JPH05105206A - クリーンルーム用気密ストツカー - Google Patents
クリーンルーム用気密ストツカーInfo
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- JPH05105206A JPH05105206A JP3269781A JP26978191A JPH05105206A JP H05105206 A JPH05105206 A JP H05105206A JP 3269781 A JP3269781 A JP 3269781A JP 26978191 A JP26978191 A JP 26978191A JP H05105206 A JPH05105206 A JP H05105206A
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- gas
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 カセット出し入れ時のＮ2 ガス濃度の変動や
塵埃の舞い上がり等を防止して、半導体製造歩留りを高
める。 【構成】 上下部に開口を有し内部にＮ2 ガスパージ空
間を有する筒体のストッカーケーシング１０と、Ｎ2 ガ
スパージ空間を区画する壁内面との間にガス流路を区画
して収納された回転型のストッカー本体３０と、当該ス
トッカー本体を回転駆動する回転機構と、このストッカ
ー本体の回転位置を検知する位置センサ５０と、Ｎ2 ガ
スを注入する給気チャンバー６０と、排気装置７０とを
有し、位置センサ５０は、各カセット収納室がカセット
出し入れ口と対向する所定位置まで回転するとドア開許
可信号を出力し、ストッカー本体のドアユニット２０
は、その開時、所定位置にあるカセット収納室をストッ
カーケーシング内の他部と気密に遮断することを特徴と
する。
塵埃の舞い上がり等を防止して、半導体製造歩留りを高
める。 【構成】 上下部に開口を有し内部にＮ2 ガスパージ空
間を有する筒体のストッカーケーシング１０と、Ｎ2 ガ
スパージ空間を区画する壁内面との間にガス流路を区画
して収納された回転型のストッカー本体３０と、当該ス
トッカー本体を回転駆動する回転機構と、このストッカ
ー本体の回転位置を検知する位置センサ５０と、Ｎ2 ガ
スを注入する給気チャンバー６０と、排気装置７０とを
有し、位置センサ５０は、各カセット収納室がカセット
出し入れ口と対向する所定位置まで回転するとドア開許
可信号を出力し、ストッカー本体のドアユニット２０
は、その開時、所定位置にあるカセット収納室をストッ
カーケーシング内の他部と気密に遮断することを特徴と
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム内にお
いて、半導体ウエハカセット等を一時的に保管するクリ
ーンルーム用気密ストッカーに関する。
いて、半導体ウエハカセット等を一時的に保管するクリ
ーンルーム用気密ストッカーに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の処理は、従来は、ウエハのパー
ティクル汚染が問題になっていたが、半導体集積回路の
高密度化が進むに従い、空気中の酸素によるウエハ表面
の自然酸化膜の影響が問題となり始め、この自然酸化膜
の成長を防止するため、ウエハの移動、搬送等を不活性
ガス（Ｎ2 ガス）雰囲気中で行なう必要が生じ、現在で
は、Ｏ2 の濃度が１０ｐｐｍ以下、Ｈ2Ｏの濃度が１０
０ｐｐｍ以下であるＮ2 ガス雰囲気が要求されている。
ティクル汚染が問題になっていたが、半導体集積回路の
高密度化が進むに従い、空気中の酸素によるウエハ表面
の自然酸化膜の影響が問題となり始め、この自然酸化膜
の成長を防止するため、ウエハの移動、搬送等を不活性
ガス（Ｎ2 ガス）雰囲気中で行なう必要が生じ、現在で
は、Ｏ2 の濃度が１０ｐｐｍ以下、Ｈ2Ｏの濃度が１０
０ｐｐｍ以下であるＮ2 ガス雰囲気が要求されている。
【０００３】このため、従来、特別に設計したクリーン
ルーム内で行なわれてきた半導体処理を、当該クリーン
ルーム内に、例えば特開昭６０−１４６２３号公報に開
示されているような機械的インターフェース装置を設置
して、この機械的インターフェース装置内を上記Ｎ2 ガ
ス雰囲気とし、当該装置内で行なうようになった。
ルーム内で行なわれてきた半導体処理を、当該クリーン
ルーム内に、例えば特開昭６０−１４６２３号公報に開
示されているような機械的インターフェース装置を設置
して、この機械的インターフェース装置内を上記Ｎ2 ガ
ス雰囲気とし、当該装置内で行なうようになった。
【０００４】これに伴い、半導体製造工程間で一時的に
半導体ウエハを保管するストッカーも、その内部を常時
Ｎ2 ガス雰囲気とする必要が生じてきた。
半導体ウエハを保管するストッカーも、その内部を常時
Ｎ2 ガス雰囲気とする必要が生じてきた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のこの
種のストッカーは、周囲雰囲気に対して充分な気密性を
有しておらず、ドア開閉時には、ストッカー内部全体が
周囲雰囲気に連通してまうので、その都度、大量のＮ2
ガスをストッカー内に送り込まなくてはならず、大量の
