JPH049842B2 - - Google Patents
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- JPH049842B2 JPH049842B2 JP15787A JP15787A JPH049842B2 JP H049842 B2 JPH049842 B2 JP H049842B2 JP 15787 A JP15787 A JP 15787A JP 15787 A JP15787 A JP 15787A JP H049842 B2 JPH049842 B2 JP H049842B2
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、主としてＸ線管用ターゲツトの材料
として用いられるＷ又はＷ合金／Mo又はMo合
金張り合わせ材料の製造方法に関する。
として用いられるＷ又はＷ合金／Mo又はMo合
金張り合わせ材料の製造方法に関する。
［従来の技術］
一般に、Ｘ線管用ターゲツトは、その特性とし
て、高負荷に耐え、且つ、高融点であることが要
求される。そこで、従来はRe−Ｗ／Moを張り合
わせ材料をＸ線管用ターゲツトとして用いてい
た。
て、高負荷に耐え、且つ、高融点であることが要
求される。そこで、従来はRe−Ｗ／Moを張り合
わせ材料をＸ線管用ターゲツトとして用いてい
た。
ここで、第２図に示すとおり、Re−Ｗ／Mo張
り合わせ材料の製造方法を説明する。
り合わせ材料の製造方法を説明する。
まず、Mo粉末の層１上に厚さ約４mmの５％Re
−Ｗの粉末層２を設けてなる粉末体を得る為に、
３〜6ton／cm2の圧力のプレスを加える粉末プレス
工程ａ、これを1800〜2000℃の温度で焼結する焼
結工程ｂ、焼結体をさらに、熱間鍛造率30〜50％
で鍛造する熱間鍛造工程ｃ、鍛造した張り合わせ
材を図示するように成形する熱間成形工程ｄ、最
後に、φ70〜100mm×t5〜10mmの寸法に切削して
製品とする製品切削工程ｅを経ることにより、
Mo層７及びRe−Ｗ合金層８からなるRe−Ｗ／
Mo張り合わせ材料を製造している。
−Ｗの粉末層２を設けてなる粉末体を得る為に、
３〜6ton／cm2の圧力のプレスを加える粉末プレス
工程ａ、これを1800〜2000℃の温度で焼結する焼
結工程ｂ、焼結体をさらに、熱間鍛造率30〜50％
で鍛造する熱間鍛造工程ｃ、鍛造した張り合わせ
材を図示するように成形する熱間成形工程ｄ、最
後に、φ70〜100mm×t5〜10mmの寸法に切削して
製品とする製品切削工程ｅを経ることにより、
Mo層７及びRe−Ｗ合金層８からなるRe−Ｗ／
Mo張り合わせ材料を製造している。
［発明が解決しようとする問題点］
ところで、近年、ターゲツトの特性を向上させ
るために、ターゲツト自身を大型化（大径化、厚
板化）して、ターゲツトの蓄熱容量を大きくする
方法が採用される傾向がある。
るために、ターゲツト自身を大型化（大径化、厚
板化）して、ターゲツトの蓄熱容量を大きくする
方法が採用される傾向がある。
従来の製造方法では3ton／cm2のプレス圧力及
び、1800℃の焼結温度が塑性加工が可能な焼結体
を得る為の最低必要条件である。
び、1800℃の焼結温度が塑性加工が可能な焼結体
を得る為の最低必要条件である。
しかしながら、大径化、厚板化（φ120〜180mm
×t10〜20mm）されるに従い、粉末材料をプレス
する際に、プレス圧力の伝ぱんに不均一が生じ易
く、また、装置の大型化を招く等の不都合があつ
た。
×t10〜20mm）されるに従い、粉末材料をプレス
する際に、プレス圧力の伝ぱんに不均一が生じ易
く、また、装置の大型化を招く等の不都合があつ
た。
しかも、このような圧力のばらつきに起因し
て、その後の工程である鍛造、圧延及び成形工程
において、材料割れ、特に、Re−Ｗ層に割れ等
の異常が生じ、歩留りが０〜70％と低いという欠
陥があつた。
て、その後の工程である鍛造、圧延及び成形工程
において、材料割れ、特に、Re−Ｗ層に割れ等
の異常が生じ、歩留りが０〜70％と低いという欠
