JPH0943097A - カラーフィルター欠陥検査装置 - Google Patents
カラーフィルター欠陥検査装置Info
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- JPH0943097A JPH0943097A JP19361295A JP19361295A JPH0943097A JP H0943097 A JPH0943097 A JP H0943097A JP 19361295 A JP19361295 A JP 19361295A JP 19361295 A JP19361295 A JP 19361295A JP H0943097 A JPH0943097 A JP H0943097A
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- color filter
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- light
- color
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- Pending
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- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】カラーフィルターの欠陥検査装置での検出感度
の差をなくし、Ｒ、Ｇ、Ｂすべての色を同一の感度で、
もしくは特定の規格に基づく感度差によりＲ、Ｇ、Ｂ各
色の色抜け欠陥を検出できるようにする。 【解決手段】光源より光電変換手段までの間の光が通る
道筋の途中に色フィルターを使用する。
の差をなくし、Ｒ、Ｇ、Ｂすべての色を同一の感度で、
もしくは特定の規格に基づく感度差によりＲ、Ｇ、Ｂ各
色の色抜け欠陥を検出できるようにする。 【解決手段】光源より光電変換手段までの間の光が通る
道筋の途中に色フィルターを使用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置等に
用いられるカラーフィルターの欠陥検査装置に関するも
のである。
用いられるカラーフィルターの欠陥検査装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶表示装置用カラーフィルター
の欠陥検査には以下のような手段が用いられていた。す
なわち、図１に示すように、ステージ２上のカラーフィ
ルター基板１に光を照射する光源３から発せられた光
は、前記カラーフィルター基板１のパターン部を透過ま
たは反射し、光電変換手段、例えばＣＣＤラインセンサ
ー５または５′にて捉えられ、電気信号に変換される。
この信号を検出回路部にて処理判断させることによりパ
ターン部の数十μｍφ程度の白抜け欠陥及び突起物によ
る欠陥を検出する。ここで白抜け欠陥とはカラーフィル
ター部またはブラックマトリクス部の部分的な欠損によ
り、入射した光がほとんどそのまま透過してしまう部分
が生じることをいう。
の欠陥検査には以下のような手段が用いられていた。す
なわち、図１に示すように、ステージ２上のカラーフィ
ルター基板１に光を照射する光源３から発せられた光
は、前記カラーフィルター基板１のパターン部を透過ま
たは反射し、光電変換手段、例えばＣＣＤラインセンサ
ー５または５′にて捉えられ、電気信号に変換される。
この信号を検出回路部にて処理判断させることによりパ
ターン部の数十μｍφ程度の白抜け欠陥及び突起物によ
る欠陥を検出する。ここで白抜け欠陥とはカラーフィル
ター部またはブラックマトリクス部の部分的な欠損によ
り、入射した光がほとんどそのまま透過してしまう部分
が生じることをいう。
【０００３】ここで、検出回路部における処理判断方法
の例を説明する。まずＣＣＤラインセンサー５にて捉え
られた透過光の信号は、図２（ａ）に示すようになり、
ＣＣＤラインセンサー５′にて捉えられた反射光の信号
は、図２（ｂ）または（ｃ）に示すようになる。図２
（ｂ）は金属クロム膜のブラックマトリクスを備えたカ
ラーフィルター、図２（ｃ）は着色樹脂膜のブラックマ
トリクスを備えたカラーフィルターの例である。なお、
図２中で、横軸は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の繰
り返し画素部をもつカラーフィルター基板上の位置を示
し、縦軸は電気信号の強度を示している。また、図２
中、Ａ部はカラーフィルター基板上の白抜け欠陥部より
得られた信号を表すものである。ここで例えば図３に示
すように、Ｒ、Ｇ、Ｂ各部で一組の信号パターンである
図２（ｃ）の信号を１周期分だけ、得られた波形のまま
位置軸（横軸）方向にずらす。次いで、そのずらした信
号と図２（ｃ）の原信号との差分をとった信号は図４に
示すようになり、ＧとＢの画素部分にある白抜け欠陥の
部分だけが信号として抽出される。もしくは図２（ｃ）
の検査部位と隣接したＲ、Ｇ、Ｂ画素部にラインセンサ
ーの検査部位を移動し図３に示すような信号を得、それ
と図２（ｃ）で得た信号との差分をとる方法等もある。
