JPH0499346A - ウェーハ外観検査装置 - Google Patents
ウェーハ外観検査装置Info
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- JPH0499346A JPH0499346A JP21682590A JP21682590A JPH0499346A JP H0499346 A JPH0499346 A JP H0499346A JP 21682590 A JP21682590 A JP 21682590A JP 21682590 A JP21682590 A JP 21682590A JP H0499346 A JPH0499346 A JP H0499346A
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- JP
- Japan
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- wafer
- image
- white light
- color
- inspection apparatus
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- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 14
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 claims description 12
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 abstract description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract 4
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 abstract 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ウェーハ面の形状パターンをパターンマ・ソ
チなどの画像処理して検査するウェーハ外観検査装置に
間する 〔従来の技術〕 第３図は従来のウェーハ外観検査装置の一例における概
略を示す図である。従来、この種のウェーハ外観検査装
置は、例えば、第３図に示すように、ウェーハ７を載置
するステージ８と、ウェーハ７の表面にハーフミラ−４
及び対物レンズ６を介して光を投射する光源５ａと、ウ
ェーハ７より反射する光を受け、ウェーハ面に形成され
た形状パターンを撮像する撮像カメラ３ａと、この撮像
カメラ３ａよりの撮像パターン信号を画像処理するとと
もに基準画像パターンと比較し、ウェーハ上のパターン
を検査するイメージプロセッサ２ａ及びコンピュータ１
ａとを有していた。
チなどの画像処理して検査するウェーハ外観検査装置に
間する 〔従来の技術〕 第３図は従来のウェーハ外観検査装置の一例における概
略を示す図である。従来、この種のウェーハ外観検査装
置は、例えば、第３図に示すように、ウェーハ７を載置
するステージ８と、ウェーハ７の表面にハーフミラ−４
及び対物レンズ６を介して光を投射する光源５ａと、ウ
ェーハ７より反射する光を受け、ウェーハ面に形成され
た形状パターンを撮像する撮像カメラ３ａと、この撮像
カメラ３ａよりの撮像パターン信号を画像処理するとと
もに基準画像パターンと比較し、ウェーハ上のパターン
を検査するイメージプロセッサ２ａ及びコンピュータ１
ａとを有していた。
また、この撮像カメラ３ａは、通常、撮像管またはＣＣ
Ｄカメラのいずれかを用いてきた。撮像管の場合は、高
価であるが、解像度が高く、光検出度も高いという利点
があるし、ＣＣＤカメラの場合は、解像度及び光検出度
のいずれも劣るが、安価であるため多く使用されてきた
。また、カラーＣＣＤカメラを用いれば、カラー画像で
の外観検査も可能である。しかしながら、カラーＣＣＤ
では、画素そのものがＲＧＢの３原色の画素に分離され
るので、その解像度は、モノトーンのＣＣＤカメラに比
し、１／３に低下する。従って、多くのウェーハ外観検
査装置には、単色光のＣＣＤカメラあるいは撮像管が用
いられていた。
Ｄカメラのいずれかを用いてきた。撮像管の場合は、高
価であるが、解像度が高く、光検出度も高いという利点
があるし、ＣＣＤカメラの場合は、解像度及び光検出度
のいずれも劣るが、安価であるため多く使用されてきた
。また、カラーＣＣＤカメラを用いれば、カラー画像で
の外観検査も可能である。しかしながら、カラーＣＣＤ
では、画素そのものがＲＧＢの３原色の画素に分離され
るので、その解像度は、モノトーンのＣＣＤカメラに比
し、１／３に低下する。従って、多くのウェーハ外観検
査装置には、単色光のＣＣＤカメラあるいは撮像管が用
いられていた。
上述した従来のウェーハ外観検査装置では、撮像カメラ
として、撮像管を用いた場合、白色光あるいは単色光を
取り込んで検査するので、撮像された画像がＷｌ調が小
さいと、パターンマツチング能力が低下し、正確に検査
できないという欠点がある。また、取り込んだ画像がモ
ノクロであるため、カラー化が出来ないという欠点があ
る。
として、撮像管を用いた場合、白色光あるいは単色光を
取り込んで検査するので、撮像された画像がＷｌ調が小
さいと、パターンマツチング能力が低下し、正確に検査
できないという欠点がある。また、取り込んだ画像がモ
ノクロであるため、カラー化が出来ないという欠点があ
る。
一方、ＣＣＤカメラを使用した場合は、カラー画像は得
られるが、解像度が劣るという欠点がある。
られるが、解像度が劣るという欠点がある。