Ｎ2 ガスをストッカー内に送り込と、ストッカー内に乱
流が生じて、塵埃が浮遊したり、各カセット収納室のＮ
2 ガス濃度が不均一になったりするという問題があり、
また、ストッカーの構造が複雑で、大形化するという問
題があった。
種のストッカーは、周囲雰囲気に対して充分な気密性を
有しておらず、ドア開閉時には、ストッカー内部全体が
周囲雰囲気に連通してまうので、その都度、大量のＮ2
ガスをストッカー内に送り込まなくてはならず、大量の
Ｎ2 ガスをストッカー内に送り込と、ストッカー内に乱
流が生じて、塵埃が浮遊したり、各カセット収納室のＮ
2 ガス濃度が不均一になったりするという問題があり、
また、ストッカーの構造が複雑で、大形化するという問
題があった。
【０００６】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、カセット出し入れ時に、出し入れするカセッ
ト収納室を除く他部を外部雰囲気に対して気密に遮断す
ることができ、カセット出し入れ時のＮ2 ガス濃度の変
動や塵埃ま舞い上がり等を防止して、従来に比し、半導
体製造歩留りを高めることができるクリーンルーム用気
密ストッカーを提供することを目的とする。
たもので、カセット出し入れ時に、出し入れするカセッ
ト収納室を除く他部を外部雰囲気に対して気密に遮断す
ることができ、カセット出し入れ時のＮ2 ガス濃度の変
動や塵埃ま舞い上がり等を防止して、従来に比し、半導
体製造歩留りを高めることができるクリーンルーム用気
密ストッカーを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、請求項１では、上下部に開口を有し内部にＮ
2 ガスパージ空間を有する筒体のストッカーケーシング
と、このストッカーケーシングの上記Ｎ2 ガスパージ空
間を区画する壁内面との間にガス流路を区画して収納さ
れた回転型のストッカー本体と、当該ストッカー本体を
回転駆動する回転機構と、このストッカー本体の回転位
置を検知する位置センサと、上記ストッカーケーシング
の上部開口を覆うフィルターを通して当該ストッカーケ
ーシング内にＮ2 ガスを注入する給気チャンバーと、当
該ストッカーケーシングの下部開口を排気口とする排気
装置とを有し、上記ストッカー本体は、下端が上記排気
口側に向かって開口した上端閉鎖の中空支持軸の周りに
円形に並び各々が上記ガス流路に向かって開口するとと
もに上記中空支持軸に排気孔を通して連通するカセット
収納室を複数段にわたって有し、上記ストッカーケーシ
ングは上記ストッカー本体の各段に対して１つづつ形成
されたカセット出し入れ口と当該カセット出し入れ口を
密閉可能なドアユニットとを有し、上記位置センサは、
上記各カセット収納室が上記カセット出し入れ口と対向
する所定位置まで回転するとドア開許可信号を出力し、
上記ドアユニットは、その開時、上記所定位置にあるカ
セット収納室を上記ストッカーケーシング内の他部と気
密に遮断する構成とした。
するため、請求項１では、上下部に開口を有し内部にＮ
2 ガスパージ空間を有する筒体のストッカーケーシング
と、このストッカーケーシングの上記Ｎ2 ガスパージ空
間を区画する壁内面との間にガス流路を区画して収納さ
れた回転型のストッカー本体と、当該ストッカー本体を
回転駆動する回転機構と、このストッカー本体の回転位
置を検知する位置センサと、上記ストッカーケーシング
の上部開口を覆うフィルターを通して当該ストッカーケ
ーシング内にＮ2 ガスを注入する給気チャンバーと、当
該ストッカーケーシングの下部開口を排気口とする排気
装置とを有し、上記ストッカー本体は、下端が上記排気
口側に向かって開口した上端閉鎖の中空支持軸の周りに
円形に並び各々が上記ガス流路に向かって開口するとと
もに上記中空支持軸に排気孔を通して連通するカセット
収納室を複数段にわたって有し、上記ストッカーケーシ
ングは上記ストッカー本体の各段に対して１つづつ形成
されたカセット出し入れ口と当該カセット出し入れ口を
密閉可能なドアユニットとを有し、上記位置センサは、
上記各カセット収納室が上記カセット出し入れ口と対向
する所定位置まで回転するとドア開許可信号を出力し、
上記ドアユニットは、その開時、上記所定位置にあるカ
セット収納室を上記ストッカーケーシング内の他部と気
密に遮断する構成とした。
【０００８】カー。
【０００９】請求項２では、カセット収納室の排気孔の
面積が上段より下段にかけて大きくした。
面積が上段より下段にかけて大きくした。
【００１０】下段側の排気口の面積は上段側の排気口の
面積より大きくなるようにした。
面積より大きくなるようにした。
【００１１】請求項３では、ドアは、可動ドアであっ
て、カセット出し入れ口にケーシング半径方向スライド
可能に嵌合する可動枠と、１方側端が上記可動枠の外面
側端部に係合しストッカーケーシングに回動可能に軸支
されたレバー機能を有するドア本体と、上記カセット出
し入れ口と上記可動枠との間をシールするベローズを有
し、ドア本体の開時、上記可動枠の内端部が上記カセッ
ト収納室の開口端縁に形成されたシール部に気密に係合
する構成とした。
て、カセット出し入れ口にケーシング半径方向スライド
可能に嵌合する可動枠と、１方側端が上記可動枠の外面
側端部に係合しストッカーケーシングに回動可能に軸支
