JPH06235865A - 共焦点顕微鏡 - Google Patents
共焦点顕微鏡Info
- Publication number
- JPH06235865A JPH06235865A JP2421293A JP2421293A JPH06235865A JP H06235865 A JPH06235865 A JP H06235865A JP 2421293 A JP2421293 A JP 2421293A JP 2421293 A JP2421293 A JP 2421293A JP H06235865 A JPH06235865 A JP H06235865A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- confocal microscope
- sample
- pinhole array
- array plate
- fresnel rom
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 波長依存性の少ない共焦点顕微鏡を実現す
る。 【構成】 ピンホ−ルアレイ板を回転させ、このピンホ
−ルアレイ板を通過した照射光を試料に対して走査する
共焦点用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡において、前
記ピンホールアレイ板と試料の間にコリメータレンズお
よびフレネルロムを備えた構成としたことを特徴とす
る。また、前記フレネルロムとしてキング型を用いた構
成としたことを特徴とする。また、前記フレネルロムと
試料の間に配置された対物レンズとして無限系対物レン
ズを用いた構成としたことを特徴とする。
る。 【構成】 ピンホ−ルアレイ板を回転させ、このピンホ
−ルアレイ板を通過した照射光を試料に対して走査する
共焦点用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡において、前
記ピンホールアレイ板と試料の間にコリメータレンズお
よびフレネルロムを備えた構成としたことを特徴とす
る。また、前記フレネルロムとしてキング型を用いた構
成としたことを特徴とする。また、前記フレネルロムと
試料の間に配置された対物レンズとして無限系対物レン
ズを用いた構成としたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、共焦点顕微鏡におい
て、入射レーザ光と試料による反射レーザ光を分離する
構成に関し、特にカラーで色むらの少ない画像を得る装
置に関するものである。
て、入射レーザ光と試料による反射レーザ光を分離する
構成に関し、特にカラーで色むらの少ない画像を得る装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の共焦点顕微鏡の一例を示す
構成図である。図３において、図示しないレーザ光源か
らの出射光は、偏向ビ−ムスプリッタ１を通って、ピン
ホ−ルアレイ板２に形成された多数のピンホ−ルの幾つ
かを通過し、１／４波長板４、対物レンズ５を経て試料
６に集光される。試料６からの反射光は、同一の光路を
通って、ピンホ−ルアレイ板２のピンホ−ルの１つに集
光され、ピンホ−ルを通って、偏光ビ−ムスプリッタ１
で反射され、アナライザ７を通って、集光レンズ８によ
り集光して、試料６の像をカメラ９上に結像する。な
お、この装置では、ピンホ−ルアレイ板２をモ−タ３で
一定速度で回転させており、ピンホ−ルアレイ板２の回
転に伴うピンホ−ルの移動により、試料６への集束光点
を走査している。
構成図である。図３において、図示しないレーザ光源か
らの出射光は、偏向ビ−ムスプリッタ１を通って、ピン
ホ−ルアレイ板２に形成された多数のピンホ−ルの幾つ
かを通過し、１／４波長板４、対物レンズ５を経て試料
６に集光される。試料６からの反射光は、同一の光路を
通って、ピンホ−ルアレイ板２のピンホ−ルの１つに集
光され、ピンホ−ルを通って、偏光ビ−ムスプリッタ１
で反射され、アナライザ７を通って、集光レンズ８によ
り集光して、試料６の像をカメラ９上に結像する。な
お、この装置では、ピンホ−ルアレイ板２をモ−タ３で
一定速度で回転させており、ピンホ−ルアレイ板２の回
転に伴うピンホ−ルの移動により、試料６への集束光点
を走査している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の共焦
点顕微鏡では、レーザの偏光特性を利用し、偏光ビーム
スプリッタ１と１／４波長板４を組み合わせ、偏光ビー
ムスプリッタ１へｐ波で入射させたレーザは透過し、１
／４波長板４で円偏光となり、試料６で反射し、再び１
／４波長板４でｓ波となり、偏光ビームスプリッタ１で
反射し、カメラ９で受光する構成であった。したがっ
て、１／４波長板を使用しているため、波長依存性が大
きいという課題があった。例えば、１／４波長板は、λ
＝５００ｎｍとすると、その近傍でしか位相子として働
かないため、色むらを生じていた。
点顕微鏡では、レーザの偏光特性を利用し、偏光ビーム
スプリッタ１と１／４波長板４を組み合わせ、偏光ビー
ムスプリッタ１へｐ波で入射させたレーザは透過し、１
／４波長板４で円偏光となり、試料６で反射し、再び１
／４波長板４でｓ波となり、偏光ビームスプリッタ１で
反射し、カメラ９で受光する構成であった。したがっ
て、１／４波長板を使用しているため、波長依存性が大
きいという課題があった。例えば、１／４波長板は、λ
＝５００ｎｍとすると、その近傍でしか位相子として働
かないため、色むらを生じていた。
【０００４】本発明は上記従来技術の課題を踏まえて成
されたものであり、波長依存性の少ない共焦点顕微鏡を
提供することを目的としたものである。
されたものであり、波長依存性の少ない共焦点顕微鏡を
提供することを目的としたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の構成は、ピンホ−ルアレイ板を回転させ、こ
のピンホ−ルアレイ板を通過した照射光を試料に対して
走査する共焦点用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡にお
いて、前記ピンホールアレイ板と試料の間にコリメータ
レンズおよびフレネルロムを備えた構成としたことを特
徴とする。また、前記フレネルロムとしてキング型を用
いた構成としたことを特徴とする。また、前記フレネル
