JPH0499243A - 耐熱性複合材料に用いるコートされた補強材及びそれから作られた複合材料 - Google Patents
耐熱性複合材料に用いるコートされた補強材及びそれから作られた複合材料Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
[0001]
本発明は化学的に安定で、かつ機械的に安定である耐熱
性複合材料に用いる補強材に関する。本発明は、生じた
複合材料の耐酸化性および高温性能に寄与するAl−0
−NコーティングをコートされたSi含有補強材に関す
る。 [0002]
性複合材料に用いる補強材に関する。本発明は、生じた
複合材料の耐酸化性および高温性能に寄与するAl−0
−NコーティングをコートされたSi含有補強材に関す
る。 [0002]
【発明の背景】
伝統的に、耐熱性材料の多くの商業的用途はNi −C
o−及びFe−基金属合金により占められてきた。これ
らの材料は約800℃以下の温度でよく機能する力面し
かし、より高い温度にさらされると強度を急速に失なう
。従って、耐熱性材料の分野において、研究は金属およ
びセラミック材料の両方の補強のための耐熱性繊維の使
用に集中した。これらの高強度複合材料は高強度、温度
安定性及び低密度の特有の組合せを有する。これは航空
宇宙、自動車及び工業用途のための材料におけるそれら
の使用を可能にする。 [0003] ケイ素含有材料は複合材料に対する既知補強材である。 これらの複合材料は潜在的に高い靭性水準及び良好な性
能特性を有し、それによりそれらを、高弾性、高強度、
造形性、熱安定性、電気伝導性及び熱伝導性を有する軽
量構造材を必要とする用途に非常に適するものにする。 これらの複合材料は構造用途に対してますます研究され
ている。 [0004] 多くの繊維−マトリックスの組合せが繊維とマトリック
ス材料との間に広範囲の化学反応又は相互拡散を行うこ
とが知られており、そのいずれも、生ずる複合材料に対
して特異の機械的及び(又は)物理的性質を与えるなめ
に選ばれるようである。そのような反応及び相互拡散は
強度、靭性、延性、温度安定性及び耐酸化性に重大な劣
化を生ずることができる。若干の変化は材料の熱膨張係
数の差から生ずることができる。 [0005] これらの問題を補償するために、種々のコーティングカ
ミ繊維−マトリックス複合材料中の使用を意図する補強
材に対して示唆された。例えばU、S、P。 N、4.340636号は化学量論的SiC基体フィラ
メント上に炭素に富むコーティングを形成する表面処理
を開示している。同様に、U、S、P、N、 4Si5
968号はSiに富むSiCのコーティングによるSi
Cフィラメントのコーティングを開示している。 [0006] U、S、P、N、3811920号はSiC表面層を有
するフィラメント状基体に対するTiCの薄層の適用を
開示しでいる。このTiC層はフィラメントに対し耐酸
化性を与え、またSiC表面化基体フィラメントとマト
リックス金属との間に拡散バリヤーを与えることが報告
されている。窒化ホウ素もまた、U、S、P。 N、4642271号中のようにSiCコーティングと
して使用された。 [0007] 金属間マトリックス材料は、高性能複合材料を製造する
ために補強材と組合せたときに前記のものに類似する問
題を経験した。この技術分野で経験された問題は、一般
にマトリックス材料技術及び繊維技術が互いに独立に発
展し、前記開示型の複合材料の製造に使用された前駆物
質材料の化学的及び機械的不相容性を生ずる事実の結果
である。前記言及は、必要な特性又は相容性を与えるた
めコーテインク材料を用いることによりこれらの複合材
料の固有の欠点の克服に対する該分野内の種々の試みを
示す。 [0008] しかし、前記のような技術及びコーティングを用いた複
合材料は、それでもなお800’C以上の温度で、大気
条件で遭遇される熱機械的安定性、熱化学的安定性、耐
酸化性及び耐高温疲労性に関する問題により高温適用に
対して制限されたま\である。多くのこれらのコーティ
ングで遭遇される特有の問題はコーティングとマトリッ
クス材料との化学的反応性に関連し、それは高温環境に
おける材料の機械的及び物理的性能の不足に表われる。 [0009] 従って、本発明の目的は800’C以上の高温で使用す
る複合材料中の補強剤の使用を可能にするSi含有補強
材に対するコーティングを提供することである。 [0010] 本発明の他の目的は繊維とマトリックスとの間の化学反
応を防ぐ、Si含有補強材に対するコーティングを提供
することである。 [0011] 他の目的は高い強度及び靭性を維持し、高温において酸
化に耐える、れたSi含有補強材を含む複合材料を提供
することである。 [0012] コートさ [発明の概要] 本発明は、−数式: (式中、 Al ON yz Xはコーティングの約60原子%までであり、yはコー
ティングの約20〜約55原子%であり、2はコーティ
ングの約5〜約45原子%であり、x+y+c=1 o
oである) のコーティングを有するSi含有補強材を含む、コート
された補強材に関する。 [0013] 本発明はさらに、アルミニウム、酸素及び窒素を含むコ
ーティングを有するSi含有補強材を含み、前記コート
された補強材がマトリックス材料と組合わされた高強度
、高温性能複合材料に関する。 [0014]
o−及びFe−基金属合金により占められてきた。これ
らの材料は約800℃以下の温度でよく機能する力面し
かし、より高い温度にさらされると強度を急速に失なう
。従って、耐熱性材料の分野において、研究は金属およ
びセラミック材料の両方の補強のための耐熱性繊維の使
用に集中した。これらの高強度複合材料は高強度、温度
安定性及び低密度の特有の組合せを有する。これは航空
宇宙、自動車及び工業用途のための材料におけるそれら
の使用を可能にする。 [0003] ケイ素含有材料は複合材料に対する既知補強材である。 これらの複合材料は潜在的に高い靭性水準及び良好な性
能特性を有し、それによりそれらを、高弾性、高強度、
造形性、熱安定性、電気伝導性及び熱伝導性を有する軽
量構造材を必要とする用途に非常に適するものにする。 これらの複合材料は構造用途に対してますます研究され
ている。 [0004] 多くの繊維−マトリックスの組合せが繊維とマトリック
ス材料との間に広範囲の化学反応又は相互拡散を行うこ
とが知られており、そのいずれも、生ずる複合材料に対
して特異の機械的及び(又は)物理的性質を与えるなめ
に選ばれるようである。そのような反応及び相互拡散は
強度、靭性、延性、温度安定性及び耐酸化性に重大な劣
化を生ずることができる。若干の変化は材料の熱膨張係
数の差から生ずることができる。 [0005] これらの問題を補償するために、種々のコーティングカ
