JPH05102785A - 多重モード圧電フイルタ素子 - Google Patents
多重モード圧電フイルタ素子Info
- Publication number
- JPH05102785A JPH05102785A JP29085391A JP29085391A JPH05102785A JP H05102785 A JPH05102785 A JP H05102785A JP 29085391 A JP29085391 A JP 29085391A JP 29085391 A JP29085391 A JP 29085391A JP H05102785 A JPH05102785 A JP H05102785A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter element
- electrodes
- sets
- piezoelectric
- piezoelectric filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】圧電素板表面に縦続接続する如く配置した２組
の分割電極間の音響結合により発生するスプリアスを抑
圧できる多重モ−ド圧電フィルタ素子を提供することを
目的とする。 【構成】圧電素板の相対面する両面それぞれに付着する
対向電極の一方或は双方を所定の間隙を隔して分割した
分割電極とすると共にこのような電極２組を前記圧電素
板表面に縦続接続する如く配置した２段縦続接続多重モ
ード圧電フィルタ素子に於いて、前記２組の分割電極を
それぞれの音響結合の方向が平行且つ互いに一致しない
位置にずらして配列した。
の分割電極間の音響結合により発生するスプリアスを抑
圧できる多重モ−ド圧電フィルタ素子を提供することを
目的とする。 【構成】圧電素板の相対面する両面それぞれに付着する
対向電極の一方或は双方を所定の間隙を隔して分割した
分割電極とすると共にこのような電極２組を前記圧電素
板表面に縦続接続する如く配置した２段縦続接続多重モ
ード圧電フィルタ素子に於いて、前記２組の分割電極を
それぞれの音響結合の方向が平行且つ互いに一致しない
位置にずらして配列した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧電素板を用いた多重モ
−ド圧電フィルタ素子の構造に関する。
−ド圧電フィルタ素子の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から図３に示す如く圧電素板、例え
ばＡＴカット水晶素板（ＡＴ板）１の主表面表裏に相対
向する電極２を付着し、前記電極２の一方あるいは双方
を所定の間隙を介して分割することによって当該分割電
極２による振動相互の音響結合の結果、前記ＡＴ板１表
面に発生する対称モ−ド及び反対称モ−ドと称する共振
周波数がそれぞれｆs 及びｆa なる２つの振動モ−ドを
利用し、中心周波数がほぼｆa であり通過帯域幅がほぼ
２（ｆa −ｆs ）となる図４に示す如きフィルタ特性を
有する所謂多重（２重）モ−ド水晶フィルタ素子が通信
機等の分野で広く用いられている。このような多重モ−
ド水晶フィルタ素子において、通過帯域付近に於ける減
衰帯域の減衰量を大きくすると共にスカート特性を急峻
にするために図５に示す如くＡＴ板１表面に同一の特性
を有する２組の分割電極３、４を所定の間隔ｄをもって
並置すると共に近接する電極同士を導電パターン５で結
合し、両端の電極を入出力とする所謂縦続接続が一般的
に行われていた。このように構成することによって、中
心周波数及び通過帯域幅をそのままとし、従来の１素子
の場合に比べほぼ２倍の減衰量を有するフィルタ素子を
実現することができる。
ばＡＴカット水晶素板（ＡＴ板）１の主表面表裏に相対
向する電極２を付着し、前記電極２の一方あるいは双方
を所定の間隙を介して分割することによって当該分割電
極２による振動相互の音響結合の結果、前記ＡＴ板１表
面に発生する対称モ−ド及び反対称モ−ドと称する共振
周波数がそれぞれｆs 及びｆa なる２つの振動モ−ドを
利用し、中心周波数がほぼｆa であり通過帯域幅がほぼ