陥があつた。
また、焼結工程において、1800℃以上の高温で
焼結するため、Ｗ又はＷ合金層の表面が焼結炉の
炉材や高温不純物等の異物に汚染され、或いは、
表面の微小クラツクや、微小な異物の付着により
表面の結晶組織の異常を招き、結果的に割れの原
因ともなつている。
焼結するため、Ｗ又はＷ合金層の表面が焼結炉の
炉材や高温不純物等の異物に汚染され、或いは、
表面の微小クラツクや、微小な異物の付着により
表面の結晶組織の異常を招き、結果的に割れの原
因ともなつている。
そこで、本発明の目的は、上記欠点に鑑み、製
造装置を大型化することなく、材料割れ及び異物
汚染を除去し、材料の大型化及び厚板化の要請に
合致したＷ又はＷ合金／Mo又はMo合金張り合
わせ材料の製造方法を提供することである。
造装置を大型化することなく、材料割れ及び異物
汚染を除去し、材料の大型化及び厚板化の要請に
合致したＷ又はＷ合金／Mo又はMo合金張り合
わせ材料の製造方法を提供することである。
［問題点を解決するための手段］
本発明によれば、Mo又はMo合金の粉末上に
Ｗ又はＷ合金の粉末を設けてなる粉末材料と、該
粉末材料上に設けてなるMo粉末とに対し、プレ
ス・焼結する粉末冶金工程を施すことにより、粉
末材料より生成される材料層と、Mo粉末より生
成される被覆層とを形成した後、材料層及び被覆
層に熱間鍛造及び熱間成形を施し、材料層を削除
するＷ又はＷ合金／Mo又はMo合金張り合わせ
材料の製造方法が得られる。
Ｗ又はＷ合金の粉末を設けてなる粉末材料と、該
粉末材料上に設けてなるMo粉末とに対し、プレ
ス・焼結する粉末冶金工程を施すことにより、粉
末材料より生成される材料層と、Mo粉末より生
成される被覆層とを形成した後、材料層及び被覆
層に熱間鍛造及び熱間成形を施し、材料層を削除
するＷ又はＷ合金／Mo又はMo合金張り合わせ
材料の製造方法が得られる。
殊に、本発明は、難加工性材料であるＷ、Ｗ合
金（Re−Ｗ、ThO2−Ｗ、Ru−Ｗ、ZrO2−Ｗ等）
とMo、Mo合金（Hf−Mo、ZrO2−Mo、Al2O3
−Mo、C0−M0等）とからなる張り合わせ材料の
製造過程、特に鍛造、圧延等の塑性加工中におけ
る材料割れを防止するために、この張り合わせ材
料の出発原料であるＷ又はＷ合金／Mo又はMo
合金からなる粉末材料を、純Mo粉末で覆つたも
のに対し、プレス・焼結する粉末冶金工程を施す
ことで材料層及び被覆層を形成することを要件と
している。
金（Re−Ｗ、ThO2−Ｗ、Ru−Ｗ、ZrO2−Ｗ等）
とMo、Mo合金（Hf−Mo、ZrO2−Mo、Al2O3
−Mo、C0−M0等）とからなる張り合わせ材料の
製造過程、特に鍛造、圧延等の塑性加工中におけ
る材料割れを防止するために、この張り合わせ材
料の出発原料であるＷ又はＷ合金／Mo又はMo
合金からなる粉末材料を、純Mo粉末で覆つたも
のに対し、プレス・焼結する粉末冶金工程を施す
ことで材料層及び被覆層を形成することを要件と
している。
［実施例］
本発明のＷ又はＷ合金／Mo又はMo合金張り
合わせ材料の製造方法に関する実施例について図
面を参照して説明する。
合わせ材料の製造方法に関する実施例について図
面を参照して説明する。
まず、プレス後で層厚29.0mm、平均粒径3.8μｍ
のMo粉末層１上に、プレス後で層厚4.0mm、平均
粒径2.0μｍの５％Re−Ｗ粉末層２を設けてなる
φ150mmの粉末材料３と、この粉末材料３上を被
覆するように設けられたプレス後で層厚2.0mm、
平均粒径3.8μｍの純Mo粉末４とを準備する。
のMo粉末層１上に、プレス後で層厚4.0mm、平均
粒径2.0μｍの５％Re−Ｗ粉末層２を設けてなる
φ150mmの粉末材料３と、この粉末材料３上を被
覆するように設けられたプレス後で層厚2.0mm、
平均粒径3.8μｍの純Mo粉末４とを準備する。
粉末プレス工程ａにおいて、準備した粉末材料
３と純Mo粉末４とを同時にプレス圧力2ton／cm2
でプレスする。
３と純Mo粉末４とを同時にプレス圧力2ton／cm2
でプレスする。
尚、材料粉末３を被覆する純Mo粉末４の粒径
