JPH049240A - 微細金属線の切断方法 - Google Patents

微細金属線の切断方法

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JPH049240A JP2109780A JP10978090A JPH049240A JP H049240 A JPH049240 A JP H049240A JP 2109780 A JP2109780 A JP 2109780A JP 10978090 A JP10978090 A JP 10978090A JP H049240 A JPH049240 A JP H049240A
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    • B22F9/04Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from solid material, e.g. by crushing, grinding or milling
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ICチップの電極とTABテープのリード等
との間の接合に使用されるハンプを作るために、ハンプ
の素材となる金rX線を、一定の長さに切断するための
方法に関する。
〔従来の技術〕
ICチップの電極と外部リードとの接続には多様な方法
が採用されている。
配線用の極細ワイヤー(ボンディングワイヤー)を用い
て接続する方法もあるが、チップの電極とリードとの間
にハンプと呼ばれる金属突起を挟んで熱圧着する方法も
広く行われるようになっている。
T A B (Tape Automated Bon
ding)法は後者の代表として注目されている技術で
ある。この方法は、予めICチ、プの電極部か、もしく
はTABテープ上のリード先端部のいずれかにバンプを
形成しておき、次にICチップ電極部とリードを有する
TABテープとが、バンプを介して重ね合わさるように
して両者を接合するものである。またTAB法以外にフ
リップチップ法においても、ハンプが使用されている。
このような用途に提供されるハンプのこれまでの作り方
は、メツキによる方法が主体であった。
すなわち、ICチップの電極部にバンプとなる金属を直
接メンキして形成するか、または−旦ガラス基盤上等に
メツキによって形成したバンプをTABテープ側のリー
ド先端部に転写する方法が主流となっている。
しかしながら、メツキによる方法は設備が大きくなる上
に、バンプとして使用する金属の組成にも制約を受ける
という欠点がある。また特にICチップの電極部に直接
メツキしてバンプを形成しようとすれば、チップそのも
のがメツキ工程を通過することになって、チップの歩留
まりを悪化させるということも問題とされていた。
これらの欠点を解消する方法として、メツキによらない
バンプ形成方法も考えられるようになってきた0本発明
者等は先に、バンプ用の素材となる金属を一徹細線に加
工した後、この金属線を定尺切断した後、互いの間隔を
隔てた状態で溶融・凝固させ、表面張力を利用して球形
状のバンプを得る方法を提案した(特願平1−3202
96号)。作られた球形のバンプは、リード先端部等に
熱圧着して使用される(特願平1−234917号)。
このようなハンプとして使用される金属は、これまでは
高純度の金が最も普通であった。金は確かにハンプとし
て存効な金属であるが、ハンプをメツキで形成するとい
うプロセス上の制約があったために、他の金属が対象と
して取り上げられにくかったという側面もあったと思わ
れる。
これに対してメツキに顧ることなく、任意の金属線片を
溶融してバンプとする新しい方法によれば、接合用部材
としてふされしい特性を持った任意の金属をハンプとし
て使用する可能性が大きく広がったことになる。またこ
れまでと同しように金を使う場合でも、メツキでバンプ
を形成する場合には、純金に近い高純度の金にならざる
を得なかったが、線片を溶融する方法によれば、線引き
の可能な限り任意の組成を有するバンプを作り上げるこ
とが可能である。金の他に銅や銀、並びにそれらをベー
スとする各種の合金を、容易にバンプとして成形するこ
とができるようになった訳である。
金属線片を溶融してバンプを作製する場合、サイズの均
一なバンプを得るためには、金属線の切断長さを厳密に
一定にするということが必要である。長さの切断精度を
上げるためには出来るだけ線径の細い素材を使用して、