ロムと試料の間に配置された対物レンズとして無限系対
物レンズを用いた構成としたことを特徴とする。
の本発明の構成は、ピンホ−ルアレイ板を回転させ、こ
のピンホ−ルアレイ板を通過した照射光を試料に対して
走査する共焦点用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡にお
いて、前記ピンホールアレイ板と試料の間にコリメータ
レンズおよびフレネルロムを備えた構成としたことを特
徴とする。また、前記フレネルロムとしてキング型を用
いた構成としたことを特徴とする。また、前記フレネル
ロムと試料の間に配置された対物レンズとして無限系対
物レンズを用いた構成としたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明によると、１／４波長板を用いない構成
とできるため、波長依存性を少なくできる。
とできるため、波長依存性を少なくできる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。図
１は本発明の共焦点顕微鏡の第１の実施例を示す構成図
である。なお、図１において図３と同一要素には同一符
号を付して重複する説明は省略する。図１において、１
０は入射光をコリメートするためのチューブレンズ、１
１は全反射を利用した位相板の一種であるフルネルロム
であり、プリズム面内で２回の全反射によって両偏光成
分の間にπ／２の位相差を生じさせるように形成された
ものである。また、本実施例では白色光を用いているた
め、偏光ビームスプリッタではなく、偏光子１ａとハー
フミラー１ｂを用いている。
１は本発明の共焦点顕微鏡の第１の実施例を示す構成図
である。なお、図１において図３と同一要素には同一符
号を付して重複する説明は省略する。図１において、１
０は入射光をコリメートするためのチューブレンズ、１
１は全反射を利用した位相板の一種であるフルネルロム
であり、プリズム面内で２回の全反射によって両偏光成
分の間にπ／２の位相差を生じさせるように形成された
ものである。また、本実施例では白色光を用いているた
め、偏光ビームスプリッタではなく、偏光子１ａとハー
フミラー１ｂを用いている。
【０００８】このような構成において、図示しない光源
から出射された白色光は、偏光子１ａにより４５°斜め
直線偏光となり、ハーフミラー１ｂを透過し、モータ３
で回転するピンホールアレイ板２で走査される。その
後、チューブレンズ１０により、平行光とされ、フレネ
ルロム１１に入射される。フレネルロム１１内で２回の
全反射によって、ｐ波とＳ波の偏光成分の間にπ／２の
位相差が生じ、円偏光となり、対物レンズ５で試料６に
集光する。試料６から反射した光は、再びフレネルロム
１１内で２回の全反射を行い、入射時とは９０°回転し
た斜め直線偏光となって出射される。出射光は、チュー
ブレンズ１０，ピンホールアレイ板２を通って、ハーフ
ミラー１ｂで反射され、検光子７を透過し、集光レンズ
８でカメラ９上に集光され、カメラ９で試料６の共焦点
画像が得られる。
から出射された白色光は、偏光子１ａにより４５°斜め
直線偏光となり、ハーフミラー１ｂを透過し、モータ３
で回転するピンホールアレイ板２で走査される。その
後、チューブレンズ１０により、平行光とされ、フレネ
ルロム１１に入射される。フレネルロム１１内で２回の
全反射によって、ｐ波とＳ波の偏光成分の間にπ／２の
位相差が生じ、円偏光となり、対物レンズ５で試料６に
集光する。試料６から反射した光は、再びフレネルロム
１１内で２回の全反射を行い、入射時とは９０°回転し
た斜め直線偏光となって出射される。出射光は、チュー
ブレンズ１０，ピンホールアレイ板２を通って、ハーフ
ミラー１ｂで反射され、検光子７を透過し、集光レンズ
８でカメラ９上に集光され、カメラ９で試料６の共焦点
画像が得られる。
【０００９】次に、図２は本発明の共焦点顕微鏡の第２
の実施例を示す構成図である。なお、図２においても同
一要素には同一符号を付して重複する説明は省略する。
図２において、１２はフレネルロムをキング型としたも
のである。この場合、光軸のシフトが無くなり、調整が
容易で、装置構成も簡略化できる利点がある。
の実施例を示す構成図である。なお、図２においても同
一要素には同一符号を付して重複する説明は省略する。
図２において、１２はフレネルロムをキング型としたも
のである。この場合、光軸のシフトが無くなり、調整が
容易で、装置構成も簡略化できる利点がある。
【００１０】なお、上記実施例において、フレネルロム
は多層膜をコーティングすることによって、可視光域
（４００〜８００ｎｍ）で波長依存性の極めて少ない位
相子として働くことが可能となる。したがって、カラー
画像として、色むらの少ない良好な画像を得ることがで
きる。
は多層膜をコーティングすることによって、可視光域
（４００〜８００ｎｍ）で波長依存性の極めて少ない位
相子として働くことが可能となる。したがって、カラー
画像として、色むらの少ない良好な画像を得ることがで
きる。
【００１１】このように、上記実施例によれば、１波長
だけでなく、多波長のレーザが使用可能となり、白色光
を使用して、カラーの共焦点画像を得ることができる。
だけでなく、多波長のレーザが使用可能となり、白色光
を使用して、カラーの共焦点画像を得ることができる。
【００１２】
【発明の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに、本発明によれば、波長依存性の少ない装置構成と
なり、カラーで色むらの少ない共焦点画像を得ることが
できる共焦点顕微鏡を実現できる。
うに、本発明によれば、波長依存性の少ない装置構成と
なり、カラーで色むらの少ない共焦点画像を得ることが
できる共焦点顕微鏡を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の共焦点顕微鏡の第１の実施例を示す構
成図である。
成図である。
【図２】本発明の共焦点顕微鏡の第２の実施例を示す構
成図である。
成図である。
【図３】共焦点顕微鏡の従来例である。
２ ピンホールアレイ板 ５ 対物レンズ ６ 試料 １０ チューブレンズ １１ フレネルロム １２ フレネルロム（キング型）
Claims (3)
- 【請求項１】 ピンホ−ルアレイ板を回転させ、このピ
ンホ−ルアレイ板を通過した照射光を試料に対して走査
する共焦点用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡におい
