JPH05106578A - スクリユー式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方法 - Google Patents
スクリユー式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方法Info
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- JPH05106578A JPH05106578A JP3295195A JP29519591A JPH05106578A JP H05106578 A JPH05106578 A JP H05106578A JP 3295195 A JP3295195 A JP 3295195A JP 29519591 A JP29519591 A JP 29519591A JP H05106578 A JPH05106578 A JP H05106578A
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- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 13
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 7
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 claims description 4
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- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 暖気運転時間が短く、且つ暖気運転時の動力
の低減を図ることのできるスクリュー式ドライ真空ポン
プの暖気運転制御方法を提供すること。 【構成】 スクリュー式ドライ真空ポンプの真空引きさ
れていない状態からの下記の乃至のいずれかの一つ
の条件或いは２つ以上の条件を満たした状態で暖気運転
を行う方法。 スクリュー式ドライ真空ポンプの吐出側に設けた絞り
弁を絞る。 スクリュー式ドライ真空ポンプに吐出側と吸込側を連
結するバイパス通路を設け、該バイパス通路に設けた弁
を開く。 スクリュー式ドライ真空ポンプ本体を冷却する冷却流
体の流量を減らすか又は止めるか或いは部分的に止め
る。 スクリュー式ドライ真空ポンプの吸込側より大量のパ
ージガスをポンプ内に流す。
の低減を図ることのできるスクリュー式ドライ真空ポン
プの暖気運転制御方法を提供すること。 【構成】 スクリュー式ドライ真空ポンプの真空引きさ
れていない状態からの下記の乃至のいずれかの一つ
の条件或いは２つ以上の条件を満たした状態で暖気運転
を行う方法。 スクリュー式ドライ真空ポンプの吐出側に設けた絞り
弁を絞る。 スクリュー式ドライ真空ポンプに吐出側と吸込側を連
結するバイパス通路を設け、該バイパス通路に設けた弁
を開く。 スクリュー式ドライ真空ポンプ本体を冷却する冷却流
体の流量を減らすか又は止めるか或いは部分的に止め
る。 スクリュー式ドライ真空ポンプの吸込側より大量のパ
ージガスをポンプ内に流す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置の真空シ
ステムに用いるスクリュー式ドライ真空ポンプの暖気運
転制御方法に関するものである。
ステムに用いるスクリュー式ドライ真空ポンプの暖気運
転制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来技術】図４はこの種のスクリュー式ドライ真空ポ
ンプの構造例を示す側断面図である。スクリュー式ドラ
イ真空ポンプは主ケーシング１１と吐出ケーシング１２
とで形成される空間には、雄ロータ１７ａと雌ロータ１
７ｂとが、それぞれ軸受１５ａ，１５ｂにより回転自在
に支持され、軸封機構１６ａ，１６ｂにより軸受１５
ａ，１５ｂの潤滑油からシールされている。雄ロータ１
７ａの軸は電動機２２の軸に直結され、雌ロータ１７ｂ
はタイミングギヤ２０，２０により雄ロータ１７ａと微
小間隔を保って回転されるようになっている。
ンプの構造例を示す側断面図である。スクリュー式ドラ
イ真空ポンプは主ケーシング１１と吐出ケーシング１２
とで形成される空間には、雄ロータ１７ａと雌ロータ１
７ｂとが、それぞれ軸受１５ａ，１５ｂにより回転自在
に支持され、軸封機構１６ａ，１６ｂにより軸受１５
ａ，１５ｂの潤滑油からシールされている。雄ロータ１
７ａの軸は電動機２２の軸に直結され、雌ロータ１７ｂ
はタイミングギヤ２０，２０により雄ロータ１７ａと微
小間隔を保って回転されるようになっている。
【０００３】吸込口１８ａから吸込まれた気体は、吸込
ポート１８ｂを通り主ケーシング１１のロータ室内壁と
雄雌ロータ１７ａ，１７ｂとで形成された歯溝空間に吸
入され、圧縮過程を経て吐出ポート１９ｂを介して吐出
口１９ａから吐出されるようになっている。なお図中の
