JPH049002A - レーザ顕微鏡 - Google Patents
レーザ顕微鏡Info
- Publication number
- JPH049002A JPH049002A JP11153690A JP11153690A JPH049002A JP H049002 A JPH049002 A JP H049002A JP 11153690 A JP11153690 A JP 11153690A JP 11153690 A JP11153690 A JP 11153690A JP H049002 A JPH049002 A JP H049002A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- measured
- incident
- reflected
- beam splitter
- Prior art date
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- Pending
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- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業−にの利用分野〉
本発明は、レーザ光を照明に用いて微小物体の拡大像を
得るために使用されるレーザ顕微鏡のコンＩ〜ラス１〜
と分解能の改善に関する。
得るために使用されるレーザ顕微鏡のコンＩ〜ラス１〜
と分解能の改善に関する。
〈従来の技術〉
近年、レーザの進歩と共にレーザの有する優れたコヒー
レンスを利用した顕微鏡が考案されている。コヒーレン
スが優れていると、−１−分に小さいスポットに集束で
き、したがって、かなり強い光強度が得られるという利
点がある。
レンスを利用した顕微鏡が考案されている。コヒーレン
スが優れていると、−１−分に小さいスポットに集束で
き、したがって、かなり強い光強度が得られるという利
点がある。
第２図はこのようなレ−＝す光がコヒーレントで強力で
あることを利用して、それを走査型の光学顕微鏡の照明
光源として用いたレーザ顕微鏡の一例を示す構成図であ
る。図において、レーザ光源１の出力光は、対物レンズ
２に入射され、ビンホル３に集光される。ピンホール３
を通過した光は波面を整形され、ハーフミラ−４を透過
して対物レンズ８に入射される。入射された光は回折限
界まで絞られ、微小輝点て被測定物９を照射する。
あることを利用して、それを走査型の光学顕微鏡の照明
光源として用いたレーザ顕微鏡の一例を示す構成図であ
る。図において、レーザ光源１の出力光は、対物レンズ
２に入射され、ビンホル３に集光される。ピンホール３
を通過した光は波面を整形され、ハーフミラ−４を透過
して対物レンズ８に入射される。入射された光は回折限
界まで絞られ、微小輝点て被測定物９を照射する。
被測定物９からの反射光は、対物レンズ８を通ってハー
フミラ−４で反射され、光検出器１ｊに導かれる。光検
出器１１では、光電変換され、電気的出力として被測定
物９の像が取り出される。又、被測定物駆動部１２によ
り被測定物９をχＶ力方向走査することにより、被測定
物９の２次元像を得ることができる。
フミラ−４で反射され、光検出器１ｊに導かれる。光検
出器１１では、光電変換され、電気的出力として被測定
物９の像が取り出される。又、被測定物駆動部１２によ
り被測定物９をχＶ力方向走査することにより、被測定
物９の２次元像を得ることができる。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、上記従来技術に示すレーザ顕微鏡におい
ては、レーザ光源１からの出力光は、被測定物９に１度
照射されるたけで、光検出器１１にて被測定物９の像が
取り出されるような光学系の構成とされている。そのた
め、光検出器１１にて取り出された被測定物９の像のコ
ントラストが低く、又、光学系に使用されている対物レ
ンズ等の収差の影響を受けるという課題があった。
ては、レーザ光源１からの出力光は、被測定物９に１度
照射されるたけで、光検出器１１にて被測定物９の像が
取り出されるような光学系の構成とされている。そのた
め、光検出器１１にて取り出された被測定物９の像のコ
ントラストが低く、又、光学系に使用されている対物レ
ンズ等の収差の影響を受けるという課題があった。
本発明は上記従来技術の課題を踏まえて成されたもので
あり、その目的は、得られる像のコントラストを高める
と共に光学系の収差の影響を除去できるレーザ顕微鏡を