は、Re−Ｗ粉末層２の粒径よりも大きなものを
用いるものとし、次工程の焼結時の収縮率が一致
する粉末粒径を選択するとが望ましい。焼結時の
Re−Ｗ粉末層２の剥離を回避するためである。
は、Re−Ｗ粉末層２の粒径よりも大きなものを
用いるものとし、次工程の焼結時の収縮率が一致
する粉末粒径を選択するとが望ましい。焼結時の
Re−Ｗ粉末層２の剥離を回避するためである。
次に、焼結工程ｂにおいて、1800℃の焼結温度
で、粉末材料３を焼結し、Mo層７とRe−Ｗ合金
層８とを形成する材料層５と、同時に純Mo粉末
４を焼結してなる被覆層６とが形成される。
で、粉末材料３を焼結し、Mo層７とRe−Ｗ合金
層８とを形成する材料層５と、同時に純Mo粉末
４を焼結してなる被覆層６とが形成される。
よつて、材料層５の表面は被覆層６に覆われる
ことから、焼結炉の炉材や高温不純物等により
Re−Ｗ合金層８の表面が異物汚染される心配は
なく、表面の微小クラツクや、微小な異物の付着
による表面の結晶組織の異常を防止し、結果的
に、割れの一原因を除去することになる。尚、粉
末プレス工程ａ及び焼結工程ｂは、集合的に粉末
冶金工程と呼ばれても良い。
ことから、焼結炉の炉材や高温不純物等により
Re−Ｗ合金層８の表面が異物汚染される心配は
なく、表面の微小クラツクや、微小な異物の付着
による表面の結晶組織の異常を防止し、結果的
に、割れの一原因を除去することになる。尚、粉
末プレス工程ａ及び焼結工程ｂは、集合的に粉末
冶金工程と呼ばれても良い。
次に、熱間鍛造工程ｃ、熱間成形工程ｄを被覆
層６に残したまま行う。これは、純Moからなる
被覆層６自身は、加工性が高いものであることか
ら、プレス等の不均一な応力の影響を低減するこ
とができるため、下層部のRe−Ｗ合金層８に対
し、ばらつきの少ない応力を与えることができる
からである。
層６に残したまま行う。これは、純Moからなる
被覆層６自身は、加工性が高いものであることか
ら、プレス等の不均一な応力の影響を低減するこ
とができるため、下層部のRe−Ｗ合金層８に対
し、ばらつきの少ない応力を与えることができる
からである。
その結果、層厚８〜18mmのMo層７、層厚約２
mmのRe−Ｗ合金層８、層厚約１mmの被覆層６が
得られ、図示する通りの形状に加工することがで
き、割れ、クラツク等の異常は認められなかつ
た。
mmのRe−Ｗ合金層８、層厚約１mmの被覆層６が
得られ、図示する通りの形状に加工することがで
き、割れ、クラツク等の異常は認められなかつ
た。
最後に、製品切削工程ｅにおいて、材料層５を
被覆している被覆層６を旋盤加工、研磨により切
削し、或いは適当な酸等により溶解して所望の形
状の合金張り合わせ材料を得た。
被覆している被覆層６を旋盤加工、研磨により切
削し、或いは適当な酸等により溶解して所望の形
状の合金張り合わせ材料を得た。
［発明の効果］
以上の説明のとおり、本発明によれば、粉末材
料と、粉末材料上に設けたMo粉末とを同時にプ
レス・焼結する粉末冶金工程を施すことにより、
製造工程中の材料割れを防止することができるか
ら、歩留りの良い、高品質のＷ又はＷ合金／Mo
又はMo合金材料を提供することができる。
料と、粉末材料上に設けたMo粉末とを同時にプ
レス・焼結する粉末冶金工程を施すことにより、
製造工程中の材料割れを防止することができるか
ら、歩留りの良い、高品質のＷ又はＷ合金／Mo
又はMo合金材料を提供することができる。
第１図は本発明の実施例に係わる製造工程を示
す工程図、第２図は従来の製造工程を示す工程図
である。 １……Mo粉末層、２……Re−Ｗ粉末層、３…
…粉末材料、４……純Mo粉末、５……材料層、
６……被覆層、７……Mo層、８……Re−Ｗ合金
層、ａ……粉末プレス工程、ｂ……焼結工程、ｃ
……熱間鍛造工程、ｄ……熱間成形工程、ｅ……
製品切削工程。
す工程図、第２図は従来の製造工程を示す工程図
である。 １……Mo粉末層、２……Re−Ｗ粉末層、３…
…粉末材料、４……純Mo粉末、５……材料層、
６……被覆層、７……Mo層、８……Re−Ｗ合金