ミ繊維−マトリックス複合材料中の使用を意図する補強
材に対して示唆された。例えばU、S、P。 N、4.340636号は化学量論的SiC基体フィラ
メント上に炭素に富むコーティングを形成する表面処理
を開示している。同様に、U、S、P、N、 4Si5
968号はSiに富むSiCのコーティングによるSi
Cフィラメントのコーティングを開示している。 [0006] U、S、P、N、3811920号はSiC表面層を有
するフィラメント状基体に対するTiCの薄層の適用を
開示しでいる。このTiC層はフィラメントに対し耐酸
化性を与え、またSiC表面化基体フィラメントとマト
リックス金属との間に拡散バリヤーを与えることが報告
されている。窒化ホウ素もまた、U、S、P。 N、4642271号中のようにSiCコーティングと
して使用された。 [0007] 金属間マトリックス材料は、高性能複合材料を製造する
ために補強材と組合せたときに前記のものに類似する問
題を経験した。この技術分野で経験された問題は、一般
にマトリックス材料技術及び繊維技術が互いに独立に発
展し、前記開示型の複合材料の製造に使用された前駆物
質材料の化学的及び機械的不相容性を生ずる事実の結果
である。前記言及は、必要な特性又は相容性を与えるた
めコーテインク材料を用いることによりこれらの複合材
料の固有の欠点の克服に対する該分野内の種々の試みを
示す。 [0008] しかし、前記のような技術及びコーティングを用いた複
合材料は、それでもなお800’C以上の温度で、大気
条件で遭遇される熱機械的安定性、熱化学的安定性、耐
酸化性及び耐高温疲労性に関する問題により高温適用に
対して制限されたま\である。多くのこれらのコーティ
ングで遭遇される特有の問題はコーティングとマトリッ
クス材料との化学的反応性に関連し、それは高温環境に
おける材料の機械的及び物理的性能の不足に表われる。 [0009] 従って、本発明の目的は800’C以上の高温で使用す
る複合材料中の補強剤の使用を可能にするSi含有補強
材に対するコーティングを提供することである。 [0010] 本発明の他の目的は繊維とマトリックスとの間の化学反
応を防ぐ、Si含有補強材に対するコーティングを提供
することである。 [0011] 他の目的は高い強度及び靭性を維持し、高温において酸
化に耐える、れたSi含有補強材を含む複合材料を提供
することである。 [0012] コートさ [発明の概要] 本発明は、−数式: (式中、 Al ON yz Xはコーティングの約60原子%までであり、yはコー
ティングの約20〜約55原子%であり、2はコーティ
ングの約5〜約45原子%であり、x+y+c=1 o
oである) のコーティングを有するSi含有補強材を含む、コート
された補強材に関する。 [0013] 本発明はさらに、アルミニウム、酸素及び窒素を含むコ
ーティングを有するSi含有補強材を含み、前記コート
された補強材がマトリックス材料と組合わされた高強度
、高温性能複合材料に関する。 [0014]
本発明は、複合材料中に用いるコートされたSi含有補
強材に関する。開示したコーティングは一般式: (式中、Xはコーティングの約60原子%まで存在し、
yはコーティングの少くとも約20原子%で、しかし約
55原子%より多くなく、2はコーティングの少くとも
約5原子%で、しかし約45原子%より多くなく、x+
y+z=100である)を有する。 [0015] 主題のコーティングは、コートされる補強材のみでなく
、またコートされた補強材を複合材料の形成のために組
合せるマトリックス材料との相容性のために重要である
。コーティングはさらにSiおよびCの拡散を有効に抑
制し、すぐれた耐酸化性を有し、滑らかな、密着コーテ
ィングをSi含有補強材上に形成する。これらの特性の
ために、生ずる複合材料はその強度及び高温性能を、空
気の存在下でも800℃を超える温度で長時間維持する
ことができ、従って、要求される工業用途に非常に適す
る複合材料にする。 [0016] コーティングの補強材に対する適用に使用される析出操
作により、主題のコーティングのための酸素および窒素
はN−および〇−含有ガスから誘導することができ、そ
れは元素状態であることができ、又は化合物形態である
ことができ、A1は揮発性AI含有化合物又は金属Al
源から得ることができる。さらに、スパッター技術を用
いるとき、コーティング組成物を直接Al−〇−Nター
ゲットから直接スパッターすることができる。 [0017] コーティングは、前記のように、普通に知られた厚又は
薄フイルム析出法により析出させることができ、その例
には化学蒸着、rfスパッタリング、反応性スパッタリ
ング、反応性イオンめっき及び反応性蒸着が包含され、
しかしそれらに限定されない。コーティングは厚さ約0
.5〜約10ミクロン、好ましくは約1.0〜約5.0
ミクロンである層に析出すべきである。最適には、補強
材を完全にコートすべきである。しかし、コートサれな
いで残る最小の領域は、コートされなかった領域中に存
在する反応部位の局部的性質のために複合材料の性能に
不利な影響を与えないであろう。 [0018] Si含有補強材は次の: S13 N4 : 5iA
10 N、又はSiCのいずれかであることができ、そ
のすべてが容易に人数できる市販品目、例えばブリティ
ッシュ・ペトロリアム(British Petrol
eum)からのシグマファイバー(Sigma Fib
ers) テキストロン(Textron)からのB
C5−6、及びダウ・コーニング(Dow Corni
ng)からのニカロンファイバー(Nicalon F
ibers)である。この補強材は連続繊維、チョツプ
ドファイバー ホイスカー プレートリフト、粒子又は
粉末の形態、あるいは任意の他の有用な形態であること
ができる。 [0019] 図1はSi含有補強繊維12が、こ\に記載したAl−
0−N型コーティング11でコートされた、コートされ
た補強材10の断面図である。 [00201 図2はプレートリットの形態のSi含有補強材22が、
示したAl−0−N型コーティング21でコートされた
、コートされた補強材20の断面図である。 [0021] 補強材はさらに、実質的に非晶質、多結晶又は単結晶で
あることができる。所与用途に対する適切な補強材は生
ずる複合材料中に得られる最適特性例えば、とりわけ強
度毎重量、滑らかさ毎重量、高温性能、又は靭性、によ
り前記のものから選ぶことができる。 [0022] 材料の最終用途により、主題のコーティングの析出の前
に非常に高い融点を有する心材上に前記Si含有材料を
析出させることにより補強材を形成することが有利であ
ることができる。そのような心材は、典型的には炭素又
は耐熱金属例えばとりわけW、MO又はTi、であり、
そのそれぞれが市販され、例えばスタックポル・ファイ
