JPH0496662A - リニア駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、リニア駆動装置に関する。

従来の技術 従来、マイクロマシンニングにおけるアクチュエータを
有する装置としては種々のものか発案されている。その
第一の従来例として、第１３図に示すように、中央部に
設けられたロータ（回転子）１の回りにステータ電極（
固定子）２が取り囲むようにして配設されているものが
ある。二の場合、周囲のステータ電極２に順次電圧が印
加されることにより、その静電引力によりロータ１が回
転をし、これにより動力を発生するものである。

また、その第二の従来例として、第１４図に示すように
、基板３上に短冊形状をした多数のステータ電極４が配
設され、絶縁膜５を介して、円筒状のロータ６が上部に
置かれている。

この場合、直線状に配列されたステータ電極４に順次電
圧を印加していくことにより、静電引力によりロータ６
がステータ電極４の表面上を転がリ、これにより動力を
発生することができる。

さらに、その第三の従来例として、第１５図に示すよう
に、直線運動を直接取り出すために、インチウオーム（
尺取り虫）の形をしたアクチュエータがある。これは、
カイトレール７上に置かれた移動可能な拡大機構８にピ
エゾ圧電素子９を取付けたものであり、これにより、そ
のピエゾ圧電素子９に適当に順次電圧を印加することに
より、拡大機構８に直線運動を発生させることができる
ものである。

発明が解決しようとする課題 第一の従来例の場合、ステータ電極１がロータ２の周囲
に配設されているため、これにより得られる駆動力は回
転運動である。従って、二のような機構から直線方向の
力を取り出すためには、その回転運動を一旦直線運動に
変換する必要があり、このためその変換する機構が必要
となり装置が複雑化する。

第二の従来例の場合、円筒状のロータ６が転がる構造と
なっているため、直接、直線運動を取り出すことは可能
となるか、しかし、実際にはそのロータ６の上部に「負
荷」を乗せる荷台か必要になり、また、そのような荷台
を設けるためには軸受が必要となり、これにより装置全
体の構成か複雑化する恐れがある。

第三の従来例の場合、拡大機構８を直線状に推進させる
ためにピエゾ圧電素子９に電圧を印加させるためのケー
ブルが必要となり、その分、部品点数が増えこのケーブ
ル自体がムダな負荷となる。

この場合、マクロな大きさのアクチュエータならそのケ
ーブルもさほど聞届とはならないが、μｍオーダーの大
きさを有するアクチュエータ（いわゆる、マイクロマシ
ン）では、電力供給のためのケーブルは荷重負荷が増加
するためほとんど実現不可能である。しかも、電力供給
用の架線、レール等を設けても、摩擦、摩耗、接触不良
なとの点からほとんと実用に適していない。

課題を解決するための手段 そこで、このような問題点を解決するために、本発明は
、非直線な形状を有し弾性体からなる伸縮可能なアクチ
ュエータを少なくとも３個連設してなる移動子を設け、
この移動子を挾む移動方向に沿って配列された多数のス
テータ電極によりなるガイドレールを少なくとも２本配
設し、前記移動子の両端に位置する前記アクチュエータ
にその移動子を前記ガイドレール間で固定する移動子保
持手段を設け、前記移動子の両端以外に位置する前記ア
クチュエータにその移動子を移動方向に推進させる移動
子推進手段を設けた。

作用 これにより、移動子を挾んで対向するステータ電極間に
電圧を印加することによって、移動子のアクチュエータ
とステータ電極との間に静電力を発生させることができ
るため、移動子をガイドレールに沿って移動させる二と
か可能となり、これにより直接直進運動の駆動力を取り
出すことか可能となる。

実施例 本発明の第一一の実施例を第１図ないし第７図に基つい
て説明する。第１図は本装置の構成例を示すものである
。移動子１０は、パンタグラフ型をした３個のアクチュ
エータ＋１．１．２．１３により構成されている。これ
らアクチュエータ１１゜１２．１３は、弾性体からなり
伸縮可能とされている。また、この移動子１０を挾んだ
対向した位置には、多数のステータ電極１４か移動方向
Ｍに沿って配列されたカイトレール１５が設けられてい
る。

この場合、前記移動子１．０の両端に位置する前記アク
チュエータ＋１．．１３は、その移動子ｌＯを前記ガイ
ドレール１５間で固定する図示しない移動子保持手段（
第６図参照）が設けられている。