切断長さを長めにする方が宥和であることは言うまでも
ない、それでもバンプのサイズは一般に直径100ミク
ロンを下回る小さなものであるから、使用する素材金属
線を細くしても、切断長さは0.5m以下から長くても
2m程度の短いものとならざるを得ない。
しかも−船釣にバンプ用に供されるのは軟質金属が主体
であるため、これを加工した金属線は、自重で曲がるな
ど極めて取扱いのしにくいものとなる。とくに切断長さ
の精度を高めるためには、曲がりやすい金属線を一定長
さだけ精度良(送り出すことが必要であるが、軟質な金
属で作られた直径数十ミクロンから細いものでは10ミ
クロン程度の単一の細線を、曲がらぬようにしかも精度
良く送り出すには大変に困難がある。
したがって、このようなバンプ素材用金属細線を一定ピ
ッチでの送り機構を有する既存の切断機で精度良く切断
しようとする場合には、複数の金属細線を束ねるかテー
プ上に平行に配置して固定するかして、送りに支障の無
いように処置した後に切断することが効果的である。先
の特願平1−320296号公報の方法は、このような
考え方に基づいていた。
〔発明が解決しようとする課駐〕
本発明の目的とするところは、バンプ製造用として50
ミクロン以下程度の細径に線引きされている金等の軟質
の素材金属線を、不純物として接着剤や配列用材料の混
入する余地の無いような手段によって、能率良くしかも
高い切断精度で多量に目的とする長さの線片に切断でき
、かつ切断後の線片が互いに絡み合うことの無いように
して切断できる方法を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、 (1)微細金属線の端部を掴んだ保持部を動かすことに
より、ガイド出側から微細金属線を一定長さだけ引き出
した後、前記保持部に近接して設けた切断刃物によって
微細金属線を切断することを特徴とする微細金属線の切
断方法、 (2)ガイド出側に配したフィードロールによって微細
金属線をガイドから一定長さだけ引き出した後、フィー
ドロールに近接して設けた切断刃物によって微細金属線
を切断することを特徴とする微細金属線の切断方法、 である。
本発明は金属線の切断に関するが、切断された金属線片
は、次に、相互に干渉しあわないように配列して溶融す
ることによって、球形状のハンプとするためにイ共され
るものである。したがって切断単独で考えるのでなく、
次工程の溶融過程で使用しやすいように切断するという
ことが大切である。
溶融過程では、何よりもまず不純物の混入を避けること
に注意が払われる必要がある。一般にハンプとして必要
な特性は、微量の不純物の混入によっても著しい影響を
受ける場合がある。したがって切断過程で切断後の金属
線片の中に不純物が混じっている場合には、溶融前に何
等かの方法によつてその不純物を除去しておく必要があ
る。さらに溶融過程では、1本1本の金属線片が別々に
、互いに干渉しない状態で溶融されることも必要である
。もし複数の金属線片が接触したままで溶融過程に入っ
た場合には、複数の金属線片が合体した大きなバンブが
得られてしまい用をなさなくなるからである。
以上のようなことから、本発明の極細金属の切断は、第
1に不純物が混入しない方法であることと、第2には切
断した後の金属線片が絡み合わず、できれば切断されて
受器に落ちる金属線片1本1本の間隔までもコントロー
ルしやすい方法であること、の実現を狙いとした。これ
らの狙いを満足するためには、むき出しの微細金属線を
単線のままで1ケ所ずつ切断することによって、切断さ
れた線片を1本ずつ処理できるようにすることが必要で
ある。
通常の直径の金属線を一定長さに切断する場合であれば
、ステ・7ブモーターで回転するフィードロール等によ
って一定長さずつ断続的に金属線を送り出し、ステップ
ごとに切断刃物を作動させて切断すれば、長さの揃った
多数の金rIA線片を容易に得ることができる。ところ
が微細金属線の場合には、フィードロールで送ろうとす
ると曲がってしまい、精度の良い送りそのものが容易に
実現できないという問題があった。この点を解決するた
めには、ガイドを通した微細金属線をガイドの出側から
引き出すことが有効であることが明らかになった。一定
長さずつ精度良く微細金属線を引き出す方法としては、
次の二つの方法が特に効果的であった。
第1は、微細金属線の先端部の、次に切断されてしまう
部分の全部または一部を挟み込む等の方法で掴んで固定
するための保持部を設け、この保持部を切断する微細金
属線の長さにちょうど相当する長さ分だけ、ガイドから
遠ざける方向に動かすことによって微細金属線を引き出