バー(Stackpole Fibers Compa
ny)及びアルファ・インオルガニツクス(Alfa
Inorganics)から入手できる。 [0023] 図3はSi含有層32でコートサれ、次いで開示した型
のAl−0−N型コーティングSiでコートされた、心
材33を有するコートサれた補強材30の断面図である
。 [0024] 前記補強材のいずれものコーティングの前に、補強材を
前処理して補強材に対するコーティングの密着性及び補
強材コーティング界面の滑らかさを高めることができる
。そのような前処理法は、とりわけ化学エツチング、イ
オンエツチングフレーム研磨及び機械的研磨が包含され
、それらは普通の前処理技術により行なうことができる
。 [0025] コートされた補強材は種々の形状に成形することができ
、あるいはマトリックス材料と組合せる前に製織又は他
の構造にすることができる。この成形加工もまた普通の
技術により行なうことができる。 [0026] 複雑な形状の要素中に用いるには、コーティングの適用
前に補強材を造形物に成形加工することが望ましい。こ
れは、例えば連続繊維を三次元形状に製織し、不連続繊
維又はプレーI・リフトを水のような液体中へ分散させ
て次いでそれを、液体を除去する間に沈降させ、又は粉
末のように補強材をゆるく充填して焼結させて多孔性構
造を得ることにより達成することができる。しかし、成
形された形状を調製するとき、形状は完全に密でないこ
と、好ましくはそれが密閉気孔率を有しないで約10〜
50%密であることが重要である。成形形状の補強材の
コーティングは、好ましくは化学蒸着により行われる。 [0027] この開示によりコートされた補強材が中に配置される適
当なマトリックス材料にはセラミック、ガラス及び金属
間化合物マトリックス複合材料が包含される。 一般に、マトリックス材料には:反応焼結SiC; T
i、 Al、Nb、 Ta、 Cr、 V及びSiの少
くとも2つを含む金属間合金:Li、AI、Si、○、
Ca、 SrおよびMgの少くとも2つを含むガラスセ
ラミックス;並びにA1、Si、 Mg、 Ni、 L
i及びMgの少くとも2つを含む金属合金が包含される
。表■に主題発明における使用に適する多くの代表的な
マトリックス材料が列挙されるが、しかしそのリストは
すべての可能なマトリックス材料を網羅するものではな
い。 [0028]
強材に関する。開示したコーティングは一般式: (式中、Xはコーティングの約60原子%まで存在し、
yはコーティングの少くとも約20原子%で、しかし約
55原子%より多くなく、2はコーティングの少くとも
約5原子%で、しかし約45原子%より多くなく、x+
y+z=100である)を有する。 [0015] 主題のコーティングは、コートされる補強材のみでなく
、またコートされた補強材を複合材料の形成のために組
合せるマトリックス材料との相容性のために重要である
。コーティングはさらにSiおよびCの拡散を有効に抑
制し、すぐれた耐酸化性を有し、滑らかな、密着コーテ
ィングをSi含有補強材上に形成する。これらの特性の
ために、生ずる複合材料はその強度及び高温性能を、空
気の存在下でも800℃を超える温度で長時間維持する
ことができ、従って、要求される工業用途に非常に適す
る複合材料にする。 [0016] コーティングの補強材に対する適用に使用される析出操
作により、主題のコーティングのための酸素および窒素
はN−および〇−含有ガスから誘導することができ、そ
れは元素状態であることができ、又は化合物形態である
ことができ、A1は揮発性AI含有化合物又は金属Al
源から得ることができる。さらに、スパッター技術を用
いるとき、コーティング組成物を直接Al−〇−Nター
ゲットから直接スパッターすることができる。 [0017] コーティングは、前記のように、普通に知られた厚又は
薄フイルム析出法により析出させることができ、その例
には化学蒸着、rfスパッタリング、反応性スパッタリ
ング、反応性イオンめっき及び反応性蒸着が包含され、
しかしそれらに限定されない。コーティングは厚さ約0
.5〜約10ミクロン、好ましくは約1.0〜約5.0
ミクロンである層に析出すべきである。最適には、補強
材を完全にコートすべきである。しかし、コートサれな
いで残る最小の領域は、コートされなかった領域中に存
在する反応部位の局部的性質のために複合材料の性能に
不利な影響を与えないであろう。 [0018] Si含有補強材は次の: S13 N4 : 5iA
10 N、又はSiCのいずれかであることができ、そ
のすべてが容易に人数できる市販品目、例えばブリティ
ッシュ・ペトロリアム(British Petrol
eum)からのシグマファイバー(Sigma Fib
ers) テキストロン(Textron)からのB
C5−6、及びダウ・コーニング(Dow Corni
ng)からのニカロンファイバー(Nicalon F
ibers)である。この補強材は連続繊維、チョツプ
ドファイバー ホイスカー プレートリフト、粒子又は
粉末の形態、あるいは任意の他の有用な形態であること
ができる。 [0019] 図1はSi含有補強繊維12が、こ\に記載したAl−
0−N型コーティング11でコートされた、コートされ
た補強材10の断面図である。 [00201 図2はプレートリットの形態のSi含有補強材22が、
示したAl−0−N型コーティング21でコートされた
、コートされた補強材20の断面図である。 [0021] 補強材はさらに、実質的に非晶質、多結晶又は単結晶で
あることができる。所与用途に対する適切な補強材は生
ずる複合材料中に得られる最適特性例えば、とりわけ強
度毎重量、滑らかさ毎重量、高温性能、又は靭性、によ
り前記のものから選ぶことができる。 [0022] 材料の最終用途により、主題のコーティングの析出の前
に非常に高い融点を有する心材上に前記Si含有材料を
析出させることにより補強材を形成することが有利であ
ることができる。そのような心材は、典型的には炭素又
は耐熱金属例えばとりわけW、MO又はTi、であり、
そのそれぞれが市販され、例えばスタックポル・ファイ
バー(Stackpole Fibers Compa
ny)及びアルファ・インオルガニツクス(Alfa
Inorganics)から入手できる。 [0023] 図3はSi含有層32でコートサれ、次いで開示した型
のAl−0−N型コーティングSiでコートされた、心
材33を有するコートサれた補強材30の断面図である
。 [0024] 前記補強材のいずれものコーティングの前に、補強材を
前処理して補強材に対するコーティングの密着性及び補
強材コーティング界面の滑らかさを高めることができる
。そのような前処理法は、とりわけ化学エツチング、イ
オンエツチングフレーム研磨及び機械的研磨が包含され