また、前記移動子１０の両端以外の中央部に位置する前
記アクチュエータ１２には、その移動子１０を移動方向
Ｍに推進させる図示しない移動子推進手段（第６図参照
）が設けられている。なお、移動子保持手段と移動子推
進手段とは、後述する第６図の回路中で説明する。

また、第２図は、第１図のＡ　−Ａ断面図の様子を示す
ものである。前記移動子１０と前記ステータ電極１４と
は、多結晶Ｓｉ（以下、ｐｏｌｙ−８１と呼ぶ）からな
っている。ｐｏｌｙ−３ｉには不純物が高濃度にドーピ
ングされており、その比抵抗は非常に低いため電気導電
体と同等とみなすことができる。なお、そのｐｏｌｙ−
３ｉの表面には絶縁膜としてのＳ】０２が被覆されてい
る。

このような構成において、パンタグラフ型をしたアクチ
ュエータ１．１，１２．１３からなる移動子１０とステ
ータ電極１４とにより構成されるリニア駆動装置の動作
原理を第５図（ａ）〜（ｆ）に基づいて説明する。まず
、その動作原理の説明を行う前に、第３図（ａ）（ｂ）
に基づいてアクチュエータ１．１　　（なお、アクチュ
エータ１２、アクチュエータ１３の場合も同じ）の基本
的動作について述べる。第３図（ａ）はアクチュエータ
１１の電極部１６に対向するステータ電極１４間に電圧
を印加しない場合の状態を示すものである。このステー
タ電極１４間に、今、第３図（ｂ）に示すように、電圧
上■を印加すると、ステータ電極１４とアクチュエータ
１１間で構成される容量（第６図参照）が大きくなるよ
うに力が働く。これにより、アクチュエータ１１の電極
部１６がステータ電極１４に引っ張られることになるた
め、そのアクチュエータ１１はステータ電極１４側の上
下方向へ伸び、左右方向に縮むことになる。

ここで、第４図（ａ）〜（ｃ）の各種記号の説明をして
おく。（ａ）は、ステータ電極１４に電圧を印加するこ
とによりパンタグラフ（アクチュ二一夕の形状をいっ）
が縮み（移動方向）しがもステータ電極１４に接触する
様子を示すものであり、移動子保持手段を有する移動子
１ｏの両端に配置されているアクチュエータ１１．１３
がこれに該当する。この状態を図中ではＣ３（Ｃｏｍｐ
ｒｅｓｓｉｏｎ＆５ｅｔ）という記号で示すことにする
。

（ｂ）は、電圧印加によりパンタグラフは縮む（移動方
向Ｍ）がステータ電極１４には接触しない状態を示すも
のであり、移動子推進手段を有する移動子１０の両端部
以外に位置するアクチュエータ１２がこれに該当する。

この状態を図中ではＣ（Ｃｏｍｐｒｅｓｓｉｏｎ）とい
う記号で示すことにする。

（Ｃ）は、電圧の印加を行わずパンタグラフが剛性によ
り縮んでいる状態を示すものであレバ移動子１０のすべ
てのアクチュエータ１１，１２．１３がこれに該当する
。この状態を図中ではＦ（Ｆ　ｒｅｅ）という記号で示
すことにする。

そこで、上述したような基本構成をもとに、リニア駆動
装置の動作原理を第５図（ａ）〜（「）に基づ゛いて述
べる。なお、図中、Ｃ３，Ｃ，Ｆの各記号は前述したよ
うな動作内容とする。

まず、（ａ）では、アクチュエータ１３の電極部１６に
対向するステータ電極１４間に電圧を印加する。これに
よりアクチュエータ１３の電極部１６が縦方向（移動方
向Ｍに直交する方向）に弓っ張られて伸び、ステータ電
極１４と接触し固定される。

次に、（ｂ）では、アクチュエータ１２がアクチュエー
タ〕３と同様にステータ電極１４に印加された電圧によ
り縦方向に伸びると同時に横方向（移動方向Ｍ）に縮む
。この時、アクチュエータ１３は固定されているが、ア
クチュエータ１１は固定されていないので、アクチュエ
ータ１２が縮むことによりアクチュエータ１１は図中右
方向に引っ張られ移動する。