されたレバー機能を有するドア本体と、上記カセット出
し入れ口と上記可動枠との間をシールするベローズを有
し、ドア本体の開時、上記可動枠の内端部が上記カセッ
ト収納室の開口端縁に形成されたシール部に気密に係合
する構成とした。
【００１２】請求項４では、上記ベローズはばね作用を
有し、可動枠の復帰機構を兼ねる構成とした。
有し、可動枠の復帰機構を兼ねる構成とした。
【００１３】請求項５では、ストッカー本体の中空支持
軸は中央孔を持つ回転台に同心に立設され、この回転台
は、ストッカーケーシングの底から排気装置を覆って上
記中空支持軸内に伸びる中空の固定軸に軸受を介して支
持され、この固定軸には中空支持軸内に開口する半径方
向排気孔とＮ2 ガスパージ空間内の上記回転台下方に開
口する半径方向孔とが形成されている構成とした。
軸は中央孔を持つ回転台に同心に立設され、この回転台
は、ストッカーケーシングの底から排気装置を覆って上
記中空支持軸内に伸びる中空の固定軸に軸受を介して支
持され、この固定軸には中空支持軸内に開口する半径方
向排気孔とＮ2 ガスパージ空間内の上記回転台下方に開
口する半径方向孔とが形成されている構成とした。
【００１４】
【作用】本発明では、カセット出し入れ時、カセットを
出し入れするカセット収納室内は外部雰囲気と置換され
るが、他のカセット収納室等は外部雰囲気と気密に遮断
される。
出し入れするカセット収納室内は外部雰囲気と置換され
るが、他のカセット収納室等は外部雰囲気と気密に遮断
される。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００１６】図１、図２および図３において、１０はス
トッカーケーシングであって、円筒体をなし、回転型ス
トッカー本体３０を収納している。ストッカーケーシン
グ１０の上壁１１にはガス給気口１２が、底壁１３には
ガス排気口１４がそれぞれ形成されており、内部は、底
壁１３近くに設けられた仕切り台１５で、上記回転型ス
トッカー本体３０を収納する上部空間（Ｎ2 ガスパージ
空間）Ａと、回転型ストッカー本体３０の駆動機構の一
部を収納する下部空間（機構部用空間）Ｂとに区画され
ている。また、ストッカーケーシング１０の周壁１６に
は、縦１列に並ぶセット出し入れ口１７が形成されてお
り、常時は、ドアユニット２０のドア本体２２で気密に
密閉されている。このドアユニット２０については、図
４〜図６を参照して詳述する。
トッカーケーシングであって、円筒体をなし、回転型ス
トッカー本体３０を収納している。ストッカーケーシン
グ１０の上壁１１にはガス給気口１２が、底壁１３には
ガス排気口１４がそれぞれ形成されており、内部は、底
壁１３近くに設けられた仕切り台１５で、上記回転型ス
トッカー本体３０を収納する上部空間（Ｎ2 ガスパージ
空間）Ａと、回転型ストッカー本体３０の駆動機構の一
部を収納する下部空間（機構部用空間）Ｂとに区画され
ている。また、ストッカーケーシング１０の周壁１６に
は、縦１列に並ぶセット出し入れ口１７が形成されてお
り、常時は、ドアユニット２０のドア本体２２で気密に
密閉されている。このドアユニット２０については、図
４〜図６を参照して詳述する。
【００１７】ストッカー本体３０は、中央孔３１Ａを持
つ回転台３１を有し、この回転台３１上に当該回転台３
１と同軸に立設された中空の支持筒３２が立設されてい
る。この支持筒３２の内部空間は排気用空間となる。こ
の回転台３１は、ストッカーケーシング１０の底壁１３
に立設され、仕切り台１５を気密に貫通した上、回転台
３１の中央孔３１Ａを遊貫して支持筒３２内に伸びる中
空の固定軸４１に軸受４２を介して支持されており、下
面には、回転力伝達機構を構成する環状の歯車４３が取
着されている。この歯車４３にはピニオン４４が係合し
ており、このピニオン４４は下部空間Ｂに配設されたモ
ータ４５の軸に減速機４６を介し取着されている。固定
軸４１は上端に案内板を兼ねるフランジ４１Ａを有する
とともに下端に取付けフランジ４１Ｂを有し、フランジ
４１Ａの直下に回転台３１上面側に向かって開口する複
数個の排気孔４１Ｃおよび仕切り台１５と回転台３１と
の間に向かって開口する複数個の排気孔孔４１Ｄが形成
されている。
つ回転台３１を有し、この回転台３１上に当該回転台３
１と同軸に立設された中空の支持筒３２が立設されてい
る。この支持筒３２の内部空間は排気用空間となる。こ
の回転台３１は、ストッカーケーシング１０の底壁１３
に立設され、仕切り台１５を気密に貫通した上、回転台
３１の中央孔３１Ａを遊貫して支持筒３２内に伸びる中
空の固定軸４１に軸受４２を介して支持されており、下
面には、回転力伝達機構を構成する環状の歯車４３が取
着されている。この歯車４３にはピニオン４４が係合し
ており、このピニオン４４は下部空間Ｂに配設されたモ
ータ４５の軸に減速機４６を介し取着されている。固定
軸４１は上端に案内板を兼ねるフランジ４１Ａを有する
とともに下端に取付けフランジ４１Ｂを有し、フランジ
４１Ａの直下に回転台３１上面側に向かって開口する複
数個の排気孔４１Ｃおよび仕切り台１５と回転台３１と
の間に向かって開口する複数個の排気孔孔４１Ｄが形成
されている。
【００１８】ストッカー本体３０の支持筒３２の上端に
は天板３４が嵌着されている。支持筒３２には、この天