、それらは普通の前処理技術により行なうことができる
。 [0025] コートされた補強材は種々の形状に成形することができ
、あるいはマトリックス材料と組合せる前に製織又は他
の構造にすることができる。この成形加工もまた普通の
技術により行なうことができる。 [0026] 複雑な形状の要素中に用いるには、コーティングの適用
前に補強材を造形物に成形加工することが望ましい。こ
れは、例えば連続繊維を三次元形状に製織し、不連続繊
維又はプレーI・リフトを水のような液体中へ分散させ
て次いでそれを、液体を除去する間に沈降させ、又は粉
末のように補強材をゆるく充填して焼結させて多孔性構
造を得ることにより達成することができる。しかし、成
形された形状を調製するとき、形状は完全に密でないこ
と、好ましくはそれが密閉気孔率を有しないで約10〜
50%密であることが重要である。成形形状の補強材の
コーティングは、好ましくは化学蒸着により行われる。 [0027] この開示によりコートされた補強材が中に配置される適
当なマトリックス材料にはセラミック、ガラス及び金属
間化合物マトリックス複合材料が包含される。 一般に、マトリックス材料には:反応焼結SiC; T
i、 Al、Nb、 Ta、 Cr、 V及びSiの少
くとも2つを含む金属間合金:Li、AI、Si、○、
Ca、 SrおよびMgの少くとも2つを含むガラスセ
ラミックス;並びにA1、Si、 Mg、 Ni、 L
i及びMgの少くとも2つを含む金属合金が包含される
。表■に主題発明における使用に適する多くの代表的な
マトリックス材料が列挙されるが、しかしそのリストは
すべての可能なマトリックス材料を網羅するものではな
い。 [0028]
【表1】
金属間化合物;
1sAI
Nb*AI
rsAI
TaiA]
1sAI
esAI
1sSxa
Ti4aNbzA1is
TiTaAIo、 5Cro、1vO。
T 1TaA 12
可能なマトリ
ッ
クス材料
iAI
bAI
rAI
aA I
iAI
eAI
rsSis
Ti*5VtoA12s
TiNbAIo、 tVo、 +Sio。
iA1g
bA1g
rAls
aAls
NisAIBo、 ol
FesAIBo、 01
Ale□NjsT12s
NizAITi
oSiz
ガラス−セラミックス
SiO□
5iOz ” Al20g
Li2O・AlgOs −23iOz
BaO” 2Si0□、2AlzOg
4BaO’ 8SiOz、8AlzOsI201
Ca0 3SiOz
LizO・Alzos、、4sio□
Ca0・2SiO□−2AlzOs
・Ti0g
MgO
MgO5iOz・2A1.0s
L120・AIzOg 、8S102
MgO・CaO・2SiO□・4A120s[0029
] 金属間化合物に対し、殊に重要なものは、「アーチタン
アルミニドを基にした金属間合金」という表題でヤング
(Young)−ウォン・キム(Won Kim)によ
り1989年7月、24〜30頁からJOM論文中に記
載されたチタン−アルミニド合金、及び、また[高温用
途用ケイ化物マトリックス材料」という表題でピータ−
ほか(Peter J、 Meschter and
Daniel S、 Schmartz)によりJOM
、1989年11月、52〜55頁中に記載されたケイ
化物合金である。好ましいマトリックス材料には金属間
合金例えばTiAl、TiAl、Ti44Nb11A1
45、TiTaAl2、Ni3Al、FeA1及びNb
A13が包含される。 [00301 金属間化合物マトリックス材料はAIと初遷移金属、す
なわちTi、 Ta及びNb、の少くとも1つとの合金
である。マトリックス材料が金属間化合物であるとき、
前記コーティングはさらに成分Mを、−数式がAI
ON M yza (式中、MはTi、 Nb、 Ta及びZrからなる群
から選ばれ、Xはコーティングの少くとも約60原子%
まで存在し、yはコーティングの少くとも約20原子%
で、しかし約55原子%より多くなく、Zはコーティン
グの少くとも5原子%で、しかし45原子%より多くな
く、aはコーティングの約25原子%までであり、X+
y+z+a=100である)になるように含むことがで
きる。 [00Si] マトリックス材料は粉末又は箔、例えばTiAl粉末又
は箔、の形態で商業的に入手でき、あるいはアーク融解
、キャスティング、ホットプレス又は他の既知技術によ
り配合することができる。 [0032] スパッタリングにより、例えばSiC上にA14401
8N38をコートされた補強材を調製するとき、操作は
、好ましくはAI金属スパッターターゲットを窒素と酸
素との混合物の存在下に用いて行われる。N10の比は
約100/1より大きくあるべきである。場合により不
活性ガス例えばアルゴンもまた存在することができる。 スパッターガスの全圧は約50mtorr未満であるべ
きである。蒸着操作中の温度は室温から約1000℃ま
での任意のところであることができる。蒸着速度は1〜
約1000オングストロ一ム/秒であることができる。 生じたコーティングは約0.5〜約10ミクロンの厚さ
であり、少くとも約80%、好ましくは95%以上の密
度を有すべきである。 [0033] コーティングの拡散バリヤー性の効果はコーティングの
密度に関連し、すなわち約80%を越える密度は補強材
からマトリックスへの元素の最4s又は無拡散に相当す
る。 [0034] 類似のコートされた補強材を化学蒸着により、AI−ハ
ロゲン化合物、A1有機金属化合物又は金属AlをN2
と0゜どの組合せの存在下に用いることにより製造する
ことができる。そのような操作に対する温度範囲は約4
00〜約1000℃である。蒸着操作における促進に対
するrf又はdCプラズマの使用が必要であるかもしれ
ない。 [0035] コートサれた補強材は次いで、当業者に知られた多くの
方法及び技術、例えばとりわけホットプレス又は融解浸
透、のいずれかにより選択されたマトリックス材料と組
合せることができる。 [0036] 複合材料、例えばAl−0−NコートしなSiC繊維を
含むもの、は温度がマトリックス材料の融点の約0.9
までである環境中で使用できる。さらに、そのような複
合材料はO〜約100気圧の圧力で使用でき、また空気
、真空又は不活性雰囲気例えばAr、 N2又はHe中
で使用できる。 [0037]
] 金属間化合物に対し、殊に重要なものは、「アーチタン
アルミニドを基にした金属間合金」という表題でヤング
(Young)−ウォン・キム(Won Kim)によ
り1989年7月、24〜30頁からJOM論文中に記
載されたチタン−アルミニド合金、及び、また[高温用
途用ケイ化物マトリックス材料」という表題でピータ−
ほか(Peter J、 Meschter and
Daniel S、 Schmartz)によりJOM
、1989年11月、52〜55頁中に記載されたケイ