提供することにある。
あり、その目的は、得られる像のコントラストを高める
と共に光学系の収差の影響を除去できるレーザ顕微鏡を
提供することにある。
く課題を解決するための手段〉
上記課題を解決するための本発明の構成は、レーザ光源
と、このレーザ光源の出力光が入射される第１の対物レ
ンズと、この対物レンズにより集光された光が入射され
るピンホ一ルと、このピンホールにより波面を整形され
た光が入射される光学要素と、この光学要素を透過した
光が入射される偏光ビームスプリッタと、この偏光ビー
ムスプリッタを透過した光が入射されるコリメータレン
ズと、このコリメータレンズにより平行光とされた光が
入射される１／４波長板と、この１／４波長板により偏
光性を変えられた光を被測定物上に集光する第２の対物
レンズと、前記被測定物からの１度目の反射光が前記偏
光ビームスプリッタで反射されて入射される位相共役鏡
と、この位相共役鏡で反射された光が再び前記被測定物
に入射された後２度目の反射光となって前記光学要素で
反射されて入射される光検出器と、前記被測定物をχＶ
力方向動かす被測定物駆動部とを備え、前記位相共役鏡
を用いて前記被測定物にレーザ光を２度照射させるよう
な構成としたことを特徴とするものである。
と、このレーザ光源の出力光が入射される第１の対物レ
ンズと、この対物レンズにより集光された光が入射され
るピンホ一ルと、このピンホールにより波面を整形され
た光が入射される光学要素と、この光学要素を透過した
光が入射される偏光ビームスプリッタと、この偏光ビー
ムスプリッタを透過した光が入射されるコリメータレン
ズと、このコリメータレンズにより平行光とされた光が
入射される１／４波長板と、この１／４波長板により偏
光性を変えられた光を被測定物上に集光する第２の対物
レンズと、前記被測定物からの１度目の反射光が前記偏
光ビームスプリッタで反射されて入射される位相共役鏡
と、この位相共役鏡で反射された光が再び前記被測定物
に入射された後２度目の反射光となって前記光学要素で
反射されて入射される光検出器と、前記被測定物をχＶ
力方向動かす被測定物駆動部とを備え、前記位相共役鏡
を用いて前記被測定物にレーザ光を２度照射させるよう
な構成としたことを特徴とするものである。
く作用〉
本発明によれば、レーザ光を被測定物に２度照射させて
おり、得られる像のコントラストを高めることができる
。又、その光学系に位相共役鏡を用いた構成としており
、光学系の収差と被測定物の反射による位相乱れを除去
できる。
おり、得られる像のコントラストを高めることができる
。又、その光学系に位相共役鏡を用いた構成としており
、光学系の収差と被測定物の反射による位相乱れを除去
できる。
〈実施例〉
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明のレーザ顕微鏡の一実施例を示ず構成図
である。なお、第１図において第２図と同一要素には同
一符号を付して重複する説明は省略する。図において、
５はレーザ光の偏光によって光路を選択する偏光ビーム
スプリッタ、６はレーザ光を平行光にするコリメータレ
ンズ、７はし一ザ光の偏光性を変える１／４波長板、１
０はレザ光を反射させる位相共役鏡である。
である。なお、第１図において第２図と同一要素には同
一符号を付して重複する説明は省略する。図において、
５はレーザ光の偏光によって光路を選択する偏光ビーム
スプリッタ、６はレーザ光を平行光にするコリメータレ
ンズ、７はし一ザ光の偏光性を変える１／４波長板、１
０はレザ光を反射させる位相共役鏡である。
このような構成において、レーザ光源１から出射された
図面に対して平行な直線偏光は、対物レンズ２で集光さ
れてピンホール３に入射される。
図面に対して平行な直線偏光は、対物レンズ２で集光さ
れてピンホール３に入射される。
入射された光はピンポール３で波面を整形され、ハーフ
ミラ−４，偏光ビームスプリッタ５を透過して、コリメ
ータレンズ６に入射される。入射された光はコリメータ
レンズ６で平行光とされ、１／４波長板７に入射して円
偏光となり、対物レンズ８に入射され、被測定物９上に
集光される。被測定物９からの１度目の反射光は、逆回
り円偏光となり、対物レンズ８で平行光とされて、１／
４波長板７に入射される。入射された光は１／４波長板
７で紙面に対して垂直な直線偏光となり、コリメータレ
ンズ６で集光され、１藩光ビームスプリツタ５で反射さ
れて、位相共役鏡１０に入射される。入射された光は、
位相共役鏡１０．偏光ビームスプリッタ５で順次反射さ
