JPH0496299A - シールドルーム用パネル板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電磁界を遮蔽するためのシールドルームに使
用されるシールドルーム用パネル板に関する。

［従来の技術］ −ｇに、電磁シールドルームは、その内部で使用される
機器の仕様条件、例えば、性能、精度電磁環境等、およ
び、シールドルーム周辺の環境条件、例えば、周辺機器
との取り合い、電磁環境使い勝手等を考慮して、材料、
構成部材、開口部の構造等が設計されている。

そして、シールドルーム内で使用される機器が、磁界成
分のシールドを必要とするのか、電界成分のシールドを
必要とするのか、あるいは、これ等の両者のシールドを
必要とするのかによって、そのシール構造が異なってく
る。

例えば、微弱な磁気を測定するセンサーを使用するシー
ルドルームでは、電界成分も磁界成分もシールドする必
要があり、磁界成分をシールドするための透磁性の高い
材料と、磁界成分をシールドするための導電性の高い材
料とを組み合わせた構造のシールドルームが要望される
。

上述した微弱な磁気を測定するセンサーとしては、例え
ば、現在開発の進められている、脳から発生する微弱な
脳磁波を検出し、脳卒中、てんがん等の病気の解明を図
るための超電動量子干渉素子（ＳＱＵＩＤ）センサーが
ある。

このセンサーは、１０のマイナス１２乗テスラの微弱な
磁気を測定するため、このセンサーを使用するためには
、周辺環境から発生する電磁ノイズを確実に遮断する必
要がある。

現在、このセンサーを使用するシールドルームは、磁界
成分を、パーマロイ等の高透磁性材料によりシールドし
、電界成分を、銅、亜鉛、鉄等の高導電性材料でシール
ドするように設計されており、高透磁性材料からなる板
材と、高導電性材料からなる板材を何層にも、パネル状
に組み合わせて構成されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、このように、高透磁性材料からなる板材
と、高導電性材料からなる板材を何層にも、パネル状に
組み合わせてシールドルームを構成する場合には、構造
的および性能的に、複雑な設計をする必要が生じ、製造
コストが増大するという問題があった。

すなわち、重量、積層、耐震性等の構造的な面、および
、開口部、ジヨイント部１貫通部等の性能的な面におい
て、非常に複雑な設計をする必要があるという問題があ
った。

本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされた
もので、簡易な構造で、かつ、従来より大幅に製造コス
トを低減することのできるシールドルーム用パネル板を
提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

請求項１のシールドルーム用パネル板は、磁界成分をシ
ールドするための高透磁性材料からなる板材、または、
電界成分をシールドするための高導電性材料からなる板
材の表面に、電界成分をシールドするための高導電性材
料からなる金属、または、磁界成分をシールドするため
の高透磁性材料からなる金属を低温溶射し、低温溶射層
を形成してなるものである。

請求項２のシールドルーム用パネル板は、基材の一面に
、磁界成分をシールドするための高透磁性材料からなる
金属、または、電界成分をシールドするための高導電性
材料からなる金属を低温溶射し第１低温溶射層を形成し
、この第１低温溶射層または前記基材の他面に、電界成
分をシールドするための高導電性材料からなる金属、ま
たは、磁界成分をシールドするための高透磁性材料から
なる金属を低温溶射し、第２低温熔射層を形成してなる
ものである。

〔作　用〕

請求項１のシールドルーム用パネル板では、板材および
低温溶射層により、電界成分および磁界成分がシールド
される。

請求項２のシールドルーム用パネル板では、第１低温溶
射層および第２低温溶射層により、電界成分および磁界
成分がシールドされる。

〔実施例］ 以下、本発明の詳細を図面に示す実施例について説明す
る。

第１図は、本発明のシールドルーム用パネル板の一実施
例を示すもので、図において符号１１は、例えば、パー
マロイ、アモルファス等の磁界成分をシールドするため
の高透磁性材料からなる板材を示している。

そして、この板材１１の一例表面には、真鍮。

銅、アルミニウム、亜鉛等の電界成分をシールドするた
めの高導電性材料からなる低温溶射層１３が形成されて
いる。

また、この実施例では、板材１１の他側表面には、板材
１１の表面保護のために、例えば、ステンレスからなる
低温溶射層１５が形成されている。

以上のように構成されたシールドルーム用パネル板は、
例えば、工場において、板材１１に低温溶射により、低
温溶射層１３．１５を形成することにより製造される。

第２図は、高導電性材料（または高透磁性材料）からな
る金属の低温溶射に使用される低温溶射装置の一例（日
本ティオン溶射株式会社製の溶射装置）を示すもので、
この低温溶射装置は、溶射機２１と、電源ボックス２３
と、スクリューコンプレッサー２５とから構成されてい
る。

電源ボックス２３内には、高導電性材料（または高透磁
性材料）からなる線材２７を巻回した図示しないボビン
が収容されており、この線材２７の一端が、溶射機２１
に接続されている。

