JPH07172506A - クリーンルーム用自動倉庫 - Google Patents
クリーンルーム用自動倉庫Info
- Publication number
- JPH07172506A JPH07172506A JP34570293A JP34570293A JPH07172506A JP H07172506 A JPH07172506 A JP H07172506A JP 34570293 A JP34570293 A JP 34570293A JP 34570293 A JP34570293 A JP 34570293A JP H07172506 A JPH07172506 A JP H07172506A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean air
- clean
- automatic warehouse
- automated warehouse
- warehouse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Ventilation (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 自動倉庫内のクリーン度を高クリーンに維持
することができるクリーンルーム用自動倉庫を提供す
る。 【構成】 天井からクリーンエアが吹き降ろされる建物
内に設備される自動倉庫であって、自動倉庫Ｗの上部に
設けられ、天井Ｈからのクリーンエアを自動倉庫Ｗ内に
導く導入口５と、この導入口５により導かれたクリーン
エアを棚Ｔ１，Ｔ２へ導く精密整流板７と、この精密整
流板７により棚Ｔ１，Ｔ２へ導かれたクリーンエアを自
動倉庫Ｗの下部に排出する排出口８とを設ける。
することができるクリーンルーム用自動倉庫を提供す
る。 【構成】 天井からクリーンエアが吹き降ろされる建物
内に設備される自動倉庫であって、自動倉庫Ｗの上部に
設けられ、天井Ｈからのクリーンエアを自動倉庫Ｗ内に
導く導入口５と、この導入口５により導かれたクリーン
エアを棚Ｔ１，Ｔ２へ導く精密整流板７と、この精密整
流板７により棚Ｔ１，Ｔ２へ導かれたクリーンエアを自
動倉庫Ｗの下部に排出する排出口８とを設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルーム用自動倉
庫に関する。特に、自動倉庫内のクリーン度を高クリー
ン度に維持することができるクリーンルーム用自動倉庫
に関するものである。
庫に関する。特に、自動倉庫内のクリーン度を高クリー
ン度に維持することができるクリーンルーム用自動倉庫
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のクリーンルーム用自動倉庫は、図
２に示すように、自動倉庫Ｗ内にグレーチング１１から
クリーンエアを取り入れ、この取り入れたクリーンエア
を循環ファン１０で棚Ｔに循環させるようになってい
る。
２に示すように、自動倉庫Ｗ内にグレーチング１１から
クリーンエアを取り入れ、この取り入れたクリーンエア
を循環ファン１０で棚Ｔに循環させるようになってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のクリー
ンルーム用自動倉庫は、クリーンエアの取り入れ口にグ
レーチング１１を用いており、グレーチング１１の下面
のダストが自動倉庫内へへ吸引されやすかった。このた
め、高クリーン度を維持するのが困難であった。
ンルーム用自動倉庫は、クリーンエアの取り入れ口にグ
レーチング１１を用いており、グレーチング１１の下面
のダストが自動倉庫内へへ吸引されやすかった。このた
め、高クリーン度を維持するのが困難であった。
【０００４】本発明の目的は、以上のような問題点を解
決し、自動倉庫内のクリーン度を高クリーンに維持する
ことができるクリーンルーム用自動倉庫を提供すること
にある。
決し、自動倉庫内のクリーン度を高クリーンに維持する
ことができるクリーンルーム用自動倉庫を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のクリーンルーム用自動倉庫は、天井からクリ
ーンエアが吹き降ろされる建物内に設備される自動倉庫
であって、自動倉庫の上部に設けられ、天井からのクリ
ーンエアを自動倉庫内に導く導入口と、この導入口より
導かれたクリーンエアを棚へ導く精密整流板と、この精
密整流板により棚へ導かれたクリーンエアを自動倉庫の
下部に排出する排出口とを具備したことを特徴とする。
に本発明のクリーンルーム用自動倉庫は、天井からクリ
ーンエアが吹き降ろされる建物内に設備される自動倉庫
であって、自動倉庫の上部に設けられ、天井からのクリ
ーンエアを自動倉庫内に導く導入口と、この導入口より
導かれたクリーンエアを棚へ導く精密整流板と、この精
密整流板により棚へ導かれたクリーンエアを自動倉庫の
下部に排出する排出口とを具備したことを特徴とする。
【０００６】
【作用効果】本発明は上記の構成としたので、次のよう
な作用効果を奏する。
な作用効果を奏する。
【０００７】すなわち、建物の天井から吹き降ろされた
クリーンエアは、上部に設けられた導入口を通じて自動
倉庫内に導かれた後、精密整流板によって棚へ導かれ、
その後、下部に設けられた排出口を通って自動倉庫外へ
排出されることとなる。
クリーンエアは、上部に設けられた導入口を通じて自動
倉庫内に導かれた後、精密整流板によって棚へ導かれ、
その後、下部に設けられた排出口を通って自動倉庫外へ
排出されることとなる。
【０００８】したがって、建物の天井からのクリーンエ