層、ａ……粉末プレス工程、ｂ……焼結工程、ｃ
……熱間鍛造工程、ｄ……熱間成形工程、ｅ……
製品切削工程。
Claims (1)
- １ Mo又はMo合金の粉末上にＷ又はＷ合金の
粉末を設けてなる粉末材料と、該粉末材料上に設
けてなるMo粉末とに対し、プレス・焼結する粉
末冶金工程を施すことにより、前記粉末材料より
生成される材料層と、前記Mo粉末より生成され
る被覆層とを形成した後、前記材料層及び被覆層
に熱間鍛造及び熱間成形を施し、前記材料層を削
除することを特徴とするＷ又はＷ合金／Mo又は
Mo合金張り合わせ材料の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15787A JPS63169307A (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 | Ｗ又はＷ合金／Ｍｏ又はＭｏ合金張り合わせ材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15787A JPS63169307A (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 | Ｗ又はＷ合金／Ｍｏ又はＭｏ合金張り合わせ材料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63169307A JPS63169307A (ja) | 1988-07-13 |
| JPH049842B2 true JPH049842B2 (ja) | 1992-02-21 |
Family
ID=11466203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15787A Granted JPS63169307A (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 | Ｗ又はＷ合金／Ｍｏ又はＭｏ合金張り合わせ材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63169307A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT4240U1 (de) * | 2000-11-20 | 2001-04-25 | Plansee Ag | Verfahren zur herstellung einer verdampfungsquelle |
| JP4927102B2 (ja) * | 2007-02-09 | 2012-05-09 | Ｊｘ日鉱日石金属株式会社 | 高融点金属合金、高融点金属珪化物、高融点金属炭化物、高融点金属窒化物あるいは高融点金属ホウ化物の難焼結体からなるターゲット及びその製造方法並びに同スパッタリングターゲット−バッキングプレート組立体及びその製造方法 |
| JP6258040B2 (ja) * | 2014-01-14 | 2018-01-10 | 株式会社アライドマテリアル | サファイア単結晶育成用坩堝、サファイア単結晶育成方法およびサファイア単結晶育成用坩堝の製造方法 |
| CN110293223B (zh) * | 2019-07-23 | 2022-03-22 | 金堆城钼业股份有限公司 | 一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法 |
| CN114959596B (zh) * | 2021-12-23 | 2023-12-05 | 常州苏晶电子材料有限公司 | 钼合金包覆热成型工艺 |
-
1987
- 1987-01-06 JP JP15787A patent/JPS63169307A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63169307A (ja) | 1988-07-13 |
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