スクリューコンプレッサー２５には、エアーホース２９
の一端が接続されており、このエアーホース２９は、電
源ボックス２３を介して、溶射機２１に接続されている
。

なお、図において符号３１は電源を、符号３３はアース
を、符号３５はケーブルを示している。

このような低温溶射装置を使用しての低温溶射層１３．
１５の形成は、スクリューコンプレッサー２５および電
源ボックス２３を作動し、溶射機２１を手に掴んだ状態
で、溶射機２１内で、例えば、電気放電された線材２７
の粒子を、エアーホース２９からの空気により、溶射機
２１がら噴出させ、板材１１に吹き付けることにより行
なわれる。

なお、上述した低温溶射装置では、低温溶射層１７の厚
みを、必要に応じて、例えば、５０ミクロンメートルか
ら５０区程度まで任意に設定することができる。

そして、以上のように構成されたシールドルーム用パネ
ル板は、例えば、建屋躯体に直接ビス等により固定され
、あるいは、箱型のパネルに組み立てられ、シールドル
ームに使用される。

しかして、以上のように構成されたシールドルーム用パ
ネル板では、磁界成分をシールドするための高透磁性材
料からなる板材１１の表面に、電界成分をシールドする
ための高導電性材料からなる金属を低温溶射し、低温溶
射層１３を形成したので、板材１１および低温溶射層１
３により、磁界成分および電界成分が確実にシールドさ
れるため、簡易な構造で、かつ、従来より大幅に製造コ
ストを低減することができる。

すなわち、本発明のシールドルーム用パネル板では、従
来のように、高透磁性材料からなる板材と、高導電性材
料からなる板材を何層にも、パネル状に組み合わせる必
要がなくなるため、構造的および性能的に、複雑な設計
をする必要がなくなり、簡易な構造で、かつ、従来より
大幅に製造コストを低減することができる。

また、本発明のシールドルーム用パネル板では、高透磁
性材料からなる板材１１、または、高導電性材料からな
る板材に、高導電性材料からなる金属、または、高透磁
性材料からなる金属を、例えば、溶射面温度が３０°Ｃ
程度の状態で、低温溶射するようにしたので、板材１１
の性質が変化することがなく、高透磁性あるいは高導電
性を充分に維持することが可能となる。

さらに、本発明のシールドルーム用パネル板では、異種
の材料を何層にも溶射することができるため、従来より
、空間スペースを低減することができる。

また、本発明では、低温溶射層１３の厚みを自由に変化
することができるため、シールドルームに必要なシール
ド性能に応じて、最も経済的なシールドルーム用パネル
板を容易に形成することが可能となる。

なお、以上述べた実施例では、磁界成分をシールドする
ための高透磁性材料からなる板材１１に、電界成分をシ
ールドするための高導電性材料からなる金属を低温溶射
した例について述べたが、本発明は、かかる実施例に限
定されるものではな（、電界成分をシールドするための
高導電性材料からなる板材に、磁界成分をシールドする
ための高透磁性材料からなる金属を低温溶射しても良い
ことは勿論である。

また、以上述べた実施例では、板材１１に、低温溶射層
１３を一層だけ形成した例について述べたが、本発明は
、かかる実施例に限定されるものではなく、高透磁性材
料と高導電性材料からなる低温溶射層を交互に複数層形
成しても良いことは勿論である。

第３図は、本発明のシールドルーム用パネル板の他の実
施例を示すもので、図において符号４１は、例えば、ア
ルミニウム等の軽金属からなる基材を示している。

この基材４１の一面には、磁界成分をシールドするため
の高透磁性材料からなる金属が低温溶射され第１低温溶
射層４３が形成されている。

そして、この第１低温溶射層４３の表面には、電界成分
をシールドするための高導電性材料からなる金属が低温
溶射され、第２低温溶射層４５が形成されている。

以上のように構成されたシールドルーム用パネル板にお
いても、第１図に示した実施例とほぼ同様の効果を得る
ことができるが、この実施例では、基材４１を軽金属か
ら形成したので、軽くて、強度の高いシールドルーム用
パネル板を容易に提供することが可能となる。

なお、以上述べた実施例では、磁界成分をシールドする
ための高透磁性材料からなる低温溶射層を第１低温溶射
層４３とし、電界成分をシールドするための高導電性材
料からなる低温溶射層を第２低温溶射層４５とした例に
ついて述べたが、本発明は、かかる実施例に限定される
ものではなく、電界成分をシールドするための高導電性
材料からなる低温溶射層を第１低温熔射層とし、磁界成
分をシールドするための高透磁性材料からなる低温溶射
層を第２低温溶射層としても良いことは勿論である。