アが自動倉庫内に常に供給されることとなり、自動倉庫
内を高クリーン度に維持することができる。
アが自動倉庫内に常に供給されることとなり、自動倉庫
内を高クリーン度に維持することができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１０】図１は本発明に係るクリーンルーム用自動
倉庫の一実施例を示す構造説明図である。
倉庫の一実施例を示す構造説明図である。
【００１１】同図において、１は建物の天井Ｈ内に設け
られたクリーンエア供給ユニットであり、クリーンエア
吹き出し孔２が天井面に設けられている。
られたクリーンエア供給ユニットであり、クリーンエア
吹き出し孔２が天井面に設けられている。
【００１２】３は自動倉庫Ｗの天板を成すパーテイショ
ンである。４はパーテイション３の上部に設けられた清
浄フィルタであり、天井Ｈより吹き降ろされたクリーン
エアをさらに清浄するようになっている。５は清浄フィ
ルタ４を通ったクリーンエアを棚Ｔ１，Ｔ２内に導く導
入口である。６，６は棚Ｔ１，Ｔ２の背面側に配置され
た、クリーンエア供給用のダクトである。
ンである。４はパーテイション３の上部に設けられた清
浄フィルタであり、天井Ｈより吹き降ろされたクリーン
エアをさらに清浄するようになっている。５は清浄フィ
ルタ４を通ったクリーンエアを棚Ｔ１，Ｔ２内に導く導
入口である。６，６は棚Ｔ１，Ｔ２の背面側に配置され
た、クリーンエア供給用のダクトである。
【００１３】７，７は精密整流板であり、導入口５から
ダクト６へ供給されたクリーンエアを棚Ｔ１，Ｔ２の各
ラックＲへ導くようになっている。ダクト６へ供給され
たクリーンエアは、この精密整流板７，７によって、各
ラックＲへほぼ均等に導かれる。
ダクト６へ供給されたクリーンエアを棚Ｔ１，Ｔ２の各
ラックＲへ導くようになっている。ダクト６へ供給され
たクリーンエアは、この精密整流板７，７によって、各
ラックＲへほぼ均等に導かれる。
【００１４】８は自動倉庫の中央下部のクレーンＣの軌
道下に設けられたクリーンエアの排出口であり、グレー
チング９に臨ませてある。これにより、各ラックＲを通
って自動倉庫の中央下部Ｗ１へ流れてきたクリーンエア
は、排出口８を通ってグレーチング９に排出される。ま
た排出口８は、クレーンＣの軌道下に位置しているの
で、クレーンＣより発生する塵埃をグレーチング９へ好
適に排出することができる。
道下に設けられたクリーンエアの排出口であり、グレー
チング９に臨ませてある。これにより、各ラックＲを通
って自動倉庫の中央下部Ｗ１へ流れてきたクリーンエア
は、排出口８を通ってグレーチング９に排出される。ま
た排出口８は、クレーンＣの軌道下に位置しているの
で、クレーンＣより発生する塵埃をグレーチング９へ好
適に排出することができる。
【００１５】上述した本実施例のクリーンルーム用自動
倉庫によれば、建物の天井Ｈから吹き降ろされたクリー
ンエアが、導入口５を通じて自動倉庫Ｗ内に導かれた
後、精密整流板７によって棚Ｔ１，Ｔ２へそれぞれ導か
れ、その後、排出口８を通って自動倉庫Ｗ外へ排出され
ることとなる。
倉庫によれば、建物の天井Ｈから吹き降ろされたクリー
ンエアが、導入口５を通じて自動倉庫Ｗ内に導かれた
後、精密整流板７によって棚Ｔ１，Ｔ２へそれぞれ導か
れ、その後、排出口８を通って自動倉庫Ｗ外へ排出され
ることとなる。
【００１６】したがって、建物の天井Ｈからのクリーン
エアが自動倉庫Ｗ内に常に供給されることとなり、自動
倉庫Ｗ内を高クリーン度に維持することができる。
エアが自動倉庫Ｗ内に常に供給されることとなり、自動
倉庫Ｗ内を高クリーン度に維持することができる。
【００１７】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
【図１】本発明に係るクリーンルーム用自動倉庫の一実
施例を示す構造説明図。
施例を示す構造説明図。
【図２】従来のクリーンルーム用自動倉庫を示す概略
図。
図。
５ 導入孔 ７ 精密整流板 ８ 排出口 Ｗ 自動倉庫
Claims (1)
- 【請求項１】 天井からクリーンエアが吹き降ろされる
建物内に設備される自動倉庫であって、自動倉庫の上部
に設けられ、天井からのクリーンエアを自動倉庫内に導
く導入口と、この導入口より導かれたクリーンエアを棚
へ導く精密整流板と、この精密整流板により棚へ導かれ
たクリーンエアを自動倉庫の下部に排出する排出口とを
具備したことを特徴とするクリーンルーム用自動倉庫。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5345702A JP2817605B2 (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | クリーンルーム用自動倉庫 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5345702A JP2817605B2 (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | クリーンルーム用自動倉庫 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07172506A true JPH07172506A (ja) | 1995-07-11 |