符号１３はギヤカバー、１４は電動機ケーシングであ
る。
ポート１８ｂを通り主ケーシング１１のロータ室内壁と
雄雌ロータ１７ａ，１７ｂとで形成された歯溝空間に吸
入され、圧縮過程を経て吐出ポート１９ｂを介して吐出
口１９ａから吐出されるようになっている。なお図中の
符号１３はギヤカバー、１４は電動機ケーシングであ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記構造のスクリュー
式ドライ真空ポンプでは、真空引き時に吐出温度が高
く、その状態で雄ロータ１７ａと雌ロータ１７ｂ及びこ
れらロータと主ケーシング１１が接触しないように所定
の隙間を設定しているため、ポンプの冷却状態では到達
真空度が低く、所定の到達真空度を得るために長時間の
暖気運転を行う必要があり、更に暖気運転時の動力が増
大するという問題があった。
式ドライ真空ポンプでは、真空引き時に吐出温度が高
く、その状態で雄ロータ１７ａと雌ロータ１７ｂ及びこ
れらロータと主ケーシング１１が接触しないように所定
の隙間を設定しているため、ポンプの冷却状態では到達
真空度が低く、所定の到達真空度を得るために長時間の
暖気運転を行う必要があり、更に暖気運転時の動力が増
大するという問題があった。
【０００５】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、上記問題点を除去し、暖気運転時間が短くて済み、
且つ暖気運転時の動力の低減を図ることのできるスクリ
ュー式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方法を提供する
ことを目的とする。
で、上記問題点を除去し、暖気運転時間が短くて済み、
且つ暖気運転時の動力の低減を図ることのできるスクリ
ュー式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方法を提供する
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、スクリュー式ドライ真空ポンプの真空引きさ
れていない状態からの下記の乃至のいずれか一つの
条件或いは２つ以上の条件を満たした状態で暖気運転を
行うことを特徴とする。 スクリュー式ドライ真空ポンプの吐出側に絞り弁を設
け、該絞り弁を絞る。 スクリュー式ドライ真空ポンプに吐出側と吸込側を連
結するバイパス通路を設け、該バイパス通路に設けた弁
を開く。 スクリュー式ドライ真空ポンプ本体を冷却する冷却流
体の流量を減らすか又は止めるか或いは部分的に止め
る。 スクリュー式ドライ真空ポンプの吸込側より大量のパ
ージガスをポンプ内に流す。
本発明は、スクリュー式ドライ真空ポンプの真空引きさ
れていない状態からの下記の乃至のいずれか一つの
条件或いは２つ以上の条件を満たした状態で暖気運転を
行うことを特徴とする。 スクリュー式ドライ真空ポンプの吐出側に絞り弁を設
け、該絞り弁を絞る。 スクリュー式ドライ真空ポンプに吐出側と吸込側を連
結するバイパス通路を設け、該バイパス通路に設けた弁
を開く。 スクリュー式ドライ真空ポンプ本体を冷却する冷却流
体の流量を減らすか又は止めるか或いは部分的に止め
る。 スクリュー式ドライ真空ポンプの吸込側より大量のパ
ージガスをポンプ内に流す。
【０００７】また、スクリューポンプの吸込圧力或いは
ポンプケーシングの温度を監視し、前記の絞り弁の制
御、のバイパス通路に設けた弁の制御、の冷却流体
の流量を減らすか又は止めるか或いは部分的に止める制
御、のパージガス流量制御を自動的に行うことを特徴
とする。
ポンプケーシングの温度を監視し、前記の絞り弁の制
御、のバイパス通路に設けた弁の制御、の冷却流体
の流量を減らすか又は止めるか或いは部分的に止める制
御、のパージガス流量制御を自動的に行うことを特徴
とする。
【０００８】
【作用】スクリュー式ドライ真空ポンプの暖気運転を上
記のように行うことにより、下記のような作用が得られ
る。 のポンプの吐出側に設けた絞り弁を絞ると、ポンプに
吐出圧力がかかりその圧縮熱により暖気が早まる。 の該バイパス通路に設けた弁を開くと、吐出された流
体がバイパス通路を通ってポンプの吸込側に戻り循環す
る。この流体の循環が繰り返されることにより、徐々に
流体の温度が上昇し、暖気が早まる。 の冷却流体の流量を減らすか又は止めるか或いは部分
的に止めると、特にロータ部のケーシングの放熱が抑制
されるから、暖気が早まる。 の吸込側より大量のパージガスを真空ポンプ内に流す
と、このパージガス圧縮熱により暖気が早まる。
記のように行うことにより、下記のような作用が得られ
る。 のポンプの吐出側に設けた絞り弁を絞ると、ポンプに
吐出圧力がかかりその圧縮熱により暖気が早まる。 の該バイパス通路に設けた弁を開くと、吐出された流
体がバイパス通路を通ってポンプの吸込側に戻り循環す
る。この流体の循環が繰り返されることにより、徐々に
流体の温度が上昇し、暖気が早まる。 の冷却流体の流量を減らすか又は止めるか或いは部分