化物合金である。好ましいマトリックス材料には金属間
合金例えばTiAl、TiAl、Ti44Nb11A1
45、TiTaAl2、Ni3Al、FeA1及びNb
A13が包含される。 [00301 金属間化合物マトリックス材料はAIと初遷移金属、す
なわちTi、 Ta及びNb、の少くとも1つとの合金
である。マトリックス材料が金属間化合物であるとき、
前記コーティングはさらに成分Mを、−数式がAI
ON M yza (式中、MはTi、 Nb、 Ta及びZrからなる群
から選ばれ、Xはコーティングの少くとも約60原子%
まで存在し、yはコーティングの少くとも約20原子%
で、しかし約55原子%より多くなく、Zはコーティン
グの少くとも5原子%で、しかし45原子%より多くな
く、aはコーティングの約25原子%までであり、X+
y+z+a=100である)になるように含むことがで
きる。 [00Si] マトリックス材料は粉末又は箔、例えばTiAl粉末又
は箔、の形態で商業的に入手でき、あるいはアーク融解
、キャスティング、ホットプレス又は他の既知技術によ
り配合することができる。 [0032] スパッタリングにより、例えばSiC上にA14401
8N38をコートされた補強材を調製するとき、操作は
、好ましくはAI金属スパッターターゲットを窒素と酸
素との混合物の存在下に用いて行われる。N10の比は
約100/1より大きくあるべきである。場合により不
活性ガス例えばアルゴンもまた存在することができる。 スパッターガスの全圧は約50mtorr未満であるべ
きである。蒸着操作中の温度は室温から約1000℃ま
での任意のところであることができる。蒸着速度は1〜
約1000オングストロ一ム/秒であることができる。 生じたコーティングは約0.5〜約10ミクロンの厚さ
であり、少くとも約80%、好ましくは95%以上の密
度を有すべきである。 [0033] コーティングの拡散バリヤー性の効果はコーティングの
密度に関連し、すなわち約80%を越える密度は補強材
からマトリックスへの元素の最4s又は無拡散に相当す
る。 [0034] 類似のコートされた補強材を化学蒸着により、AI−ハ
ロゲン化合物、A1有機金属化合物又は金属AlをN2
と0゜どの組合せの存在下に用いることにより製造する
ことができる。そのような操作に対する温度範囲は約4
00〜約1000℃である。蒸着操作における促進に対
するrf又はdCプラズマの使用が必要であるかもしれ
ない。 [0035] コートサれた補強材は次いで、当業者に知られた多くの
方法及び技術、例えばとりわけホットプレス又は融解浸
透、のいずれかにより選択されたマトリックス材料と組
合せることができる。 [0036] 複合材料、例えばAl−0−NコートしなSiC繊維を
含むもの、は温度がマトリックス材料の融点の約0.9
までである環境中で使用できる。さらに、そのような複
合材料はO〜約100気圧の圧力で使用でき、また空気
、真空又は不活性雰囲気例えばAr、 N2又はHe中
で使用できる。 [0037]
次の実験はコートされたSi含有補強材の高温における
安定性を示すために行った。 [0038] 次の実施例において調製し、試、験した試料は構造:マ
トリックス/コーティング/基体 を有した。これらの実施例のために、基体は、複合構造
を作るための基礎として使用した焼結5iC(ホウ素焼
結助剤で焼結したα−3i C)の精密に研磨したバー
であった。コーティング及びマトリックス層はマグネト
ロンスパッタリング及び市販S−ガン装置を用いて基体
に適用した。典型的な操作はクライオポンプ(ベース圧
2 X 10−7torr) した真空室中に、コー
ティングの−様な被覆を保証するためスパッターガンの
周りに回転する試料ホルダー上に研磨したSiC基体を
装備することであった。1つのSガンを用いて、コーテ
ィング層(0,5〜2.0ミクロン)を析出させ、一方
、マトリックス(1,0〜2.0ミクロン)を他のS−
ガンを用いて析出させることができ、従って2層の析出
の間に真空を破壊する必要を回避した。スパッタリング
はアルゴン雰囲気中で1.5 mtorrの圧力で行っ
た。 [0039] 前記操作は滑らかな、密な、密着性コーティングを生じ
た。コーティング及びマトリックスの厚さは真空室中の
TM−100厚み監視装置により測定しな。 [0040] 析出後、試料を2つの型の熱処理に対する暴露により試
、験した。第1は1000℃における4〜12時間の真
空アニールであった。これは高真空室(クライオポンプ
5 X 10−7torr)中で温度制御抵抗加熱ラダ
ツク(Radak)炉を用いて行った。 [0041] 第2熱処理は抵抗加熱炉中、空気中で1000℃の温度
で6〜12時間であった。この場合に試料は、空気を試
料上に低速度で穏やかに流した開端融解石英管中に装填
した。 [0042] 次の表IIは、前記のように調製した種々の試料に対す
る反応の程度を報告する。見ることができるように、本
発明によりSiC補強材をA1−〇−Nコーティングで
コートした試料(G、H及び■)は、Al−0−Nをコ
ートしたSiC補強材を含まない残りの試料に比べてわ
ずかな反応を経験したが又は反応を経験しなかった[0
043]
安定性を示すために行った。 [0038] 次の実施例において調製し、試、験した試料は構造:マ
トリックス/コーティング/基体 を有した。これらの実施例のために、基体は、複合構造
を作るための基礎として使用した焼結5iC(ホウ素焼
結助剤で焼結したα−3i C)の精密に研磨したバー
であった。コーティング及びマトリックス層はマグネト
ロンスパッタリング及び市販S−ガン装置を用いて基体
に適用した。典型的な操作はクライオポンプ(ベース圧
2 X 10−7torr) した真空室中に、コー
ティングの−様な被覆を保証するためスパッターガンの
周りに回転する試料ホルダー上に研磨したSiC基体を
装備することであった。1つのSガンを用いて、コーテ
ィング層(0,5〜2.0ミクロン)を析出させ、一方
、マトリックス(1,0〜2.0ミクロン)を他のS−
ガンを用いて析出させることができ、従って2層の析出
の間に真空を破壊する必要を回避した。スパッタリング
はアルゴン雰囲気中で1.5 mtorrの圧力で行っ
た。 [0039] 前記操作は滑らかな、密な、密着性コーティングを生じ
た。コーティング及びマトリックスの厚さは真空室中の
TM−100厚み監視装置により測定しな。 [0040] 析出後、試料を2つの型の熱処理に対する暴露により試
、験した。第1は1000℃における4〜12時間の真
空アニールであった。これは高真空室(クライオポンプ
5 X 10−7torr)中で温度制御抵抗加熱ラダ
ツク(Radak)炉を用いて行った。 [0041] 第2熱処理は抵抗加熱炉中、空気中で1000℃の温度