またそれらの欠陥の大きさは、図の位置軸の幅で知るこ
とができ、規定の欠陥部の大きさに相当する幅以上の信
号が得られた部分を不良部として検知させる。
の例を説明する。まずＣＣＤラインセンサー５にて捉え
られた透過光の信号は、図２（ａ）に示すようになり、
ＣＣＤラインセンサー５′にて捉えられた反射光の信号
は、図２（ｂ）または（ｃ）に示すようになる。図２
（ｂ）は金属クロム膜のブラックマトリクスを備えたカ
ラーフィルター、図２（ｃ）は着色樹脂膜のブラックマ
トリクスを備えたカラーフィルターの例である。なお、
図２中で、横軸は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の繰
り返し画素部をもつカラーフィルター基板上の位置を示
し、縦軸は電気信号の強度を示している。また、図２
中、Ａ部はカラーフィルター基板上の白抜け欠陥部より
得られた信号を表すものである。ここで例えば図３に示
すように、Ｒ、Ｇ、Ｂ各部で一組の信号パターンである
図２（ｃ）の信号を１周期分だけ、得られた波形のまま
位置軸（横軸）方向にずらす。次いで、そのずらした信
号と図２（ｃ）の原信号との差分をとった信号は図４に
示すようになり、ＧとＢの画素部分にある白抜け欠陥の
部分だけが信号として抽出される。もしくは図２（ｃ）
の検査部位と隣接したＲ、Ｇ、Ｂ画素部にラインセンサ
ーの検査部位を移動し図３に示すような信号を得、それ
と図２（ｃ）で得た信号との差分をとる方法等もある。
またそれらの欠陥の大きさは、図の位置軸の幅で知るこ
とができ、規定の欠陥部の大きさに相当する幅以上の信
号が得られた部分を不良部として検知させる。
【０００４】しかしながら、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色の光電変換
手段の検出感度に差があるため、図４に示す２カ所の欠
陥部の信号レベルに大きな差が生じる。しかも、真の欠
陥部より得られた信号以外の、種々の電気的要因あるい
はカラーフィルター表面の凹凸などの要因によるノイズ
が含まれている。これらのことは、欠陥部として認識判
断するための基準の信号レベルであるスライスレベルの
設定を困難にさせる原因となっていた。
手段の検出感度に差があるため、図４に示す２カ所の欠
陥部の信号レベルに大きな差が生じる。しかも、真の欠
陥部より得られた信号以外の、種々の電気的要因あるい
はカラーフィルター表面の凹凸などの要因によるノイズ
が含まれている。これらのことは、欠陥部として認識判
断するための基準の信号レベルであるスライスレベルの
設定を困難にさせる原因となっていた。
【０００５】すなわち、カラーフィルターに用いられて
いるＲ、Ｇ、Ｂ各色の顔料もしくは染料等の光学特性、
すなわち透過率または反射率の差により、光電変換手段
が受光する光量に差が生じ、それらの透過率または反射
率の値が高いほど、白抜け欠陥部の透過率または反射率
との差が小さくなるために欠陥としての検出精度に問題
が生じていたものである。
いるＲ、Ｇ、Ｂ各色の顔料もしくは染料等の光学特性、
すなわち透過率または反射率の差により、光電変換手段
が受光する光量に差が生じ、それらの透過率または反射
率の値が高いほど、白抜け欠陥部の透過率または反射率
との差が小さくなるために欠陥としての検出精度に問題
が生じていたものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】カラーフィルターに要
求される規格、すなわち性能上無視できる白抜け欠陥の
最大の大きさは、例えば欠陥部の大きさが30〜80μｍφ
程度以下とされ各色毎の規格に差がないか、または各色
毎に各々特定の規格が指定されているかのいずれかであ
る。しかしながら従来、検査機においては必ずしもこれ
らの規格を満足するような、色による検出力の差を設定
できるようには作られていない。本発明は、上記のよう
な検査機での検出感度の差をなくし、Ｒ、Ｇ、Ｂすべて
の色を同一の感度で、もしくは特定の規格に基づく感度
差によりＲ、Ｇ、Ｂ各色の白抜け欠陥を検出できるよう
にすることを目的とする。
求される規格、すなわち性能上無視できる白抜け欠陥の
最大の大きさは、例えば欠陥部の大きさが30〜80μｍφ
程度以下とされ各色毎の規格に差がないか、または各色
毎に各々特定の規格が指定されているかのいずれかであ
る。しかしながら従来、検査機においては必ずしもこれ
らの規格を満足するような、色による検出力の差を設定
できるようには作られていない。本発明は、上記のよう
な検査機での検出感度の差をなくし、Ｒ、Ｇ、Ｂすべて
の色を同一の感度で、もしくは特定の規格に基づく感度
差によりＲ、Ｇ、Ｂ各色の白抜け欠陥を検出できるよう
にすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、液晶表示装置
用カラーフィルター上に光を照射する光源と、前記カラ
ーフィルターのパターン部を透過または反射した光を受
光し電気信号に変換する光電変換手段と、前記光電変換
手段により得られた電気信号をもとに前記パターン部の
白抜け欠陥及び突起欠陥を検出する欠陥検出手段とを備
えてなるカラーフィルター用欠陥検査装置において、光