２（ｆa −ｆs ）となる図４に示す如きフィルタ特性を
有する所謂多重（２重）モ−ド水晶フィルタ素子が通信
機等の分野で広く用いられている。このような多重モ−
ド水晶フィルタ素子において、通過帯域付近に於ける減
衰帯域の減衰量を大きくすると共にスカート特性を急峻
にするために図５に示す如くＡＴ板１表面に同一の特性
を有する２組の分割電極３、４を所定の間隔ｄをもって
並置すると共に近接する電極同士を導電パターン５で結
合し、両端の電極を入出力とする所謂縦続接続が一般的
に行われていた。このように構成することによって、中
心周波数及び通過帯域幅をそのままとし、従来の１素子
の場合に比べほぼ２倍の減衰量を有するフィルタ素子を
実現することができる。
【０００３】ところで、近年の電子機器等に於ける小型
化に伴い、フィルタ素子についても小型化への要求が高
まっている。しかしながら上述の如く構成した多重モ−
ド圧電フィルタ素子に於いては、圧電素板の形状が小さ
くなることによって、２組の分割電極３、４の間隔ｄが
狭くなるから両者の間で音響結合が起こり易くなり、そ
の結果としてスプリアスが発生するという欠陥があっ
た。
化に伴い、フィルタ素子についても小型化への要求が高
まっている。しかしながら上述の如く構成した多重モ−
ド圧電フィルタ素子に於いては、圧電素板の形状が小さ
くなることによって、２組の分割電極３、４の間隔ｄが
狭くなるから両者の間で音響結合が起こり易くなり、そ
の結果としてスプリアスが発生するという欠陥があっ
た。
【０００４】
【発明の目的】本発明は上述した如き従来の多重モ−ド
圧電フィルタ素子の欠陥を除去するためになされたもの
であって、スプリアスの発生を抑圧できる多重モ−ド圧
電フィルタ素子を提供することを目的とする。
圧電フィルタ素子の欠陥を除去するためになされたもの
であって、スプリアスの発生を抑圧できる多重モ−ド圧
電フィルタ素子を提供することを目的とする。
【０００５】
【発明の概要】上述の目的を達成するため本発明に係る
多重モ−ド圧電フィルタ素子は、圧電素板の相対面する
両面それぞれに付着する対向電極の一方或は双方両方を
所定の間隙を隔して分割した分割電極とすると共にこの
ような電極２組を前記圧電素板表面に縦続接続する如く
配置した２段縦続接続多重モード圧電フィルタ素子に於
いて、前記２組の分割電極をそれぞれの音響結合の方向
が平行且つ互いに一致しない位置にずらして配列したも
のである。
多重モ−ド圧電フィルタ素子は、圧電素板の相対面する
両面それぞれに付着する対向電極の一方或は双方両方を
所定の間隙を隔して分割した分割電極とすると共にこの
ような電極２組を前記圧電素板表面に縦続接続する如く
配置した２段縦続接続多重モード圧電フィルタ素子に於
いて、前記２組の分割電極をそれぞれの音響結合の方向
が平行且つ互いに一致しない位置にずらして配列したも
のである。
【０００６】
【実施例】以下本発明を実施例を示す図面によって詳細
に説明する。図１は本発明に係る多重モ−ド水晶フィル
タ素子の一実施例を示す平面図であって、ＡＴ板１の表
面に２組の分割電極３、４をそれぞれの音響結合の方向
即ち前記分割電極の間隙に対して直角な方向が平行且つ
互いに一致しない位置にずらして配置すると共にこれら
を縦続接続したものである。分割電極３、４それぞれの
音響結合によって生ずる波動の伝搬方向が互いにずれて
いるため、この２組の分割電極同士が音響結合しにくく
なり、スプリアスの発生を抑圧することができる。
に説明する。図１は本発明に係る多重モ−ド水晶フィル
タ素子の一実施例を示す平面図であって、ＡＴ板１の表
面に２組の分割電極３、４をそれぞれの音響結合の方向
即ち前記分割電極の間隙に対して直角な方向が平行且つ
互いに一致しない位置にずらして配置すると共にこれら
を縦続接続したものである。分割電極３、４それぞれの
音響結合によって生ずる波動の伝搬方向が互いにずれて
いるため、この２組の分割電極同士が音響結合しにくく
なり、スプリアスの発生を抑圧することができる。
【０００７】ところで、フィルタ素子に於いては小型化
と共に高周波化への要求が高まっているが、ＡＴカット
水晶振動子の如く厚みすべり振動を利用した圧電共振子