す方法である。
また別な手段として、ガイドの出側にフィードロールを
設置して、1ステツプがちょうど切断する長さに相当す
るように調整されたステ、プモーター等によって前記フ
ィードロールを回転させることによって微細金属線を引
き出す方法も同しように有効であった。このような方法
によれば、微細金属線は後方から送り出す場合に生しが
ちな曲がりの心配が皆無となり、またガイドの細大部分
に微細金属線が詰まってしまうという不都合も、極めて
発生しにくくなることが確認された。
このようにして一定長さずつの微細金属線が弓き出され
てくる機構が実現したので、次にこの微細金属線の供給
機構と整合する切断方法について検討を行った。精度の
よい切断のためには、切断刃物のできるだけ直近の部分
を固定した状態で刃物を作動させることが必要である。
固定部分が刃物から遠くなればそれだけ、切断時の刃物
自体の動きによって微細金属線が大きく動かされること
になり、切断精度はそれだけ劣化することが避けられな
い。しかも固定する部分は、できるだけ微細金属線の先
端に近い部分に限定する必要がある。
そして出来れば、ガイドと刃物との間ではなく、刃物よ
り外側の、今切り落とされようとしている微細金属線の
最先端部側を掴みたい、そうすれば、掴みによって変形
を受けた微細金属線は切り落とされてしまい、次に掴み
部が固定しようとする位置は、前回の掴みや切断による
変形の影響がほとんど及ばなかった位置となるので、本
発明法を自動化する場合の信頼性が著しく高いものとな
るからである。
本発明は、以上の知見を組み合わせることによって成立
したものであるが、細部については後に実施例に基づい
て更に詳しく説明する。
〔作用〕
切断しようとする微細金属線はガイドの出側から、一定
の切断長さに相当する長さ分ずつが断続的に引き出され
て来る。微細金rIAvAを引き出すのは、ガイド出側
のフィードロールまたは保持部の動作による。切断は、
フィードロールまたは保持部に近接して設けられた切断
刃物によって行われる。狭いガイド穴に微細金属線を送
り込むのでなく出側から引き出す方式であるために、微
細金属線がガイド大入り口で曲がったり内部で詰まった
りすることなく、量産向きの切断作業が行われる。
〔実施例〕
実施例1 第1図が、本発明の基本的な動作を示す模式図である。
微細金属H1としては直径2DI!mの金線を用いた。
前記微細金属vA1は石英で作った内径30μmの細穴
を有するガイド2を通して下方に引き出されている。そ
の微細金属線1の先端部は、解放中の保持部3a、3b
、および同じ(解放中の切断用刃物4a、4bの間まで
達している。
またガイド2の入り側には、クランパー5a、5bを設
けて、微細金属線Iがガイド2を通して自然に流れ出る
のを防止した(第1図(イ))。
保持部3a、3bはセラミックス製であるが、まずこれ
を動作させて、微細金属Mlを左右から挟むように掴ん
で固定した(第1図(ロ))。次にクランパー5a、5
bを解放するとともに保持部3a、3bを微細金属線1
を把持したままで、下方にdだけ動かした。切断刃物4
a、4bとしては剃刀の刃を用いたが、その上下方向の
動きは保持部3a、3bと連動するようにしであるため
、前記保持部の下方動作によって切断刃物4a、4bも
一諸にdだけ下方に移動した(第1図(ハ))、ここま
での動作によって、微細金属線はガイド2から長さdだ
け出側に引き出されたことになる。
ここで再びクランパー5a、5bを閉じるとともに、切
断刃物4a、4bを水平方向に動作させて微細金属線1
を切断した(第1図(ニ))。切断刃物4a、4bは切
断後すぐに元の待機位置に引き戻し、更に微細金属線1
を掴んでいた保持部3a、3bも解放すると、切断され
た線片lOが落下した(第1図(ホ))。最後に保持部
3a。
3bと切断刃物4a、4bを一緒にdだけ上昇させると
く第1図(へ))、この状態は第1図(イ)に示した最
初の状態とまったく同等の状態に復元していることがわ
かる。したがってこの第1図の(イ)〜(へ)の工程を
繰り返して行わせることによって、微細金属線1は長さ
dの均一な長さの線片に次々と切断していくことができ
る。
微細金属線の線径dとしては、0.3.0.50.8鶴
で各々テストを行ったが、いずれの場合でも±O,’1
m以内の精度で切断することができた。
実施例2 先の実施例1においてクランパー5a、5bの役割は、
微細金属線をガイドの出側で閤んで引き出す作用をする
保持部3a、3bが解放状態になった時に、微細金属線
がガイドから自然に出たり戻ったりすることを防止する