次に、　（Ｃ）では、アクチュエータ１１の位置に対応
するステータ電極１４に電圧を印加してそのアクチュエ
ータ１１を固定する。

次に、　（ｄ）では、アクチュエータ１３の位置に対応
するステータ電極１４への電圧印加を止め、そのアクチ
ュエータ１３をフリーの状態にする。

次に、（ｅ）では、アクチュエータ１２の位置のステー
タ電極１４への電圧印加を止める。これにより、縦方向
に伸びていたアクチュエータ１２が元の状態に復帰し、
電圧印加時に比べて左右方向に伸びる。この時、アクチ
ュエータ１１はステータ電極１４に固定されているため
、アクチュエータ１３は右方向に移動する。

次に、（ｆ）では、アクチュエータ１３の位置に対応す
るステータ電極１４に電圧を印加してそのアクチュエー
タ〕３を固定する。

以下、（ａ）〜（ｆ）までのシーケンスを繰り返すこと
によって、移動子１０は右方向に移動していく。なお、
左方向に移動させる場合は、（ａ）〜（ｆ）のシーケン
スを全く逆に行えばよいことになる。

次に、上述した第５図（ａ）〜（ｆ）に示したようなシ
ーケンスを行うための回路構成の一例を第６図に示し、
以下、その回路の動作原理を第１段階から第５段階に分
けて説明する。なお、二の回路は、移動子保持手段と移
動子推進手段とを含むものである。

まず、第１段階において、モードコントロール回路１７
は、位置検出モードにすべくモード切換信号ａをアドレ
スメモリ１８及びモード切換スイッチ１９に送る。これ
によりモード切換スイッチ１９はそのスイッチをＣメー
タ２０側にセットし、また、アドレスメモリ１８はピー
ク検知回路２１からのピーク検知信号すに同期してアド
レス信号発生回路２２から出力されるステータ＠梗選択
信号Ｃのアドレスコードを記憶するような状態となる。

次に、第２段階において、アドレス信号発生回路２２か
出力するステータ電極選択信号Ｃによりステータ電極選
択スイッチ２３がステータ電極１４と接続されているス
イッチを順次オン状態にしていく。このステータ電極選
択スイッチ２３はコモン接続されていてＣメータ２ｏに
接続されている。移動子１０が存在するステータ電極１
４をステータ電極選択スイッチ２３が選択すると、その
ステータ電極１４間の容量は大きいので、Ｃメータ２０
の容量値測定出力信号ｄの値が大きくなる（その理由は
移動子１０は高不純物濃度ｐｏｌｙＳ工なので、これが
存在するステータ電極１４間の距離が実質上短くなるた
め容量が大きくなることになる）。

そして、ピーク検知回路２１はその容量値測定出力信号
ｄの増加を検出し、容量が増加したことをピーク検知信
号すによりアドレスメモリ１８に伝える。このアドレス
メモリ１８は、ピーク検知信号すに同期してその時点の
アドレス信号発生回路２２の出力しているステータ電極
選択信号Ｃのアドレスコードを記憶する。このアドレス
コードは、移動子１０の存在するステータ電極１４の番
号に対応するので、これによりとのステータ電極１４に
移動？１．Ｏか位置しているかを知ることができる。

次に、第３段階において、アドレスメモリ１８がステー
タ電極１４のアドレスコードを記憶すると、アドレスメ
モリ１８は移動子１０の位置を検知記憶したことを伝え
る位置検知完了信号ｅをモードコントロール回路１７に
出力するー。これにより、モードコントロール回路１７
は、ステータ電極１４へ電圧印加を行う（移動子１０を
移動させる）モードにすることをモード切換信号ａによ
りアドレスメモリ１８、アドレス信号発生回路２２、モ
ード切換スイッチ１９に命令する。これにより、モード
切換スイッチ１９のスイッチが、移動子ｌＯを移動する
ためのエネルギーを供給する電圧源２４側に切り換わる
。また、アドレスメモリ１８は記憶したアドレスを移動
子位置アドレス信号ｆを通じてアドレス信号発生回路２
２に送り、このアドレス信号発生回路２２はこれをスタ
ートアドレスとして記憶する。

次に、第４段階において、アドレス信号発生回路２２が
記憶したスタートアドレスを基準として、第５図で示し
たようなシーケンスが進むようにステータ電極選択信号
Ｃを通してステータ電極選択スイッチ２３を制御する。