板３４と回転台３１との間を一定間隔毎に段々に仕切る
円板の棚台３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃが嵌着されており、
天板３４と棚３５Ａ、棚３５Ａと棚３５Ｂ、棚３５Ｂと
棚３５Ｃおよび棚３５Ｃと回転台３１が、各々支持筒３
２との間に環状空間を区画し、これらの環状空間は支持
筒３２から周方向等間隔で放射状に伸びる仕切り壁３６
で複数個のカセット収納室Ｒに区分されている。この仕
切り壁３６の先端縁部の両面はＬ字切欠されたシール部
３６Ａとなっている。天板３４、棚台３５Ａ、３５Ｂ、
３５Ｃおよび回転台は同一外径の円板であって、周縁部
には、シール部３６Ａと連続するシール部３５ａが形成
されている。
は天板３４が嵌着されている。支持筒３２には、この天
板３４と回転台３１との間を一定間隔毎に段々に仕切る
円板の棚台３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃが嵌着されており、
天板３４と棚３５Ａ、棚３５Ａと棚３５Ｂ、棚３５Ｂと
棚３５Ｃおよび棚３５Ｃと回転台３１が、各々支持筒３
２との間に環状空間を区画し、これらの環状空間は支持
筒３２から周方向等間隔で放射状に伸びる仕切り壁３６
で複数個のカセット収納室Ｒに区分されている。この仕
切り壁３６の先端縁部の両面はＬ字切欠されたシール部
３６Ａとなっている。天板３４、棚台３５Ａ、３５Ｂ、
３５Ｃおよび回転台は同一外径の円板であって、周縁部
には、シール部３６Ａと連続するシール部３５ａが形成
されている。
【００１９】ストッカー本体３０はストッカーケーシン
グ１０の上壁１１、周壁１６および底壁１３との間に、
順次連通するガス通路３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃを区画
し、支持筒３２には、各カセット収納室Ｒに向かって開
口するガス排気孔３２Ａが形成されている。このガス通
路３２Ａの開口面積は上段のものから下段のものになる
程、所定の比率で大きくなっている。
グ１０の上壁１１、周壁１６および底壁１３との間に、
順次連通するガス通路３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃを区画
し、支持筒３２には、各カセット収納室Ｒに向かって開
口するガス排気孔３２Ａが形成されている。このガス通
路３２Ａの開口面積は上段のものから下段のものになる
程、所定の比率で大きくなっている。
【００２０】ドアユニット２０は、図４〜図６に示す如
く、カセット出し入れ口１７に嵌合する正面視方形の可
動枠（スライド枠）２１とドア本体２２を有している。
スライド枠２１はその外端面にフランジ２１ａを有する
とともに、このフランジ２１ａとの間にカセット出し入
れ口１７の端縁部が密に係合するガイド溝２１Ｂを区画
する鍔部２１ｂを有し、この端縁部外面とフランジ２１
ａ内面との間はベローズ２３でシールされている。この
ベローズ２３はばね機能を有している。スライド枠２１
の左右の側枠２１Ａ、２１Ａは、その内側端縁が仕切り
壁３６のシール部３６Ａに係合可能なように、相隣る仕
切り壁３６相互がなす角度とほぼ同じ角度をなしてケー
シグ半径方向に伸び、スライド枠２１の上記内側端縁全
周にはシール部材２４が取着されている。ドア本体２２
はストッカーケーシング１０に固着されたヒンジ軸２５
に支持され、ヒンジ軸２５側の側端部には、端縁がフラ
ンジ２１ａ外面に係合するレバー部２２Ａが延設されて
いる。２６はフランジ２１ａの外面に取着されたシール
部材、２２ａはドア本体２２の把手である。
く、カセット出し入れ口１７に嵌合する正面視方形の可
動枠（スライド枠）２１とドア本体２２を有している。
スライド枠２１はその外端面にフランジ２１ａを有する
とともに、このフランジ２１ａとの間にカセット出し入
れ口１７の端縁部が密に係合するガイド溝２１Ｂを区画
する鍔部２１ｂを有し、この端縁部外面とフランジ２１
ａ内面との間はベローズ２３でシールされている。この
ベローズ２３はばね機能を有している。スライド枠２１
の左右の側枠２１Ａ、２１Ａは、その内側端縁が仕切り
壁３６のシール部３６Ａに係合可能なように、相隣る仕
切り壁３６相互がなす角度とほぼ同じ角度をなしてケー
シグ半径方向に伸び、スライド枠２１の上記内側端縁全
周にはシール部材２４が取着されている。ドア本体２２
はストッカーケーシング１０に固着されたヒンジ軸２５
に支持され、ヒンジ軸２５側の側端部には、端縁がフラ
ンジ２１ａ外面に係合するレバー部２２Ａが延設されて
いる。２６はフランジ２１ａの外面に取着されたシール
部材、２２ａはドア本体２２の把手である。
【００２１】５０（図１）は位置センサ（本実施例では
近接スイッチ）であって、回転台３１の下面周部に周方
向所定間隔で設けられたドグ５１と、スイッチ５２から
なり、スイッチ５２は各カセット収納室Ｒが所定位置ま
で回動する毎にドグ５１を検知してドア開許可信号を出
力する。この所定位置は、スライド枠２１の左右の側枠
２１Ａ、２１Ａが、相隣る仕切り３６のシール部３６Ａ
にそれぞれケーシング半径方向に対向する図４のカセッ
ト出入れ可能位置である。
近接スイッチ）であって、回転台３１の下面周部に周方
向所定間隔で設けられたドグ５１と、スイッチ５２から