本発明は、かかる欠点を解消するウェーハ外観検査装置
を提供することである。
を提供することである。
本発明のウェーハ外観検査装置は、ウェーハよりの反射
光により前記ウェーハ上のパターンを撮像する撮像手段
と、この撮像手段が得られる撮像パターン信号を処理す
るイメージプロセッサ及びコンピュータとを有するウェ
ーハ外観検査装置において、前記ウェーハ面に照射する
白色光を発生する白色光源と、前記ウェーハより反射す
る光を三原色光に分離する色分解フィルタとを備えてい
る。
光により前記ウェーハ上のパターンを撮像する撮像手段
と、この撮像手段が得られる撮像パターン信号を処理す
るイメージプロセッサ及びコンピュータとを有するウェ
ーハ外観検査装置において、前記ウェーハ面に照射する
白色光を発生する白色光源と、前記ウェーハより反射す
る光を三原色光に分離する色分解フィルタとを備えてい
る。
また、別のウェーハ外観検査装置は、上述した手段に加
えて、前記イメージプロセッサが前記三原色光によるの
それぞれをｗＩ調の異なる画像を減法混色法によりカラ
ー画像形成を行なうとともにこの画像を再生することを
特徴としている。
えて、前記イメージプロセッサが前記三原色光によるの
それぞれをｗＩ調の異なる画像を減法混色法によりカラ
ー画像形成を行なうとともにこの画像を再生することを
特徴としている。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例のウェーハ外観検査装置の概
略を示す図である。このウェーハ外観検査装置は、同図
に示すように、ウェーハ７の面に白色光を照射する白色
光源５と、ウェーハ７の面からの反射光を三原色を選択
透過させる色分解フィルター９を設けたかとである。
略を示す図である。このウェーハ外観検査装置は、同図
に示すように、ウェーハ７の面に白色光を照射する白色
光源５と、ウェーハ７の面からの反射光を三原色を選択
透過させる色分解フィルター９を設けたかとである。
すなわち、白色光源５より白色光をハーフミラ−４及び
対物レンズ６を介して、ウェーハ７に照射し、その反射
光を色分解フィルター９を通して画像を撮像カメラ３で
取り込むことである。
対物レンズ６を介して、ウェーハ７に照射し、その反射
光を色分解フィルター９を通して画像を撮像カメラ３で
取り込むことである。
この色分解フィルター９のうち赤色フィルターを使用し
た場合、ウェーハ７のシアン色のＷ！調だけの光でなる
単色階調画像を取り込むことになる。
た場合、ウェーハ７のシアン色のＷ！調だけの光でなる
単色階調画像を取り込むことになる。
また、緑色フィルターの場合は、マゼンタ色の単色階調
画像を、青色フィルターの場合は、イエロー色の単色階
調画像をそれぞれ取り込むことになる。さらに、これら
取り込まれた単色階調画像は、イメージプロセッサ２及
びコンピュータ１により画像処理されて外観検査が行な
われる。
画像を、青色フィルターの場合は、イエロー色の単色階
調画像をそれぞれ取り込むことになる。さらに、これら
取り込まれた単色階調画像は、イメージプロセッサ２及
びコンピュータ１により画像処理されて外観検査が行な
われる。
第２図（ａ）〜（ｄ）は第１図のウェーハ外観検査装置
の動作を説明するための図である９例えば、２図（ａ）
に示すように、ウェーハ８の上にレジスト反射防止膜１
１を形成し、その上にレジストパターン１０を形成した
後、このレジストパターンの検査する場合を説明する。
の動作を説明するための図である９例えば、２図（ａ）
に示すように、ウェーハ８の上にレジスト反射防止膜１
１を形成し、その上にレジストパターン１０を形成した
後、このレジストパターンの検査する場合を説明する。
まず、ステージを検査方向Ｂに移動させる。このとき、
白色光である検査光を照射する。この白色光の反射した
ときのＷｌ調は、第２図（ｂ）のようになる。この状態
では、レジストパターン１０とレンズ反射防止膜１１と
のコントラストはあまり大きくない。
白色光である検査光を照射する。この白色光の反射した
ときのＷｌ調は、第２図（ｂ）のようになる。この状態
では、レジストパターン１０とレンズ反射防止膜１１と
のコントラストはあまり大きくない。
次に、反射する白色光に緑色フィルターを通してやると
、第２［Ｊ（ｃ）に示すように、やはり、コントラスト
は小さい。次に、青色フィルターを通してやると、第２
図（ｄ）に示すように、そのコントラストが顕著に撮像
される。このように、測定すべきウェーハの表面の状態
により、階調がとり易いフィルターを選んでやれば、コ
ントラストをより大きくすることが出来、より正確な検
査が可能となる。
、第２［Ｊ（ｃ）に示すように、やはり、コントラスト
は小さい。次に、青色フィルターを通してやると、第２
図（ｄ）に示すように、そのコントラストが顕著に撮像
される。このように、測定すべきウェーハの表面の状態
により、階調がとり易いフィルターを選んでやれば、コ
ントラストをより大きくすることが出来、より正確な検
査が可能となる。
また、図面には示さないが、このような白色光を照射し
、その反射光を２色（例えば、赤と緑）のフィルターで
通し、それら画像を取り込み、さらにイメージプロセッ
サー及びコンピュータにより、減法混色法で２色のカラ
ー画像の作成も出来るし、また、３色のプイルターで、
それぞれの画像を処理してやれば、カラー画像による極
めて解像度の高い外観検査が可能となる。
、その反射光を２色（例えば、赤と緑）のフィルターで
通し、それら画像を取り込み、さらにイメージプロセッ
サー及びコンピュータにより、減法混色法で２色のカラ
ー画像の作成も出来るし、また、３色のプイルターで、
それぞれの画像を処理してやれば、カラー画像による極
めて解像度の高い外観検査が可能となる。