第５図は、本発明のシールドルーム用パネル板により形
成された箱型のシールドパネルを示すもので、このシー
ルドパネル１２１は、所定間隔を置いて対向配置される
シールドルーム用パネル板１２３の間に、ペーパーハニ
カム１２５を配置し、端部側に補強部材である乾燥木材
１２７および端部金物１３１を配置して構成されている
。

そして、シールドルーム用パネル板１２３には、上述し
た、第１図、第３図、第４図に示したシールドルーム用
パネル板の何れか一つがそのまま使用されている。

第６図は、上述したシールドパネル１２１により形成さ
れたシールドルームの一例を示しており、このシールド
ルームは、複数のシールドパネル１２１を、！磁界遮蔽
状態で連結して、内部に電磁界遮蔽空間を形成して構成
されている。

すなわち、各シールドパネル１２１の連結部１１工は、
連結部材および受金具により相互に連結されている。

前側のシールドパネル１２１には、雇用の空間が形成さ
れ、この空間には、扉１１３が開閉自在に配置されてい
る。

この扉１１３は、閉時には、電磁界遮蔽状態で閉じるよ
うに構成されている。

また、前側の、扉１１３の配置されていないシールドパ
ネル１２１には、窓部用空間が形成され、この窓部用空
間には、シールド硝子１１５がシールド状態で配置され
窓部が形成されている。

天井の図示しないシールドパネル１２１を貫通して空調
吹出口・吸込口１１７がシールド状態で配置され、また
、右側手前のシールドパネル１２１を貫通して、各種の
開閉器を備えた電源ボックス１１９がシールド状態で配
置されている。

以上のように構成されたシールドルームは、本発明のシ
ールドルーム用パネル板１２３を用いたシールドパネル
により構成されるため、簡易な構造で、シールド性能が
高いものとなる。

なお、この実施例では、シールドパネル１２１を連結部
材１１１により相互に連結した例について述べたが、連
結部材１１１を使用することなく、例えば、低温溶射に
より連結するようにしても良い。

特に、シールドルーム用パネル板を建屋躯体に直接ビス
等で取り付ける時には、シールドルーム用パネル板の接
続部を、シールドルーム用バネル板の取り付は後に低温
溶射し、密閉するのが望ましい。

（発明の効果〕 以上述べたように、請求項１のシールドルーム用パネル
板では、磁界成分をシールドするための高透磁性材料か
らなる板材、または、電界成分をシールドするための高
導電性材料からなる板材の表面に、電界成分をシールド
するだめの高導電性材料からなる金属、または、磁界成
分をシールドするための高透磁性材料からなる金属を低
温溶射し、低温溶射層を形成したので、板材および低温
溶射層により、電界成分および磁界成分が確実にシール
ドされるため、簡易な構造で、かつ、従来より大幅に製
造コストを低減することができる。

請求項２のシールドルーム用パネル板では、基材の一面
に、磁界成分をシールドするための高透磁性材料からな
る金属、または、電界成分をシールドするための高導電
性材料からなる金属を低温溶射し第１低温溶射層を形成
し、この第１低温溶射層または前記基材の他面に、電界
成分をシールドするための高導電性材料からなる金属、
または、磁界成分をう／−ルドするための高透磁性材料
からなる金属を低温溶射し、第２低温溶射層を形成した
ので、第１低温溶射層および第２低温溶射層により、電
界成分および磁界成分がシールドされるため、簡易な構
造で、かつ、従来より大幅に製造コストを低減すること
ができるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１回は本発明のシールドルーム用パネル板の一実施例
を示す断面図である。 第２図は低温溶射装置の一例を示す斜視図である。 第３図および第４図はそれぞれ本発明のシールドルーム
用パネル板のさらに他の実施例を示す断面図である。 第５図は本発明のシールドルーム用パネル板を用いたシ
ールドパネルの一部を示す断面図である。 第６図は第５図のシールドパネルを用いたシールドルー
ムを示す断面図である。 〔主要な部分の符号の説明〕 １１・・・板材 １３・・・低温溶射層 ４１・・・基材 ４３・・・第１低温溶射層 ４５・・・第２低温溶射層。 第１図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁界成分をシールドするための高透磁性材料から
   なる板材、または、電界成分をシールドするための高導
   電性材料からなる板材の表面に、電界成分をシールドす
   るための高導電性材料からなる金属、または、磁界成分
   をシールドするための高透磁性材料からなる金属を低温
   溶射し、低温溶射層を形成してなることを特徴とするシ
   ールドルーム用パネル板。
2. （２）基材の一面に、磁界成分をシールドするための高
   透磁性材料からなる金属、または、電界成分をシールド
   するための高導電性材料からなる金属を低温溶射し第１
   低温溶射層を形成し、この第１低温溶射層または前記基
   材の他面に、電界成分をシールドするための高導電性材
   料からなる金属、または、磁界成分をシールドするため
   の高透磁性材料からなる金属を低温溶射し、第２低温溶
   射層を形成してなることを特徴とするシールドルーム用
   パネル板。