次に、第５段階において、第４段階にて１シーケンスが
終了したら、再び第１段階に戻って同様な作業を繰り返
して行う。

このような手順に従ってステータ電極１４に電圧を印加
していくことにより、移動子１０を移動させることがで
きる。なお、ここでは、１シーケンス毎に移動子１０の
位置検出を行うようにしたが、１シーケンスにより移動
する距離のバラツキが小さければ、位置検出を行う間隔
をもっと広げるようにしてもよい。

次に、本装置の作製プロセスを第７図（ａ）〜（ｇ）に
基づいて説明する。

まず、（ａ）では、Ｓ１単結晶基板（Ｃ−３ｉとも呼ぶ
、なお、石英、サファイヤ等でもよい）２５上に５１０
２２６、Ｓｉ、Ｎ４２７を積層した後、さらに、その上
部にステータ電極１４のリード配線となるｐｏｌｙ−３
ｉ２８を形成し、その後、所望のパターンにエツチング
する。

次に、（ｂ）（ｃ）では、犠牲層となるＳｉ０．２９を
形成した後、ステータ電極１４とリード配線間のコンタ
クトホール３０と、アクチュエータ１１．１２．１３の
すべりを良くするためのブッシングとなる領域３１のパ
ターンをエツチングにより形成する。

次に、（ｄ）では、そのエツチングを行った後の表面に
ｐｏｌｙ　　５ｉ３２を形成する。アクチュエータ１１
，１２．１３の剛性を高くし、電極面積を大きくして発
生する静電引力を大きくするために２〜５μｍの厚みと
する。

次に、　（ｅ）では、ステータ＠棲１４、移動子１０（
アクチュエータ１１，１２．１３）の形状となるように
エツチングを行う。

次に、　（ｆ）では、バッフアートフッ酸（ＢＨＦ）に
より、犠牲層としての８１０２２９を除去し、移動子１
０は基板から離れ、自由に動くことができるようになる
。

次に、　（ｇ）では、ステータ電極１４及び移動子１０
の材料であるｐｏｌｙ−３ｉ３２を熱酸化させ表面に８
１０２３３を形成する。これにより、移動子１０がステ
ータ電極１４に接触した時にステータ電極１４間に短絡
電流が流れ、素子が発熱により破壊されるのを防ぐこと
ができる。

上述したような（ａ）〜（ｇ）に示すようなプロセスに
より本装置（第２図参照）を作製することができる。

次に、本発明の第二の実施例を第８図ないし第１２図に
基づいて説明する。前述した第一の実施例では、移動子
１０、すなわち、アクチュエータ１．１，１２，１．３
を挾んだ外側の領域にのみステータ電極１４を設けたが
、ユニでは、アクチュエータ１１，１．２．１３の外側
だけでなくその電極部１６の内側の領域にもステータ電
極３４を設けたものである。この場合、内側のステータ
電極３４の配線は、多層配線により外側のステータ電極
１４の位置まで伸び電極取出パッド３５に接続されてお
り、そのパッド部より内側のステータ電極３４への電圧
印加を可能としている。

また、第一の実施例と同様に、両端のアクチュエータ１
１．１３は、内側のステータ電極３４又は外側のステー
タ電極１４に電圧を印加することによってその電極部１
６がステータ電極１４，３４に接触し固定されるように
、その寸法、形状、材料等を決定する。一方、両端以外
の中央に位置するアクチュエータ１２は伸び縮みしても
、その電極部１６がステータ電極１４．３４には接触し
ないように設計する。

このような構成において、内側のステータ電極３４に電
圧を印加することにより、各アクチュエータ１１，１２
．１３は第一の実施例の時よりも積極的に縦方向に縮み
、横方向（移動方向Ｍ）に伸びることになる。この場合
、移動子１０の１シーケンスの移動距離は、移動子１０
の中央に位置するアクチュエータ１２が左右に伸びた場
合と縮んだ場合の「幅」の差によって決まる。従って、
本実施例の場合におけるその「幅」の差は、第一の実施
例の時よりも大きいために１シーケンス当りの移動距離
はその第一の実施例の時よりも一段と大きくなる。

次に、この第二の実施例における装置の動作原理につい
て説明する。まず、本装置の動作原理を説明する前に、
前述した第４図の場合と同様に、移動子１０の基本動作
を第１０図の記号に基づいて行うことにする。

