

では、本発明のセラックペーパーの製造方法の一例につ
いて第１図（（イ）〜（ト）の断面図で説明する。

同図（（イ）は発熱していない熱台１の平面上に、セラ
ックを粉末状にしたセラツク粉２゛を篩３に入れ、振動
させて熱台１の上に均一に散布し、同図（ロ）のように
熱台１を加熱しセラック２を溶融状態にする。次に同図
ｆｉに示すように、溶融したセラック２の上に適宜に選
択されたペーパー４の一端部４゛を熱台１からはみ出し
て載せ、セラック２をペーパー４に浸透させる。このと
き必要ならば熱ローラ６を矢示ａのようにかけて浸看を
強化してもよい。次に同図に）に示すようにペーパー４
の端部４”を挟持して矢示すのように熱台１の表面より
下方に引摺りながら取り出す。このとき熱台ｌのコーナ
ーエンヂ１”と、ペーパー４の離れ際に、セラック２の
表面張力と、引摺り速度の均衡で均一で、かつ膜厚の制
御されたセラック２の被膜ができる。

このペーパー４を常温まで冷却すると、セラックペーパ
ーが完成するが、両面にセラック２を施す場合は、さら
に前述した（（イ）、＠図の工程の熱台１の上に、同図
（ホ）に示すように、セラック２を施してない面を下に
載置しセラック２゛を浸着させ、同図（へ）に示すよう
に上記に）図の説明と同じように制御しながら引摺り出
す、そして冷却を施したものが同図（ト）に示すように
ペーパー４の両面にセラック２と２°を熱融着した七ラ
ックペーパー５となる。

このセラックペーパー５は必要に応して各種の大きさが
得られるが、その特性として常温ではシート状で若干の
可撓性を備えている。

上記のようにして得た七ランクペーパー５は、前述した
第３図の（（イ）〜（ホ）の工程をたどるにおいて、同
図（ハ）の樹脂２を溶融塗付する工程がない、したがっ
てこの工程の加熱はなく、この塗付に代わってセラック
ペーパー５を載置し、その上に同図に）のようにワーク
７を配置する。次の同図（ホ）と同しようにワーク盤１
０を加熱しながらプレス盤８でプレスする。本発明のセ
ラックペーパー５の備える特徴の一つはこの加熱で溶融
しワーク７とワーク盤１０に圧接されながら間隙を保持
する。すなわちセラックペーパー５は、少なくともペー
パー４に備わる繊維質の部分はスペーサとしての機能を
もたらす、この圧着の状態で加熱を断ち、セラックペー
パー５にワーク７が固定され、位置が定まった条件とな
るまで冷却してからプレスを解除し、さらにワーク盤１
０を冷却し固着を強化する。次に図示してない研磨装置
にワーク盤１０をセントし、回転を加えながらワーク７
の表面を研磨する。

本発明の七ランクペーパー５による特徴の一つは、研磨
の終わったワーク７をワーク盤１０から取りはずすに際
し、第２図の側面図に示すように、再び加熱したワーク
盤１０から、セラックペーパー５はワーク７を搭載した
まま矢示Ｃのように＃ＩＨし、ワーク７は一括して取り
出せることである。

このように作業性に優れていることと共に、この状態に
あって、このワーク７はセラックペーパ５によって連装
され、位置が定まっているので、次の剥離、洗浄などの
工程での作業にも有益である。

以上の説明でセラック材やペーパー材を特定していない
が、この素材の選択はワークの材質、寸法、形状、及び
研磨装置や砥材等により任意に選定されるものである。

〔発明の効果〕

本発明のホットメルトシートでワークとワーク盤を固着
することにより硬脆材質に発生しやすい欠けや、キズの
発生が防止できるとともに、作業性が一段と向上し、貴
石や半導体ウェハなどを歩留まりよく研磨加工ができる
など大きな効果をもたらすものである。

ペーパーを通用する側面図、第３図（（イ）〜（ホ）は
従来のホットメルト樹脂による固着を示す断面図である
。

・・熱台 ２′・・・ホットメルト樹脂（セラック）・・繊維より
なるシート（ペーパー） ・・ホットメルトシート　（セラックペーパー）・・ワ
ーク ・・ワーク盤

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 繊維よりなるシートの面にホットメルト樹脂を熱融着さ
   せたことを特徴とするホットメルトシート。