的に止めると、特にロータ部のケーシングの放熱が抑制
されるから、暖気が早まる。 の吸込側より大量のパージガスを真空ポンプ内に流す
と、このパージガス圧縮熱により暖気が早まる。
【０００９】また、ポンプ吸込圧或いはポンプケーシン
グ温度を監視し、上記乃至の制御を自動的に行うこ
とによって、必要以上にポンプケーシング、ロータ等が
高温になるのを防ぐことができる。また、回転数を制御
することによって、暖気運転時の動力を低減できる。
グ温度を監視し、上記乃至の制御を自動的に行うこ
とによって、必要以上にポンプケーシング、ロータ等が
高温になるのを防ぐことができる。また、回転数を制御
することによって、暖気運転時の動力を低減できる。
【００１０】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図１は本発明の暖気運転制御方法を適用する半導体
製造工程等で用いられる真空システムの構成例を示す図
である。図１において、１はスクリュー式ドライ真空ポ
ンプであり、該スクリュー式ドライ真空ポンプ１の吸込
側には吸込配管３を通してチャンバー２が接続され、吐
出側には吐出配管４が接続されている。吸込配管３には
メインバルブ５が設けられ、吐出配管４には絞り弁６が
設けられている。
る。図１は本発明の暖気運転制御方法を適用する半導体
製造工程等で用いられる真空システムの構成例を示す図
である。図１において、１はスクリュー式ドライ真空ポ
ンプであり、該スクリュー式ドライ真空ポンプ１の吸込
側には吸込配管３を通してチャンバー２が接続され、吐
出側には吐出配管４が接続されている。吸込配管３には
メインバルブ５が設けられ、吐出配管４には絞り弁６が
設けられている。
【００１１】上記図１に示す構成の真空システムにおい
て、真空引きされていない状態からスクリュー式ドライ
真空ポンプ１を起動する場合、先ず吐出配管４の絞り弁
６を絞りその後、該真空ポンプ１を起動する。これによ
り真空ポンプ１に吐出圧力がかかりその圧縮熱により真
空ポンプのロータ、ケーシング等が暖められ暖気が早ま
る。
て、真空引きされていない状態からスクリュー式ドライ
真空ポンプ１を起動する場合、先ず吐出配管４の絞り弁
６を絞りその後、該真空ポンプ１を起動する。これによ
り真空ポンプ１に吐出圧力がかかりその圧縮熱により真
空ポンプのロータ、ケーシング等が暖められ暖気が早ま
る。
【００１２】図２は本発明の暖気運転制御方法を適用す
る真空システムの他の構成例を示す図である。図２に示
すように本真空システムにおいては、該スクリュー式ド
ライ真空ポンプ１の吸込側と吐出側を接続するバイパス
配管７が設けられ、該バイパス配管７にバイパス弁８が
設けられている。
る真空システムの他の構成例を示す図である。図２に示
すように本真空システムにおいては、該スクリュー式ド
ライ真空ポンプ１の吸込側と吐出側を接続するバイパス
配管７が設けられ、該バイパス配管７にバイパス弁８が
設けられている。
【００１３】上記図２に示す構成の真空システムにおい
て、真空引きされていない状態からスクリュー式ドライ
真空ポンプ１を起動する場合、バイパス弁８を開いて該
真空ポンプ１を起動する。これにより真空ポンプ１から
吐出された流体がバイパス配管７を通って吸込側に戻り
循環する。この循環が繰り返されることにより、徐々に
流体の温度が上昇し、暖気が早まる。なお、本真空シス
テムでは、スクリュー式ドライ真空ポンプ１のバイパス
配管７を設けているが、真空ポンプ１の内部にバイパス
通路を設け該バイパス通路にバイパス弁を設ける構造と
してもよいことは当然である。いずれにしても流体を真
空ポンプ１の本体内に循環させるようになっていればよ
い。
て、真空引きされていない状態からスクリュー式ドライ
真空ポンプ１を起動する場合、バイパス弁８を開いて該
真空ポンプ１を起動する。これにより真空ポンプ１から
吐出された流体がバイパス配管７を通って吸込側に戻り
循環する。この循環が繰り返されることにより、徐々に
流体の温度が上昇し、暖気が早まる。なお、本真空シス
テムでは、スクリュー式ドライ真空ポンプ１のバイパス
配管７を設けているが、真空ポンプ１の内部にバイパス
通路を設け該バイパス通路にバイパス弁を設ける構造と
してもよいことは当然である。いずれにしても流体を真
空ポンプ１の本体内に循環させるようになっていればよ
い。
【００１４】図３は本発明の暖気運転制御方法を適用す
る真空システムの他の構成例を示す図である。図２に示
すように本真空システムにおいては、吸込配管３にパー
ジガス供給管９が接続されている。
る真空システムの他の構成例を示す図である。図２に示
すように本真空システムにおいては、吸込配管３にパー
ジガス供給管９が接続されている。
【００１５】上記図３に示す構成の真空システムにおい
て、真空引きされていない状態からスクリュー式ドライ
真空ポンプ１を起動する場合、パージガス供給管９を通
してパージガス源からスクリュー式ドライ真空ポンプ１
内にパージガスを流入させることにより、このパージガ
ス圧縮熱により暖気が早まる。