なり、スイッチ５２は各カセット収納室Ｒが所定位置ま
で回動する毎にドグ５１を検知してドア開許可信号を出
力する。この所定位置は、スライド枠２１の左右の側枠
２１Ａ、２１Ａが、相隣る仕切り３６のシール部３６Ａ
にそれぞれケーシング半径方向に対向する図４のカセッ
ト出入れ可能位置である。
【００２２】６０はストッカーケーシング１０の上壁１
１上に設けられたガス給気チャンバーであって、ガス給
気口１２を塞ぐフィルタ６１を有し、室６２は配管６３
により図示しないＮ2 ガスボンベに連絡されている。７
０は排気装置であって、ガス排気口１４に設けられ、固
定軸４１の下端部に形成された凹所に収納されている。
７１は排気管でる。
１上に設けられたガス給気チャンバーであって、ガス給
気口１２を塞ぐフィルタ６１を有し、室６２は配管６３
により図示しないＮ2 ガスボンベに連絡されている。７
０は排気装置であって、ガス排気口１４に設けられ、固
定軸４１の下端部に形成された凹所に収納されている。
７１は排気管でる。
【００２３】８０は半導体ウエハＷを収納したウエハカ
セットである。
セットである。
【００２４】なお、モータ４５は図７に示すようにモー
タ制御装置１０１が上位の制御装置（ＣＰＵ）１００か
ら指令を受けて回転／停止する。１０２はエンコーダで
ある。た図示しないエンコーダの出力と位置センサ５０
の上記ドア開許可信号はモータ制御装置より上位の制御
装置（ＣＰＵ）に取り込まれる。このＣＰＵは各カセッ
ト収納室Ｒの位置（アドレス）と収納の有無や収納した
ウエハカセット８０の経歴等の情報を記憶しており、位
置センサ５０の上記ドア開許可信号を取込む。本実施例
においては、図示しないＮ2 ガスボンベからＮ2 ガス給
気チャンバー６０へ圧送されてきたＮ2 ガスはフィルタ
６１を通してストッカーケーシング１０内のガス流路３
７Ａに供給され、注入されたＮ2 ガスはガス流路３７Ａ
からガス流路３７Ｂを流下しつつ各カセット収納室Ｒ内
へ分流し、上部空間ＡをＮ2 ガスで充満する。カセット
収納室Ｒ内へ分流したＮ2 ガスははガス排気孔３２Ａか
ら支持筒３２内へ流入して当該支持筒３２内を流下し、
固定軸４１内に引き込まれて当該固定軸４１内を流下
し、ガス排気口１４から排気管７１を通してクリーンル
ーム外に流出する。
タ制御装置１０１が上位の制御装置（ＣＰＵ）１００か
ら指令を受けて回転／停止する。１０２はエンコーダで
ある。た図示しないエンコーダの出力と位置センサ５０
の上記ドア開許可信号はモータ制御装置より上位の制御
装置（ＣＰＵ）に取り込まれる。このＣＰＵは各カセッ
ト収納室Ｒの位置（アドレス）と収納の有無や収納した
ウエハカセット８０の経歴等の情報を記憶しており、位
置センサ５０の上記ドア開許可信号を取込む。本実施例
においては、図示しないＮ2 ガスボンベからＮ2 ガス給
気チャンバー６０へ圧送されてきたＮ2 ガスはフィルタ
６１を通してストッカーケーシング１０内のガス流路３
７Ａに供給され、注入されたＮ2 ガスはガス流路３７Ａ
からガス流路３７Ｂを流下しつつ各カセット収納室Ｒ内
へ分流し、上部空間ＡをＮ2 ガスで充満する。カセット
収納室Ｒ内へ分流したＮ2 ガスははガス排気孔３２Ａか
ら支持筒３２内へ流入して当該支持筒３２内を流下し、
固定軸４１内に引き込まれて当該固定軸４１内を流下
し、ガス排気口１４から排気管７１を通してクリーンル
ーム外に流出する。
【００２５】ウエハカセット８０をウエハ収納室Ｒへ出
し入れする時は、指定したウエハ収納室Ｒが例えばカセ
ット出し入れ口１７Ａの前まで、即ち、前記したカセッ
ト出し入れ可能位置まで回動するのを待って、ドア本体
２２を開く。ドア本体２２を手前に引くと、そのレバー
部２２Ａがスライド枠２１を図８に示すようにケーシン
グ半径方向に押すので、スライド枠２１はカセット収納
室Ｒ側へ変位して、このカセット収納室Ｒの開口縁部に
形成されたシール係合部３６Ａ、３５ａに圧接し、この
カセット収納室Ｒをストッカーケーシング１０内から気
密に遮断し、他部から独立したカセット収納室Ｒにす
る。
し入れする時は、指定したウエハ収納室Ｒが例えばカセ
ット出し入れ口１７Ａの前まで、即ち、前記したカセッ
ト出し入れ可能位置まで回動するのを待って、ドア本体
２２を開く。ドア本体２２を手前に引くと、そのレバー
部２２Ａがスライド枠２１を図８に示すようにケーシン
グ半径方向に押すので、スライド枠２１はカセット収納
室Ｒ側へ変位して、このカセット収納室Ｒの開口縁部に
形成されたシール係合部３６Ａ、３５ａに圧接し、この
カセット収納室Ｒをストッカーケーシング１０内から気
密に遮断し、他部から独立したカセット収納室Ｒにす
る。
【００２６】従って、本実施例では、カセット出し入れ
時、カセットを出し入れするカセット収納室Ｒ内は外部
雰囲気と置換されるが、他のカセット収納室Ｒやガス流
路３７Ａ〜３７Ｃは外部雰囲気と気密に遮断されるの
で、これらは、ドア本体２０を開く前のＮ2 ガス濃度を
維持する。なお、可動枠２１の復帰動作は、本実施例で
は、ベローズ２３に持たせたばね作用により行なわせ
る。
時、カセットを出し入れするカセット収納室Ｒ内は外部
雰囲気と置換されるが、他のカセット収納室Ｒやガス流
路３７Ａ〜３７Ｃは外部雰囲気と気密に遮断されるの
で、これらは、ドア本体２０を開く前のＮ2 ガス濃度を