源より光電変換手段までの光が通る道筋の途中に、前記
光電変換手段により受光される光の、カラーフィルター
の赤、緑、青各色部に対応する部分における光量をほぼ
同一とする色フィルターを設けることを特徴とするカラ
ーフィルター用欠陥検査装置である。
用カラーフィルター上に光を照射する光源と、前記カラ
ーフィルターのパターン部を透過または反射した光を受
光し電気信号に変換する光電変換手段と、前記光電変換
手段により得られた電気信号をもとに前記パターン部の
白抜け欠陥及び突起欠陥を検出する欠陥検出手段とを備
えてなるカラーフィルター用欠陥検査装置において、光
源より光電変換手段までの光が通る道筋の途中に、前記
光電変換手段により受光される光の、カラーフィルター
の赤、緑、青各色部に対応する部分における光量をほぼ
同一とする色フィルターを設けることを特徴とするカラ
ーフィルター用欠陥検査装置である。
【０００８】すなわち、光源と、センサーである例えば
ＣＣＤラインセンサーとのあいだの、光が通る道筋の途
中に色フィルターを取り付け、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色間の検出
力の差をなくす、または特定の規格に基づく検出力の差
に調整する方法を用いる欠陥検査装置である。透過光検
査の場合、特に、透過率の低いＲ、Ｂに対応するため、
紫色のフィルターを使用することにより透過率の高いＧ
の光量を抑え、最終的にＣＣＤラインセンサーに入射す
るＲ、Ｇ、Ｂの各色部の光量を揃えて、同一感度でＲ、
Ｇ、Ｂすべての白抜け欠陥を検出できるようにする欠陥
検査装置である。なお、反射光検査においては、反射率
特性は透過光と異なる反射率特性であるため、その特性
に合わせた色フィルター、例えばＲの反射率が高いこと
に対応して青緑色のフィルターを使用し、Ｒの光量を抑
えるものである。
ＣＣＤラインセンサーとのあいだの、光が通る道筋の途
中に色フィルターを取り付け、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色間の検出
力の差をなくす、または特定の規格に基づく検出力の差
に調整する方法を用いる欠陥検査装置である。透過光検
査の場合、特に、透過率の低いＲ、Ｂに対応するため、
紫色のフィルターを使用することにより透過率の高いＧ
の光量を抑え、最終的にＣＣＤラインセンサーに入射す
るＲ、Ｇ、Ｂの各色部の光量を揃えて、同一感度でＲ、
Ｇ、Ｂすべての白抜け欠陥を検出できるようにする欠陥
検査装置である。なお、反射光検査においては、反射率
特性は透過光と異なる反射率特性であるため、その特性
に合わせた色フィルター、例えばＲの反射率が高いこと
に対応して青緑色のフィルターを使用し、Ｒの光量を抑
えるものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】図５に示す透過型及び図６に示す
反射型の欠陥検査装置において、検査対象となるカラー
フィルター基板１がステージ２上に載置されており、キ
セノンランプ、ハロゲンランプ、蛍光灯などを用いた光
源３から発せられた光は、光量調節フィルター４を経て
カラーフィルター基板１に達し、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、
青（Ｂ）各色のフィルターパターンを透過、またはフィ
ルターパターンで反射して、検出回路部に接続したＣＣ
Ｄ（電荷結合素子）カメラ５または５′に入射し、そこ
で得られた画像を電気信号に変換し、既述のように検出
回路部で欠陥検査処理する構成となっている。
反射型の欠陥検査装置において、検査対象となるカラー
フィルター基板１がステージ２上に載置されており、キ
セノンランプ、ハロゲンランプ、蛍光灯などを用いた光
源３から発せられた光は、光量調節フィルター４を経て
カラーフィルター基板１に達し、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、
青（Ｂ）各色のフィルターパターンを透過、またはフィ
ルターパターンで反射して、検出回路部に接続したＣＣ
Ｄ（電荷結合素子）カメラ５または５′に入射し、そこ
で得られた画像を電気信号に変換し、既述のように検出
回路部で欠陥検査処理する構成となっている。
【００１０】ここで本発明による装置は、上記の構成に
加え、光源３から発した光がＣＣＤラインセンサー５ま
たは５′に入射するまでの任意の場所に色フィルター６
を配置する。この色フィルター６は、任意の素材、手段
によってよいが、例えばガラス板に着色顔料をコーティ
ングしたものを用いる。この色フィルター６の色を調整
することにより、従来はカラーフィルター基板１上のフ
ィルターパターン各色間の光透過率の差に起因して各色
毎に差のあった検出力を調整できる。
加え、光源３から発した光がＣＣＤラインセンサー５ま
たは５′に入射するまでの任意の場所に色フィルター６
を配置する。この色フィルター６は、任意の素材、手段
によってよいが、例えばガラス板に着色顔料をコーティ
ングしたものを用いる。この色フィルター６の色を調整
することにより、従来はカラーフィルター基板１上のフ
ィルターパターン各色間の光透過率の差に起因して各色