| JP2817605B2 JP2817605B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=18378393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5345702A Expired - Lifetime JP2817605B2 (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | クリーンルーム用自動倉庫 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2817605B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6251155B1 (en) | 1998-07-02 | 2001-06-26 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Automatic warehouse for supplying air to a clean air space |
| JP2002343846A (ja) * | 2001-05-18 | 2002-11-29 | Shinko Electric Co Ltd | ストッカ |
| KR100524359B1 (ko) * | 2001-09-10 | 2005-10-27 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 클린 룸용의 물품 보관 설비 |
| JP2006128559A (ja) * | 2004-11-01 | 2006-05-18 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理システム |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59134775A (ja) * | 1983-01-18 | 1984-08-02 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 新規モノスルホニルキノン誘導体 |
| JPS6149717U (ja) * | 1984-09-04 | 1986-04-03 | ||
| JPS6290181A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-04-24 | バ−リ−・マニユフアクチユアリング・コ−ポレ−シヨン | 画像表示装置の付いた漕ぎ機 |
| JPS62217036A (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-24 | Mitsubishi Electric Corp | ストツカ |
| JPS63197213U (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-19 | ||
| JPH05105206A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-04-27 | Shinko Electric Co Ltd | クリーンルーム用気密ストツカー |
-
1993
- 1993-12-22 JP JP5345702A patent/JP2817605B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59134775A (ja) * | 1983-01-18 | 1984-08-02 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 新規モノスルホニルキノン誘導体 |
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| JPS63197213U (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-19 | ||
| JPH05105206A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-04-27 | Shinko Electric Co Ltd | クリーンルーム用気密ストツカー |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6251155B1 (en) | 1998-07-02 | 2001-06-26 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Automatic warehouse for supplying air to a clean air space |
| JP2002343846A (ja) * | 2001-05-18 | 2002-11-29 | Shinko Electric Co Ltd | ストッカ |
| KR100524359B1 (ko) * | 2001-09-10 | 2005-10-27 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 클린 룸용의 물품 보관 설비 |
| JP2006128559A (ja) * | 2004-11-01 | 2006-05-18 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2817605B2 (ja) | 1998-10-30 |
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Legal Events
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