維持する。なお、可動枠２１の復帰動作は、本実施例で
は、ベローズ２３に持たせたばね作用により行なわせ
る。
【００２７】また、本実施例では、支持軸３２の排気孔
３２Ａが下段側になる程、大きくしてあるので、孔開口
面積の比率を適切にすることにより、各カセット収納室
Ｒに流れるＮ2 ガス量を同一にして、各カセット収納室
ＲのＮ2 ガス濃度を一定にすることができる。
３２Ａが下段側になる程、大きくしてあるので、孔開口
面積の比率を適切にすることにより、各カセット収納室
Ｒに流れるＮ2 ガス量を同一にして、各カセット収納室
ＲのＮ2 ガス濃度を一定にすることができる。
【００２８】また、本実施例の固定軸４１には、軸受４
２の近傍に開口する排気孔４１Ｃを設けてあるので、軸
受４２まわりから発生した塵埃はこの排気孔４１Ｃから
固定軸４１内に吸い込まれて、ガス排気口１４から排出
され、歯車４３とピニオン４４まわりから生じた塵埃
は、固定軸４１の排気孔４１Ｄを通して排出されること
になる。
２の近傍に開口する排気孔４１Ｃを設けてあるので、軸
受４２まわりから発生した塵埃はこの排気孔４１Ｃから
固定軸４１内に吸い込まれて、ガス排気口１４から排出
され、歯車４３とピニオン４４まわりから生じた塵埃
は、固定軸４１の排気孔４１Ｄを通して排出されること
になる。
【００２９】また、本実施例では、位置センサ５０を設
けてあるので、カセット収納室Ｒを確実に前記したカセ
ット出し入れ可能位置に位置決めるすることができる。
けてあるので、カセット収納室Ｒを確実に前記したカセ
ット出し入れ可能位置に位置決めるすることができる。
【００３０】また、上記実施例では、ドア本体２２を人
手で開閉するよな説明をしたが、実際には、製造工程間
を移動する移載もしくは搬送ロボットがドア本体２２を
開閉する場合が多い。
手で開閉するよな説明をしたが、実際には、製造工程間
を移動する移載もしくは搬送ロボットがドア本体２２を
開閉する場合が多い。
【００３１】また、前記クリーンルーム外へ排出したＮ
2 ガスは循環して使用することが望ましい。
2 ガスは循環して使用することが望ましい。
【００３２】
【発明の効果】本発明は以上説明した通り、ドアユニッ
トは、その開時、カセット出し入れ可能位置にあるカセ
ット収納室を除いた他部を外部雰囲気と気密に遮断する
ので、他のカセット収納室のＮ2 ガス濃度は変化せず、
ストッカーケーシング内に乱流が生じたりする恐れは無
いので、ストッカーに一時的に保管されている半導体ウ
エハの自然酸化膜の成長を防止し、塵埃等の付着を防止
して、従来に比し、製造歩留りを向上することができ
る。
トは、その開時、カセット出し入れ可能位置にあるカセ
ット収納室を除いた他部を外部雰囲気と気密に遮断する
ので、他のカセット収納室のＮ2 ガス濃度は変化せず、
ストッカーケーシング内に乱流が生じたりする恐れは無
いので、ストッカーに一時的に保管されている半導体ウ
エハの自然酸化膜の成長を防止し、塵埃等の付着を防止
して、従来に比し、製造歩留りを向上することができ
る。
【図１】本発明の実施例を示す正面図である。
【図２】上記実施例の縦断面図である。
【図３】上記実施例の横断面図である。
【図４】上記実施例のドアユニットまわりの構造を示す
断面図である。
断面図である。
【図５】上記実施例のドアユニットまわりの構造を示す
断面図である。
断面図である。
【図６】上記実施例のドアユニットの可動枠を示す図で
ある。
ある。
【図７】上記実施例における信号経路を示す図である。
【図８】上記ドアの開時の状態を示す図である。
１０ ストッカーケーシング １２ ガス給気口 １４ ガス排気口 ２０ ドアユニット ２１ 可動枠 ２１Ａ 側枠 ２１Ｂ ガイド溝 ２１ａ フランジ ２１ｂ 鍔部 ２２ ドア本体 ２２Ａ レバー部 ２３ ベローズ ２４、２６ シール部材 ２５ ヒンジ軸 ３０ ストッカー本体 ３１ 回転台 ３２ 中空の支持筒 ３２Ａ ガス排気孔 ３４ 天板 ３５Ａ〜３５Ｃ 棚台 ３６ 仕切り壁 ３６Ａ シール部 ３７Ａ〜３７Ｃ ガス流路 ４１ 固定軸 ４１Ａ、４１Ｂ フランジ ４１Ｃ、４１Ｄ 排気孔 ４３ 歯車 ４４ ピニオン ４５ モータ ５０ 位置センサ ５１ ドグ ５２ スイッチ ６０ ガス給気チャンバー ６１ フィルタ ７０ 排気装置 ８０ ウエハカセット Ｒ カセット収納室
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森田 日也 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 河野 等 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 奥野 敦 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 津田 正徳 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 林 満弘 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内
Claims (5)
- 【請求項１】 上下部に開口を有し内部にＮ2 ガスパー
ジ空間を有する筒体のストッカーケーシングと、このス