毎に差のあった検出力を調整できる。
【００１１】図７に示すグラフのように、細線で示した
カラーフィルターのＲ、Ｇ、Ｂ各色の光透過率曲線は各
フィルターの透過率の違いを示している。Ｇのカラーフ
ィルターの透過率が高いため、Ｇ色の白抜け欠陥は、そ
の欠陥部の光透過率とＧ色の光透過率との差が小さくな
り他の色に比べ検出しにくい。ここで、ＣＣＤラインセ
ンサー５に入射する透過光に対して用いる色フィルター
６として、図７に示す太線で示した光透過率カーブを示
す紫色のフィルターを用いることにより、Ｒ、Ｇ、Ｂ各
色のカラーフィルターを透過したのち色フィルター６を
透過した光は互いにほぼ同等の光量になる。このため各
色の白抜け欠陥の検出力が同等になる。例えば以下の表
１に示すように、従来法では各色毎に検出できる白抜け
欠陥の最小寸法にバラツキがあったが、本発明によれ
ば、白抜け欠陥検出の最小寸法径を同一にすることがで
きる。
カラーフィルターのＲ、Ｇ、Ｂ各色の光透過率曲線は各
フィルターの透過率の違いを示している。Ｇのカラーフ
ィルターの透過率が高いため、Ｇ色の白抜け欠陥は、そ
の欠陥部の光透過率とＧ色の光透過率との差が小さくな
り他の色に比べ検出しにくい。ここで、ＣＣＤラインセ
ンサー５に入射する透過光に対して用いる色フィルター
６として、図７に示す太線で示した光透過率カーブを示
す紫色のフィルターを用いることにより、Ｒ、Ｇ、Ｂ各
色のカラーフィルターを透過したのち色フィルター６を
透過した光は互いにほぼ同等の光量になる。このため各
色の白抜け欠陥の検出力が同等になる。例えば以下の表
１に示すように、従来法では各色毎に検出できる白抜け
欠陥の最小寸法にバラツキがあったが、本発明によれ
ば、白抜け欠陥検出の最小寸法径を同一にすることがで
きる。
【００１２】
【表１】
【００１３】また、ＣＣＤラインセンサー５′に入射す
る反射光に対して用いる色フィルター６′についても同
様に、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色部の光反射率の差による光量の差
を補正する光透過率カーブをもつフィルターを用いる。
る反射光に対して用いる色フィルター６′についても同
様に、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色部の光反射率の差による光量の差
を補正する光透過率カーブをもつフィルターを用いる。
【００１４】
【発明の効果】以上の説明のように、本発明は色フィル
ター、特に紫フィルターにより、検査機での検出感度の
差をなくし、Ｒ、Ｇ、Ｂすべての色を同一の感度で、も
しくは特定の規格に基づく感度差によりＲ、Ｇ、Ｂ各色
の白抜け欠陥または突起状の欠陥を検出できるように調
整できる。
ター、特に紫フィルターにより、検査機での検出感度の
差をなくし、Ｒ、Ｇ、Ｂすべての色を同一の感度で、も
しくは特定の規格に基づく感度差によりＲ、Ｇ、Ｂ各色
の白抜け欠陥または突起状の欠陥を検出できるように調
整できる。
【００１５】
【図１】従来のカラーフィルターの欠陥検査装置の一例
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は、光電変換手段により得られ
たパターン部の信号の一例である。
たパターン部の信号の一例である。
【図３】図２（ｃ）を１周期分だけ、Ｒ、Ｇ、Ｂ各部で
一組の信号パターンの波形が合うように位置軸方向にず
らした信号の一例である。
一組の信号パターンの波形が合うように位置軸方向にず
らした信号の一例である。
【図４】図２と図３（ｃ）の信号の差分を取った信号の
一例である。
一例である。
【図５】本発明の一実施例を示す説明図である。
【図６】本発明の別の一実施例を示す説明図である。
【図７】本発明に用いる色フィルターの光透過率の一例
をカラーフィルター各色の光透過率の一例とともに示す
グラフである。
をカラーフィルター各色の光透過率の一例とともに示す
グラフである。
１ カラーフィルター基板 ２ ステージ ３ 光源 ４ 光量調節フィルター ５ ＣＣＤラインセンサー ６ 色フィルター
Claims (1)
- 【請求項１】液晶表示装置用カラーフィルター上に光を
照射する光源と、前記カラーフィルターのパターン部を
透過または反射した光を受光し電気信号に変換する光電
変換手段と、前記光電変換手段により得られた電気信号
をもとに前記パターン部の白抜け欠陥及び突起欠陥を検
出する欠陥検出手段とを備えてなるカラーフィルター用
欠陥検査装置において、光源より光電変換手段までの光
が通る道筋の途中に、前記光電変換手段により受光され
る、カラーフィルターの赤、緑、青各画素部を透過また
は反射した光の光量をほぼ同一とする色フィルターを設