ことであった。この役割は実施例1のようなりランパー
によらない別の手段によっても受は持たせることが可能
である。
本実施例においては、第2図に示すように、ガイド2I
を螺旋状とすることによって、クランパーの機能を併せ
持たセることにした。保持部3 a。
3bと切断刃物4a、4bは共に実施例1と同じ者を用
いた。微細金属線1は螺旋状のガイ、ド21の内部を通
るさいにガイドの内壁から与えられる抵抗によって、引
き出された位置で静止するようになり、クランパーが無
いにもかかわらず、実施例1と同じように精度の良い切
断が行われた。
実施例3 第3図は使用した装置の模式図である。■は微細金属線
、2はガイド、3a、3bは保持部、4a、4bが切断
用刃物である。ガイド2の出側にはフィードロール6a
、6bを設置した。このフィードロールは直径3fiの
セラミックス製で、ガイド2の出側から10m離れた位
置に設置した。
ロールの回転は、図示しないステップモーターによって
行い、微細金属線を一定の長さずつ断続的にガイド2の
出側に引き出すようにした。
本実施例の場合には、前記のようなフィードロールの作
用で微細金属線が切断刃物の位置に自動的に供給されて
くるので、保持部3a、3bも切断刃物4a、4bも上
下方間には動かす必要がない、保持部3a、3bも切断
刃物4a、4bも共に解放された状態の時に、フィード
ロールが1ステ7プ回転して引き出した微細金属線1の
先端部を、まず保持部3a、3bが水平に動いて掴んで
固定した後、切断刃物4a、4bが同しく水平方向に動
いて微細金属vA1を切断するようにした。
微細金属線1としては直径30μmの金線を用い、切断
長さは0.4=nとして精度の良い切断ができた。
実施例4 本発明法は微細金属線を単線の状態で精度良く切断する
ものであるが、切断の効率を更に向上させるためには、
単線ごとの切断要素を複数組み合わせて、並列処理する
ことも可能である。第4図はその一例を示すもので、4
本の微細金属線lを同時に切断する場合である。ガイド
2はセラミックス製であるが、二つ割りの状態で内側に
微細金属線を通すための溝を持つものを、左右から合わ
せた状態で使用している。フィードロール6a6bもセ
ラミックス製で、微細金属線をまっすぐに通すために、
溝付きロールになっている。ロールの回転は図に示して
いないステップモーターを使用しており、4本の微細金
属線1を同時に同じ長さだけ引き出すことができる。
保持部3a、3b並びに切断刃物4a、4bも4本の微
細金属vAlに同時に作用することができ、両者が共に
解放された状態の時にフィードロールが回転して一定長
さの微細金属線を引き出し、まず保持部3a、3bが閉
して微細金属線の先端を固定した後に、切断刃物4a、
4bが動作して切断するようにした。
この方法で、直径20μmの金線を長さ0.8鶴の均一
な線片に能率良く切断することができた。
〔発明の効果〕
微細金属線を不純物に接触させずに精度良く切断するこ
とができ、しかも切断された線片は1本1本をバラバラ
の状態で取り出すことができるので、後の溶融工程への
供給も容易である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明において、・切断過程の動作状況を説明
するための模式図、第2図はその一部を別の手段で置き
代えた場合の模式図、第3図はフィードロールを用いた
場合−例を示す模式図、さらに第4図は本発明法をより
能率良〈実施する場合の実施例の一例を示す見取図であ
る。 1、・・微細金属線、20.・ガイド、3a、3b・・
・保持部、 4a、4b・・・切断用刃物、 5a、5b・・・クランパー 6a、6b・・・フィードロール、 10、・、切断された微細金属線片、 21・・・螺旋状ガイド。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)微細金属線の端部を掴んだ保持部を動かすことに
    より、ガイド出側から微細金属線を一定長さだけ引き出
    した後、前記保持部に近接して設けた切断刃物によって
    微細金属線を切断することを特徴とする微細金属線の切
    断方法。
  2. (2)ガイド出側に配したフィードロールによって微細
    金属線をガイドから一定長さだけ引き出した後、フィー
    ドロールに近接して設けた切断刃物によって微細金属線
    を切断することを特徴とする微細金属線の切断方法。
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