トッカーケーシングの上記Ｎ2 ガスパージ空間を区画す
る壁内面との間にガス流路を区画して収納された回転型
のストッカー本体と、当該ストッカー本体を回転駆動す
る回転機構と、このストッカー本体の回転位置を検知す
る位置センサと、上記ストッカーケーシングの上部開口
を覆うフィルターを通して当該ストッカーケーシング内
にＮ2 ガスを注入する給気チャンバーと、当該ストッカ
ーケーシングの下部開口を排気口とする排気装置とを有
し、 上記ストッカー本体は、下端が上記排気口側に向かって
開口した上端閉鎖の中空支持軸の周りに円形に並び各々
が上記ガス流路に向かって開口するとともに上記中空支
持軸に排気孔を通して連通するカセット収納室を複数段
にわたって有し、 上記ストッカーケーシングは上記ストッカー本体の各段
に対して１つづつ形成されたカセット出し入れ口と当該
カセット出し入れ口を密閉可能なドアユニットとを有
し、 上記位置センサは、上記各カセット収納室が上記カセッ
ト出し入れ口と対向する所定位置まで回転するとドア開
許可信号を出力し、 上記ドアユニットは、その開時、上記所定位置にあるカ
セット収納室を上記ストッカーケーシング内の他部と気
密に遮断することを特徴とするクリーンルーム用気密ス
トッカー。 - 【請求項２】 カセット収納室の排気孔の面積が上段よ
り下段にかけて大きくしたことを特徴とする請求項１記
載のクリーンルーム用気密ストッカー。 - 【請求項３】 ドアは、カセット出し入れ口にケーシン
グ半径方向スライド可能に嵌合する可動枠と、１方側端
が上記可動枠の外面側端部に係合しストッカーケーシン
グに回動可能に軸支されたレバー機能を有するドア本体
と、上記カセット出し入れ口と上記可動枠との間をシー
ルするベローズを有し、ドア本体の開時、上記可動枠の
内端部が上記カセット収納室の開口端縁に形成されたシ
ール部に気密に係合することを特徴とする請求項１また
は２記載のクリーンルーム用気密ストッカー。 - 【請求項４】 ベローズはばね作用を有し、可動枠の復
帰機構を兼ねていることを特徴とする請求項３記載のク
リーンルーム用気密ストッカー。 - 【請求項５】 ストッカー本体の中空支持軸は中央孔を
持つ回転台に同心に立設され、この回転台は、ストッカ
ーケーシングの底から排気装置を覆って上記中空支持軸
内に伸びる中空の固定軸に軸受を介して支持され、この
固定軸には中空支持軸内に開口する半径方向孔とＮ2 ガ
スパージ空間内の上記回転台下方に開口する半径方向排
気孔とが形成されていることを特徴とする請求項１〜４
記載のクリーンルーム用気密ストッカー。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3269781A JP3067325B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | クリーンルーム用気密ストッカー |
| TW081100062A TW217439B (ja) | 1991-10-17 | 1992-01-07 | |
| US07/826,954 US5303482A (en) | 1991-01-29 | 1992-01-28 | Wafer airtight keeping unit and keeping facility thereof |
| EP92101358A EP0497281B1 (en) | 1991-01-29 | 1992-01-28 | Wafer airtight keeping unit |
| DE69228014T DE69228014T2 (de) | 1991-01-29 | 1992-01-28 | Einheit zum luftdichten Aufbewahren von Halbleiterscheiben |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3269781A JP3067325B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | クリーンルーム用気密ストッカー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05105206A true JPH05105206A (ja) | 1993-04-27 |
| JP3067325B2 JP3067325B2 (ja) | 2000-07-17 |
Family
ID=17477072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3269781A Expired - Fee Related JP3067325B2 (ja) | 1991-01-29 | 1991-10-17 | クリーンルーム用気密ストッカー |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3067325B2 (ja) |
| TW (1) | TW217439B (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07172506A (ja) * | 1993-12-22 | 1995-07-11 | Murata Mach Ltd | クリーンルーム用自動倉庫 |