けることを特徴とするカラーフィルター用欠陥検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19361295A JPH0943097A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | カラーフィルター欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19361295A JPH0943097A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | カラーフィルター欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0943097A true JPH0943097A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=16310845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19361295A Pending JPH0943097A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | カラーフィルター欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0943097A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6221544B1 (en) * | 1998-12-28 | 2001-04-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Inspecting method of color filter and manufacturing method of color filter |
| JP2004158454A (ja) * | 2002-11-04 | 2004-06-03 | Lg Electron Inc | プラズマディスプレイパネルの蛍光体検査装置及び検査方法 |
| JP2006275812A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Seiko Epson Corp | エッジ欠陥検出方法、エッジ欠陥検出装置、エッジ欠陥検出プログラム、記録媒体 |
| JP2007327761A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの外観検査方法及び外観検査装置 |
| CN1834733B (zh) | 2005-02-23 | 2010-11-10 | 东丽工程株式会社 | 颜色云纹检查方法及其装置 |
| JP2011196827A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Lasertec Corp | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法 |
| CN105259189A (zh) * | 2015-10-21 | 2016-01-20 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 玻璃的缺陷成像系统和方法 |
-
1995
- 1995-07-28 JP JP19361295A patent/JPH0943097A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6221544B1 (en) * | 1998-12-28 | 2001-04-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Inspecting method of color filter and manufacturing method of color filter |
| JP2004158454A (ja) * | 2002-11-04 | 2004-06-03 | Lg Electron Inc | プラズマディスプレイパネルの蛍光体検査装置及び検査方法 |
| CN1834733B (zh) | 2005-02-23 | 2010-11-10 | 东丽工程株式会社 | 颜色云纹检查方法及其装置 |
| JP2006275812A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Seiko Epson Corp | エッジ欠陥検出方法、エッジ欠陥検出装置、エッジ欠陥検出プログラム、記録媒体 |
| JP2007327761A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの外観検査方法及び外観検査装置 |
| JP2011196827A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Lasertec Corp | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法 |
| CN105259189A (zh) * | 2015-10-21 | 2016-01-20 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 玻璃的缺陷成像系统和方法 |
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