記号ＴＳ　（Ｔｅｎｓｉｏｎ＆５ｅｔ）は、パンタグラ
フが伸び（移動方向Ｍ）Ｌかもステータ電極３４に接す
る状態を示すものである。記号Ｃ３（Ｃｏｍｐｒｅｓｓ
ｉｏｎ＆　５ｅｔ）は、パンタグラフが縮み（移動方向
Ｍ）Ｌかもステータ電極１４に接する状態を示すもので
ある。記号Ｔ（ＴｅｎＳ１００）は、パンクグラブが伸
びる（移動方向）だけである。記号Ｆ（Ｆ　ｒｅｅ）は
電圧を印加せずに自由状態にあるものを示すものである
。記号Ｃ（Ｃｏｍｐｒｅｓｓｉｏｎ）は、パンタグラフ
が縮む状態を示すものである。

次に、リニア駆動装置の動作原理を第１１図（ａ）〜（
ｇ）に基づいて述べる。なお、図中、ＴＳ、Ｃ３，Ｔ、
Ｆ、Ｃの各記号は前述したような動作内容とする。

まず、（ａ）では、図中右側のアクチュエータ１３の位
置に対応する外側のステータ電極１４に電圧を印加する
。これにより、アクチュエータ１３は、縦方向に伸び、
ステータ電極１４に固定される。

次に、　（ｂ）では、中央のアクチュエータ１２の位置
に対応する内側のステータ電極３４に電圧を印加するこ
とにより、そのアクチュエータ１２の電極部１６は内側
に引っ張られ、これにより、アクチュエータ１２は縦方
向に縮み、横方向に伸びる。この時、アクチュエータ１
２は固定されているため、アクチュエータ１１は左方向
に移動する。

次に、（Ｃ）では、左側のアクチュエータ１１の位置に
対応する内側のステータ電極３４に電圧を印加すること
により、そのアクチュエータ１１を固定する。

次に、（ｄ）では、アクチュエータ１１の位置に対応す
るステータ電極１４への電圧印加を止め、アクチュエー
タ１１をフリーの状態にする。

次に、　（ｅ）では、アクチュエータ１２の位置に対応
する内側のステータ電極３４への電圧印加を止めると同
時に同じ位置の外側のステータ電極１４に電圧を印加す
る。これにより、アクチュエータ１２は縦方向に伸び、
左右方向（移動方向Ｍ）に縮む。アクチュエータ１１が
固定されているので、アクチュエータ１３は左に移動す
る。

次に、（ｆ）では、アクチュエータ１３の位置に対応す
る外側のステータ電極１４に電圧を印加してそのアクチ
ュエータ１３を固定する。

次に、（ｇ）では、アクチュエータ１１の位置に対応す
る内側のステータ電極３４への電圧印加を止め、そのア
クチュエータ１】をフリーにする。

このように（ａ）〜（ｇ）のシーケンスを繰り返して行
うことによって、移動子１０は図中左方向へ進行してい
く。なお、両端のアクチュエータ１１．１．３を固定す
るためには、内側、外側のどちらのステータ電極１４．
３４に電圧を印加すようにしてもよい。また、この場合
、移動子１０を右方向に移動させるためには、（ａ）〜
（ｇ）のシーケンスを逆に行えばよい。

次に、本装置の作製プロセスを第１２図（ａ）〜（ｋ）
に基づいて説明する。

ます、（ａ）では、Ｃ−３ｉ３６上にＳｉｎ。

３７、Ｓｉ、Ｎ４３８を順次成膜した後、さらに、その
表面にｐｏｌｙ−３ｉ３９を成膜しその中央部のエツチ
ングを行う。

次に、（ｂ）では、外側のステータ電極１４のリード配
線と内側のステータ電極３４のリード配線とを絶縁する
ために、層間絶縁膜のＳｉ３Ｎ、４０を成膜しパターン
ニングする。

次に、（Ｃ）では、外側のステータ電極１４のリード配
線層としてのｐｏｌｙ−３ｉ４１を成膜しパターンニン
グを行う。

次に、（ｄ）では、移動子１０を基板から自由にするた
めの犠牲層となる５１０２４２を成膜しパターンニング
する。

次に、（ｅ）では、移動子１０を構成するアクチュエー
タ１１．，１２．１３及びステータ電極１４．３４とな
るｐｏｌｙ−３ｉ４３を２〜５　ｐ、　ｍ成膜する。

次に、（ｆ）では、そのｐｏｌｙ−３ｉ４３をエツチン
グして、アクチュエータ１１，１２．１３のパンタグラ
フ部４４及びその電極部４５、内側のステータ電極３４
、外側のステータ電極１４の形状をパターンニングする
。