| US5562383A (en) * | 1993-04-13 | 1996-10-08 | Tokyo Electron Kabushiki Kaisha | Treatment apparatus |
| WO1999013495A3 (en) * | 1997-09-12 | 1999-05-06 | Novus Corp | Sealed cabinet for storage of semiconductor wafers |
| KR20200033870A (ko) * | 2017-08-09 | 2020-03-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판용 카세트 저장을 위한 저장 장치 및 이를 구비한 처리 장치 |
| JP2021504932A (ja) * | 2017-11-27 | 2021-02-15 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | バッチ炉で利用されるウェハカセットを収納するための収納装置 |
| JP2021064784A (ja) * | 2019-10-14 | 2021-04-22 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 垂直バッチ炉組立品 |
| US11769682B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-09-26 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
-
1991
- 1991-10-17 JP JP3269781A patent/JP3067325B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-01-07 TW TW081100062A patent/TW217439B/zh active
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5562383A (en) * | 1993-04-13 | 1996-10-08 | Tokyo Electron Kabushiki Kaisha | Treatment apparatus |
| US5829939A (en) * | 1993-04-13 | 1998-11-03 | Tokyo Electron Kabushiki Kaisha | Treatment apparatus |
| JPH07172506A (ja) * | 1993-12-22 | 1995-07-11 | Murata Mach Ltd | クリーンルーム用自動倉庫 |
| WO1999013495A3 (en) * | 1997-09-12 | 1999-05-06 | Novus Corp | Sealed cabinet for storage of semiconductor wafers |
| KR20200033870A (ko) * | 2017-08-09 | 2020-03-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판용 카세트 저장을 위한 저장 장치 및 이를 구비한 처리 장치 |
| JP2020529740A (ja) * | 2017-08-09 | 2020-10-08 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材用のカセットを保管するための保管装置、およびそれを備える処理装置 |
| US11769682B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-09-26 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
| JP2021504932A (ja) * | 2017-11-27 | 2021-02-15 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | バッチ炉で利用されるウェハカセットを収納するための収納装置 |
| US11682572B2 (en) | 2017-11-27 | 2023-06-20 | Asm Ip Holdings B.V. | Storage device for storing wafer cassettes for use with a batch furnace |
| JP2021064784A (ja) * | 2019-10-14 | 2021-04-22 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 垂直バッチ炉組立品 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3067325B2 (ja) | 2000-07-17 |
| TW217439B (ja) | 1993-12-11 |
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