の素板は一般に平板であり、その共振周波数は板厚と反
比例するため製造技術及び機械的強度の観点から基本波
振動を利用するものにおいては４０ＭＨｚ程度が限界で
あった。これを解決する手段の一として、以前より数１
０乃至数１００ＭＨｚの高周波領域に於いて基本波振動
が励振可能な超薄板圧電共振子を利用した超薄板多重モ
−ド圧電フィルタ素子が提案されている。図２（ａ）及
び（ｂ）はそれぞれ本発明をこの超薄板多重モ−ド圧電
フィルタ素子に用いた実施例を示す平面図及びＡＢに於
ける断面図であって、ＡＴ板１の一方の表面を例えばエ
ッチングによって凹陥せしめ、その底面を薄板状の振動
部６とすると共に前記振動部６の周囲を支持する厚肉の
環状囲繞部７を前記振動部６と一体的に形成して前記振
動部６の機械的強度を保持した超薄板水晶共振子に於い
て、凹陥側に導電膜を蒸着して全面電極８を形成し、対
向する平坦面の前記振動部６ほぼ中央に２組の分割電極
３、４を上述した如くそれぞれの音響結合の方向即ち前
記分割電極の間隙に対して直角な方向が平行且つ互いに
一致しない位置にずらして配置すると共にこれらを縦続
接続し上述の実施例と同様の効果を高周波領域に於いて
得るものである。
と共に高周波化への要求が高まっているが、ＡＴカット
水晶振動子の如く厚みすべり振動を利用した圧電共振子
の素板は一般に平板であり、その共振周波数は板厚と反
比例するため製造技術及び機械的強度の観点から基本波
振動を利用するものにおいては４０ＭＨｚ程度が限界で
あった。これを解決する手段の一として、以前より数１
０乃至数１００ＭＨｚの高周波領域に於いて基本波振動
が励振可能な超薄板圧電共振子を利用した超薄板多重モ
−ド圧電フィルタ素子が提案されている。図２（ａ）及
び（ｂ）はそれぞれ本発明をこの超薄板多重モ−ド圧電
フィルタ素子に用いた実施例を示す平面図及びＡＢに於
ける断面図であって、ＡＴ板１の一方の表面を例えばエ
ッチングによって凹陥せしめ、その底面を薄板状の振動
部６とすると共に前記振動部６の周囲を支持する厚肉の
環状囲繞部７を前記振動部６と一体的に形成して前記振
動部６の機械的強度を保持した超薄板水晶共振子に於い
て、凹陥側に導電膜を蒸着して全面電極８を形成し、対
向する平坦面の前記振動部６ほぼ中央に２組の分割電極
３、４を上述した如くそれぞれの音響結合の方向即ち前
記分割電極の間隙に対して直角な方向が平行且つ互いに
一致しない位置にずらして配置すると共にこれらを縦続
接続し上述の実施例と同様の効果を高周波領域に於いて
得るものである。
【０００８】尚、例えば図１の実施例に於いて、図中横
方向に更なる小型化を図る場合は、分割電極３及び４を
それぞれ図中右及び左方向にずらせばよいが、図中上下
方向に余裕がある場合を除き、導電パターン５で結合し
た側の電極９、１０がそれぞれ他方の入出力側の電極１
１、１２に近接することにより、両者間に同図中上下方
向の音響結合が起こり従来のものとは別のスプリアスが
発生する可能性があるため、実際にはフィルタ特性と素
子の小型化とを勘案すれば図２（ａ）に示す如く前記電
極９及び１０が縦列するよう配置するのが最適であろ
う。以上ＡＴカット水晶素板を用いた多重モ−ド圧電フ
ィルタ素子を実施例に本発明を説明してきたが、本発明
はこれのみに限定される必要はなく他の圧電材料を用い
てもよいこと自明である。
方向に更なる小型化を図る場合は、分割電極３及び４を
それぞれ図中右及び左方向にずらせばよいが、図中上下
方向に余裕がある場合を除き、導電パターン５で結合し
た側の電極９、１０がそれぞれ他方の入出力側の電極１
１、１２に近接することにより、両者間に同図中上下方
向の音響結合が起こり従来のものとは別のスプリアスが
発生する可能性があるため、実際にはフィルタ特性と素
子の小型化とを勘案すれば図２（ａ）に示す如く前記電
極９及び１０が縦列するよう配置するのが最適であろ
う。以上ＡＴカット水晶素板を用いた多重モ−ド圧電フ
ィルタ素子を実施例に本発明を説明してきたが、本発明
はこれのみに限定される必要はなく他の圧電材料を用い
てもよいこと自明である。
【０００９】
【発明の効果】本発明は、以上説明した如く構成するも