れて、再びコリメータレンズ６に入射される。入射され
た光は、コリメータレンズ６で平行光どされ、１□′４
波長板７で円偏光となり、対物レンズ８に入射され、被
Ｊｌｌ宇物９−１−ｔに集光される。被測定物９からの
２度目の反射光に、逆回り円面光となり、対物レンズ８
゛ζ゛Ｖ行光とされて、］ 、、、／４波長板７に入射
される。
ミラ−４，偏光ビームスプリッタ５を透過して、コリメ
ータレンズ６に入射される。入射された光はコリメータ
レンズ６で平行光とされ、１／４波長板７に入射して円
偏光となり、対物レンズ８に入射され、被測定物９上に
集光される。被測定物９からの１度目の反射光は、逆回
り円偏光となり、対物レンズ８で平行光とされて、１／
４波長板７に入射される。入射された光は１／４波長板
７で紙面に対して垂直な直線偏光となり、コリメータレ
ンズ６で集光され、１藩光ビームスプリツタ５で反射さ
れて、位相共役鏡１０に入射される。入射された光は、
位相共役鏡１０．偏光ビームスプリッタ５で順次反射さ
れて、再びコリメータレンズ６に入射される。入射され
た光は、コリメータレンズ６で平行光どされ、１□′４
波長板７で円偏光となり、対物レンズ８に入射され、被
Ｊｌｌ宇物９−１−ｔに集光される。被測定物９からの
２度目の反射光に、逆回り円面光となり、対物レンズ８
゛ζ゛Ｖ行光とされて、］ 、、、／４波長板７に入射
される。
入射された光は】／′４波長板７で紙面に対して平行な
直線偏光となり、コリメータレンズ６で集光され、偏光
ビームスプリッタ５を透過して、ハフミツ ４で反射さ
れ、光検出器１１に入射される、光検出器１１では、光
電変換され、電気的出１）として被測定物９の像が取り
出される。又、被測定物駆動部１２により被測定物９を
χＶ力方向走だすることにより、被測定物９の２次元像
を得ることができる。
直線偏光となり、コリメータレンズ６で集光され、偏光
ビームスプリッタ５を透過して、ハフミツ ４で反射さ
れ、光検出器１１に入射される、光検出器１１では、光
電変換され、電気的出１）として被測定物９の像が取り
出される。又、被測定物駆動部１２により被測定物９を
χＶ力方向走だすることにより、被測定物９の２次元像
を得ることができる。
この実施例では、被測定物９にＬ−ザ光を２疫照射して
おり、得られる像のコンＩ・ラストを高く憚ることかで
きる。又、光学系に位相共役鏡１０を用いており、位相
共役鏡１０に入射したレーザ光の位相を時間反転させて
反射している。したかって、＝ｌリメータレンズ６．１
．／４波長板７．対物レンズ８の収差をな・くずことか
でき、被測定物９からの反射の際の位相乱れを補止する
ことができる。
おり、得られる像のコンＩ・ラストを高く憚ることかで
きる。又、光学系に位相共役鏡１０を用いており、位相
共役鏡１０に入射したレーザ光の位相を時間反転させて
反射している。したかって、＝ｌリメータレンズ６．１
．／４波長板７．対物レンズ８の収差をな・くずことか
でき、被測定物９からの反射の際の位相乱れを補止する
ことができる。
なお、」二層実施例においては、被測定物の２次元１象
を得るために、被測定物駆動部１２により被測定物をχ
Ｖ力方向走査させているが、ポリゴンミラー等によりレ
ーザ光を走査させることも可能であり、走査速度を１＝
けることができる。又、偏光ピーノ＼スプリッタを１／
４波長板７と対物レンズ８の間に設けることにより、ｆ
両光ビ−ノ＼スプリッタの偏光特性による影響を少なく
することも可能である、更に、１／４波長板７はファラ
デー偏光子でも良い。
を得るために、被測定物駆動部１２により被測定物をχ
Ｖ力方向走査させているが、ポリゴンミラー等によりレ
ーザ光を走査させることも可能であり、走査速度を１＝
けることができる。又、偏光ピーノ＼スプリッタを１／
４波長板７と対物レンズ８の間に設けることにより、ｆ
両光ビ−ノ＼スプリッタの偏光特性による影響を少なく
することも可能である、更に、１／４波長板７はファラ
デー偏光子でも良い。
〈発明の効果〉
以上１、実施例と共に具体的に説明したように、本発明
によれば、被３１１定物に２疫レーサ光を照射している
ため、得られる像のコン１ヘラス１へを高くすることが
できる。又、光学系に位相共役鏡を用いて、波面を反転
させた光を再び元の光路に導いているため、１字系の収
差と被ａ＋、宝物による位Ｍ１乱れを除去することがで
き、分解能を向上させることかできる等の利点を有する
し＝ザ顕微鏡を実現する、二とができる。
によれば、被３１１定物に２疫レーサ光を照射している