で6〜12時間であった。この場合に試料は、空気を試
料上に低速度で穏やかに流した開端融解石英管中に装填
した。 [0042] 次の表IIは、前記のように調製した種々の試料に対す
る反応の程度を報告する。見ることができるように、本
発明によりSiC補強材をA1−〇−Nコーティングで
コートした試料(G、H及び■)は、Al−0−Nをコ
ートしたSiC補強材を含まない残りの試料に比べてわ
ずかな反応を経験したが又は反応を経験しなかった[0
043]
【表2】
Ti5eA144
Ti5eA144
Ti5eA144
Ti5eA144
Ti5eA144
TissAlin
1sAI
Ti5eA144
■
Ti5eA144
な し
TiB。
N
Si
SiC
SiC
A144011NIg
A1s+0tsNse(薄)
Alt40+5Nss (0,6μ)
広範な反応。
広範な反応1
反 応ゝ
反 応5
反 応5
広範な反応“
安 定5
安定界面1;わずかに
Si拡散“
安定界面;Si拡散なし“
a=室空
気=真空
[0044]
X線光電子分光法(xps)及びSIMSを補強材とマ
トリックスとの間の反応の程度の測定に用いた。 [0045] XPSスペクトルは300ワットMgKαX線、1mm
直径スポットサイズ及び35.75パスエネルギーを用
いるPHI 5400XPS装置で得た。調査スペク
トルは、全表面成分を確認でき、次いで高分解能狭領域
走査を得ることができるようにとった。主分析室中の圧
力は10−10torrであった。 [0046] 種々の試料の深度プロフィルはカメ力(Cameca)
I MB S −3F二次イオン質量分光計(SI
MS)で得た。データは200nA、14.5kV、0
− 正二次イオンに対して分析する一次ビーム、を用い
てとった。−次ビームは試料の200ミクロン平方領域
上をラスターし、二次イオンをラスターした領域の中心
中の円形領域、直径8ミクロン、から捕集した。この型
の捕集概要はクレータ−エツジ効果を排除する。生じた
プロットは強度(カウント7秒)対深度の1つであり、
強度は対数スケールでプロットされる。プロットの深度
スケールはプロフィルメーターで分析中に形成されたク
レータ−の深さを測定することにより得られた。 SIMS深度プロフィルプロットの解釈において、SI
MSイオンイールドが1元素から次の元素に劇的に変化
できることを想起すべきである。例えば、SiCは化学
量論的に1:1であるけれども、SIMS分析でSiシ
グナルは約150000カウント/秒であり、一方炭素
ジグナルは約1000カウント/秒である。プロフィル
は試料の種々の層を通してモニターされた元素組成の重
要な変化を示す。 [0047] 図4はいま記載したように測定した試料Bに対するSI
MS深度プロフィルである。プロフィルは試料の表面(
深度0ミクロン)から始め、試料中をSiC補強材に達
するまで続ける。図4中、TiがTi56A144マト
リックス層からSiC補強材上のT I B 2コーテ
イングを通って拡散したことが認められる。同様に、S
iがSiC補強材からTiB 層を通って拡散し、T
156A144層と反応した。高い脆性を経験したマト
リックス及び強度の低下を経験した補強材の両方の性質
がこれらの反応によりひどく劣化した。 [0048] 図5は上記のように測定した試料■に対するSIMS深
度プロフィルである。 このプロフィル中に、試料のよく規定された層が空気中
の4時間の1000℃の熱処理にもか・わらず保存され
、試料内のSi又はTiの拡散が実質的に存在しないこ
とが認められる。この安定な界面挙動が全体として試料
複合材料の性質を高める。 [0049] 前記種々のコーティングの安定性を試、験するため、マ
トリックス、コーティング及び補強材からなる試料を調
製した。マトリックスはT156A144であり、補強
材はSiCであった。種々のコーティングは表II中に
記載されている。試料を空気中で熱処理した。熱処理し
た、及び熱処理のない試料のSIMS深度プロフィルを
とった。マトリックス/コーティング/Si含有補強材
の安定性の問題に対して主に重要なものはコーティング
中へのケイ素の拡散である。コーティングの有効性の尺
度は熱処理後のコーティング層の中央部に認められるケ
イ素の量である。表IIIは熱処理後コーティングの中
央部中のSiとコーティングの中央部中に初めに存在し
たSiC量との比を示す。1.0より著しく高い比はS
iの多量の拡散及び補強材を劣化から保護するコーティ
ングの破壊を示す。1.0に近い比はすぐれた性能最小
のSi拡散又はSi拡散のないことを示し、安定な複合
材料の性質に相応する。補強材上にAl−0−Nコーテ
ィングを有する試料のみが空気及び真空高温試験の両方
で有効な拡散バリヤーとして働くことが認められた。表
III中、試料の文字名称は表IIのものに相当する。 [0050]
トリックスとの間の反応の程度の測定に用いた。 [0045] XPSスペクトルは300ワットMgKαX線、1mm
直径スポットサイズ及び35.75パスエネルギーを用
いるPHI 5400XPS装置で得た。調査スペク
トルは、全表面成分を確認でき、次いで高分解能狭領域
走査を得ることができるようにとった。主分析室中の圧
力は10−10torrであった。 [0046] 種々の試料の深度プロフィルはカメ力(Cameca)
I MB S −3F二次イオン質量分光計(SI
MS)で得た。データは200nA、14.5kV、0
− 正二次イオンに対して分析する一次ビーム、を用い
てとった。−次ビームは試料の200ミクロン平方領域
上をラスターし、二次イオンをラスターした領域の中心
中の円形領域、直径8ミクロン、から捕集した。この型
の捕集概要はクレータ−エツジ効果を排除する。生じた
プロットは強度(カウント7秒)対深度の1つであり、
強度は対数スケールでプロットされる。プロットの深度
スケールはプロフィルメーターで分析中に形成されたク
レータ−の深さを測定することにより得られた。 SIMS深度プロフィルプロットの解釈において、SI
MSイオンイールドが1元素から次の元素に劇的に変化
できることを想起すべきである。例えば、SiCは化学
量論的に1:1であるけれども、SIMS分析でSiシ
グナルは約150000カウント/秒であり、一方炭素
ジグナルは約1000カウント/秒である。プロフィル
は試料の種々の層を通してモニターされた元素組成の重
要な変化を示す。 [0047] 図4はいま記載したように測定した試料Bに対するSI
MS深度プロフィルである。プロフィルは試料の表面(
深度0ミクロン)から始め、試料中をSiC補強材に達
するまで続ける。図4中、TiがTi56A144マト
リックス層からSiC補強材上のT I B 2コーテ
イングを通って拡散したことが認められる。同様に、S