て、真空引きされていない状態からスクリュー式ドライ
真空ポンプ１を起動する場合、パージガス供給管９を通
してパージガス源からスクリュー式ドライ真空ポンプ１
内にパージガスを流入させることにより、このパージガ
ス圧縮熱により暖気が早まる。
【００１６】また、暖気を早める方法としては、例えば
図４に示す構造の真空ポンプにおいて、主ケーシング１
１の冷却ジャケット１１ａ及び吐出ケーシング１２の冷
却ジャケット１２ａに流す冷却水の流量を減らすか又は
止めるか或いは部分的に止める（例えば主ケーシング１
１の冷却ジャケット１１ａに流す冷却水を止める）。こ
れにより、主ケーシング１１や吐出ケーシング１２から
の放熱が抑制されて暖気を早める方法もある。
図４に示す構造の真空ポンプにおいて、主ケーシング１
１の冷却ジャケット１１ａ及び吐出ケーシング１２の冷
却ジャケット１２ａに流す冷却水の流量を減らすか又は
止めるか或いは部分的に止める（例えば主ケーシング１
１の冷却ジャケット１１ａに流す冷却水を止める）。こ
れにより、主ケーシング１１や吐出ケーシング１２から
の放熱が抑制されて暖気を早める方法もある。
【００１７】なお、上記実施例では暖気を早める方法の
それぞれ個別に示したが、これらは個別に用いるのでは
なく、図１乃至図３の構成例及び上記冷却水の流量を減
らすか又は止めるか或いは部分的に止める方法の２つ以
上を組み合わせる方法もある。
それぞれ個別に示したが、これらは個別に用いるのでは
なく、図１乃至図３の構成例及び上記冷却水の流量を減
らすか又は止めるか或いは部分的に止める方法の２つ以
上を組み合わせる方法もある。
【００１８】また、上記図１の絞り弁６の絞り制御、図
２のバイパス弁８の開閉制御、図３のパージガス供給管
９からのパージガスの供給制御及び図４の冷却ジャケッ
ト１１ａ，１２ａに流す冷却水の流量を減らすか又は止
めるか或いは部分的に止める制御は、真空ポンプ１の吸
込圧或いはポンプケーシングの温度を監視し、自動的に
行うことによって、必要以上にポンプケーシングやロー
タ等が高温になるのを防ぎながら暖気を早めることがで
きる。
２のバイパス弁８の開閉制御、図３のパージガス供給管
９からのパージガスの供給制御及び図４の冷却ジャケッ
ト１１ａ，１２ａに流す冷却水の流量を減らすか又は止
めるか或いは部分的に止める制御は、真空ポンプ１の吸
込圧或いはポンプケーシングの温度を監視し、自動的に
行うことによって、必要以上にポンプケーシングやロー
タ等が高温になるのを防ぎながら暖気を早めることがで
きる。
【００１９】また、真空引きされていない状態からスク
リュー式ドライ真空ポンプ１を起動する暖気運転の場
合、スクリュー式ドライ真空ポンプ１の回転数を真空引
きの場合より、低くすることにより、動力を低減させる
ことができる。また、スクリュー式ドライ真空ポンプ１
の吸込圧力或いはポンプケーシングの温度を監視し、こ
の真空ポンプの回転数制御を自動的に行うこともでき
る。
リュー式ドライ真空ポンプ１を起動する暖気運転の場
合、スクリュー式ドライ真空ポンプ１の回転数を真空引
きの場合より、低くすることにより、動力を低減させる
ことができる。また、スクリュー式ドライ真空ポンプ１
の吸込圧力或いはポンプケーシングの温度を監視し、こ
の真空ポンプの回転数制御を自動的に行うこともでき
る。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、暖
気運転時間が短く、且つ暖気運転時の動力の低減を図る
ことのできるスクリュー式ドライ真空ポンプの暖気運転
制御方法を提供できる。
気運転時間が短く、且つ暖気運転時の動力の低減を図る
ことのできるスクリュー式ドライ真空ポンプの暖気運転
制御方法を提供できる。
【図１】本発明の暖気運転制御方法を適用する真空シス
テムの構成例を示す図である。
テムの構成例を示す図である。
【図２】本発明の暖気運転制御方法を適用する真空シス
テムの他の構成例を示す図である。
テムの他の構成例を示す図である。
【図３】本発明の暖気運転制御方法を適用する真空シス
テムの他の構成例を示す図である。
テムの他の構成例を示す図である。
【図４】スクリュー式ドライ真空ポンプの構造例を示す
側断面図である。
側断面図である。
１ スクリュー式ドライ真空ポンプ ２ チャンバー ３ 吸込配管 ４ 吐出配管 ５ メインバルブ ６ 絞り弁 ７ バイパス配管 ８ バイパス弁 ９ パージガス供給管
Claims (5)
- 【請求項１】 スクリュー式ドライ真空ポンプの真空引
きされていない状態からの下記の乃至のいずれかの
一つの条件を満たした状態で暖気運転を行うことを特徴
とするスクリュー式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方
法。 前記スクリュー式ドライ真空ポンプの吐出側に絞り弁
を設け、該絞り弁を絞る。 前記スクリュー式ドライ真空ポンプに吐出側と吸込側
を連結するバイパス通路を設け、該バイパス通路に設け
た弁を開く。 前記スクリュー式ドライ真空ポンプ本体を冷却する冷