ため、得られる像のコン１ヘラス１へを高くすることが
できる。又、光学系に位相共役鏡を用いて、波面を反転
させた光を再び元の光路に導いているため、１字系の収
差と被ａ＋、宝物による位Ｍ１乱れを除去することがで
き、分解能を向上させることかできる等の利点を有する
し＝ザ顕微鏡を実現する、二とができる。
第１図は本発明のレーザ顕微鏡の一実施例を示す構成図
、第２図は従来のし一ザ顕８１鏡の一例を示ず構成図で
ある。 １・・・レーリ゛光源、２．８・・・対物レンズ、３・
・・ピンポール、４・・ハーフミラ−１５・・・偏光ビ
ームスフ゛′リッタ、６・・・二ｒリメータレン′ズ、
７・・４／４波長板、０・・・被測定物、１０・・・位
相共役鏡、１１・・・光検出器、１２・・・被測定物駆
動部。 ＝１１−
、第２図は従来のし一ザ顕８１鏡の一例を示ず構成図で
ある。 １・・・レーリ゛光源、２．８・・・対物レンズ、３・
・・ピンポール、４・・ハーフミラ−１５・・・偏光ビ
ームスフ゛′リッタ、６・・・二ｒリメータレン′ズ、
７・・４／４波長板、０・・・被測定物、１０・・・位
相共役鏡、１１・・・光検出器、１２・・・被測定物駆
動部。 ＝１１−
Claims (1)
- レーザ光源と、このレーザ光源の出力光が入射される
第１の対物レンズと、この対物レンズにより集光された
光が入射されるピンホールと、このピンホールにより波
面を整形された光が入射される光学要素と、この光学要
素を透過した光が入射される偏光ビームスプリッタと、
この偏光ビームスプリッタを透過した光が入射されるコ
リメータレンズと、このコリメータレンズにより平行光
とされた光が入射される１／４波長板と、この１／４波
長板により偏光性を変えられた光を被測定物上に集光す
る第２の対物レンズと、前記被測定物からの１度目の反
射光が前記偏光ビームスプリッタで反射されて入射され
る位相共役鏡と、この位相共役鏡で反射された光が再び
前記被測定物に入射された後２度目の反射光となって前
記光学要素で反射されて入射される光検出器と、前記被
測定物をｘｙ方向に動かす被測定物駆動部とを備え、前
記位相共役鏡を用いて前記被測定物にレーザ光を２度照
射させるような構成としたことを特徴とするレーザ顕微
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11153690A JPH049002A (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | レーザ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11153690A JPH049002A (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | レーザ顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH049002A true JPH049002A (ja) | 1992-01-13 |
Family
ID=14563844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11153690A Pending JPH049002A (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | レーザ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH049002A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6455622U (ja) * | 1987-09-30 | 1989-04-06 | ||
| CN103584834A (zh) * | 2012-08-16 | 2014-02-19 | 中央大学 | 反向聚焦显微成像结构及方法 |
-
1990
- 1990-04-26 JP JP11153690A patent/JPH049002A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6455622U (ja) * | 1987-09-30 | 1989-04-06 | ||
| CN103584834A (zh) * | 2012-08-16 | 2014-02-19 | 中央大学 | 反向聚焦显微成像结构及方法 |
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