のであるから、電極の配置を変えるのみでスプリアスを
抑圧した多重モ−ド圧電フィルタ素子を実現する上で著
しい効果を奏する。
のであるから、電極の配置を変えるのみでスプリアスを
抑圧した多重モ−ド圧電フィルタ素子を実現する上で著
しい効果を奏する。
【００１０】
【図１】本発明に係る多重モ−ド圧電フィルタ素子の一
実施例を示す平面図。
実施例を示す平面図。
【図２】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ本発明をこの超薄
板多重モ−ド圧電フィルタ素子に用いた実施例を示す平
面図及びＡＢに於ける断面図。
板多重モ−ド圧電フィルタ素子に用いた実施例を示す平
面図及びＡＢに於ける断面図。
【図３】一般的な多重モ−ド圧電フィルタ素子の構成を
示す斜視図。
示す斜視図。
【図４】多重モ−ド圧電フィルタ素子の基本的なフィル
タ特性を説明する模式図。
タ特性を説明する模式図。
【図５】従来の２段縦続接続多重モ−ド圧電フィルタ素
子の構造を示す平面図。
子の構造を示す平面図。
１・・・ＡＴカット水晶素板 ２、３、４・・・分割電極 ６・・・振動部 ７・・・環状囲繞部
Claims (2)
- 【請求項１】圧電素板の相対面する両面それぞれに付着
する対向電極の一方或は双方を所定の間隙を隔して分割
した分割電極とすると共にこのような電極２組を前記圧
電素板表面に縦続接続する如く配置した２段縦続接続多
重モード圧電フィルタ素子に於いて、前記２組の分割電
極をそれぞれの音響結合の方向が平行且つ互いに一致し
ない位置にずらして配列したことを特徴とする多重モー
ド圧電フィルタ素子。 - 【請求項２】薄肉の振動部と前記振動部の周囲を支持す
る厚肉の環状囲繞部とを圧電素板で一体的に構成し、前
記振動部表面に前記分割電極２組を設けたことを特徴と
する請求項１記載の多重モード圧電フィルタ素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29085391A JPH05102785A (ja) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | 多重モード圧電フイルタ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29085391A JPH05102785A (ja) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | 多重モード圧電フイルタ素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05102785A true JPH05102785A (ja) | 1993-04-23 |
Family
ID=17761340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29085391A Pending JPH05102785A (ja) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | 多重モード圧電フイルタ素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05102785A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014086983A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Daishinku Corp | 圧電フィルタ |
-
1991
- 1991-10-09 JP JP29085391A patent/JPH05102785A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014086983A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Daishinku Corp | 圧電フィルタ |
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