て、 前記ピンホールアレイ板と試料の間にコリメータレンズ
およびフレネルロムを備えた構成としたことを特徴とす
る共焦点顕微鏡。 - 【請求項２】 前記フレネルロムとしてキング型を用い
た構成としたことを特徴とする請求項１記載の共焦点顕
微鏡。 - 【請求項３】 前記フレネルロムと試料の間に配置され
た対物レンズとして無限系対物レンズを用いた構成とし
たことを特徴とする請求項１または２記載の共焦点顕微
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2421293A JPH06235865A (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | 共焦点顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2421293A JPH06235865A (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | 共焦点顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06235865A true JPH06235865A (ja) | 1994-08-23 |
Family
ID=12131996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2421293A Pending JPH06235865A (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | 共焦点顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06235865A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0961719A (ja) * | 1995-08-28 | 1997-03-07 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点顕微鏡 |
| JP2002501215A (ja) * | 1998-01-12 | 2002-01-15 | ウォ−ロック オ−ワイ | 複数の走査ビームを有する共焦点顕微鏡 |
| JP2009520959A (ja) * | 2005-12-23 | 2009-05-28 | エコール ポリテクニク | 広帯域偏光解析器／偏光計システム |
| US8275226B2 (en) | 2008-12-09 | 2012-09-25 | Spectral Applied Research Ltd. | Multi-mode fiber optically coupling a radiation source module to a multi-focal confocal microscope |
| US8670178B2 (en) | 2009-12-08 | 2014-03-11 | Spectral Applied Research Inc. | Imaging distal end of multimode fiber |
| JP2022032352A (ja) * | 2020-08-11 | 2022-02-25 | 株式会社光学技研 | フレネルロム、該フレネルロムを備えた計測装置及び光アッテネーター |
| JP2022135684A (ja) * | 2021-03-05 | 2022-09-15 | 株式会社光学技研 | 広帯域円偏光子及び該広帯域円偏光子を備えた計測装置 |
-
1993
- 1993-02-12 JP JP2421293A patent/JPH06235865A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0961719A (ja) * | 1995-08-28 | 1997-03-07 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点顕微鏡 |
| JP2002501215A (ja) * | 1998-01-12 | 2002-01-15 | ウォ−ロック オ−ワイ | 複数の走査ビームを有する共焦点顕微鏡 |
| JP2009520959A (ja) * | 2005-12-23 | 2009-05-28 | エコール ポリテクニク | 広帯域偏光解析器／偏光計システム |
| US8275226B2 (en) | 2008-12-09 | 2012-09-25 | Spectral Applied Research Ltd. | Multi-mode fiber optically coupling a radiation source module to a multi-focal confocal microscope |
| US9134519B2 (en) | 2008-12-09 | 2015-09-15 | Spectral Applied Reseach Inc. | Multi-mode fiber optically coupling a radiation source module to a multi-focal confocal microscope |
| US8670178B2 (en) | 2009-12-08 | 2014-03-11 | Spectral Applied Research Inc. | Imaging distal end of multimode fiber |
| US8922887B2 (en) | 2009-12-08 | 2014-12-30 | Spectral Applied Research Inc. | Imaging distal end of multimode fiber |
| JP2022032352A (ja) * | 2020-08-11 | 2022-02-25 | 株式会社光学技研 | フレネルロム、該フレネルロムを備えた計測装置及び光アッテネーター |
| JP2022135684A (ja) * | 2021-03-05 | 2022-09-15 | 株式会社光学技研 | 広帯域円偏光子及び該広帯域円偏光子を備えた計測装置 |
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