以上説明したように本発明のウェーハ外観検査装置は、
ウェーハ表面に白色光を照射し、その反射光を色分解フ
ィルタにより、より階調度のある光のみ透過させること
によって、より正確に検査ができるという効果がある。
ウェーハ表面に白色光を照射し、その反射光を色分解フ
ィルタにより、より階調度のある光のみ透過させること
によって、より正確に検査ができるという効果がある。
また、これらフィルターを透過した光の画像を、減法混
色画像処理機能を有するイメージプロセッサを備えるこ
とによって、より高い解像度のカラー画像が形成し得る
という効果がある
色画像処理機能を有するイメージプロセッサを備えるこ
とによって、より高い解像度のカラー画像が形成し得る
という効果がある
第１図は本発明の一実施例のウェーハ外観検査装置の概
略を示す図、第２図（ａ）〜（ｄ）は第１図のウェーハ
外観検査装置の動作を説明するための図、第３図は従来
のウェーハ外観検査装置の一例における概略を示す図で
ある。 １．１ａ・・・コンピュータ、２．２ａ・・・イメージ
プロセッサ、３．３ａ−・・撮像カメラ、４・・・ハー
フミラ−１５・・・白色光源、５ａ・・−光源、６・・
一対物レンズ、７・・・ウェーハ、８・・・ステージ、
９・・・色分解フィルター、１０・・・レジストパター
ン、１１・−・レジスト反射防止膜。
略を示す図、第２図（ａ）〜（ｄ）は第１図のウェーハ
外観検査装置の動作を説明するための図、第３図は従来
のウェーハ外観検査装置の一例における概略を示す図で
ある。 １．１ａ・・・コンピュータ、２．２ａ・・・イメージ
プロセッサ、３．３ａ−・・撮像カメラ、４・・・ハー
フミラ−１５・・・白色光源、５ａ・・−光源、６・・
一対物レンズ、７・・・ウェーハ、８・・・ステージ、
９・・・色分解フィルター、１０・・・レジストパター
ン、１１・−・レジスト反射防止膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ウェーハよりの反射光により前記ウェーハ上のパタ
ーンを撮像する撮像手段と、この撮像手段が得られる撮
像パターン信号を処理するイメージプロセッサ及びコン
ピュータとを有するウェーハ外観検査装置において、前
記ウェーハ面に照射する白色光を発生する白色光源と、
前記ウェーハより反射する光を三原色光に分離する色分
解フィルタとを備えることを特徴とするウェーハ外観検
査装置。 ２、前記イメージプロセッサが前記三原色光によるのそ
れぞれを階調の異なる画像を減法混色法によりカラー画
像形成を行なうとともにこの画像を再生することを特徴
とする請求項１記載のウェーハ外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21682590A JPH0499346A (ja) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | ウェーハ外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21682590A JPH0499346A (ja) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | ウェーハ外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0499346A true JPH0499346A (ja) | 1992-03-31 |
Family
ID=16694485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21682590A Pending JPH0499346A (ja) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | ウェーハ外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0499346A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1107012A1 (en) * | 1999-11-30 | 2001-06-13 | Nidek Co., Ltd. | Visual inspection apparatus |
| JP2002014053A (ja) * | 2000-06-28 | 2002-01-18 | Sony Corp | 検査装置及び検査方法 |
| JP2003042971A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Ibiden Co Ltd | パターン検査装置および検査方法 |
-
1990
- 1990-08-17 JP JP21682590A patent/JPH0499346A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1107012A1 (en) * | 1999-11-30 | 2001-06-13 | Nidek Co., Ltd. | Visual inspection apparatus |
| JP2002014053A (ja) * | 2000-06-28 | 2002-01-18 | Sony Corp | 検査装置及び検査方法 |
| JP2003042971A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Ibiden Co Ltd | パターン検査装置および検査方法 |
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