iがSiC補強材からTiB 層を通って拡散し、T
156A144層と反応した。高い脆性を経験したマト
リックス及び強度の低下を経験した補強材の両方の性質
がこれらの反応によりひどく劣化した。 [0048] 図5は上記のように測定した試料■に対するSIMS深
度プロフィルである。 このプロフィル中に、試料のよく規定された層が空気中
の4時間の1000℃の熱処理にもか・わらず保存され
、試料内のSi又はTiの拡散が実質的に存在しないこ
とが認められる。この安定な界面挙動が全体として試料
複合材料の性質を高める。 [0049] 前記種々のコーティングの安定性を試、験するため、マ
トリックス、コーティング及び補強材からなる試料を調
製した。マトリックスはT156A144であり、補強
材はSiCであった。種々のコーティングは表II中に
記載されている。試料を空気中で熱処理した。熱処理し
た、及び熱処理のない試料のSIMS深度プロフィルを
とった。マトリックス/コーティング/Si含有補強材
の安定性の問題に対して主に重要なものはコーティング
中へのケイ素の拡散である。コーティングの有効性の尺
度は熱処理後のコーティング層の中央部に認められるケ
イ素の量である。表IIIは熱処理後コーティングの中
央部中のSiとコーティングの中央部中に初めに存在し
たSiC量との比を示す。1.0より著しく高い比はS
iの多量の拡散及び補強材を劣化から保護するコーティ
ングの破壊を示す。1.0に近い比はすぐれた性能最小
のSi拡散又はSi拡散のないことを示し、安定な複合
材料の性質に相応する。補強材上にAl−0−Nコーテ
ィングを有する試料のみが空気及び真空高温試験の両方
で有効な拡散バリヤーとして働くことが認められた。表
III中、試料の文字名称は表IIのものに相当する。 [0050]
【表3】
1 (A) な し
2 (B) TlB2
3 (F) TiC
4(HS I) AL<01sNsa160/
1 120/1 100/1 1/1 [0051] 前記実施例は示したAl−0−N型コーティングをコー
トサれたSi含有補強材の空気又は真空中の高温におけ
る酸化及び腐食耐性を示すために提供された。これらの
実施例は、広さが明細書及び請求項により規定される主
題の発明を制限することが意図されておらず、当業者が
本発明を明らかに理解するのを援助するために提供され
る。
1 120/1 100/1 1/1 [0051] 前記実施例は示したAl−0−N型コーティングをコー
トサれたSi含有補強材の空気又は真空中の高温におけ
る酸化及び腐食耐性を示すために提供された。これらの
実施例は、広さが明細書及び請求項により規定される主
題の発明を制限することが意図されておらず、当業者が
本発明を明らかに理解するのを援助するために提供され
る。
【図11
コートされたSi含有補強繊維の断面を表わす。
【図2】
コートされたSi含有補強プレートリフトの断面を表わ
す。
す。
【図3】
初めに炭素心材上に析出された、コートされたSi含有
補強材の断面を表わす。
補強材の断面を表わす。
【図4】
T156A144マトリツクス中のT iB 2でコー
トされたSiC補強材の、1000℃熱処理後のS I
MS深度プロフィルである。
トされたSiC補強材の、1000℃熱処理後のS I
MS深度プロフィルである。
【図51
Ti Al マトリックス中のA144018N3
8でコートされたSiC補強材の 1000℃熱処理後
のSIMS深度プロフィルである。 【符号の説明】 10 コートされた補強材 11AI−0−N型コーティング 12Si含有補強繊維 20 コートされた補強材 21 Al−0−N型コーティング 22 プレートリフト形態のSi含有補強材30 コー
トされた補強材 SiAl−0−N型コーティング 32Si含有層 33 心材
8でコートされたSiC補強材の 1000℃熱処理後
のSIMS深度プロフィルである。 【符号の説明】 10 コートされた補強材 11AI−0−N型コーティング 12Si含有補強繊維 20 コートされた補強材 21 Al−0−N型コーティング 22 プレートリフト形態のSi含有補強材30 コー
トされた補強材 SiAl−0−N型コーティング 32Si含有層 33 心材
図面
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
O
ン朶度(ミクロ〉)
【図5】
0.0
0.5
1.0
1.5
1朶度(ミクロン)
2.0
2.5
Claims (10)
- 【請求項1】一般式、 Al_xO_yN_z (式中、xはコーティングの約60原子%までであり、
yはコーティングの約20〜約55原子%であり、zは
コーティングの約5〜約45原子%であり、x+y+z
=100である) のコーティングを有するSi含有補強材を含む、コート
された補強材。 - 【請求項2】コーティングが約0.5〜約10ミクロン
の厚さである、請求項1に記載のコートされた補強材。 - 【請求項3】Si含有補強材がSi_3N_4、SiA
lON及びSiCからなる群から選ばれる、請求項1に
記載のコートされた補強材。 - 【請求項4】Si含有強化材が、前記Si含有補強材に
対するコーティングの添加前に前処理される、請求項1
に記載のコートされた補強材。 - 【請求項5】Si含有補強材が心材上に析出された、請
求項1に記載のコートされた補強材。 - 【請求項6】心材がW、Mo及びTiからなる群から選
ばれる、請求項5に記載のコートされた補強材。 - 【請求項7】アルミニウム、酸素及び窒素を含むコーテ
ィングを有するSi含有補強材を含み、前記コートされ
た補強材がマトリックス材料と組合された、高強度、高
温性能複合材料。 - 【請求項8】マトリックス材料がセラミック、ガラス及
び金属間化合物からなる群から選ばれる、請求項7に記
載の複合材料。 - 【請求項9】コーティングが一般式、 Al_xO_yN_z (式中、xは前記コーティングの約60原子パーセント
であり、yは前記コーティングの約20〜約55原子%
であり、zは前記コーティングの約5〜約45原子%で
あり、x+y+z=100である) を有する、請求項7に記載の複合材料。 - 【請求項10】マトリックス材料が金属間化合物であり
、コーティングがさらに元素Maを、MがTi、Nb、
Ta及びZrからなる群から選ばれ、aが約25原子%
までであり、x+y+z+a=100であるように含む
、請求項9に記載の複合材料。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US45353689A | 1989-12-20 | 1989-12-20 | |
| US453536 | 1989-12-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0499243A true JPH0499243A (ja) | 1992-03-31 |