次に、（ｇ）では、アクチュエータ１．１，１．２゜１
３のパンタグラフ部４４とその電極部４５とを接続する
ためのブリッジ部分と、内側のステータ電極３４及び外
側のステータ電極１４とを分離するために、犠牲層とし
て５１０２４６を形成する。

次に、（ｈ）では、アクチュエータｌｂ、、１２゜１３
のパンタグラフ部４４とその電極部４５とを接続するた
めに、これらの上部のＳｊｏ、４Ｇをエツチングにより
除去しコンタクトホール４７を設け、これによりパンタ
グラフ部４４とその電極部４５とを露出させる。

次に、　（１）では、そのコンタクトホール４７を通し
てｐｏｌｙ−３ｉ４８を形成し、これによりブリッジ形
状にパターンニングする。

次に、（ｊ）では、移動部１０（アクチュエータ１１，
１２．］、３）を基板部分から分離して自由にするため
に、ＢＨＦによって８１０２４６を除去する。

次に、（ｋ）では、ｐｏｌｙ−３ｉ４８の表面をＳｉｎ
、４９で酸化し、ステータ電極１４，３４間に短絡電流
が流れないように電極表面を絶縁する。

上述したような（ａ）〜（ｋ）のプロセスにより本装置
（第９図参照）を作製することができる。

発明の効果 本発明は、非直線な形状を有し弾性体からなる伸縮可能
なアクチュエータを少なくとも３個連設してなる移動子
を設け、この移動子を挾む移動方向に沿って配列された
多数のステータ電極によりなるガイドレールを少なくと
も２本配設し、Ａｊｊ記移動子の両端に位置する前記ア
クチュエータにその移動子を前記ガイドレール間で固定
する移動子保持手段を設け、前記移動子の両端以外に位
置する前記アクチュエータにその移動子を移動方向に推
進させる移動子推進手段を設けたので、移動子を挾んで
対向するステータ電極間に電圧を印加することによって
、移動子のアクチュエータとステータ電極との間に静電
力を発生させることかできるため、移動子をガイドレー
ルに沿って移動させることが可能となり、これにより、
直接、直進運動の駆動力を取り出すことが可能となり、
しかも、軸受は構造が不要な無索のリニア駆動源を得る
ことができるものである。

１０・・・移動子、 １１．１２．１３・・・アクチュエ ータ、１．４．３４・・・ステータ電極

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第一の実施例を示す構成図、第２図は
そのＡ−Ａ断面図、第３図はアクチュエータの基本動作
を示す説明図、第４図はアクチュエータの動作状態を記
号を用いて示す説明図、第５図は移動子の動作原理を示
す説明図、第６図はそのシーケンスを行うための回路図
、第７図は第２図の作製プロセスを示す説明図、第８図
は本発明の第二の実施例を示す構成図、第９図はそのＡ
Ａ断面図、第１０図はアクチュエータの動作状態を記号
を用いて示す説明図、第１Ｉ図は移動子の動作原理を示
す説明図、第１２図は第９図の作製プロセスを示す説明
図、第１３図は第一の従来例を示す構成図、第１４図は
第二の従来例を示す構成図、第１５図は第三の従来例を
示す構成図である。 株式会社 −１−一１２．“１が 明・１・咀 Ｔ−ζ　−二１ １こ迅ワ１ 図 （ａ） ＮＤ ５図 （ケ○Ｚ） ＬｒＮＬ） ■ 鉗り 一■ Ｊ ７図 （、’２（ｒｌＺ　） 、％　、１７図（穎２）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非直線な形状を有し弾性体からなる伸縮可能なアクチュ
   エータを少なくとも３個連設してなる移動子を設け、こ
   の移動子を挾む移動方向に沿って配列された多数のステ
   ータ電極によりなるガイドレールを少なくとも２本配設
   し、前記移動子の両端に位置する前記アクチュエータに
   その移動子を前記ガイドレール間で固定する移動子保持
   手段を設け、前記移動子の両端以外に位置する前記アク
   チュエータにその移動子を移動方向に推進させる移動子
   推進手段を設けたことを特徴とするリニア駆動装置。