却流体の流量を減らすか又は止めるか或いは部分的に止
める。 前記スクリュー式ドライ真空ポンプの吸込側より大量
のパージガスをポンプ内に流す。 - 【請求項２】 前記乃至のいずれか２つ以上の条件
を組み合わせ、該条件を満たした状態で暖気運転を行う
ことを特徴とするスクリュー式ドライ真空ポンプの暖気
運転制御方法。 - 【請求項３】 前記請求項１又は請求項２のスクリュー
式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方法において、 前記スクリュー式ドライ真空ポンプの吸込圧力或いはポ
ンプケーシングの温度を監視し、前記乃至の１つ又
は２つ以上の条件制御を自動的に行うことを特徴とする
スクリュー式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方法。 - 【請求項４】 前記請求項１又は請求項２又は請求項３
のスクリュー式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方法に
おいて、 該ポンプ回転数を真空引きの時より下げて運転すること
を特徴するスクリュー式ドライ真空ポンプの暖気運転制
御方法。 - 【請求項５】 前記請求項４のスクリュー式ドライ真空
ポンプの暖気運転制御方法において、 前記スクリューポンプの吸込圧力或いはポンプケーシン
グの温度を監視し、前記ポンプの回転数制御を自動的に
行うことを特徴とするスクリュー式ドライ真空ポンプの
暖気運転制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3295195A JPH05106578A (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | スクリユー式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3295195A JPH05106578A (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | スクリユー式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05106578A true JPH05106578A (ja) | 1993-04-27 |
Family
ID=17817430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3295195A Pending JPH05106578A (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | スクリユー式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05106578A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016169731A (ja) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 少なくとも二つのポンプ段を有する真空ポンプ又はスクロールポンプの作動の為の方法、及び真空ポンプ |
| WO2016157325A1 (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-06 | 株式会社日立産機システム | ガス圧縮機 |
| KR20190107054A (ko) * | 2017-02-03 | 2019-09-18 | 에드워즈 리미티드 | 펌프 냉각 시스템 |
-
1991
- 1991-10-15 JP JP3295195A patent/JPH05106578A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016169731A (ja) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 少なくとも二つのポンプ段を有する真空ポンプ又はスクロールポンプの作動の為の方法、及び真空ポンプ |
| WO2016157325A1 (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-06 | 株式会社日立産機システム | ガス圧縮機 |
| JPWO2016157325A1 (ja) * | 2015-03-27 | 2017-12-07 | 株式会社日立産機システム | ガス圧縮機 |
| KR20190107054A (ko) * | 2017-02-03 | 2019-09-18 | 에드워즈 리미티드 | 펌프 냉각 시스템 |
| JP2020505541A (ja) * | 2017-02-03 | 2020-02-20 | エドワーズ リミテッド | ポンプ冷却システム |
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