Family
ID=23800943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2404560A Pending JPH0499243A (ja) | 1989-12-20 | 1990-12-20 | 耐熱性複合材料に用いるコートされた補強材及びそれから作られた複合材料 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0434300A1 (ja) |
| JP (1) | JPH0499243A (ja) |
| AU (1) | AU641455B2 (ja) |
| CA (1) | CA2031902A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07310130A (ja) * | 1994-03-25 | 1995-11-28 | Senshin Zairyo Riyou Gas Jienereeta Kenkyusho:Kk | 金属系複合材料 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5156912A (en) * | 1989-12-20 | 1992-10-20 | The Standard Oil Company | Multi-layer coatings for reinforcements in high temperature composites |
| US5114785A (en) * | 1990-10-09 | 1992-05-19 | The Standard Oil Company | Silicon based intermetallic coatings for reinforcements |
| US6004671A (en) * | 1994-01-20 | 1999-12-21 | Research Institute Of Advanced Material Gas-Generator, Ltd. | Reinforcement for composite material and composite material using the same |
| GB0007731D0 (en) | 2000-03-31 | 2000-05-17 | Altro Ltd | Coloured silicon carbide |
| GB0805328D0 (en) | 2008-03-25 | 2008-04-30 | Aviza Technologies Ltd | Deposition of an amorphous layer |
| CN113481479B (zh) * | 2021-07-02 | 2022-08-05 | 吉林大学 | 一种SiC纤维增强难熔合金复合材料及其制备方法和应用 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2165012A5 (en) * | 1971-12-14 | 1973-08-03 | Thomson Csf | Composite material - has tungsten cored silicon carbide fibres in an aluminium/copper alloy matrix |
| DE3751689T2 (de) * | 1986-05-28 | 1996-07-04 | Ngk Spark Plug Co | Material für Schneidvorrichtungen, dessen Anwendung und Schneidvorrichtungen |
| AU2211488A (en) * | 1987-10-01 | 1989-04-06 | Gte Laboratories Incorporated | Oxidation resistant, high temperature thermal cyling resistant coatings on silicon-based substrates and process for the production thereof |
| EP0326077B1 (en) * | 1988-01-25 | 1995-04-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Circuit board |
| US4847044A (en) * | 1988-04-18 | 1989-07-11 | Rockwell International Corporation | Method of fabricating a metal aluminide composite |
| US5156912A (en) * | 1989-12-20 | 1992-10-20 | The Standard Oil Company | Multi-layer coatings for reinforcements in high temperature composites |
-
1990
- 1990-12-10 CA CA002031902A patent/CA2031902A1/en not_active Abandoned
- 1990-12-13 EP EP90313573A patent/EP0434300A1/en not_active Ceased
- 1990-12-18 AU AU68228/90A patent/AU641455B2/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-12-20 JP JP2404560A patent/JPH0499243A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07310130A (ja) * | 1994-03-25 | 1995-11-28 | Senshin Zairyo Riyou Gas Jienereeta Kenkyusho:Kk | 金属系複合材料 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA2031902A1 (en) | 1991-06-21 |
| AU641455B2 (en) | 1993-09-23 |
| EP0434300A1 (en) | 1991-06-26 |
| AU6822890A (en) | 1991-06-27 |
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